JP2002270663A - ロードロック装置とその運転方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 窒素ガスの無駄が少なくて運転コストが安い
ロードロック装置を提供すること。 【解決手段】 第１ロードロック室Ｌ１に、第１供給バ
ルブＶ１が介設されて窒素ガスを供給する第１供給通路
１１を接続し、室内のガスを排出する第１排出通路１２
を接続する。第２ロードロック室Ｌ２に、第２供給バル
ブＶ３が介設されて窒素ガスを供給する第２供給通路１
３を接続し、室内のガスを排出する第２排出通路１４を
接続する。第１供給バルブＶ１と第１ロードロック室Ｌ
１との間と、第２供給バルブＶ３と第２ロードロック室
Ｌ２との間を、均圧バルブＶ５が介設された均圧通路１
５で接続する。均圧バルブＶ５を開いて、未処理のウェ
ハを収容する大気圧の第１ロードロック室Ｌ１内の窒素
ガスを、均圧通路１５を介して、処理済のウェハを収容
する略真空の第２ロードロック室Ｌ２に導く。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置に
用いられるロードロック装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のロードロック装置とし
て、図３に示すようなものがある（特開平８−１８１１
８３号公報参照）。このロードロック装置５０は、真空
の下でウェハを搬送する真空搬送室５１に接続してい
る。この真空搬送室５１は、ウェハに分子拡散やエッチ
ングなどの処理を行う図示しない処理室に接続してい
る。上記ロードロック装置５０は、未処理のウェハを外
部から真空搬送室５１に搬入する際に経由させる第１ロ
ードロック室５３と、上記処理室で処理された処理済ウ
ェハを外部に取り出す際に経由させる第２ロードロック
室５４とを備える。

【０００３】未処理のウェハを、真空搬送室側のゲート
バルブ５６が閉じられて窒素ガスが満たされた大気圧の
第１ロードロック室５３内に外部から挿入し、この第１
ロードロック室の外部側に設けられたゲートバルブ５７
を閉じて、第１ロードロック室５３内を真空引きする。
この後、上記第１ロードロック室５３の真空搬送室側の
ゲートバルブ５６を開き、真空搬送室５１内に設けられ
た図示しないロボットアームで、上記未処理ウェハを第
１ロードロック室５３から処理室に搬送する。この処理
室で分子拡散などが施された処理済ウェハは、上記ロボ
ットアームによって、上記処理室から第２ロードロック
室５４に搬送する。この後、上記第２ロードロック室の
真空搬送室側のゲートバルブ５８を閉じ、第２ロードロ
ック室５４に窒素ガスを供給して大気圧にまで昇圧し、
第２ロードロック室の外部側のゲートバルブ５９を開い
て、第２ロードロック室５４内の処理済ウェハを外部に
取り出す。

【０００４】上記ロードロック装置５０は、上記処理室
の稼働率を向上させるために、上記第１ロードロック室
５３を経る真空搬送室５１への未処理ウェハの搬入と、
第２ロードロック室５４を経る真空搬送室５１からの処
理済ウェハの取り出しを、同時に実行している。すなわ
ち、略大気圧の第１ロードロック室５３内の真空引き
と、略真空の第２ロードロック室５４内への窒素ガスの
供給とを同時に実行して、スループットを高くしてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のロードロック装置５０は、上記第１ロードロック室
５３の大気圧からの真空引きと、上記第２ロードロック
室５４内への真空からの大気圧までの窒素ガスの供給と
を実行するので、窒素ガスの消費量と真空引きの動力が
大きいという問題がある。つまり、第１ロードロック室
５３内の窒素ガスを略全て排出する一方、略真空の第２
ロードロック室５４に窒素ガスを新たに全て供給するの
で、窒素ガスの無駄が多く、運転コストが高いという問
題がある。

【０００６】そこで、本発明の目的は、窒素ガスの無駄
が少なくて運転コストが安いロードロック装置を提供す
ることにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明のロードロック装置は、未処理ウェ
ハを、外部から真空搬送室に搬入する際に経由させる第
１ロードロック室と、処理済ウェハを、上記真空搬送室
から外部に取り出す際に経由させる第２ロードロック室
と、上記第１ロードロック室と第２ロードロック室とを
接続する均圧通路と、上記均圧通路に介設した均圧バル
ブとを備えることを特徴としている。

【０００８】請求項１のロードロック装置によれば、上
記未処理ウェハを、外部から第１ロードロック室に入れ
る。このとき、上記第１ロードロック室は所定のガスで
満たされて外部と同じ圧力である。一方、上記処理済ウ
ェハを、真空搬送室から略真空の第２ロードロック室に
入れる。このとき、上記第２ロードロック室は、上記真
空搬送室と同じ略真空である。この後、上記均圧バルブ
を開いて、上記均圧通路を介して上記第１ロードロック
室と第２ロードロック室とを連通させる。そうすると、
上記第１ロードロック室と第２ロードロック室との間の
圧力差によって、第１ロードロック室のガスが第２ロー
ドロック室に流入し、第１ロードロック室と第２ロード
ロック室とが略同じ圧力になる。すなわち、上記均圧バ
ルブを開くのみで、第１ロードロック室のガスの排出
と、第２ロードロック室へのガスの供給とが同時に実行
されるので、従来におけるように、第１ロードロック室
の真空引きと第２ロードロック室へのガスの供給とを動
力を使って行う必要がないから、エネルギーの消費量が
少ない。また、上記第１ロードロック室からの排出ガス
を転用して、第２ロードロック室に供給するので、従来
におけるように、第１ロードロック室のガスの略全てを
排出し、かつ、第２ロードロック室に略真空から略大気
圧まで新たにガスを供給するよりも、ガスの消費量が大
幅に低減される。

【０００９】請求項２の発明のロードロック装置は、請
求項１に記載のロードロック装置において、第１供給バ
ルブが介設されて、上記第１ロードロック室にガスを供
給する第１供給通路と、第２供給バルブが介設されて、
上記第２ロードロック室にガスを供給する第２供給通路
とを備え、上記均圧通路は、上記第１供給バルブと第１
ロードロック室との間と、上記第２供給バルブと第２ロ
ードロック室との間を接続していることを特徴としてい
る。

【００１０】請求項２のロードロック装置によれば、上
記第１ロードロック室に未処理ウェハを入れ、上記第２
ロードロック室に処理済ウェハを入れ、上記均圧通路に
介設された均圧バルブを開く。そうすると、上記第１ロ
ードロック室と第２ロードロック室の気圧の差によっ
て、上記第１ロードロック室のガスが、上記第１供給通
路と均圧通路と第２供給通路とを経て、第２ロードロッ
ク室に流入する。すなわち、第１ロードロック室からの
排出ガスが、第２ロードロック室への供給ガスとして転
用される。したがって、このロードロック装置は、従来
のように、第１ロードロック室からのガスの排出と第２
ロードロック室へのガスの供給とを動力を使って行う必
要がないから、エネルギーの消費量が少なくでき、ま
た、ガスの消費量が大幅に低減できる。

【００１１】請求項３の発明のロードロック装置は、請
求項１に記載のロードロック装置において、第１排出バ
ルブが介設されて、上記第１ロードロック室からガスを
排出する第１排出通路と、第２排出バルブが介設され
て、上記第２ロードロック室からガスを排出する第２排
出通路とを備え、上記均圧通路は、上記第１排出バルブ
と第１ロードロック室との間と、上記第２排出バルブと
第２ロードロック室との間を接続していることを特徴と
している。

【００１２】請求項３のロードロック装置によれば、上
記第１ロードロック室に未処理ウェハを入れ、上記第２
ロードロック室に処理済ウェハを入れ、上記均圧通路に
介設された均圧バルブを開く。そうすると、上記第１ロ
ードロック室と第２ロードロック室の気圧の差によっ
て、上記第１ロードロック室のガスが、上記第１排出通
路と均圧通路と第２排出通路とを経て、第２ロードロッ
ク室に流入する。すなわち、第１ロードロック室からの
排出ガスが、第２ロードロック室への供給ガスとして転
用される。したがって、このロードロック装置は、従来
のように、第１ロードロック室からのガスの排出と第２
ロードロック室へのガスの供給とを動力を使って行う必
要がなく、エネルギーの消費量が少なくでき、また、ガ
スの無駄が大幅に低減できる。

【００１３】請求項４の発明のロードロック装置の運転
方法は、第１ロードロック室に未処理ウェハを外部から
挿入する前にガスを供給して、この第１ロードロック室
を略大気圧にする工程と、第２ロードロック室に処理済
ウェハを真空搬送室から回収する前に、第２ロードロッ
ク室を略真空にする工程と、上記未処理ウェハが挿入さ
れ、かつ、大気圧になっている第１ロードロック室のガ
スを、上記処理済ウェハが回収され、かつ、略真空にな
っている第２ロードロック室に移して、上記第１ロード
ロック室と第２ロードロック室とを均圧する工程と、均
圧され、かつ、上記未処理ウェハが挿入されている第１
ロードロック室を、略真空にする工程と、均圧され、か
つ、上記処理済ウェハが回収されている第２ロードロッ
ク室にガスを供給して、その第２ロードロック室を略大
気圧にする工程とを備えることを特徴としている。

【００１４】請求項４のロードロック装置の運転方法に
よれば、第１ロードロック室にガスを供給して略大気圧
にした後、この第１ロードロック室に未処理ウェハを外
部から挿入する一方、第２ロードロック室を略真空にし
た後、この第２ロードロック室に処理済ウェハを真空搬
送室から回収する。この後、上記略大気圧の第１ロード
ロック室のガスを、略真空の第２ロードロック室に移し
て、上記第１ロードロック室と第２ロードロック室とを
均圧する。続いて、均圧された第１ロードロック室か
ら、さらにガスを排出して第１ロードロック室を略真空
にする一方、均圧された第２ロードロック室にさらにガ
スを供給して略大気圧にする。これによって、上記第１
ロードロック室と第２ロードロック室とを均圧するまで
の上記第１ロードロック室のガスの排出と第２ロードロ
ック室へのガスの供給とが、動力を用いないで実行でき
るので、エネルギー消費量が従来よりも少なくできる。
また、上記第１ロードロック室からの排出ガスを、第２
ロードロック室への供給ガスとして転用するので、上記
ガスの無駄が低減される。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
により詳細に説明する。

【００１６】図１は、本発明のロードロック装置を示す
図であり、図２は、上記ロードロック装置を用いて構成
した半導体製造装置を示す模式図である。図２に示すよ
うに、上記ロードロック装置１は、真空の下でウェハを
搬送する真空搬送室２に接続されている。この真空搬送
室２は、ウェハに分子拡散を施す処理室３に接続してい
る。上記ロードロック装置１は、第１ロードロック室Ｌ
１と、第２ロードロック室Ｌ２とを備え、いずれも上記
真空搬送室２に接続している。上記第１ロードロック室
Ｌ１は、上記処理室３で処理すべき未処理のウェハを、
外部から真空搬送室２に搬入する際に経由させる部屋で
ある。上記第２ロードロック室Ｌ２は、上記処理室３で
処理を施した処理済ウェハを、上記真空搬送室２から外
部に取り出す際に経由させる部屋である。上記第１ロー
ドロック室Ｌ１は、外部からの入口に第１ゲートバルブ
５を備え、真空搬送室２への出口に第２ゲートバルブ６
を備える。上記第２ロードロック室Ｌ２は、真空搬送室
２からの入口に第３ゲートバルブ８を備え、外部への出
口に第４ゲートバルブ９を備える。

【００１７】上記第１および第２ロードロック室Ｌ１，
Ｌ２には、窒素ガスを供給する通路と、室内のガスを排
出する通路を接続している。すなわち、図１に示すよう
に、上記第１ロードロック室Ｌ１に、第１供給バルブＶ
１が介設されて窒素ガスを供給する第１供給通路１１
と、第１排出バルブＶ２が介設されて室内のガスを排出
する第１排出通路１２を接続している。上記第２ロード
ロック室Ｌ２には、第２供給バルブＶ３が介設されて窒
素ガスを供給する第２供給通路１３と、第２排出バルブ
Ｖ４が介設されて室内のガスを排出する第２排出通路１
４を接続している。上記第１供給通路１１および第２供
給通路１３は、図示しない窒素ガスボンベに接続されて
いる。上記第１排出通路１２および第２排出通路１４
は、図示しない真空ポンプに接続されている。上記第１
供給バルブＶ１と第１ロードロック室Ｌ１との間と、上
記第２供給バルブＶ３と第２ロードロック室Ｌ２との間
を、均圧バルブＶ５が介設された均圧通路１５で接続し
ている。

【００１８】上記構成のロードロック装置は、以下のよ
うに動作する。

【００１９】まず、上記第１ロードロック室Ｌ１に第１
供給通路１１を介して窒素ガスを供給して、第１ロード
ロック室Ｌ１を略大気圧にすると共に、上記第２ロード
ロック室Ｌ２内のガスを第２排出通路１４を介して排出
して、第２ロードロック室Ｌ２を略真空にしておく。続
いて、上記処理室３で処理すべき未処理ウェハを、外部
に配置された図示しない移載装置によって、外部から大
気圧の第１ロードロック室Ｌ１に、矢印Ａで示すように
挿入する。この後、上記第１ゲートバルブ５を閉じて、
第１ロードロック室Ｌ１を密閉する。一方、すでに処理
室３で処理が施された処理済ウェハを、真空搬送室２内
に設けられた図示しないロボットアームによって、略真
空の第２ロードロック室Ｌ２に矢印Ｂで示すように搬送
する。この後、上記第３ゲートバルブ８を閉じて、第２
ロードロック室を密閉する。

【００２０】次に、上記均圧バルブＶ５を開く。そうす
ると、上記第１供給通路１１と均圧通路１５と第２供給
通路１３とを介して、第１ロードロック室Ｌ１と第２ロ
ードロック室Ｌ２が連通する。そうすると、上記第１ロ
ードロック室Ｌ１と第２ロードロック室Ｌ２との圧力差
によって、窒素ガスが主に含まれるガスが、第１ロード
ロック室Ｌ１から第２ロードロック室Ｌ２に流れる。そ
の結果、上記第１ロードロック室Ｌ１と第２ロードロッ
ク室Ｌ２とが均圧される。その後、上記均圧バルブＶ５
を閉じる。

【００２１】続いて、第１排出バルブＶ２を開けて、均
圧された第１ロードロック室Ｌ１内のガスを、第１排出
通路から更に排出する。これによって、上記第１ロード
ロック室Ｌ１を略真空にする。その後、上記第１排出バ
ルブＶ２を閉じる。そして、第２ゲートバルブ６を開け
て、真空搬送室２内のロボットアームで、第１ロードロ
ック室Ｌ１内の未処理ウェハを、矢印Ｃで示すように真
空搬送室２に搬出し、この真空搬送室２を通過させて、
処理室３まで搬送する。

【００２２】一方、上記均圧された第２ロードロック室
Ｌ２では、第２供給バルブＶ３を開けて、第２供給通路
１３を経て窒素ガスを第２ロードロック室Ｌ２内に供給
する。これによって、第２ロードロック室Ｌ２を略大気
圧にする。その後、上記第２供給バルブＶ３を閉じる。
そして、第４ゲートバルブ９を開いて、外部の移載装置
によって、第２ロードロック室Ｌ２内の処理済ウェハ
を、矢印Ｄで示すように外部に取り出す。

【００２３】このようにして、上記ロードロック装置１
は、上記第１ロードロック室Ｌ１のガスの排出と、第２
ロードロック室Ｌ２へのガスの供給とを、上記均圧バル
ブＶ５を開くのみによって、動力を使わないで実行でき
る。したがって、このロードロック装置１は、従来にお
けるように、第１ロードロック室の真空引きと第２ロー
ドロック室へのガスの供給とを全て動力を使って行うよ
りも、エネルギーの消費量を少なくできる。また、上記
第１ロードロック室Ｌ１からの排出ガスを、第２ロード
ロック室Ｌ２への供給ガスとして転用するので、従来に
おけるように、略大気圧の第１ロードロック室の窒素ガ
スを含むガスを略全て排出する一方、略真空の第２ロー
ドロック室に窒素ガスを新たに供給して大気圧にするよ
りも、窒素ガスの消費量を大幅に低減できる。その結
果、このロードロック装置の運転コストを安価にでき
る。

【００２４】上記実施形態において、上記第１供給バル
ブＶ１と第１ロードロック室Ｌ１との間と、上記第２供
給バルブＶ３と第２ロードロック室Ｌ２との間を、上記
均圧通路で接続したが、第１排出バルブＶ２と第１ロー
ドロック室Ｌ１との間と、第２排出バルブＶ４と第２ロ
ードロック室Ｌ２との間を均圧通路で接続しても、上記
実施形態のロードロック装置と同一の機能を有するロー
ドロック装置が得られる。あるいは、第１ロードロック
室Ｌ１と第２ロードロック室Ｌ２とを、均圧バルブが介
設された均圧通路で直接接続してもよい。

【００２５】上記実施形態において、上記第１，第２ロ
ードロック室Ｌ１，Ｌ２に、ガスの一例としての窒素ガ
スを供給したが、窒素ガス以外の他のガスを供給しても
よい。

【００２６】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１の発
明のロードロック装置によれば、未処理ウェハを経由さ
せる第１ロードロック室と、処理済ウェハを経由させる
第２ロードロック室と、上記第１ロードロック室と第２
ロードロック室とを接続する均圧通路と、上記均圧通路
に介設した均圧バルブとを備えるので、上記未処理ウェ
ハを入れた略大気圧の第１ロードロック室と、上記処理
済ウェハを入れた略真空の第２ロードロック室とを、上
記均圧バルブを開いて均圧通路で連通させることによっ
て、第１ロードロック室内のガスを第２ロードロック室
内に導いて、第１ロードロック室内のガスの排出と第２
ロードロック室内へのガスの供給とが同時に実行でき
る。したがって、従来におけるように、略大気圧の第１
ロードロック室の真空引きと第２ロードロック室へのガ
スの供給を動力を用いて行う必要がないから、エネルギ
ー消費量が少なくできる。また、上記第１ロードロック
室からの排出ガスを転用して、第２ロードロック室に供
給するので、従来よりもガスの消費量を大幅に低減でき
るから、ロードロック装置の運転コストが削減できる。

【００２７】請求項２の発明のロードロック装置は、請
求項１に記載のロードロック装置において、第１供給バ
ルブが介設されて第１ロードロック室にガスを供給する
第１供給通路と、第２供給バルブが介設されて第２ロー
ドロック室にガスを供給する第２供給通路とを備え、上
記均圧通路は、上記第１供給バルブと第１ロードロック
室との間と、上記第２供給バルブと第２ロードロック室
との間を接続しているので、上記均圧バルブを開いて、
略大気圧の第１ロードロック室内のガスを、上記第１供
給通路と均圧通路と第２供給通路とを経て、略真空の第
２ロードロック室に導くことができるから、第１ロード
ロック室からのガスの排出と、第２ロードロック室への
ガスの供給を、従来よりも少ないエネルギー消費で実行
でき、また、ガスの無駄を大幅に低減して、ロードロッ
ク装置の運転コストが削減できる。

【００２８】請求項３の発明のロードロック装置は、請
求項１に記載のロードロック装置において、第１排出バ
ルブが介設されて、上記第１ロードロック室からガスを
排出する第１排出通路と、第２排出バルブが介設され
て、上記第２ロードロック室からガスを排出する第２排
出通路とを備え、上記均圧通路は、上記第１排出バルブ
と第１ロードロック室との間と、上記第２排出バルブと
第２ロードロック室との間を接続しているので、上記均
圧バルブを開いて、略大気圧の第１ロードロック室内の
ガスを、上記第１排出通路と均圧通路と第２排出通路と
を経て、略真空の第２ロードロック室に導くことができ
るから、第１ロードロック室からのガスの排出と、第２
ロードロック室へのガスの供給を、従来よりも少ないエ
ネルギー消費量で実行でき、また、ガスの無駄を大幅に
低減できるから、ロードロック装置の運転コストが削減
できる。

【００２９】請求項４の発明のロードロック装置の運転
方法は、第１ロードロック室に未処理ウェハを外部から
挿入する前に、ガスを供給して第１ロードロック室を略
大気圧にする工程と、処理済ウェハを真空搬送室から第
２ロードロック室に回収する前に、第２ロードロック室
を略真空にする工程と、上記未処理ウェハが挿入され、
かつ、略大気圧の第１ロードロック室のガスを、上記処
理済ウェハが回収され、かつ、略真空の第２ロードロッ
ク室に移して、上記第１ロードロック室と第２ロードロ
ック室とを均圧する工程と、均圧された第１ロードロッ
ク室を略真空にする工程と、均圧された第２ロードロッ
ク室にガスを供給して第２ロードロック室を略大気圧に
する工程とを備えるので、上記第１ロードロック室から
の排出ガスを、第２ロードロック室に供給ガスとして移
して転用するから、従来よりもロードロック装置の運転
の際のエネルギー消費量が少なくでき、また、上記ガス
の消費量を低減できて、ロードロック装置の運転コスト
が削減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態のロードロック装置を示す
図である。

【図２】 図１のロードロック装置を用いて構成した半
導体製造装置を示す模式図である。

【図３】 従来のロードロック装置を示す図である。

【符号の説明】

１ ロードロック装置 １１ 第１供給通路 １２ 第１排出通路 １３ 第２供給通路 １４ 第２排出通路 １５ 均圧通路 Ｌ１ 第１ロードロック室 Ｌ２ 第２ロードロック室 Ｖ１ 第１供給バルブ Ｖ２ 第１排出バルブ Ｖ３ 第２供給バルブ Ｖ４ 第２排出バルブ Ｖ５ 均圧バルブ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 未処理ウェハを、外部から真空搬送室
   （２）に搬入する際に経由させる第１ロードロック室
   （Ｌ１）と、 処理済ウェハを、上記真空搬送室（２）から外部に取り
   出す際に経由させる第２ロードロック室（Ｌ２）と、 上記第１ロードロック室（Ｌ１）と第２ロードロック室
   （Ｌ２）とを接続する均圧通路（１５）と、 上記均圧通路（１５）に介設した均圧バルブ（Ｖ５）と
   を備えることを特徴とするロードロック装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のロードロック装置にお
   いて、 第１供給バルブ（Ｖ１）が介設されて、上記第１ロード
   ロック室（Ｌ１）にガスを供給する第１供給通路（１
   １）と、 第２供給バルブ（Ｖ３）が介設されて、上記第２ロード
   ロック室（Ｌ２）にガスを供給する第２供給通路（１
   ３）とを備え、 上記均圧通路（１５）は、上記第１供給バルブ（Ｖ１）
   と第１ロードロック室（Ｌ１）との間と、上記第２供給
   バルブ（Ｖ３）と第２ロードロック室（Ｌ２）との間を
   接続していることを特徴とするロードロック装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載のロードロック装置にお
   いて、 第１排出バルブ（Ｖ２）が介設されて、上記第１ロード
   ロック室（Ｌ１）からガスを排出する第１排出通路（１
   ２）と、 第２排出バルブ（Ｖ４）が介設されて、上記第２ロード
   ロック室（Ｌ２）からガスを排出する第２排出通路（１
   ４）とを備え、 上記均圧通路は、上記第１排出バルブ（Ｖ２）と第１ロ
   ードロック室（Ｌ１）との間と、上記第２排出バルブ
   （Ｖ４）と第２ロードロック室（Ｌ２）との間を接続し
   ていることを特徴とするロードロック装置。
4. 【請求項４】 第１ロードロック室（Ｌ１）に未処理ウ
   ェハを外部から挿入する前にガスを供給して、この第１
   ロードロック室（Ｌ１）を略大気圧にする工程と、 第２ロードロック室（Ｌ２）に処理済ウェハを真空搬送
   室（２）から回収する前に、第２ロードロック室（Ｌ
   ２）を略真空にする工程と、 上記未処理ウェハが挿入され、かつ、略大気圧になって
   いる第１ロードロック室（Ｌ１）のガスを、上記処理済
   ウェハが回収され、かつ、略真空になっている第２ロー
   ドロック室（Ｌ２）に移して、上記第１ロードロック室
   （Ｌ１）と第２ロードロック室（Ｌ２）とを均圧する工
   程と、 均圧され、かつ、上記未処理ウェハが挿入されている第
   １ロードロック室（Ｌ１）を、略真空にする工程と、 均圧され、かつ、上記処理済ウェハが回収されている第
   ２ロードロック室（Ｌ２）にガスを供給して、その第２
   ロードロック室（Ｌ２）を略大気圧にする工程とを備え
   ることを特徴とするロードロック装置の運転方法。