JPH11130261A - 基板積載装置 - Google Patents
基板積載装置Info
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- JPH11130261A JPH11130261A JP9299200A JP29920097A JPH11130261A JP H11130261 A JPH11130261 A JP H11130261A JP 9299200 A JP9299200 A JP 9299200A JP 29920097 A JP29920097 A JP 29920097A JP H11130261 A JPH11130261 A JP H11130261A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板1を吸着して所定の位置に搬送し、積載
する基板積載装置であって、吸着ミス等のトラブルが発
生しにくい基板積載装置や、基板揃え性が優れた積載が
可能な基板積載装置を提供する。 【解決手段】 搬送しようとする基板1の特徴値を保存
する特徴保存手段30と、特徴保存手段30に保存され
た基板1の特徴値を入力して、その特徴値に応じて吸着
条件や搬送条件を調整しながら、基板準備手段10に準
備された基板を吸着して搬送する基板搬送手段20と、
特徴保存手段30に保存された基板1の特徴値を入力し
て、その特徴値に応じて傾斜条件を調整しながら、積載
部42及び上方向に突出して設けられた端面揃え部44
を傾斜させることにより、積載した基板1を端面揃え部
44側に移動させて、基板1の端面を端面揃え部44に
揃える基板積載手段40とを備える。
する基板積載装置であって、吸着ミス等のトラブルが発
生しにくい基板積載装置や、基板揃え性が優れた積載が
可能な基板積載装置を提供する。 【解決手段】 搬送しようとする基板1の特徴値を保存
する特徴保存手段30と、特徴保存手段30に保存され
た基板1の特徴値を入力して、その特徴値に応じて吸着
条件や搬送条件を調整しながら、基板準備手段10に準
備された基板を吸着して搬送する基板搬送手段20と、
特徴保存手段30に保存された基板1の特徴値を入力し
て、その特徴値に応じて傾斜条件を調整しながら、積載
部42及び上方向に突出して設けられた端面揃え部44
を傾斜させることにより、積載した基板1を端面揃え部
44側に移動させて、基板1の端面を端面揃え部44に
揃える基板積載手段40とを備える。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板等
の製造に用いられる銅張り積層板等の、基板を搬送して
積載する、基板積載装置に関するものである。
の製造に用いられる銅張り積層板等の、基板を搬送して
積載する、基板積載装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】銅張り積層板等の有機系の基板は、プリ
ント配線板の製造工程において、端面から基板の破片が
生ずると、その破片によって形成しようとする回路が断
線不良となる場合があるため、一般に端面を研磨した
後、使用されている。この端面を研磨する方法として
は、1枚毎に端面を研磨する方法が従来より行われてい
るが、この方法の場合、研磨の生産性が低いため、複数
の基板を重ねた状態で、端面を研磨する方法が検討され
ている。
ント配線板の製造工程において、端面から基板の破片が
生ずると、その破片によって形成しようとする回路が断
線不良となる場合があるため、一般に端面を研磨した
後、使用されている。この端面を研磨する方法として
は、1枚毎に端面を研磨する方法が従来より行われてい
るが、この方法の場合、研磨の生産性が低いため、複数
の基板を重ねた状態で、端面を研磨する方法が検討され
ている。
【0003】この複数の基板を重ねる方法としては、人
力で行う方法や、特開昭61−174041号や特開平
4−14298号等に記載されたような、準備された基
板を1枚毎吸着した後、その吸着した基板を水平方向に
移動させて、所定の位置に搬送するよう形成された基板
積載装置を用いて重ねる方法が一般的に行われている。
力で行う方法や、特開昭61−174041号や特開平
4−14298号等に記載されたような、準備された基
板を1枚毎吸着した後、その吸着した基板を水平方向に
移動させて、所定の位置に搬送するよう形成された基板
積載装置を用いて重ねる方法が一般的に行われている。
【0004】なお、上記のような基板積載装置を用いて
重ねる場合、基板の種類によっては、吸着ミスを起こし
て基板が途中で落下する等のトラブルが発生しやすいと
いう問題があった。そのため、基板の吸着ミス等のトラ
ブルが発生しにくい基板積載装置が望まれている。
重ねる場合、基板の種類によっては、吸着ミスを起こし
て基板が途中で落下する等のトラブルが発生しやすいと
いう問題があった。そのため、基板の吸着ミス等のトラ
ブルが発生しにくい基板積載装置が望まれている。
【0005】また、複数の基板を重ねて端面を研磨する
場合、複数重ねた基板のうち一部の基板が側方に突出し
ていると、その突出した基板が多く研磨され、他の基板
の研磨が十分に行われなくなる場合があるという問題
や、突出した基板は大きさが他の基板と比べて小さくな
るという問題があり、また、複数重ねた基板のうち一部
の基板が側方に凹んでいると、その基板は端面研磨され
ない場合があるという問題があり、基板揃え性が優れる
ことも基板積載装置に要求されている。
場合、複数重ねた基板のうち一部の基板が側方に突出し
ていると、その突出した基板が多く研磨され、他の基板
の研磨が十分に行われなくなる場合があるという問題
や、突出した基板は大きさが他の基板と比べて小さくな
るという問題があり、また、複数重ねた基板のうち一部
の基板が側方に凹んでいると、その基板は端面研磨され
ない場合があるという問題があり、基板揃え性が優れる
ことも基板積載装置に要求されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
を改善するために成されたもので、その目的とするとこ
ろは、基板を1枚毎吸着して所定の位置に搬送し、積載
する基板積載装置であって、基板の吸着ミス等のトラブ
ルが発生しにくい基板積載装置を提供することにある。
また、基板を1枚毎吸着して所定の位置に搬送し、積載
する基板積載装置であって、基板揃え性が優れた積載が
可能な基板積載装置を提供することにある。
を改善するために成されたもので、その目的とするとこ
ろは、基板を1枚毎吸着して所定の位置に搬送し、積載
する基板積載装置であって、基板の吸着ミス等のトラブ
ルが発生しにくい基板積載装置を提供することにある。
また、基板を1枚毎吸着して所定の位置に搬送し、積載
する基板積載装置であって、基板揃え性が優れた積載が
可能な基板積載装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
基板積載装置は、搬送しようとする基板を準備する基板
準備手段と、その基板準備手段に準備された基板の特徴
値を保存する特徴保存手段と、その特徴保存手段に保存
された基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じて吸
着条件及び/又は搬送条件を調整しながら、基板準備手
段に準備された基板を1枚毎吸着して、所定の位置に搬
送する基板搬送手段と、積載部及び上方向に突出して設
けられた端面揃え部を有し、基板搬送手段により搬送さ
れた基板を積載部の上側に積載した後、積載部及び端面
揃え部を傾斜させることにより、積載した基板を端面揃
え部側に移動させて、基板の端面を端面揃え部に当接さ
せ、次いで積載部を略水平に戻す動作を行うよう形成さ
れた基板積載手段と、を備えることを特徴とする。その
ため、基板を吸着するときの吸着ミスや、搬送途中で吸
着不足となって基板が落下する等のトラブルが発生しに
くくなっている。
基板積載装置は、搬送しようとする基板を準備する基板
準備手段と、その基板準備手段に準備された基板の特徴
値を保存する特徴保存手段と、その特徴保存手段に保存
された基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じて吸
着条件及び/又は搬送条件を調整しながら、基板準備手
段に準備された基板を1枚毎吸着して、所定の位置に搬
送する基板搬送手段と、積載部及び上方向に突出して設
けられた端面揃え部を有し、基板搬送手段により搬送さ
れた基板を積載部の上側に積載した後、積載部及び端面
揃え部を傾斜させることにより、積載した基板を端面揃
え部側に移動させて、基板の端面を端面揃え部に当接さ
せ、次いで積載部を略水平に戻す動作を行うよう形成さ
れた基板積載手段と、を備えることを特徴とする。その
ため、基板を吸着するときの吸着ミスや、搬送途中で吸
着不足となって基板が落下する等のトラブルが発生しに
くくなっている。
【0008】本発明の請求項2に係る基板積載装置は、
請求項1記載の基板積載装置において、特徴保存手段に
保存された基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じ
て吹き出す条件を調整しながら、基板準備手段に積載さ
れた基板の端部に側方から空気を吹き出す準備側給気手
段をも備えることを特徴とする。
請求項1記載の基板積載装置において、特徴保存手段に
保存された基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じ
て吹き出す条件を調整しながら、基板準備手段に積載さ
れた基板の端部に側方から空気を吹き出す準備側給気手
段をも備えることを特徴とする。
【0009】本発明の請求項3に係る基板積載装置は、
請求項1又は請求項2記載の基板積載装置において、基
板搬送手段が基板準備手段に準備された基板を吸着する
際に、特徴保存手段に保存された基板の特徴値を入力し
て、その特徴値に応じて条件を調整しながら、基板準備
手段が上下動するよう形成されていることを特徴とす
る。
請求項1又は請求項2記載の基板積載装置において、基
板搬送手段が基板準備手段に準備された基板を吸着する
際に、特徴保存手段に保存された基板の特徴値を入力し
て、その特徴値に応じて条件を調整しながら、基板準備
手段が上下動するよう形成されていることを特徴とす
る。
【0010】本発明の請求項4に係る基板積載装置は、
搬送しようとする基板を準備する基板準備手段と、その
基板準備手段に準備された基板の特徴値を保存する特徴
保存手段と、基板準備手段に準備された基板を1枚毎吸
着して、所定の位置に搬送する基板搬送手段と、積載部
及び上方向に突出して設けられた端面揃え部を有し、基
板搬送手段により搬送された基板を積載部の上側に積載
すると共に、特徴保存手段に保存された基板の特徴値を
入力した後、その特徴値に応じて傾斜条件を調整しなが
ら、積載部及び端面揃え部を傾斜させることにより、積
載した基板を端面揃え部側に移動させて、基板の端面を
端面揃え部に当接させ、次いで積載部を略水平に戻す動
作を行うよう形成された基板積載手段と、を備えること
を特徴とする。そのため、基板揃え性が優れた積載が可
能となっている。
搬送しようとする基板を準備する基板準備手段と、その
基板準備手段に準備された基板の特徴値を保存する特徴
保存手段と、基板準備手段に準備された基板を1枚毎吸
着して、所定の位置に搬送する基板搬送手段と、積載部
及び上方向に突出して設けられた端面揃え部を有し、基
板搬送手段により搬送された基板を積載部の上側に積載
すると共に、特徴保存手段に保存された基板の特徴値を
入力した後、その特徴値に応じて傾斜条件を調整しなが
ら、積載部及び端面揃え部を傾斜させることにより、積
載した基板を端面揃え部側に移動させて、基板の端面を
端面揃え部に当接させ、次いで積載部を略水平に戻す動
作を行うよう形成された基板積載手段と、を備えること
を特徴とする。そのため、基板揃え性が優れた積載が可
能となっている。
【0011】本発明の請求項5に係る基板積載装置は、
請求項4記載の基板積載装置において、特徴保存手段に
保存された基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じ
て吹き出す条件を調整しながら、基板積載手段に積載さ
れた基板の端部に側方から空気を吹き出す積載側給気手
段をも備えることを特徴とする。
請求項4記載の基板積載装置において、特徴保存手段に
保存された基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じ
て吹き出す条件を調整しながら、基板積載手段に積載さ
れた基板の端部に側方から空気を吹き出す積載側給気手
段をも備えることを特徴とする。
【0012】本発明の請求項6に係る基板積載装置は、
請求項4又は請求項5記載の基板積載装置において、基
板積載手段の積載部が、入力した特徴値に応じて条件を
調整しながら、振動するよう形成されていることを特徴
とする。
請求項4又は請求項5記載の基板積載装置において、基
板積載手段の積載部が、入力した特徴値に応じて条件を
調整しながら、振動するよう形成されていることを特徴
とする。
【0013】本発明の請求項7に係る基板積載装置は、
請求項1から請求項6のいずれかに記載の基板積載装置
において、基板搬送手段で基板を吸着して搬送する方法
が、それぞれに開口部を形成した減圧可能な減圧箱を、
基板を搬送する方向に複数並べて形成した連合減圧部
と、その連合減圧部の開口部を形成した面に接して、基
板を搬送する方向に移動する穴あき搬送部とを基板搬送
手段に備え、減圧箱のうち、穴あき搬送部を挟んで基板
と対向する位置の減圧箱を順に減圧にすることにより、
基板を吸着しながら搬送する方法であることを特徴とす
る。
請求項1から請求項6のいずれかに記載の基板積載装置
において、基板搬送手段で基板を吸着して搬送する方法
が、それぞれに開口部を形成した減圧可能な減圧箱を、
基板を搬送する方向に複数並べて形成した連合減圧部
と、その連合減圧部の開口部を形成した面に接して、基
板を搬送する方向に移動する穴あき搬送部とを基板搬送
手段に備え、減圧箱のうち、穴あき搬送部を挟んで基板
と対向する位置の減圧箱を順に減圧にすることにより、
基板を吸着しながら搬送する方法であることを特徴とす
る。
【0014】本発明の請求項8に係る基板積載装置は、
請求項1から請求項7のいずれかに記載の基板積載装置
において、特徴保存手段に保存された基板の特徴値が、
基板の大きさ、基板の厚み、基板表面の金属箔の厚みか
らなる群の中から選ばれた少なくとも1種の特徴値であ
ることを特徴とする。
請求項1から請求項7のいずれかに記載の基板積載装置
において、特徴保存手段に保存された基板の特徴値が、
基板の大きさ、基板の厚み、基板表面の金属箔の厚みか
らなる群の中から選ばれた少なくとも1種の特徴値であ
ることを特徴とする。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明に係る基板積載装置を図面
に基づいて説明する。図1は本発明に係る基板積載装置
の一実施の形態を説明する正面図であり、図2は本発明
に係る基板積載装置の一実施の形態を説明する平面図で
あり、図3は本発明に係る基板積載装置の一実施の形態
を説明する側面図であり、図4は本発明に係る基板積載
装置の一実施の形態の、動作を説明する工程図である。
また、図5は本発明に係る基板積載装置の、他の実施の
形態を説明する正面図であり、図6は本発明に係る基板
積載装置の、他の実施の形態を説明する側面図である。
に基づいて説明する。図1は本発明に係る基板積載装置
の一実施の形態を説明する正面図であり、図2は本発明
に係る基板積載装置の一実施の形態を説明する平面図で
あり、図3は本発明に係る基板積載装置の一実施の形態
を説明する側面図であり、図4は本発明に係る基板積載
装置の一実施の形態の、動作を説明する工程図である。
また、図5は本発明に係る基板積載装置の、他の実施の
形態を説明する正面図であり、図6は本発明に係る基板
積載装置の、他の実施の形態を説明する側面図である。
【0016】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態
は、図1,図2及び図3に示すように、搬送しようとす
る基板1を複数重ねて準備する基板準備手段10と、そ
の基板準備手段10に準備された基板1の特徴値を保存
する特徴保存手段30と、基板準備手段10に積載され
た基板1を1枚毎吸着して、その吸着した基板1を、積
載しようとする所定の位置の上部に搬送する基板搬送手
段20と、搬送された基板1を積載する基板積載手段4
0と、を備える基板積載装置である。
は、図1,図2及び図3に示すように、搬送しようとす
る基板1を複数重ねて準備する基板準備手段10と、そ
の基板準備手段10に準備された基板1の特徴値を保存
する特徴保存手段30と、基板準備手段10に積載され
た基板1を1枚毎吸着して、その吸着した基板1を、積
載しようとする所定の位置の上部に搬送する基板搬送手
段20と、搬送された基板1を積載する基板積載手段4
0と、を備える基板積載装置である。
【0017】なお、本発明で積載する基板1としては、
吸着して搬送可能なシート状のものであれば特に限定す
るものではなく、例えば、銅張り積層板や、樹脂板や、
セラミック板や、金属板等が挙げられる。
吸着して搬送可能なシート状のものであれば特に限定す
るものではなく、例えば、銅張り積層板や、樹脂板や、
セラミック板や、金属板等が挙げられる。
【0018】基板準備手段10は、上面を上下に動かす
ことができるように形成されており、上部に重ねられた
搬送しようとする基板1を上下動させて、基板準備手段
10に準備された基板1のうち一番上側の基板1の高さ
を一定に保つようになっている。そして、この基板準備
手段10に準備された基板1の特徴値が、特徴保存手段
30に保存されている。なおこの基板1の特徴値として
は、基板1の大きさ、基板1の厚み、基板1表面の金属
箔の厚み等が挙げられる。
ことができるように形成されており、上部に重ねられた
搬送しようとする基板1を上下動させて、基板準備手段
10に準備された基板1のうち一番上側の基板1の高さ
を一定に保つようになっている。そして、この基板準備
手段10に準備された基板1の特徴値が、特徴保存手段
30に保存されている。なおこの基板1の特徴値として
は、基板1の大きさ、基板1の厚み、基板1表面の金属
箔の厚み等が挙げられる。
【0019】基板搬送手段20は、基板準備手段10に
準備された基板1を1枚毎吸着して、上下方向に移動す
る吸着部22と、その吸着部22を水平方向に移動させ
て、吸着部22に吸着されている基板1を、基板積載手
段40の上部に搬送する搬送部28とを有しており、吸
着部22が下降して基板準備手段10に準備された基板
1のうち一番上側の基板1を吸着した後、吸着部22が
上昇して、吸着した基板1を基板準備手段10から分離
し、次いで、搬送部28が水平方向に移動して、吸着部
22に吸着されている基板1を、基板積載手段40の上
部に搬送した後、吸着部22が下降して基板積載手段4
0に基板1を積載し、次いで吸着部22の吸着を解除し
た後、吸着部22が上昇し、次いで、搬送部28が水平
方向に移動して、基板準備手段10の上部に戻るサイク
ルを繰り返し行うことによって、基板1を1枚毎吸着し
て搬送するようになっている。
準備された基板1を1枚毎吸着して、上下方向に移動す
る吸着部22と、その吸着部22を水平方向に移動させ
て、吸着部22に吸着されている基板1を、基板積載手
段40の上部に搬送する搬送部28とを有しており、吸
着部22が下降して基板準備手段10に準備された基板
1のうち一番上側の基板1を吸着した後、吸着部22が
上昇して、吸着した基板1を基板準備手段10から分離
し、次いで、搬送部28が水平方向に移動して、吸着部
22に吸着されている基板1を、基板積載手段40の上
部に搬送した後、吸着部22が下降して基板積載手段4
0に基板1を積載し、次いで吸着部22の吸着を解除し
た後、吸着部22が上昇し、次いで、搬送部28が水平
方向に移動して、基板準備手段10の上部に戻るサイク
ルを繰り返し行うことによって、基板1を1枚毎吸着し
て搬送するようになっている。
【0020】なお、吸着部22がやや上昇して、吸着し
た基板1を基板準備手段10から分離した後、その位置
で多少の時間待機するように設定しておくと、基板準備
手段10に積載された基板1が静電気等でくっついてい
て2枚以上の基板1が吸着して持ち上げられた場合であ
っても、静電気等でくっついている基板1は自重で落下
するため、基板1を1枚毎に分離する分離性が優れ好ま
しい。
た基板1を基板準備手段10から分離した後、その位置
で多少の時間待機するように設定しておくと、基板準備
手段10に積載された基板1が静電気等でくっついてい
て2枚以上の基板1が吸着して持ち上げられた場合であ
っても、静電気等でくっついている基板1は自重で落下
するため、基板1を1枚毎に分離する分離性が優れ好ま
しい。
【0021】また、基板搬送手段20が基板準備手段1
0に積載された基板1を吸着する際に、特徴保存手段3
0に保存された基板1の厚みや、基板1表面の金属箔の
厚み等の特徴値を入力して、その特徴値に応じて条件を
調整しながら、基板準備手段10が上下動するよう形成
されていると、基板1が静電気等でくっついている場合
であっても、基板1を1枚毎に分離する分離性が特に優
れ好ましい。この調整する方法としては、例えば、基板
1の厚みや基板1表面の金属箔の厚みに応じて、基板準
備手段10が下降する速度や、下降するタイミングを調
整することにより、静電気等でくっついている基板1を
その下側に積載している基板1を介して下側に引っ張っ
て落下させて分離する。
0に積載された基板1を吸着する際に、特徴保存手段3
0に保存された基板1の厚みや、基板1表面の金属箔の
厚み等の特徴値を入力して、その特徴値に応じて条件を
調整しながら、基板準備手段10が上下動するよう形成
されていると、基板1が静電気等でくっついている場合
であっても、基板1を1枚毎に分離する分離性が特に優
れ好ましい。この調整する方法としては、例えば、基板
1の厚みや基板1表面の金属箔の厚みに応じて、基板準
備手段10が下降する速度や、下降するタイミングを調
整することにより、静電気等でくっついている基板1を
その下側に積載している基板1を介して下側に引っ張っ
て落下させて分離する。
【0022】更に、特徴保存手段30に保存された基板
1の厚みや、基板1表面の金属箔の厚み等の特徴値を入
力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整しなが
ら、基板準備手段10に積載された基板1の端部に側方
から空気を吹き出す準備側給気手段50をも設けている
と、基板1が静電気等でくっついている場合であって
も、基板1を1枚毎に分離する分離性が特に優れ好まし
い。この調整する方法としては、例えば、基板1の厚み
や基板1表面の金属箔の厚みが厚いときに、吹き出す空
気圧を高くしたり、基板1の厚みに応じて吹き出す位置
を調整することにより、静電気等でくっついている基板
1の間に空気を導入して分離する。
1の厚みや、基板1表面の金属箔の厚み等の特徴値を入
力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整しなが
ら、基板準備手段10に積載された基板1の端部に側方
から空気を吹き出す準備側給気手段50をも設けている
と、基板1が静電気等でくっついている場合であって
も、基板1を1枚毎に分離する分離性が特に優れ好まし
い。この調整する方法としては、例えば、基板1の厚み
や基板1表面の金属箔の厚みが厚いときに、吹き出す空
気圧を高くしたり、基板1の厚みに応じて吹き出す位置
を調整することにより、静電気等でくっついている基板
1の間に空気を導入して分離する。
【0023】なお、吸着部22には、減圧機23との接
続を開閉可能な減圧開閉弁24と、外気を導入可能な外
気導入弁25とが、それぞれ接続されており、減圧開閉
弁24を開にして吸着部22を減圧機23と接続した場
合には、外気導入弁25の外気導入を停止して吸着部2
2を減圧化して基板1を吸着し、減圧開閉弁24を閉に
して吸着部22と減圧機23の接続を閉じた場合には、
外気導入弁25から外気を導入して吸着を解除するよう
になっている。なお、減圧機23としては、リングブロ
アー等が挙げられる。
続を開閉可能な減圧開閉弁24と、外気を導入可能な外
気導入弁25とが、それぞれ接続されており、減圧開閉
弁24を開にして吸着部22を減圧機23と接続した場
合には、外気導入弁25の外気導入を停止して吸着部2
2を減圧化して基板1を吸着し、減圧開閉弁24を閉に
して吸着部22と減圧機23の接続を閉じた場合には、
外気導入弁25から外気を導入して吸着を解除するよう
になっている。なお、減圧機23としては、リングブロ
アー等が挙げられる。
【0024】また、搬送部28に固定されたシリンダー
26が、吸着部22と接続して設けられている。そし
て、シリンダー26を伸縮すると、垂直ガイドレール2
7にガイドされながら吸着部22が、上下方向に移動す
るようになっている。また、搬送部28に固定されたモ
ーター(図示せず)が設けられており、モーターが回転
すると、水平ガイドレール29にガイドされながら、搬
送部28が水平方向に移動するようになっている。
26が、吸着部22と接続して設けられている。そし
て、シリンダー26を伸縮すると、垂直ガイドレール2
7にガイドされながら吸着部22が、上下方向に移動す
るようになっている。また、搬送部28に固定されたモ
ーター(図示せず)が設けられており、モーターが回転
すると、水平ガイドレール29にガイドされながら、搬
送部28が水平方向に移動するようになっている。
【0025】なお、基板搬送手段20は、特徴保存手段
30に保存された基板1の特徴値のうち、搬送しようと
する基板1の大きさ、基板1の厚み、基板1表面の金属
箔の厚み等の特徴値を入力して、その特徴値に応じて吸
着条件や搬送条件を調整しながら、基板準備手段10に
積載された基板1を1枚毎吸着して、その吸着した基板
1を搬送するようになっている。そのため、基板1を吸
着するときの吸着ミスや、搬送途中で吸着不足となって
基板1が落下する等のトラブルが発生しにくくなってい
る。
30に保存された基板1の特徴値のうち、搬送しようと
する基板1の大きさ、基板1の厚み、基板1表面の金属
箔の厚み等の特徴値を入力して、その特徴値に応じて吸
着条件や搬送条件を調整しながら、基板準備手段10に
積載された基板1を1枚毎吸着して、その吸着した基板
1を搬送するようになっている。そのため、基板1を吸
着するときの吸着ミスや、搬送途中で吸着不足となって
基板1が落下する等のトラブルが発生しにくくなってい
る。
【0026】この調整する方法としては、例えば、基板
1の大きさに応じて基板1を吸着する位置や数を調整す
ることにより、基板1面内の吸着力のバランス取り、基
板1の一部が吸着不足となって生じる、基板1を吸着す
るときの吸着ミスや、搬送途中で基板1が落下する等の
トラブルを防止したり、基板1の厚みや基板1表面の金
属箔の厚みが厚いときに、減圧機23の数を増やすこと
により、基板1を適度な吸引力で吸着して、搬送途中で
基板1が落下する等のトラブルを防止したり、基板1の
厚みが薄いときに、減圧機23の数を減らすことによ
り、過度に吸着して基板1を曲げて変形させるトラブル
を防止したり、基板1の厚みや基板1表面の金属箔の厚
みが厚いときに、搬送速度を遅くすることにより、搬送
途中で基板1が落下する等のトラブルを防止する。
1の大きさに応じて基板1を吸着する位置や数を調整す
ることにより、基板1面内の吸着力のバランス取り、基
板1の一部が吸着不足となって生じる、基板1を吸着す
るときの吸着ミスや、搬送途中で基板1が落下する等の
トラブルを防止したり、基板1の厚みや基板1表面の金
属箔の厚みが厚いときに、減圧機23の数を増やすこと
により、基板1を適度な吸引力で吸着して、搬送途中で
基板1が落下する等のトラブルを防止したり、基板1の
厚みが薄いときに、減圧機23の数を減らすことによ
り、過度に吸着して基板1を曲げて変形させるトラブル
を防止したり、基板1の厚みや基板1表面の金属箔の厚
みが厚いときに、搬送速度を遅くすることにより、搬送
途中で基板1が落下する等のトラブルを防止する。
【0027】また、基板積載手段40は、基板1を積載
する積載部42と、上方向に突出して設けられた端面揃
え部44とを有しており、図4(a)に示すように、基
板搬送手段20により搬送された基板1を、図4(b)
に示すように、端面揃え部44からやや離れた位置の、
積載部42の上側に積載した後、図4(c)に示すよう
に、積載部42と接続したシリンダー46を縮めて、積
載部42及び端面揃え部44を傾斜させることにより、
積載した基板1を端面揃え部44側に移動させて、基板
1の端面を端面揃え部44に当接させ、次いで図4
(d)に示すように、シリンダー46を伸ばして、積載
部42の上面を略水平状態に戻すことにより、基板積載
手段40の上側に積載した複数の基板1の端面を、端面
揃え部44と当接した位置に揃えるようになっている。
する積載部42と、上方向に突出して設けられた端面揃
え部44とを有しており、図4(a)に示すように、基
板搬送手段20により搬送された基板1を、図4(b)
に示すように、端面揃え部44からやや離れた位置の、
積載部42の上側に積載した後、図4(c)に示すよう
に、積載部42と接続したシリンダー46を縮めて、積
載部42及び端面揃え部44を傾斜させることにより、
積載した基板1を端面揃え部44側に移動させて、基板
1の端面を端面揃え部44に当接させ、次いで図4
(d)に示すように、シリンダー46を伸ばして、積載
部42の上面を略水平状態に戻すことにより、基板積載
手段40の上側に積載した複数の基板1の端面を、端面
揃え部44と当接した位置に揃えるようになっている。
【0028】なお、基板積載手段40は、特徴保存手段
30に保存された基板1の特徴値のうち、積載しようと
する基板1の大きさ、基板1の厚み、基板1表面の金属
箔の厚み等の特徴値を入力した後、その特徴値に応じて
傾斜条件を調整しながら、積載部42及び端面揃え部4
4を傾斜させることにより、基板搬送手段20により搬
送されて積載した基板1を端面揃え部44側に移動させ
て、基板1の端面を端面揃え部44に当接させ、次いで
積載部42を略水平に動かす動作を行うようになってい
る。そのため、基板揃え性が優れた積載が可能となって
いる。
30に保存された基板1の特徴値のうち、積載しようと
する基板1の大きさ、基板1の厚み、基板1表面の金属
箔の厚み等の特徴値を入力した後、その特徴値に応じて
傾斜条件を調整しながら、積載部42及び端面揃え部4
4を傾斜させることにより、基板搬送手段20により搬
送されて積載した基板1を端面揃え部44側に移動させ
て、基板1の端面を端面揃え部44に当接させ、次いで
積載部42を略水平に動かす動作を行うようになってい
る。そのため、基板揃え性が優れた積載が可能となって
いる。
【0029】この調整する方法としては、例えば、基板
1の大きさが大きいときに、傾斜している時間を伸ばし
たり、基板1の厚みや基板1表面の金属箔の厚みが薄い
ときに、傾斜角を大きくすることにより、基板1を端面
揃え部44側に確実に移動させて、基板1の端面を端面
揃え部44に当接させるようにする。
1の大きさが大きいときに、傾斜している時間を伸ばし
たり、基板1の厚みや基板1表面の金属箔の厚みが薄い
ときに、傾斜角を大きくすることにより、基板1を端面
揃え部44側に確実に移動させて、基板1の端面を端面
揃え部44に当接させるようにする。
【0030】なお、特徴保存手段30に保存された基板
1の特徴値のうち、積載しようとする基板1の大きさ、
基板1の厚み、基板1表面の金属箔の厚み等の特徴値を
入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整しな
がら、基板積載手段40に積載された基板1の端部に側
方から空気を吹き出すように形成された、積載側給気手
段60をも設けていると、積載部42及び端面揃え部4
4を傾斜させたときに基板1が端面揃え部44側に移動
しやすくなって、基板1の端面を端面揃え部44に確実
に当接させることができるため、基板揃え性が特に優れ
た積載が可能となり好ましい。
1の特徴値のうち、積載しようとする基板1の大きさ、
基板1の厚み、基板1表面の金属箔の厚み等の特徴値を
入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整しな
がら、基板積載手段40に積載された基板1の端部に側
方から空気を吹き出すように形成された、積載側給気手
段60をも設けていると、積載部42及び端面揃え部4
4を傾斜させたときに基板1が端面揃え部44側に移動
しやすくなって、基板1の端面を端面揃え部44に確実
に当接させることができるため、基板揃え性が特に優れ
た積載が可能となり好ましい。
【0031】この調整する方法としては、例えば、基板
1の厚みや基板1表面の金属箔の厚みが厚いときに、吹
き出す空気圧を高くしたり、基板1の厚みに応じて吹き
出す位置を調整することにより、既に積載されている基
板1と新たに積載した基板1の間に空気を導入して、新
たに積載した基板1を端面揃え部44側に移動しやすく
し、端面揃え部44側に移動させる。
1の厚みや基板1表面の金属箔の厚みが厚いときに、吹
き出す空気圧を高くしたり、基板1の厚みに応じて吹き
出す位置を調整することにより、既に積載されている基
板1と新たに積載した基板1の間に空気を導入して、新
たに積載した基板1を端面揃え部44側に移動しやすく
し、端面揃え部44側に移動させる。
【0032】なお、特徴保存手段30に保存された基板
1の特徴値のうち、積載しようとする基板1の大きさ、
基板1の厚み、基板1表面の金属箔の厚み等の特徴値を
入力して、その特徴値に応じて基板積載手段40の積載
部42を略水平方向に振動させる偏心モーター65をも
設けていると、基板揃え性が特に優れた積載が可能とな
り好ましい。この調整する方法としては、例えば、基板
1の厚みや基板1表面の金属箔の厚みが厚いときに振幅
を大きくすることにより、基板1を端面揃え部44側に
移動させて、基板1の端面を端面揃え部44に当接させ
るようにする。
1の特徴値のうち、積載しようとする基板1の大きさ、
基板1の厚み、基板1表面の金属箔の厚み等の特徴値を
入力して、その特徴値に応じて基板積載手段40の積載
部42を略水平方向に振動させる偏心モーター65をも
設けていると、基板揃え性が特に優れた積載が可能とな
り好ましい。この調整する方法としては、例えば、基板
1の厚みや基板1表面の金属箔の厚みが厚いときに振幅
を大きくすることにより、基板1を端面揃え部44側に
移動させて、基板1の端面を端面揃え部44に当接させ
るようにする。
【0033】なお、上記の実施の形態は、基板搬送手段
20に、基板1を吸着して上下方向に移動する吸着部2
2と、その吸着部22を水平方向に移動させる搬送部2
8とを有する実施の形態を説明したが、このようなもの
に限定するものではなく、例えば、図5及び図6に示す
ような方法で、基板を吸着して搬送しても良い。この方
法は、それぞれに開口部81を形成すると共に、減圧開
閉弁86を介して減圧機84と接続した減圧可能な減圧
箱82,82・・を、それぞれの開口部81が同じ面に
なるように基板1を搬送する方向に複数並べて連合減圧
部80を形成する。そしてこの連合減圧部80の、上記
開口部81を形成した面に接して、貫通穴92を複数形
成した穴あき搬送部90を、基板1を搬送する方向に移
動するように形成する。そして、減圧箱82のうち、穴
あき搬送部90を挟んで基板1と対向する位置の減圧箱
82を順に減圧にすることにより、基板準備手段10に
積載された基板1を1枚毎吸着して基板積載手段40の
上部に搬送する。この場合、穴あき搬送部90に複数の
基板1を同時に吸着して搬送することが可能となるた
め、効率が優れた搬送が可能となり好ましい。
20に、基板1を吸着して上下方向に移動する吸着部2
2と、その吸着部22を水平方向に移動させる搬送部2
8とを有する実施の形態を説明したが、このようなもの
に限定するものではなく、例えば、図5及び図6に示す
ような方法で、基板を吸着して搬送しても良い。この方
法は、それぞれに開口部81を形成すると共に、減圧開
閉弁86を介して減圧機84と接続した減圧可能な減圧
箱82,82・・を、それぞれの開口部81が同じ面に
なるように基板1を搬送する方向に複数並べて連合減圧
部80を形成する。そしてこの連合減圧部80の、上記
開口部81を形成した面に接して、貫通穴92を複数形
成した穴あき搬送部90を、基板1を搬送する方向に移
動するように形成する。そして、減圧箱82のうち、穴
あき搬送部90を挟んで基板1と対向する位置の減圧箱
82を順に減圧にすることにより、基板準備手段10に
積載された基板1を1枚毎吸着して基板積載手段40の
上部に搬送する。この場合、穴あき搬送部90に複数の
基板1を同時に吸着して搬送することが可能となるた
め、効率が優れた搬送が可能となり好ましい。
【0034】なお、この実施の形態の基板搬送手段20
も、特徴保存手段30に保存された基板1の特徴値のう
ち、搬送しようとする基板1の大きさ、基板1の厚み、
基板1表面の金属箔の厚み等の特徴値を入力して、その
特徴値に応じて吸着条件や搬送条件を調整しながら、基
板準備手段10に積載された基板1を1枚毎吸着して、
その吸着した基板1を搬送するようになっている。その
ため、基板1を吸着するときの吸着ミスや、搬送途中で
吸着不足となって基板1が落下する等のトラブルが発生
しにくくなっている。
も、特徴保存手段30に保存された基板1の特徴値のう
ち、搬送しようとする基板1の大きさ、基板1の厚み、
基板1表面の金属箔の厚み等の特徴値を入力して、その
特徴値に応じて吸着条件や搬送条件を調整しながら、基
板準備手段10に積載された基板1を1枚毎吸着して、
その吸着した基板1を搬送するようになっている。その
ため、基板1を吸着するときの吸着ミスや、搬送途中で
吸着不足となって基板1が落下する等のトラブルが発生
しにくくなっている。
【0035】この調整する方法としては、例えば、基板
1の大きさに応じて減圧状態とする減圧箱82の数を調
整することにより、基板1の一部が吸着不足となって生
じる、基板1を吸着するときの吸着ミスや、搬送途中で
基板1が落下する等のトラブルを防止したり、基板1の
厚みや基板1表面の金属箔の厚みが厚いときに、減圧機
84の数を増やすことにより、基板1を適度な吸引力で
吸着して、搬送途中で基板1が落下する等のトラブルを
防止したり、基板1の厚みが薄いときに、減圧機84の
数を減らすことにより、過度に吸着して基板1を曲げて
変形させるトラブルを防止したり、基板1の厚みや基板
1表面の金属箔の厚みが厚いときに、搬送速度を遅くす
ることにより、搬送途中で基板1が落下する等のトラブ
ルを防止する。
1の大きさに応じて減圧状態とする減圧箱82の数を調
整することにより、基板1の一部が吸着不足となって生
じる、基板1を吸着するときの吸着ミスや、搬送途中で
基板1が落下する等のトラブルを防止したり、基板1の
厚みや基板1表面の金属箔の厚みが厚いときに、減圧機
84の数を増やすことにより、基板1を適度な吸引力で
吸着して、搬送途中で基板1が落下する等のトラブルを
防止したり、基板1の厚みが薄いときに、減圧機84の
数を減らすことにより、過度に吸着して基板1を曲げて
変形させるトラブルを防止したり、基板1の厚みや基板
1表面の金属箔の厚みが厚いときに、搬送速度を遅くす
ることにより、搬送途中で基板1が落下する等のトラブ
ルを防止する。
【0036】また、この実施の形態の基板準備手段10
も、その上部に積載した基板1を上下に動かすことがで
きるように形成されており、上昇して、穴あき搬送部9
0に基板1を接触させて、穴あき搬送部90に基板1を
吸着させた後、下降して、吸着した基板1と、その下の
基板1を分離するようになっている。なお、穴あき搬送
部90と基板1の間に少しの隙間が生じる程度まで基板
準備手段10が上昇した状態で、基板準備手段10に積
載された基板1の端部に側方から空気を吹き出す準備側
給気手段50から空気を吹き出して基板1を浮き上がら
せ、穴あき搬送部90に基板1を吸着させるようにして
も良い。この場合、基板1の表裏面に、動いている穴あ
き搬送部90と、基板準備手段10が、同時に接触する
ことがなくなるため、基板1の表面に傷が付きにくくな
り好ましい。
も、その上部に積載した基板1を上下に動かすことがで
きるように形成されており、上昇して、穴あき搬送部9
0に基板1を接触させて、穴あき搬送部90に基板1を
吸着させた後、下降して、吸着した基板1と、その下の
基板1を分離するようになっている。なお、穴あき搬送
部90と基板1の間に少しの隙間が生じる程度まで基板
準備手段10が上昇した状態で、基板準備手段10に積
載された基板1の端部に側方から空気を吹き出す準備側
給気手段50から空気を吹き出して基板1を浮き上がら
せ、穴あき搬送部90に基板1を吸着させるようにして
も良い。この場合、基板1の表裏面に、動いている穴あ
き搬送部90と、基板準備手段10が、同時に接触する
ことがなくなるため、基板1の表面に傷が付きにくくな
り好ましい。
【0037】なお基板準備手段10が、特徴保存手段3
0に保存された基板1の厚みや、基板1表面の金属箔の
厚み等の特徴値を入力して、その特徴値に応じて条件を
調整しながら、上下動するよう形成されていると、基板
1が静電気等でくっついている場合であっても、基板1
を1枚毎に分離する分離性が特に優れ好ましい。また、
準備側給気手段50も、特徴保存手段30に保存された
基板1の厚みや、基板1表面の金属箔の厚み等の特徴値
を入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整し
ながら空気を吹き出すようになっていると、基板1の厚
みや基板1表面の金属箔の厚みが厚いときに、吹き出す
空気圧を高くしたり、基板1の厚みに応じて吹き出す位
置を調整することにより、基板1を確実に浮き上がらせ
ることが可能となるため、穴あき搬送部90で生じる基
板1の吸着ミスが減り好ましい。
0に保存された基板1の厚みや、基板1表面の金属箔の
厚み等の特徴値を入力して、その特徴値に応じて条件を
調整しながら、上下動するよう形成されていると、基板
1が静電気等でくっついている場合であっても、基板1
を1枚毎に分離する分離性が特に優れ好ましい。また、
準備側給気手段50も、特徴保存手段30に保存された
基板1の厚みや、基板1表面の金属箔の厚み等の特徴値
を入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整し
ながら空気を吹き出すようになっていると、基板1の厚
みや基板1表面の金属箔の厚みが厚いときに、吹き出す
空気圧を高くしたり、基板1の厚みに応じて吹き出す位
置を調整することにより、基板1を確実に浮き上がらせ
ることが可能となるため、穴あき搬送部90で生じる基
板1の吸着ミスが減り好ましい。
【0038】
【発明の効果】本発明の請求項1から請求項3に係る基
板積載装置は、基板準備手段に準備された基板の特徴値
を入力して、その特徴値に応じて吸着条件及び/又は搬
送条件を調整しながら基板を吸着して搬送するため、基
板の吸着ミス等のトラブルが発生しにくい基板積載装置
となる。
板積載装置は、基板準備手段に準備された基板の特徴値
を入力して、その特徴値に応じて吸着条件及び/又は搬
送条件を調整しながら基板を吸着して搬送するため、基
板の吸着ミス等のトラブルが発生しにくい基板積載装置
となる。
【0039】本発明の請求項2に係る基板積載装置は、
基板準備手段に準備された基板の特徴値を入力して、そ
の特徴値に応じて吹き出す条件を調整しながら、基板準
備手段に積載された基板の端部に側方から空気を吹き出
すため、上記の効果に加え、基板準備手段に準備された
基板が静電気等でくっついている場合であっても、基板
を1枚毎に分離する分離性が優れた基板積載装置とな
る。
基板準備手段に準備された基板の特徴値を入力して、そ
の特徴値に応じて吹き出す条件を調整しながら、基板準
備手段に積載された基板の端部に側方から空気を吹き出
すため、上記の効果に加え、基板準備手段に準備された
基板が静電気等でくっついている場合であっても、基板
を1枚毎に分離する分離性が優れた基板積載装置とな
る。
【0040】本発明の請求項3に係る基板積載装置は、
基板準備手段に準備された基板の特徴値を入力して、そ
の特徴値に応じて条件を調整しながら、基板準備手段が
上下動するため、基板準備手段に準備された基板が静電
気等でくっついている場合であっても、基板を1枚毎に
分離する分離性が優れ基板積載装置となる。
基板準備手段に準備された基板の特徴値を入力して、そ
の特徴値に応じて条件を調整しながら、基板準備手段が
上下動するため、基板準備手段に準備された基板が静電
気等でくっついている場合であっても、基板を1枚毎に
分離する分離性が優れ基板積載装置となる。
【0041】本発明の請求項4から請求項6に係る基板
積載装置は、基板準備手段に準備されていた積載しよう
とする基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じて傾
斜条件を調整しながら、積載部及び端面揃え部を傾斜さ
せるするため、基板揃え性が優れた積載が可能な基板積
載装置となる。
積載装置は、基板準備手段に準備されていた積載しよう
とする基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じて傾
斜条件を調整しながら、積載部及び端面揃え部を傾斜さ
せるするため、基板揃え性が優れた積載が可能な基板積
載装置となる。
【0042】本発明の請求項5に係る基板積載装置は、
基板準備手段に準備されていた積載しようとする基板の
特徴値を入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を
調整しながら、基板積載手段に積載された基板の端部に
側方から空気を吹き出すため、基板揃え性が特に優れた
積載が可能となる。
基板準備手段に準備されていた積載しようとする基板の
特徴値を入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を
調整しながら、基板積載手段に積載された基板の端部に
側方から空気を吹き出すため、基板揃え性が特に優れた
積載が可能となる。
【0043】本発明の請求項6に係る基板積載装置は、
基板準備手段に準備されていた積載しようとする基板の
特徴値を入力して、その特徴値に応じて条件を調整しな
がら、基板積載手段が振動するため、基板揃え性が特に
優れた積載が可能となる。
基板準備手段に準備されていた積載しようとする基板の
特徴値を入力して、その特徴値に応じて条件を調整しな
がら、基板積載手段が振動するため、基板揃え性が特に
優れた積載が可能となる。
【0044】本発明の請求項7に係る基板積載装置は、
上記のような連合減圧部及び穴あき搬送部を備えている
ため、積載効率が優れた積載が可能となる。
上記のような連合減圧部及び穴あき搬送部を備えている
ため、積載効率が優れた積載が可能となる。
【図1】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態を説
明する正面図である。
明する正面図である。
【図2】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態を説
明する平面図である。
明する平面図である。
【図3】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態を説
明する側面図である。
明する側面図である。
【図4】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態の、
動作を説明する工程図である。
動作を説明する工程図である。
【図5】本発明に係る基板積載装置の、他の実施の形態
を説明する正面図である。
を説明する正面図である。
【図6】本発明に係る基板積載装置の、他の実施の形態
を説明する側面図である。
を説明する側面図である。
1 基板 10 基板準備手段 20 基板搬送手段 22 吸着部 23 減圧機 24 減圧開閉弁 25 外気導入弁 26 シリンダー 27 垂直ガイドレール 28 搬送部 29 水平ガイドレール 30 特徴保存手段 40 基板積載手段 42 積載部 44 端面揃え部 46 シリンダー 50 準備側給気手段 60 積載側給気手段 65 偏心モーター 80 連合減圧部 81 開口部 82 減圧箱 84 減圧機 86 減圧開閉弁 90 穴あき搬送部 92 貫通穴
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 帆足 順一 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内
Claims (8)
- 【請求項1】 搬送しようとする基板を準備する基板準
備手段と、その基板準備手段に準備された基板の特徴値
を保存する特徴保存手段と、その特徴保存手段に保存さ
れた基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じて吸着
条件及び/又は搬送条件を調整しながら、基板準備手段
に準備された基板を1枚毎吸着して、所定の位置に搬送
する基板搬送手段と、積載部及び上方向に突出して設け
られた端面揃え部を有し、基板搬送手段により搬送され
た基板を積載部の上側に積載した後、積載部及び端面揃
え部を傾斜させることにより、積載した基板を端面揃え
部側に移動させて、基板の端面を端面揃え部に当接さ
せ、次いで積載部を略水平に戻す動作を行うよう形成さ
れた基板積載手段と、を備えることを特徴とする基板積
載装置。 - 【請求項2】 特徴保存手段に保存された基板の特徴値
を入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整し
ながら、基板準備手段に積載された基板の端部に側方か
ら空気を吹き出す準備側給気手段をも備えることを特徴
とする請求項1記載の基板積載装置。 - 【請求項3】 基板搬送手段が基板準備手段に準備され
た基板を吸着する際に、特徴保存手段に保存された基板
の特徴値を入力して、その特徴値に応じて条件を調整し
ながら、基板準備手段が上下動するよう形成されている
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の基板積載
装置。 - 【請求項4】 搬送しようとする基板を準備する基板準
備手段と、その基板準備手段に準備された基板の特徴値
を保存する特徴保存手段と、基板準備手段に準備された
基板を1枚毎吸着して、所定の位置に搬送する基板搬送
手段と、積載部及び上方向に突出して設けられた端面揃
え部を有し、基板搬送手段により搬送された基板を積載
部の上側に積載すると共に、特徴保存手段に保存された
基板の特徴値を入力した後、その特徴値に応じて傾斜条
件を調整しながら、積載部及び端面揃え部を傾斜させる
ことにより、積載した基板を端面揃え部側に移動させ
て、基板の端面を端面揃え部に当接させ、次いで積載部
を略水平に戻す動作を行うよう形成された基板積載手段
と、を備えることを特徴とする基板積載装置。 - 【請求項5】 特徴保存手段に保存された基板の特徴値
を入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整し
ながら、基板積載手段に積載された基板の端部に側方か
ら空気を吹き出す積載側給気手段をも備えることを特徴
とする請求項4記載の基板積載装置。 - 【請求項6】 基板積載手段の積載部が、入力した特徴
値に応じて条件を調整しながら、振動するよう形成され
ていることを特徴とする請求項4又は請求項5記載の基
板積載装置。 - 【請求項7】 基板搬送手段で基板を吸着して搬送する
方法が、それぞれに開口部を形成した減圧可能な減圧箱
を、基板を搬送する方向に複数並べて形成した連合減圧
部と、その連合減圧部の開口部を形成した面に接して、
基板を搬送する方向に移動する穴あき搬送部とを基板搬
送手段に備え、減圧箱のうち、穴あき搬送部を挟んで基
板と対向する位置の減圧箱を順に減圧にすることによ
り、基板を吸着しながら搬送する方法であることを特徴
とする請求項1から請求項6のいずれかに記載の基板積
載装置。 - 【請求項8】 特徴保存手段に保存された基板の特徴値
が、基板の大きさ、基板の厚み、基板表面の金属箔の厚
みからなる群の中から選ばれた少なくとも1種の特徴値
であることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれ
かに記載の基板積載装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9299200A JPH11130261A (ja) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | 基板積載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9299200A JPH11130261A (ja) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | 基板積載装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11130261A true JPH11130261A (ja) | 1999-05-18 |
Family
ID=17869450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9299200A Pending JPH11130261A (ja) | 1997-10-30 | 1997-10-30 | 基板積載装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11130261A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010038575A (ko) * | 1999-10-26 | 2001-05-15 | 마이클 디. 오브라이언 | 리드프레임 검사용 지그의 높이 조절 장치 |
-
1997
- 1997-10-30 JP JP9299200A patent/JPH11130261A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010038575A (ko) * | 1999-10-26 | 2001-05-15 | 마이클 디. 오브라이언 | 리드프레임 검사용 지그의 높이 조절 장치 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040713 |