JPH11130261A

JPH11130261A - 基板積載装置

Info

Publication number: JPH11130261A
Application number: JP9299200A
Authority: JP
Inventors: Teru Saito; 照斎藤; Tetsuya Oguchi; 哲哉大口; Hiroyuki Ishiguro; 宏幸石黒; Junichi Hoashi; 順一帆足
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1997-10-30
Filing date: 1997-10-30
Publication date: 1999-05-18

Abstract

(57)【要約】【課題】基板１を吸着して所定の位置に搬送し、積載
する基板積載装置であって、吸着ミス等のトラブルが発
生しにくい基板積載装置や、基板揃え性が優れた積載が
可能な基板積載装置を提供する。【解決手段】搬送しようとする基板１の特徴値を保存
する特徴保存手段３０と、特徴保存手段３０に保存され
た基板１の特徴値を入力して、その特徴値に応じて吸着
条件や搬送条件を調整しながら、基板準備手段１０に準
備された基板を吸着して搬送する基板搬送手段２０と、
特徴保存手段３０に保存された基板１の特徴値を入力し
て、その特徴値に応じて傾斜条件を調整しながら、積載
部４２及び上方向に突出して設けられた端面揃え部４４
を傾斜させることにより、積載した基板１を端面揃え部
４４側に移動させて、基板１の端面を端面揃え部４４に
揃える基板積載手段４０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板等
の製造に用いられる銅張り積層板等の、基板を搬送して
積載する、基板積載装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】銅張り積層板等の有機系の基板は、プリ
ント配線板の製造工程において、端面から基板の破片が
生ずると、その破片によって形成しようとする回路が断
線不良となる場合があるため、一般に端面を研磨した
後、使用されている。この端面を研磨する方法として
は、１枚毎に端面を研磨する方法が従来より行われてい
るが、この方法の場合、研磨の生産性が低いため、複数
の基板を重ねた状態で、端面を研磨する方法が検討され
ている。

【０００３】この複数の基板を重ねる方法としては、人
力で行う方法や、特開昭６１−１７４０４１号や特開平
４−１４２９８号等に記載されたような、準備された基
板を１枚毎吸着した後、その吸着した基板を水平方向に
移動させて、所定の位置に搬送するよう形成された基板
積載装置を用いて重ねる方法が一般的に行われている。

【０００４】なお、上記のような基板積載装置を用いて
重ねる場合、基板の種類によっては、吸着ミスを起こし
て基板が途中で落下する等のトラブルが発生しやすいと
いう問題があった。そのため、基板の吸着ミス等のトラ
ブルが発生しにくい基板積載装置が望まれている。

【０００５】また、複数の基板を重ねて端面を研磨する
場合、複数重ねた基板のうち一部の基板が側方に突出し
ていると、その突出した基板が多く研磨され、他の基板
の研磨が十分に行われなくなる場合があるという問題
や、突出した基板は大きさが他の基板と比べて小さくな
るという問題があり、また、複数重ねた基板のうち一部
の基板が側方に凹んでいると、その基板は端面研磨され
ない場合があるという問題があり、基板揃え性が優れる
ことも基板積載装置に要求されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
を改善するために成されたもので、その目的とするとこ
ろは、基板を１枚毎吸着して所定の位置に搬送し、積載
する基板積載装置であって、基板の吸着ミス等のトラブ
ルが発生しにくい基板積載装置を提供することにある。
また、基板を１枚毎吸着して所定の位置に搬送し、積載
する基板積載装置であって、基板揃え性が優れた積載が
可能な基板積載装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
基板積載装置は、搬送しようとする基板を準備する基板
準備手段と、その基板準備手段に準備された基板の特徴
値を保存する特徴保存手段と、その特徴保存手段に保存
された基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じて吸
着条件及び／又は搬送条件を調整しながら、基板準備手
段に準備された基板を１枚毎吸着して、所定の位置に搬
送する基板搬送手段と、積載部及び上方向に突出して設
けられた端面揃え部を有し、基板搬送手段により搬送さ
れた基板を積載部の上側に積載した後、積載部及び端面
揃え部を傾斜させることにより、積載した基板を端面揃
え部側に移動させて、基板の端面を端面揃え部に当接さ
せ、次いで積載部を略水平に戻す動作を行うよう形成さ
れた基板積載手段と、を備えることを特徴とする。その
ため、基板を吸着するときの吸着ミスや、搬送途中で吸
着不足となって基板が落下する等のトラブルが発生しに
くくなっている。

【０００８】本発明の請求項２に係る基板積載装置は、
請求項１記載の基板積載装置において、特徴保存手段に
保存された基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じ
て吹き出す条件を調整しながら、基板準備手段に積載さ
れた基板の端部に側方から空気を吹き出す準備側給気手
段をも備えることを特徴とする。

【０００９】本発明の請求項３に係る基板積載装置は、
請求項１又は請求項２記載の基板積載装置において、基
板搬送手段が基板準備手段に準備された基板を吸着する
際に、特徴保存手段に保存された基板の特徴値を入力し
て、その特徴値に応じて条件を調整しながら、基板準備
手段が上下動するよう形成されていることを特徴とす
る。

【００１０】本発明の請求項４に係る基板積載装置は、
搬送しようとする基板を準備する基板準備手段と、その
基板準備手段に準備された基板の特徴値を保存する特徴
保存手段と、基板準備手段に準備された基板を１枚毎吸
着して、所定の位置に搬送する基板搬送手段と、積載部
及び上方向に突出して設けられた端面揃え部を有し、基
板搬送手段により搬送された基板を積載部の上側に積載
すると共に、特徴保存手段に保存された基板の特徴値を
入力した後、その特徴値に応じて傾斜条件を調整しなが
ら、積載部及び端面揃え部を傾斜させることにより、積
載した基板を端面揃え部側に移動させて、基板の端面を
端面揃え部に当接させ、次いで積載部を略水平に戻す動
作を行うよう形成された基板積載手段と、を備えること
を特徴とする。そのため、基板揃え性が優れた積載が可
能となっている。

【００１１】本発明の請求項５に係る基板積載装置は、
請求項４記載の基板積載装置において、特徴保存手段に
保存された基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じ
て吹き出す条件を調整しながら、基板積載手段に積載さ
れた基板の端部に側方から空気を吹き出す積載側給気手
段をも備えることを特徴とする。

【００１２】本発明の請求項６に係る基板積載装置は、
請求項４又は請求項５記載の基板積載装置において、基
板積載手段の積載部が、入力した特徴値に応じて条件を
調整しながら、振動するよう形成されていることを特徴
とする。

【００１３】本発明の請求項７に係る基板積載装置は、
請求項１から請求項６のいずれかに記載の基板積載装置
において、基板搬送手段で基板を吸着して搬送する方法
が、それぞれに開口部を形成した減圧可能な減圧箱を、
基板を搬送する方向に複数並べて形成した連合減圧部
と、その連合減圧部の開口部を形成した面に接して、基
板を搬送する方向に移動する穴あき搬送部とを基板搬送
手段に備え、減圧箱のうち、穴あき搬送部を挟んで基板
と対向する位置の減圧箱を順に減圧にすることにより、
基板を吸着しながら搬送する方法であることを特徴とす
る。

【００１４】本発明の請求項８に係る基板積載装置は、
請求項１から請求項７のいずれかに記載の基板積載装置
において、特徴保存手段に保存された基板の特徴値が、
基板の大きさ、基板の厚み、基板表面の金属箔の厚みか
らなる群の中から選ばれた少なくとも１種の特徴値であ
ることを特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明に係る基板積載装置を図面
に基づいて説明する。図１は本発明に係る基板積載装置
の一実施の形態を説明する正面図であり、図２は本発明
に係る基板積載装置の一実施の形態を説明する平面図で
あり、図３は本発明に係る基板積載装置の一実施の形態
を説明する側面図であり、図４は本発明に係る基板積載
装置の一実施の形態の、動作を説明する工程図である。
また、図５は本発明に係る基板積載装置の、他の実施の
形態を説明する正面図であり、図６は本発明に係る基板
積載装置の、他の実施の形態を説明する側面図である。

【００１６】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態
は、図１，図２及び図３に示すように、搬送しようとす
る基板１を複数重ねて準備する基板準備手段１０と、そ
の基板準備手段１０に準備された基板１の特徴値を保存
する特徴保存手段３０と、基板準備手段１０に積載され
た基板１を１枚毎吸着して、その吸着した基板１を、積
載しようとする所定の位置の上部に搬送する基板搬送手
段２０と、搬送された基板１を積載する基板積載手段４
０と、を備える基板積載装置である。

【００１７】なお、本発明で積載する基板１としては、
吸着して搬送可能なシート状のものであれば特に限定す
るものではなく、例えば、銅張り積層板や、樹脂板や、
セラミック板や、金属板等が挙げられる。

【００１８】基板準備手段１０は、上面を上下に動かす
ことができるように形成されており、上部に重ねられた
搬送しようとする基板１を上下動させて、基板準備手段
１０に準備された基板１のうち一番上側の基板１の高さ
を一定に保つようになっている。そして、この基板準備
手段１０に準備された基板１の特徴値が、特徴保存手段
３０に保存されている。なおこの基板１の特徴値として
は、基板１の大きさ、基板１の厚み、基板１表面の金属
箔の厚み等が挙げられる。

【００１９】基板搬送手段２０は、基板準備手段１０に
準備された基板１を１枚毎吸着して、上下方向に移動す
る吸着部２２と、その吸着部２２を水平方向に移動させ
て、吸着部２２に吸着されている基板１を、基板積載手
段４０の上部に搬送する搬送部２８とを有しており、吸
着部２２が下降して基板準備手段１０に準備された基板
１のうち一番上側の基板１を吸着した後、吸着部２２が
上昇して、吸着した基板１を基板準備手段１０から分離
し、次いで、搬送部２８が水平方向に移動して、吸着部
２２に吸着されている基板１を、基板積載手段４０の上
部に搬送した後、吸着部２２が下降して基板積載手段４
０に基板１を積載し、次いで吸着部２２の吸着を解除し
た後、吸着部２２が上昇し、次いで、搬送部２８が水平
方向に移動して、基板準備手段１０の上部に戻るサイク
ルを繰り返し行うことによって、基板１を１枚毎吸着し
て搬送するようになっている。

【００２０】なお、吸着部２２がやや上昇して、吸着し
た基板１を基板準備手段１０から分離した後、その位置
で多少の時間待機するように設定しておくと、基板準備
手段１０に積載された基板１が静電気等でくっついてい
て２枚以上の基板１が吸着して持ち上げられた場合であ
っても、静電気等でくっついている基板１は自重で落下
するため、基板１を１枚毎に分離する分離性が優れ好ま
しい。

【００２１】また、基板搬送手段２０が基板準備手段１
０に積載された基板１を吸着する際に、特徴保存手段３
０に保存された基板１の厚みや、基板１表面の金属箔の
厚み等の特徴値を入力して、その特徴値に応じて条件を
調整しながら、基板準備手段１０が上下動するよう形成
されていると、基板１が静電気等でくっついている場合
であっても、基板１を１枚毎に分離する分離性が特に優
れ好ましい。この調整する方法としては、例えば、基板
１の厚みや基板１表面の金属箔の厚みに応じて、基板準
備手段１０が下降する速度や、下降するタイミングを調
整することにより、静電気等でくっついている基板１を
その下側に積載している基板１を介して下側に引っ張っ
て落下させて分離する。

【００２２】更に、特徴保存手段３０に保存された基板
１の厚みや、基板１表面の金属箔の厚み等の特徴値を入
力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整しなが
ら、基板準備手段１０に積載された基板１の端部に側方
から空気を吹き出す準備側給気手段５０をも設けている
と、基板１が静電気等でくっついている場合であって
も、基板１を１枚毎に分離する分離性が特に優れ好まし
い。この調整する方法としては、例えば、基板１の厚み
や基板１表面の金属箔の厚みが厚いときに、吹き出す空
気圧を高くしたり、基板１の厚みに応じて吹き出す位置
を調整することにより、静電気等でくっついている基板
１の間に空気を導入して分離する。

【００２３】なお、吸着部２２には、減圧機２３との接
続を開閉可能な減圧開閉弁２４と、外気を導入可能な外
気導入弁２５とが、それぞれ接続されており、減圧開閉
弁２４を開にして吸着部２２を減圧機２３と接続した場
合には、外気導入弁２５の外気導入を停止して吸着部２
２を減圧化して基板１を吸着し、減圧開閉弁２４を閉に
して吸着部２２と減圧機２３の接続を閉じた場合には、
外気導入弁２５から外気を導入して吸着を解除するよう
になっている。なお、減圧機２３としては、リングブロ
アー等が挙げられる。

【００２４】また、搬送部２８に固定されたシリンダー
２６が、吸着部２２と接続して設けられている。そし
て、シリンダー２６を伸縮すると、垂直ガイドレール２
７にガイドされながら吸着部２２が、上下方向に移動す
るようになっている。また、搬送部２８に固定されたモ
ーター（図示せず）が設けられており、モーターが回転
すると、水平ガイドレール２９にガイドされながら、搬
送部２８が水平方向に移動するようになっている。

【００２５】なお、基板搬送手段２０は、特徴保存手段
３０に保存された基板１の特徴値のうち、搬送しようと
する基板１の大きさ、基板１の厚み、基板１表面の金属
箔の厚み等の特徴値を入力して、その特徴値に応じて吸
着条件や搬送条件を調整しながら、基板準備手段１０に
積載された基板１を１枚毎吸着して、その吸着した基板
１を搬送するようになっている。そのため、基板１を吸
着するときの吸着ミスや、搬送途中で吸着不足となって
基板１が落下する等のトラブルが発生しにくくなってい
る。

【００２６】この調整する方法としては、例えば、基板
１の大きさに応じて基板１を吸着する位置や数を調整す
ることにより、基板１面内の吸着力のバランス取り、基
板１の一部が吸着不足となって生じる、基板１を吸着す
るときの吸着ミスや、搬送途中で基板１が落下する等の
トラブルを防止したり、基板１の厚みや基板１表面の金
属箔の厚みが厚いときに、減圧機２３の数を増やすこと
により、基板１を適度な吸引力で吸着して、搬送途中で
基板１が落下する等のトラブルを防止したり、基板１の
厚みが薄いときに、減圧機２３の数を減らすことによ
り、過度に吸着して基板１を曲げて変形させるトラブル
を防止したり、基板１の厚みや基板１表面の金属箔の厚
みが厚いときに、搬送速度を遅くすることにより、搬送
途中で基板１が落下する等のトラブルを防止する。

【００２７】また、基板積載手段４０は、基板１を積載
する積載部４２と、上方向に突出して設けられた端面揃
え部４４とを有しており、図４（ａ）に示すように、基
板搬送手段２０により搬送された基板１を、図４（ｂ）
に示すように、端面揃え部４４からやや離れた位置の、
積載部４２の上側に積載した後、図４（ｃ）に示すよう
に、積載部４２と接続したシリンダー４６を縮めて、積
載部４２及び端面揃え部４４を傾斜させることにより、
積載した基板１を端面揃え部４４側に移動させて、基板
１の端面を端面揃え部４４に当接させ、次いで図４
（ｄ）に示すように、シリンダー４６を伸ばして、積載
部４２の上面を略水平状態に戻すことにより、基板積載
手段４０の上側に積載した複数の基板１の端面を、端面
揃え部４４と当接した位置に揃えるようになっている。

【００２８】なお、基板積載手段４０は、特徴保存手段
３０に保存された基板１の特徴値のうち、積載しようと
する基板１の大きさ、基板１の厚み、基板１表面の金属
箔の厚み等の特徴値を入力した後、その特徴値に応じて
傾斜条件を調整しながら、積載部４２及び端面揃え部４
４を傾斜させることにより、基板搬送手段２０により搬
送されて積載した基板１を端面揃え部４４側に移動させ
て、基板１の端面を端面揃え部４４に当接させ、次いで
積載部４２を略水平に動かす動作を行うようになってい
る。そのため、基板揃え性が優れた積載が可能となって
いる。

【００２９】この調整する方法としては、例えば、基板
１の大きさが大きいときに、傾斜している時間を伸ばし
たり、基板１の厚みや基板１表面の金属箔の厚みが薄い
ときに、傾斜角を大きくすることにより、基板１を端面
揃え部４４側に確実に移動させて、基板１の端面を端面
揃え部４４に当接させるようにする。

【００３０】なお、特徴保存手段３０に保存された基板
１の特徴値のうち、積載しようとする基板１の大きさ、
基板１の厚み、基板１表面の金属箔の厚み等の特徴値を
入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整しな
がら、基板積載手段４０に積載された基板１の端部に側
方から空気を吹き出すように形成された、積載側給気手
段６０をも設けていると、積載部４２及び端面揃え部４
４を傾斜させたときに基板１が端面揃え部４４側に移動
しやすくなって、基板１の端面を端面揃え部４４に確実
に当接させることができるため、基板揃え性が特に優れ
た積載が可能となり好ましい。

【００３１】この調整する方法としては、例えば、基板
１の厚みや基板１表面の金属箔の厚みが厚いときに、吹
き出す空気圧を高くしたり、基板１の厚みに応じて吹き
出す位置を調整することにより、既に積載されている基
板１と新たに積載した基板１の間に空気を導入して、新
たに積載した基板１を端面揃え部４４側に移動しやすく
し、端面揃え部４４側に移動させる。

【００３２】なお、特徴保存手段３０に保存された基板
１の特徴値のうち、積載しようとする基板１の大きさ、
基板１の厚み、基板１表面の金属箔の厚み等の特徴値を
入力して、その特徴値に応じて基板積載手段４０の積載
部４２を略水平方向に振動させる偏心モーター６５をも
設けていると、基板揃え性が特に優れた積載が可能とな
り好ましい。この調整する方法としては、例えば、基板
１の厚みや基板１表面の金属箔の厚みが厚いときに振幅
を大きくすることにより、基板１を端面揃え部４４側に
移動させて、基板１の端面を端面揃え部４４に当接させ
るようにする。

【００３３】なお、上記の実施の形態は、基板搬送手段
２０に、基板１を吸着して上下方向に移動する吸着部２
２と、その吸着部２２を水平方向に移動させる搬送部２
８とを有する実施の形態を説明したが、このようなもの
に限定するものではなく、例えば、図５及び図６に示す
ような方法で、基板を吸着して搬送しても良い。この方
法は、それぞれに開口部８１を形成すると共に、減圧開
閉弁８６を介して減圧機８４と接続した減圧可能な減圧
箱８２，８２・・を、それぞれの開口部８１が同じ面に
なるように基板１を搬送する方向に複数並べて連合減圧
部８０を形成する。そしてこの連合減圧部８０の、上記
開口部８１を形成した面に接して、貫通穴９２を複数形
成した穴あき搬送部９０を、基板１を搬送する方向に移
動するように形成する。そして、減圧箱８２のうち、穴
あき搬送部９０を挟んで基板１と対向する位置の減圧箱
８２を順に減圧にすることにより、基板準備手段１０に
積載された基板１を１枚毎吸着して基板積載手段４０の
上部に搬送する。この場合、穴あき搬送部９０に複数の
基板１を同時に吸着して搬送することが可能となるた
め、効率が優れた搬送が可能となり好ましい。

【００３４】なお、この実施の形態の基板搬送手段２０
も、特徴保存手段３０に保存された基板１の特徴値のう
ち、搬送しようとする基板１の大きさ、基板１の厚み、
基板１表面の金属箔の厚み等の特徴値を入力して、その
特徴値に応じて吸着条件や搬送条件を調整しながら、基
板準備手段１０に積載された基板１を１枚毎吸着して、
その吸着した基板１を搬送するようになっている。その
ため、基板１を吸着するときの吸着ミスや、搬送途中で
吸着不足となって基板１が落下する等のトラブルが発生
しにくくなっている。

【００３５】この調整する方法としては、例えば、基板
１の大きさに応じて減圧状態とする減圧箱８２の数を調
整することにより、基板１の一部が吸着不足となって生
じる、基板１を吸着するときの吸着ミスや、搬送途中で
基板１が落下する等のトラブルを防止したり、基板１の
厚みや基板１表面の金属箔の厚みが厚いときに、減圧機
８４の数を増やすことにより、基板１を適度な吸引力で
吸着して、搬送途中で基板１が落下する等のトラブルを
防止したり、基板１の厚みが薄いときに、減圧機８４の
数を減らすことにより、過度に吸着して基板１を曲げて
変形させるトラブルを防止したり、基板１の厚みや基板
１表面の金属箔の厚みが厚いときに、搬送速度を遅くす
ることにより、搬送途中で基板１が落下する等のトラブ
ルを防止する。

【００３６】また、この実施の形態の基板準備手段１０
も、その上部に積載した基板１を上下に動かすことがで
きるように形成されており、上昇して、穴あき搬送部９
０に基板１を接触させて、穴あき搬送部９０に基板１を
吸着させた後、下降して、吸着した基板１と、その下の
基板１を分離するようになっている。なお、穴あき搬送
部９０と基板１の間に少しの隙間が生じる程度まで基板
準備手段１０が上昇した状態で、基板準備手段１０に積
載された基板１の端部に側方から空気を吹き出す準備側
給気手段５０から空気を吹き出して基板１を浮き上がら
せ、穴あき搬送部９０に基板１を吸着させるようにして
も良い。この場合、基板１の表裏面に、動いている穴あ
き搬送部９０と、基板準備手段１０が、同時に接触する
ことがなくなるため、基板１の表面に傷が付きにくくな
り好ましい。

【００３７】なお基板準備手段１０が、特徴保存手段３
０に保存された基板１の厚みや、基板１表面の金属箔の
厚み等の特徴値を入力して、その特徴値に応じて条件を
調整しながら、上下動するよう形成されていると、基板
１が静電気等でくっついている場合であっても、基板１
を１枚毎に分離する分離性が特に優れ好ましい。また、
準備側給気手段５０も、特徴保存手段３０に保存された
基板１の厚みや、基板１表面の金属箔の厚み等の特徴値
を入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整し
ながら空気を吹き出すようになっていると、基板１の厚
みや基板１表面の金属箔の厚みが厚いときに、吹き出す
空気圧を高くしたり、基板１の厚みに応じて吹き出す位
置を調整することにより、基板１を確実に浮き上がらせ
ることが可能となるため、穴あき搬送部９０で生じる基
板１の吸着ミスが減り好ましい。

【００３８】

【発明の効果】本発明の請求項１から請求項３に係る基
板積載装置は、基板準備手段に準備された基板の特徴値
を入力して、その特徴値に応じて吸着条件及び／又は搬
送条件を調整しながら基板を吸着して搬送するため、基
板の吸着ミス等のトラブルが発生しにくい基板積載装置
となる。

【００３９】本発明の請求項２に係る基板積載装置は、
基板準備手段に準備された基板の特徴値を入力して、そ
の特徴値に応じて吹き出す条件を調整しながら、基板準
備手段に積載された基板の端部に側方から空気を吹き出
すため、上記の効果に加え、基板準備手段に準備された
基板が静電気等でくっついている場合であっても、基板
を１枚毎に分離する分離性が優れた基板積載装置とな
る。

【００４０】本発明の請求項３に係る基板積載装置は、
基板準備手段に準備された基板の特徴値を入力して、そ
の特徴値に応じて条件を調整しながら、基板準備手段が
上下動するため、基板準備手段に準備された基板が静電
気等でくっついている場合であっても、基板を１枚毎に
分離する分離性が優れ基板積載装置となる。

【００４１】本発明の請求項４から請求項６に係る基板
積載装置は、基板準備手段に準備されていた積載しよう
とする基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じて傾
斜条件を調整しながら、積載部及び端面揃え部を傾斜さ
せるするため、基板揃え性が優れた積載が可能な基板積
載装置となる。

【００４２】本発明の請求項５に係る基板積載装置は、
基板準備手段に準備されていた積載しようとする基板の
特徴値を入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を
調整しながら、基板積載手段に積載された基板の端部に
側方から空気を吹き出すため、基板揃え性が特に優れた
積載が可能となる。

【００４３】本発明の請求項６に係る基板積載装置は、
基板準備手段に準備されていた積載しようとする基板の
特徴値を入力して、その特徴値に応じて条件を調整しな
がら、基板積載手段が振動するため、基板揃え性が特に
優れた積載が可能となる。

【００４４】本発明の請求項７に係る基板積載装置は、
上記のような連合減圧部及び穴あき搬送部を備えている
ため、積載効率が優れた積載が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態を説
明する正面図である。

【図２】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態を説
明する平面図である。

【図３】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態を説
明する側面図である。

【図４】本発明に係る基板積載装置の一実施の形態の、
動作を説明する工程図である。

【図５】本発明に係る基板積載装置の、他の実施の形態
を説明する正面図である。

【図６】本発明に係る基板積載装置の、他の実施の形態
を説明する側面図である。

【符号の説明】

１基板１０基板準備手段２０基板搬送手段２２吸着部２３減圧機２４減圧開閉弁２５外気導入弁２６シリンダー２７垂直ガイドレール２８搬送部２９水平ガイドレール３０特徴保存手段４０基板積載手段４２積載部４４端面揃え部４６シリンダー５０準備側給気手段６０積載側給気手段６５偏心モーター８０連合減圧部８１開口部８２減圧箱８４減圧機８６減圧開閉弁９０穴あき搬送部９２貫通穴

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者帆足順一大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】搬送しようとする基板を準備する基板準
備手段と、その基板準備手段に準備された基板の特徴値
を保存する特徴保存手段と、その特徴保存手段に保存さ
れた基板の特徴値を入力して、その特徴値に応じて吸着
条件及び／又は搬送条件を調整しながら、基板準備手段
に準備された基板を１枚毎吸着して、所定の位置に搬送
する基板搬送手段と、積載部及び上方向に突出して設け
られた端面揃え部を有し、基板搬送手段により搬送され
た基板を積載部の上側に積載した後、積載部及び端面揃
え部を傾斜させることにより、積載した基板を端面揃え
部側に移動させて、基板の端面を端面揃え部に当接さ
せ、次いで積載部を略水平に戻す動作を行うよう形成さ
れた基板積載手段と、を備えることを特徴とする基板積
載装置。
【請求項２】特徴保存手段に保存された基板の特徴値
を入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整し
ながら、基板準備手段に積載された基板の端部に側方か
ら空気を吹き出す準備側給気手段をも備えることを特徴
とする請求項１記載の基板積載装置。
【請求項３】基板搬送手段が基板準備手段に準備され
た基板を吸着する際に、特徴保存手段に保存された基板
の特徴値を入力して、その特徴値に応じて条件を調整し
ながら、基板準備手段が上下動するよう形成されている
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の基板積載
装置。
【請求項４】搬送しようとする基板を準備する基板準
備手段と、その基板準備手段に準備された基板の特徴値
を保存する特徴保存手段と、基板準備手段に準備された
基板を１枚毎吸着して、所定の位置に搬送する基板搬送
手段と、積載部及び上方向に突出して設けられた端面揃
え部を有し、基板搬送手段により搬送された基板を積載
部の上側に積載すると共に、特徴保存手段に保存された
基板の特徴値を入力した後、その特徴値に応じて傾斜条
件を調整しながら、積載部及び端面揃え部を傾斜させる
ことにより、積載した基板を端面揃え部側に移動させ
て、基板の端面を端面揃え部に当接させ、次いで積載部
を略水平に戻す動作を行うよう形成された基板積載手段
と、を備えることを特徴とする基板積載装置。
【請求項５】特徴保存手段に保存された基板の特徴値
を入力して、その特徴値に応じて吹き出す条件を調整し
ながら、基板積載手段に積載された基板の端部に側方か
ら空気を吹き出す積載側給気手段をも備えることを特徴
とする請求項４記載の基板積載装置。
【請求項６】基板積載手段の積載部が、入力した特徴
値に応じて条件を調整しながら、振動するよう形成され
ていることを特徴とする請求項４又は請求項５記載の基
板積載装置。
【請求項７】基板搬送手段で基板を吸着して搬送する
方法が、それぞれに開口部を形成した減圧可能な減圧箱
を、基板を搬送する方向に複数並べて形成した連合減圧
部と、その連合減圧部の開口部を形成した面に接して、
基板を搬送する方向に移動する穴あき搬送部とを基板搬
送手段に備え、減圧箱のうち、穴あき搬送部を挟んで基
板と対向する位置の減圧箱を順に減圧にすることによ
り、基板を吸着しながら搬送する方法であることを特徴
とする請求項１から請求項６のいずれかに記載の基板積
載装置。
【請求項８】特徴保存手段に保存された基板の特徴値
が、基板の大きさ、基板の厚み、基板表面の金属箔の厚
みからなる群の中から選ばれた少なくとも１種の特徴値
であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれ
かに記載の基板積載装置。