JP2006135157A - 基板保持装置及び基板の取り出し方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上面に平板状の基板の裏面と接触する吸着領域が形成され基板を吸着領域に載置して保持する保持台2と、保持台の吸着領域に開口する第1の開口11及び吸引装置に連通し基板を吸着領域に吸引するため吸引用経路33を備える基板保持装置において、保持台の吸着領域上の一部領域に開口する第2の開口12に連通する吹き出し用経路34と、基板の一部領域上の部分が保持台表面から離れるように基板を傾かせて浮上させ、基板の傾きによって前記基板が移動するように、吹き出し用経路を通して空気を第2の開口12から吹き出す空気供給装置30と、保持台2に設けられ、吸着領域に沿って移動する基板100を、少なくとも基板の一部分が吸着領域から外れるような位置で係止する係止部13とを備える。
【選択図】 図1
Description
前記保持台の吸着領域上の一部領域に開口する第2の開口と、
前記第2の開口に連通し、前記基板の前記一部領域上の部分が前記保持台表面から離れるように前記基板を傾かせて浮上させ、前記基板の傾きによって前記基板が移動するように空気供給装置から吹き出された空気を導入する吹き出し用経路と、
前記保持台に設けられ、前記吸着領域に沿って移動する前記基板を、少なくとも前記基板の一部分が前記吸着領域から外れるような位置で係止する係止部と、を備えることを特徴とする、基板保持装置を提供する。
前記基板は、前記空気によって押し出されることによって前記空気の吹き出し方向側に移動する第1から第6態様のいずれか1つの基板保持装置を提供する。
前記第1の開口からの前記基板の吸引を停止させ、
前記基板の裏面の一部分の吹き付け圧が強くなるように前記第2の開口から空気を吹き付けることによって、前記開口から吹き付けられた空気により、基板を前記吹き付け圧が強い部分が前記保持台表面から離れるように傾かせて浮上させ、
前記基板の傾きにより、前記基板を前記保持台表面に沿って前記基板の取り出し位置まで移動させてから前記基板を前記保持台から取り外すことを特徴とする、基板の取り出し方法を提供する。
2 ステージ
3 ヒーターブロック
4 第1切替弁
5 第2切替弁
6、7 流量調整装置
10 吸着領域
11 真空吸引溝
12 空気吹出開口
20 非吸着領域
30 空気供給装置
33 吸引用経路
34 吹き出し用経路
40 吸引装置
Claims (10)
- 上面に平板状の基板の裏面と接触する吸着領域が形成され前記基板を前記吸着領域に載置して保持する保持台と、前記保持台の前記吸着領域に開口する第1の開口及び吸引装置に連通し前記基板を前記吸着領域に吸引するため吸引用経路を備えた基板保持装置であって、
前記保持台の吸着領域上の一部領域に開口する第2の開口と、
前記第2の開口に連通し、前記基板の前記一部領域上の部分が前記保持台表面から離れるように前記基板を傾かせて浮上させ、前記基板の傾きによって前記基板が移動するように空気供給装置から吹き出された空気を導入する吹き出し用経路と、
前記保持台に設けられ、前記吸着領域に沿って移動する前記基板を、少なくとも前記基板の一部分が前記吸着領域から外れるような位置で係止する係止部と、を備えることを特徴とする、基板保持装置。 - 前記第2の開口が設けられている前記一部領域は、前記吸着領域の中央部分に対して前記基板の反移動方向側の領域であることを特徴とする、請求項1に記載の基板保持装置。
- 前記吸引用経路は、前記空気供給装置と空気を吸引する前記吸引装置とを切り替え可能に接続する切替弁に連通し、前記切替弁は、前記基板を前記吸着領域に吸着するときは前記吸引手段に接続すると共に、前記空気供給装置から前記吹き出し用経路を通して空気を吹き出すときは前記基板の裏面に前記第1の開口から空気を吹き付け可能に前記空気供給装置に接続することを特徴とする、請求項1又は2に記載の基板保持装置。
- 前記係止部は、前記第2の開口が設けられている領域に対して前記吸着領域の中央部分と対向する位置に設けられていることを特徴とする、請求項1から3のいずれか1つに記載の基板保持装置。
- 前記係止部は、前記保持台の上面の前記吸着領域の外側に設けられている、係止用突起であることを特徴とする、請求項1から4のいずれか1つに記載の基板保持装置。
- 前記保持台は、前記吸着領域の外側に、前記係止部によって係止された基板を取り出すための切り欠きを備えることを特徴とする、請求項1から5のいずれか1つに記載の基板保持装置。
- 前記第2の開口は、前記保持台上面の垂直方向に対して傾いた方向に前記空気を吹き出すように構成され、
前記基板は、前記空気によって押し出されることによって前記空気の吹き出し方向側に移動することを特徴とする、請求項1から6のいずれか1つに記載の基板保持装置。 - 吸着用の第1の開口と空気吹き出し用の第2の開口を有する保持台の吸着領域に、その裏面が接触し、前記吸着領域に設けられている第1の開口から吸引されて前記吸着領域に吸着されている基板を、前記吸着領域から取り外す基板の取り出し方法であって、
前記第1の開口からの前記基板の吸引を停止させ、
前記基板の裏面の一部分の吹き付け圧が強くなるように前記第2の開口から空気を吹き付けることによって、前記開口から吹き付けられた空気により、基板を前記吹き付け圧が強い部分が前記保持台表面から離れるように傾かせて浮上させ、
前記基板の傾きにより、前記基板を前記保持台表面に沿って前記基板の取り出し位置まで移動させてから前記基板を前記保持台から取り外すことを特徴とする、基板の取り出し方法。 - 前記取り出し位置まで移動した基板が係止用突起に当接することよって前記取り出し位置に係止させた後に前記基板を前記保持台から取り外すことを特徴とする、請求項8に記載の基板の取り出し方法。
- 前記基板の裏面に吹き付けられる空気を、前記保持台上面の垂直方向に対して傾いた方向に吹き付けることにより、前記基板を前記空気によって押し出して前記空気の吹き出し方向に移動させることを特徴とする、請求項8又は9に記載の基板の取り出し方法。
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