JP5456804B2 - 搬送容器 - Google Patents
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Description
11の内側には、カセット17内の試料が搬送される空間である大気搬送室15が配置される。なお、3つのカセット17に代えて2つの処理ウエハ用のカセット17に隣接してダミーウエハを収納するダミーカセットを配置しても良い。
8′…ロードロック室、9…第1の待機ステーション、10…第2の待機ステーション、11…大気側搬送容器、13…装置コンソール、14…移動レール、15…大気搬送室、
16…カセット台、17,18…カセット、19…ファンユニット。
Claims (5)
- 背面側に試料が処理される処理容器が連結されて配置されて、前記試料が内部の略大気圧下の室内で搬送される搬送容器であって、
この搬送容器内に前記大気の上下方向の流れを生成するための送風機及び前記搬送容器に配置された排出口と、
前記搬送容器内の前記流れ中に配置され前記処理容器で処理された後に前記略大気圧下の室内に導入された前記試料がその内側に収納される収納容器であって、前記試料が内部に収納される収納用の空間と前記室内部との間を連通する開口であって前記内部の前記流れに曝されて配置され前記試料がその内部を介して搬送される開口を有し前記搬送容器の側壁との間に前記上下方向の流れが通る空間を開けて配置された収納容器と、
この収納容器の前記開口に対して奥側の下部に配置され当該収納容器の内部の気体が前記開口の側から流れ込んでその外部に排気される排気口とを備えた搬送容器。 - 前面側に処理対象の試料が収納されたカセットが載せられる台が配置され背面側に試料が処理される処理容器が連結されて配置されて、前記試料が内部の略大気圧下の室内で搬送される搬送容器であって、
前記搬送容器内部の前記室内に配置され前記台上に載置された前記カセットと前記試料をやりとりし前記室内で前記試料を搬送するためのロボットと、
前記搬送容器の前記室内に前記大気の流れを生成するための送風機及び前記搬送容器に配個された排出口と、
前記搬送容器内の前記流れ中に配置され前記処理容器で処理された後に前記略大気圧下の室内に導入された前記試料がその内側に収納される収納容器であって、前記試料が内部に収納される収納用の空間と前記室内部との間を連通する開口であって前記内部の前記流れに曝されて配置され前記試料がその内部を介して搬送される開口を有し前記搬送容器の側壁との間に前記上下方向の流れが通る空間を開けて配置された収納容器と、
この収納容器の前記開口に対して奥側の下部に配置され当該収納容器の内部の気体が前記開口の側から流れ込んでその外部に排気される排気口とを備えた搬送容器。 - 前記収納容器が、その外周を覆いその内部に略閉じられた前記収納用の空間を構成する外壁と、この外壁上に配置された前記開口とを備えた請求項1または2に記載の搬送容器。
- 前記搬送容器の前方から見て一端側に配置された前記収納容器の他端側に配置された前記開口が前記室内の前記流れに面する請求項1乃至3のいずれかに記載の搬送容器。
- 前記収納用の空間内部の気圧が前記搬送容器内部の前記室内の気圧より低くされる請求項3に記載の搬送容器。
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