JP2014179431A5 - - Google Patents

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本発明の真空処理装置は、大気搬送部に連結されて配置されたロック室と、該ロック室に連結されて配置され減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第１の真空搬送容器と、該第１の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第１の不活性ガス供給装置と、前記第１の真空搬送容器に連結された第１の真空排気装置と、前記第１の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第１の処理容器と、前記第１の真空搬送容器に連結されて配置された真空搬送中間室と、該真空搬送中間室に連結されて配置された減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第２の真空搬送容器と、該第２の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第２の不活性ガス供給装置と、前記第２の真空搬送容器に連結された第２の真空排気装置と、前記第２の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第２の処理容器とを備えた真空処理装置であって、前記真空搬送中間室につながるゲートバルブが開かれて前記第１及び第２の真空搬送容器と前記真空搬送中間室とが連通された状態かつ前記第２の不活性ガス供給装置からのガス供給及び前記第１の真空排気装置による真空排気が止められた状態で、前記第１の不活性ガス供給装置から前記第１の真空搬送容器に不活性ガスが供給され、前記第２の真空排気装置により前記第２の真空搬送容器内が減圧排気されるように構成されたことを特徴とする。
また、本発明の真空処理装置の運転方法は、大気搬送部に連結されて配置されたロック室と、該ロック室に連結されて配置され減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第１の真空搬送容器と、該第１の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第１の不活性ガス供給装置と、前記第１の真空搬送容器に連結された第１の真空排気装置と、前記第１の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第１の処理容器と、前記第１の真空搬送容器に連結されて配置された真空搬送中間室と、該真空搬送中間室に連結されて配置された減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第２の真空搬送容器と、該第２の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第２の不活性ガス供給装置と、前記第２の真空搬送容器に連結された第２の真空排気装置と、前記第２の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第２の処理容器とを備えた真空処理装置の運転方法において、前記第１及び第２の処理容器を用いて試料の処理を行なう際に、前記真空搬送中間室につながるゲートバルブが開かれて前記第１及び第２の真空搬送容器と前記真空搬送中間室とが連通された状態かつ前記第２の不活性ガス供給装置からのガス供給及び前記第１の真空排気装置による真空排気が止められた状態で、前記第１の不活性ガス供給装置から前記第１の真空搬送容器に不活性ガスを供給し、前記第２の真空排気装置により前記第２の真空搬送容器内を減圧排気することを特徴とする。
以上のような構成の真空処理装置において、本実施例では、真空側ブロック１０２内での搬送時間が大気側ブロック１０１内での搬送時間と比較して長い状態で、これらブロックを構成する各真空搬送室、真空搬送中間室や各真空処理容器を経由する搬送経路上をウエハが搬送される搬送時間を低減して処理の効率を向上させ、同時に各真空処理容器１０３ａ〜ｅ内でウエハを処理する際に使用した処理ガス等の雰囲気が、他の真空処理容器内へ流入あるいは他の真空処理容器内でウエハを処理する際に使用した処理ガス等の雰囲気と接触（以下、コンタミネーション）しないようにさせ、且つ装置の単位時間あたりの生産効率の向上が可能となる具体例を発明したものである。また、実際の処理においては、各真空処理容器１０３ａ〜ｅ内でウエハに対して行われる処理の時間は、ウエハの搬送時間と同程度以下であり、真空処理装置１００全体の単位時間でのウエハの処理の枚数には、搬送の時間がより大きな支配的影響を与えている。
ウエハの処理を行った真空処理容器とこれが連結された真空搬送室との間を開閉するゲートバルブは、制御部からの指令を受けて、当該真空搬送室を含みこれが連結されている空間を開閉可能な他のゲートバルブが閉塞されている状態で開放される。例えば、制御部は、第２の真空搬送室１１０と、これが連結された真空処理容器１０３ｄとの間を区画するゲートバルブ１２０ｄの開放前に、当該真空処理室１０３ｄと他の真空処理室１０３ｃ、１０３ｅが連通しないよう、各々の真空処理室のゲートバルブ１２０ｃ、１２０ｄに対して閉塞又は閉塞の確認の動作を指令して、これが確認された後に真空処理容器１０３ｄを密封しているバルブ１２０ｄを開放する。
真空処理室１０３ｄにおけるウエハの処理が終了したことが検出されると、他の真空処理室１０３ｃ、１０３ｅと第２の真空搬送室１１０との間のゲートバルブ１２０ｃ、１２０ｄが閉じられて両者の間が気密に封止されていることが確認された後、真空処理容器１０３ｄと接続された第２の真空搬送室１１０との間を開閉するゲートバルブ１２０ｄが開放され、真空搬送ロボット１０８ｂは処理済みのウエハを第２の真空搬送室１１０の内部に搬出し、当該ウエハが処理室内に搬入された場合と逆の搬送経路でロック室１０５へと搬送する。
１０１ 大気側ブロック
１０２ 真空側ブロック
１０３ａ〜ｅ 真空処理容器
１０４ 第１の真空搬送室
１０５ ロック室
１０６ 筐体
１０７ カセット台
１０８ａ，ｂ 真空搬送ロボット
１０９ 大気側搬送ロボット
１１０ 第２の真空搬送室
１１１ 真空搬送中間室
１２０ａ〜ｅ ゲートバルブ
１２１、１２１ａ、１２１ｂ ドライポンプ
１２２、１２２ａ、１２２ｂ バルブ
１２３、１２３ａ、１２３ｂ 排気配管
１２４、１２４ａ、１２４ｂ パージライン
１２５ ウエハ

Claims (4)

  1. 大気搬送部に連結されて配置されたロック室と、該ロック室に連結されて配置され減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第１の真空搬送容器と、該第１の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第１の不活性ガス供給装置と、前記第１の真空搬送容器に連結された第１の真空排気装置と、前記第１の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第１の処理容器と、前記第１の真空搬送容器に連結されて配置された真空搬送中間室と、該真空搬送中間室に連結されて配置された減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第２の真空搬送容器と、該第２の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第２の不活性ガス供給装置と、前記第２の真空搬送容器に連結された第２の真空排気装置と、前記第２の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第２の処理容器とを備えた真空処理装置であって、
    前記真空搬送中間室につながるゲートバルブが開かれて前記第１及び第２の真空搬送容器と前記真空搬送中間室とが連通された状態かつ前記第２の不活性ガス供給装置からのガス供給及び前記第１の真空排気装置による真空排気が止められた状態で、前記第１の不活性ガス供給装置から前記第１の真空搬送容器に不活性ガスが供給され、前記第２の真空排気装置により前記第２の真空搬送容器内が減圧排気されるように構成されたことを特徴とする真空処理装置。
  2. 前記真空搬送室の減圧圧力よりも前記複数の真空処理室の処理室内圧力の方が低い圧力とされていることを特徴とする請求項１記載の真空処理装置。
  3. 大気搬送部に連結されて配置されたロック室と、該ロック室に連結されて配置され減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第１の真空搬送容器と、該第１の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第１の不活性ガス供給装置と、前記第１の真空搬送容器に連結された第１の真空排気装置と、前記第１の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第１の処理容器と、前記第１の真空搬送容器に連結されて配置された真空搬送中間室と、該真空搬送中間室に連結されて配置された減圧された内部の搬送室内で試料を搬送する第２の真空搬送容器と、該第２の真空搬送容器に不活性ガスを供給する第２の不活性ガス供給装置と、前記第２の真空搬送容器に連結された第２の真空排気装置と、前記第２の真空搬送容器に連結されて配置され減圧された内部の処理室内で試料を処理する第２の処理容器とを備えた真空処理装置の運転方法において、
    前記第１及び第２の処理容器を用いて試料の処理を行なう際に、前記真空搬送中間室につながるゲートバルブが開かれて前記第１及び第２の真空搬送容器と前記真空搬送中間室とが連通された状態かつ前記第２の不活性ガス供給装置からのガス供給及び前記第１の真空排気装置による真空排気が止められた状態で、前記第１の不活性ガス供給装置から前記第１の真空搬送容器に不活性ガスを供給し、前記第２の真空排気装置により前記第２の真空搬送容器内を減圧排気することを特徴とする真空処理装置の運転方法。
  4. 請求項３記載の真空処理装置の運転方法において、前記真空搬送室の減圧圧力よりも前記複数の真空処理室の処理室内圧力の方が低い真空処理装置の運転方法。
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