JP2021118201A - 基板処理装置及びパージ方法 - Google Patents
基板処理装置及びパージ方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021118201A JP2021118201A JP2020008480A JP2020008480A JP2021118201A JP 2021118201 A JP2021118201 A JP 2021118201A JP 2020008480 A JP2020008480 A JP 2020008480A JP 2020008480 A JP2020008480 A JP 2020008480A JP 2021118201 A JP2021118201 A JP 2021118201A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- bag body
- processing apparatus
- substrate processing
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 236
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 238000010926 purge Methods 0.000 title claims description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 71
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 34
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 29
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 23
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 23
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 70
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 23
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 20
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical group N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67196—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the transfer chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67184—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the presence of more than one transfer chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67757—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber vertical transfer of a batch of workpieces
Abstract
Description
(基板処理装置)
図1から図4を参照し、第1の実施形態の基板処理装置の構成例について説明する。図1及び図2は、第1の実施形態の基板処理装置の構成例を示す斜視図である。図3及び図4は、第1の実施形態の基板処理装置の構成例を示す断面図である。なお、図1及び図3は袋体が収縮した状態を示し、図2及び図4は袋体が膨張した状態を示す。
図5を参照し、第1の実施形態の基板処理装置1の動作の一例について説明する。図5は、第1の実施形態の基板処理装置1の動作の一例を示すフローチャートである。以下では、基板処理装置1の動作の一例として、基板処理装置1の基板搬送室20内をパージするパージ方法について説明する。また初期状態として、処理容器31の炉口が蓋体24により密閉され、N2ガス供給バルブ22b、エア導入バルブ23d及びエア排出バルブ23fが閉じられ、基板搬送室20内の圧力が一定になるようにニードルバルブ35dの開度が調整されているものとする。
図6及び図7を参照し、第2の実施形態の基板処理装置の構成例について説明する。図6及び図7は、第2の実施形態の基板処理装置の構成例を示す断面図である。なお、図6は袋体が収縮した状態を示し、図7は袋体が膨張した状態を示す。
図8及び図9を参照し、第3の実施形態の基板処理装置の構成例について説明する。図8及び図9は、第3の実施形態の基板処理装置の構成例を示す断面図である。なお、図8は袋体が収縮した状態を示し、図9は袋体が膨張した状態を示す。
(基板処理装置)
図10及び図11を参照し、第4の実施形態の基板処理装置の構成例について説明する。図10及び図11は、第4の実施形態の基板処理装置の構成例を示す断面図である。なお、図10は袋体が収縮した状態を示し、図11は袋体が膨張した状態を示す。
図12を参照し、第4の実施形態の基板処理装置1Cの動作の一例について説明する。図12は、第4の実施形態の基板処理装置1Cの動作の一例を示すフローチャートである。以下では、基板処理装置1Cの動作の一例として、基板処理装置1Cの基板搬送室20内をパージするパージ方法について説明する。また初期状態として、処理容器31の炉口が蓋体24により密閉され、基板搬送室20内の圧力が一定になるようにニードルバルブ35dの開度が調整され、昇降部25aが下端まで下降しているものとする。
20 基板搬送室
21 循環流形成部
23 容積調整部
23a 袋体
23b 板状部材
23c エア導入管
23d エア導入バルブ
23e エア排出管
23f エア排出バルブ
23g 流量制御器
23h 圧力計
25 昇降機構
25a 昇降部
26 酸素濃度計
Claims (15)
- 大気雰囲気と不活性ガス雰囲気とを切り替え可能な基板搬送室と、
前記基板搬送室内に設けられ、ガスが導入されることにより膨張し、ガスが排出されることにより収縮する袋体と、
を有する、
基板処理装置。 - 前記袋体は、少なくとも一部が前記基板搬送室に固定される、
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記袋体は、下部が前記基板搬送室の底部に固定される、
請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記袋体の上部に取り付けられる板状部材を更に有する、
請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記袋体は、上部が前記基板搬送室の天井部に固定される、
請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記袋体の下部に取り付けられる板状部材を更に有する、
請求項5に記載の基板処理装置。 - 前記袋体内に前記ガスを導入するガス導入部と、
前記袋体内から前記ガスを排出するガス排出部と、
を更に有する、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板搬送室内で不活性ガスを循環させる循環流形成部を更に有し、
前記袋体は、循環する前記不活性ガスが導入されることにより膨張する、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板搬送室内で昇降する昇降部を更に有し、
前記袋体は、少なくとも一部が前記昇降部に固定される、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記袋体は、伸縮部材により形成される、
請求項1乃至9のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記袋体は、伸縮構造により形成される、
請求項1乃至9のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記袋体内の圧力を検出する圧力計を更に有する、
請求項1乃至11のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記基板搬送室内の酸素濃度を検出する酸素濃度計を更に有する、
請求項1乃至12のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 制御部を更に有し、
前記制御部は、前記酸素濃度計により検出される前記基板搬送室内の酸素濃度が管理値以下になった場合、前記袋体を収縮させる、
請求項13に記載の基板処理装置。 - 基板搬送室内に設けられ、ガスが導入されることにより膨張し、ガスが排出されることにより収縮する袋体内にガスを導入するステップと、
前記袋体を膨張させた状態で、前記基板搬送室内に不活性ガスを導入することにより、前記基板搬送室内を大気雰囲気から不活性ガス雰囲気に切り替えるステップと、
を有する、
パージ方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020008480A JP7345403B2 (ja) | 2020-01-22 | 2020-01-22 | 基板処理装置及びパージ方法 |
KR1020210002431A KR20210095041A (ko) | 2020-01-22 | 2021-01-08 | 기판 처리 장치 및 퍼지 방법 |
CN202110052278.3A CN113161260A (zh) | 2020-01-22 | 2021-01-15 | 基板处理装置以及吹扫方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020008480A JP7345403B2 (ja) | 2020-01-22 | 2020-01-22 | 基板処理装置及びパージ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021118201A true JP2021118201A (ja) | 2021-08-10 |
JP7345403B2 JP7345403B2 (ja) | 2023-09-15 |
Family
ID=76878385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020008480A Active JP7345403B2 (ja) | 2020-01-22 | 2020-01-22 | 基板処理装置及びパージ方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7345403B2 (ja) |
KR (1) | KR20210095041A (ja) |
CN (1) | CN113161260A (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06224144A (ja) * | 1993-01-21 | 1994-08-12 | Tokyo Electron Tohoku Ltd | 処理装置 |
US5447294A (en) * | 1993-01-21 | 1995-09-05 | Tokyo Electron Limited | Vertical type heat treatment system |
JP2003092329A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2005333076A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Tokyo Electron Ltd | ロードロック装置、処理システム及びその使用方法 |
JP2017028110A (ja) * | 2015-07-23 | 2017-02-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送室、基板処理システム、及び基板搬送室内のガス置換方法 |
JP2018072582A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 株式会社サーマプレシジョン | 露光システム |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4876322B2 (ja) | 2001-03-30 | 2012-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | ロードロック室、その排気方法及び熱処理装置 |
-
2020
- 2020-01-22 JP JP2020008480A patent/JP7345403B2/ja active Active
-
2021
- 2021-01-08 KR KR1020210002431A patent/KR20210095041A/ko not_active Application Discontinuation
- 2021-01-15 CN CN202110052278.3A patent/CN113161260A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06224144A (ja) * | 1993-01-21 | 1994-08-12 | Tokyo Electron Tohoku Ltd | 処理装置 |
US5447294A (en) * | 1993-01-21 | 1995-09-05 | Tokyo Electron Limited | Vertical type heat treatment system |
JP2003092329A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2005333076A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Tokyo Electron Ltd | ロードロック装置、処理システム及びその使用方法 |
JP2017028110A (ja) * | 2015-07-23 | 2017-02-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送室、基板処理システム、及び基板搬送室内のガス置換方法 |
JP2018072582A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 株式会社サーマプレシジョン | 露光システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113161260A (zh) | 2021-07-23 |
JP7345403B2 (ja) | 2023-09-15 |
KR20210095041A (ko) | 2021-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11512392B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
TWI676089B (zh) | 側儲存倉、電子裝置處理系統、和處理基板的方法 | |
US5829939A (en) | Treatment apparatus | |
CN110684965B (zh) | 基板处理装置、半导体器件的制造方法以及记录介质 | |
US20090053665A1 (en) | Vertical heat treatment apparatus and method for operating the same | |
KR20100122893A (ko) | 로드락 장치 및 기판 냉각 방법 | |
JP2022505473A (ja) | 前面ダクト式機器フロントエンドモジュール、側面ストレージポッド、及びそれらの操作方法 | |
TW202300427A (zh) | 側面儲存盒、設備前端模組、及用於操作efem的方法 | |
JP3950299B2 (ja) | 基板処理装置及びその方法 | |
CN113169103A (zh) | 晶片储存器 | |
US11581198B2 (en) | Processing apparatus | |
JP2021118201A (ja) | 基板処理装置及びパージ方法 | |
JPH06340304A (ja) | 筐体の収納棚及び筐体の搬送方法並びに洗浄装置 | |
JP5279576B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3300861B2 (ja) | 熱処理システム | |
JP2004023032A (ja) | 半導体製造装置 | |
KR20200110196A (ko) | 기판 처리 장치, 반도체 장치의 제조 방법, 및 기록매체 | |
JP2019056177A (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | |
JP2012253198A (ja) | 開閉ダンパー装置 | |
JP2005093928A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2002184771A (ja) | 熱処理装置 | |
JP2002043389A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2007258255A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220705 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230606 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230627 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230808 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230905 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7345403 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |