JP6120621B2 - 真空処理装置及びその運転方法 - Google Patents
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Description
図1に示す本発明の実施形態による複数の真空処理容器103a〜eを備えた真空処理装置100は、大きく分けて、大気側ブロック101と真空側ブロック102とにより構成される。大気側ブロック101は、大気圧下で被処理物である半導体ウエハ等の基板状の試料を搬送、収納位置決め等を行う部分であり、真空側ブロック102は、大気圧から減圧された圧力下でウエハ等の基板状の試料を搬送し、予め定められた真空処理容器内(103a〜eの少なくとも一つ)において処理を行うブロックである。そして、真空側ブロック102での前述した搬送や処理を行う真空側ブロック102と大気側ブロック101との間にはこれらを連結して配置され、試料を内部に収容した状態でその内部の圧力を真空圧にまで減圧したり、大気圧にまで昇圧させる区画部分(ロック室105)が配置されている。
102 真空側ブロック
103a〜e 真空処理容器
104 第1の真空搬送室
105 ロック室
106 筐体
107 カセット台
108a,b 真空搬送ロボット
109 大気側搬送ロボット
110 第2の真空搬送室
111 真空搬送中間室
120a〜e ゲートバルブ
121、121a、121b ドライポンプ
122、122a、122b バルブ
123、123a、123b 排気配管
124、124a、124b パージライン
125 ウエハ
Claims (4)
- 大気搬送部に連結されて配置されたロック室と、該ロック室に連結されて配置され減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第1の真空搬送容器と、該第1の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第1の不活性ガス供給装置と、前記第1の真空搬送容器に連結された第1の真空排気装置と、前記第1の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第1の処理容器と、前記第1の真空搬送容器に連結されて配置された真空搬送中間室と、該真空搬送中間室に連結されて配置された減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第2の真空搬送容器と、該第2の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第2の不活性ガス供給装置と、前記第2の真空搬送容器に連結された第2の真空排気装置と、前記第2の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第2の処理容器とを備えた真空処理装置であって、
前記真空搬送中間室につながるゲートバルブが開かれて前記第1及び第2の真空搬送容器と前記真空搬送中間室とが連通された状態かつ前記第2の不活性ガス供給装置からのガス供給及び前記第1の真空排気装置による真空排気が止められた状態で、前記第1の不活性ガス供給装置から前記第1の真空搬送容器に不活性ガスが供給され、前記第2の真空排気装置により前記第2の真空搬送容器内が減圧排気されるように構成されたことを特徴とする真空処理装置。 - 前記真空搬送室の減圧圧力よりも前記複数の真空処理室の処理室内圧力の方が低い圧力とされていることを特徴とする請求項1記載の真空処理装置。
- 大気搬送部に連結されて配置されたロック室と、該ロック室に連結されて配置され減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第1の真空搬送容器と、該第1の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第1の不活性ガス供給装置と、前記第1の真空搬送容器に連結された第1の真空排気装置と、前記第1の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第1の処理容器と、前記第1の真空搬送容器に連結されて配置された真空搬送中間室と、該真空搬送中間室に連結されて配置された減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第2の真空搬送容器と、該第2の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第2の不活性ガス供給装置と、前記第2の真空搬送容器に連結された第2の真空排気装置と、前記第2の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第2の処理容器とを備えた真空処理装置の運転方法において、
前記第1及び第2の処理容器を用いて試料の処理を行なう際に、前記真空搬送中間室につながるゲートバルブが開かれて前記第1及び第2の真空搬送容器と前記真空搬送中間室とが連通された状態かつ前記第2の不活性ガス供給装置からのガス供給及び前記第1の真空排気装置による真空排気が止められた状態で、前記第1の不活性ガス供給装置から前記第1の真空搬送容器に不活性ガスを供給し、前記第2の真空排気装置により前記第2の真空搬送容器内を減圧排気することを特徴とする真空処理装置の運転方法。 - 請求項3記載の真空処理装置の運転方法において、前記真空搬送室の減圧圧力よりも前記複数の真空処理室の処理室内圧力の方が低い真空処理装置の運転方法。
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