JP7154865B2 - シート取り出し装置およびフレキシブルプリント基板の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、シート取り出し装置およびフレキシブルプリント基板の製造方法に関する。

フレキシブルプリント基板の製造工程には、多数枚の銅箔のようなシート状部材が積層された部位から１枚のシート状部材を取り出して、別途の処理部位に供給する工程が存在している。このような、フレキシブルプリント基板の製造に用いられるシート状部材を取り出すための装置としては、特許文献１に開示されているものがある。特許文献１に開示の構成では、シート状部材の２枚取りを防止するための機構として、多数のシート状部材の積層状態において、バキュームパッドが積層順の最も上位に位置するシート状部材を吸着した後に、第１のシリンダが作動して移動フレームを持ち上げるようにしている。

実開昭５９－１０８７４４号公報

ところで、特許文献１に開示の構成では、多数のシート状部材が積層された状態で、固定フレーム側および移動フレーム側のバキュームパッドを押し付け、その押し付け状態から固定フレーム側は上昇させずに、移動フレーム側を上昇させている。したがって、シート状部材が湾曲して、歪んでしまう場合がある。特に、銅箔には、容易に曲げや折り目等の歪みが付き易いので、バキュームパッドの押し付け状態で、片側である移動フレーム側を持ち上げるのは、上記の歪みの原因となる。

このような歪みは、フレキシブルプリント基板の製造の際に、不良の原因となるので好ましくない。

本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、シート状部材に歪みが生じない状態で、シート状部材を複数枚取り出すのを防止可能なシート取り出し装置およびフレキシブルプリント基板の製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の第１の観点によると、フレキシブルプリント基板の製造に用いられるシート状部材を取り出すシート取り出し装置であって、シート状部材の一方の縁部側を吸引保持可能な第１吸引手段と、シート状部材の他方の縁部側を吸引保持可能な第２吸引手段と、第１吸引手段を昇降させる第１昇降手段と、第２吸引手段を昇降させる第２昇降手段と、第１昇降手段および第２昇降手段の作動を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、複数枚のシート状部材が積層されている積層体から最上位に積層されているシート状部材を第１吸引手段および第２吸引手段で吸引保持させるように第１昇降手段および第２昇降手段の作動を制御する第１制御を行い、その第１制御の後に、第１吸引手段と第２吸引手段のうちのいずれか一方をいずれか他方に対して相対的に昇降させるように、第１昇降手段と第２昇降手段のうちの少なくとも一方の作動を制御することで、吸引保持している以外のシート状部材を振り落すための第２制御を行う、ことを特徴とするシート取り出し装置が提供される。

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、制御手段は、第１制御の後に、第１吸引手段および第２吸引手段で吸引保持されたシート状部材を積層体から離間させる方向に移動させるように第１昇降手段および第２昇降手段の作動を制御する第３制御を行い、その第３制御の後に、第２制御を行う、ことが好ましい。

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、第１昇降手段は、第１吸引手段の長手方向の一方側を昇降させる一方側第１昇降手段と、第１吸引手段の長手方向の他方側を昇降させる他方側第１昇降手段とを備え、第２昇降手段は、第２吸引手段の長手方向の一方側を昇降させる一方側第２昇降手段と、第２吸引手段の長手方向の他方側を昇降させる他方側第２昇降手段とを備え、第２制御では、制御手段は、第１吸引手段の長手方向の一方側を上昇させるように一方側第１昇降手段の作動を制御し、その作動開始の後に第１吸引手段の長手方向の他方側を上昇させるように他方側第１昇降手段の作動を制御し、さらに第２吸引手段の長手方向の一方側を上昇させるように一方側第２昇降手段の作動を制御し、その作動開始の後に第２吸引手段の長手方向の他方側を上昇させるように他方側第２昇降手段の作動を制御する、ことが好ましい。

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、第２制御では、第１吸引手段と第２吸引手段のうちのいずれか一方を積層体から離間させる方向に移動させると共に、第１吸引手段と第２吸引手段のうちのいずれか他方は移動させない状態となるように、第１昇降手段および第２昇降手段の作動を制御すると共に、その作動開始の後に第１吸引手段と第２吸引手段のうちのいずれか１つを移動させない状態としつつ、第１吸引手段と第２吸引手段のうちの残りの１つを積層体から離間させる方向に移動させるように、第１昇降手段および第２昇降手段の作動を制御する、ことが好ましい。

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、隣り合うシート状部材の間に挿入されて、これらのシート状部材の間での吸着を防止する分離手段と、分離手段を隣り合うシート状部材の間に挿入させるように該分離手段を移動させる移動手段とを備え、制御手段は、移動手段の作動を制御すると共に、制御手段は、第３制御の後に、第１吸引手段および第２吸引手段で保持されているシート状部材と、積層体の最上位のシート状部材との間に、分離手段を配置するように、移動手段の作動を制御する第４制御を行う、ことが好ましい。

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、シート状部材を平面状に吸引保持可能であると共に積層体に対して昇降可能な吸着ベッドを備え、この吸着ベッドは制御手段によって作動が制御され、第４制御の後に、制御手段は、第１吸引手段および第２吸引手段で保持されているシート状部材の保持を解除するように第１吸引手段および第２吸引手段の作動を制御して、当該シート状部材を積層体に重ねさせる第５制御を行い、制御手段は、第５制御の後に、積層体を押圧するように吸着ベッドを下降させると共に、積層体の最上位のシート状部材を吸引保持するように吸着ベッドの作動を制御する、ことが好ましい。

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、第１吸引手段および第２吸引手段は、弾性部材を材質とすると共に蛇腹状に設けられている吸着パッドを備えている、ことが好ましい。

また、本発明の第２の観点によると、複数のシート状部材が積層された積層体から、最上位のシート状部材を取り出して、フレキシブルプリント基板を製造するフレキシブルプリント基板の製造方法であって、積層体から最上位に積層されているシート状部材を、シート状部材の一方の縁部側を吸引保持可能な第１吸引手段、およびシート状部材の他方の縁部側を吸引保持可能な第２吸引手段で吸引保持させるように第１昇降手段および第２昇降手段の作動を制御する吸引工程と、吸引工程の後に、第１吸引手段と第２吸引手段のうちのいずれか一方をいずれか他方に対して相対的に昇降させるように、第１吸引手段を昇降させる第１昇降手段と第２吸引手段を昇降させる第２昇降手段のうちの少なくとも一方を作動させることで、吸引保持している以外のシート状部材を振り落すための振り落とし工程と、を備えることを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法が提供される。

本発明によると、シート状部材に歪みが生じない状態で、シート状部材を複数枚取り出すのを防止可能なシート取り出し装置およびフレキシブルプリント基板の製造方法を提供することができる。

本発明の一実施の形態に係るシート取り出し装置の構成を示す概略図である。 図１に示すシート取り出し装置の吸着保持部の概略的な構成を示す図である。 図１に示すシート取り出し装置の吸着保持部、回動機構、吸引機構および昇降機構の概略的な構成を示す図である。 図１に示すシート取り出し装置の分離板ユニットの概略的な構成を示す図である。 図１に示すシート取り出し装置が備える載置台ユニットおよび吸着ベッドを含めたシート取り出し装置の構成を示す概略図であり、シート取り出し装置を側方から見た状態を示す図である。 図５に示すシート取り出し装置において、載置台を規定の上昇位置まで上昇させた状態を示す図である。 図５に示すシート取り出し装置において、吸着パッドが最上位のシート状部材を吸引保持し、そのシート状部材を上昇した状態を示す図である。 図１に示すシート取り出し装置の第１吸着ユニット側の昇降シリンダと、第２吸着ユニット側の昇降シリンダの作動タイミングの第１動作例を示す図であり、それぞれの昇降シリンダの作動時間と高さ位置の関係を示す図である。 図５に示すシート取り出し装置において、第１吸着ユニット側の吸着保持部を上昇させると共に、第２吸着ユニット側の吸着保持部を上昇させない状態を示す図である。 図９に示す状態から第２吸着ユニット側の吸着保持部を上昇させた状態を示す図である。 図１０に示す状態から第２吸着ユニット側の吸着保持部を上昇させたままで、第１吸着ユニット側の吸着保持部を下降させた状態を示す図である。 図１１に示す状態から第２吸着ユニット側の吸着保持部を下降させた状態を示す図である。 図１に示すシート取り出し装置の第１吸着ユニット側の昇降シリンダと、第２吸着ユニット側の昇降シリンダの作動タイミングの第２動作例を示す図であり、それぞれの昇降シリンダの作動時間と高さ位置の関係を示す図である。 図９に示す状態から第２吸着ユニット側の吸着保持部を上昇させた後に下降させると共に、第１吸着ユニット側の吸着保持部の停止を維持した状態を示す図である。 図１０に示す状態の後に、吸引保持されているシート状部材と、積層体の最上位のシート状部材の間に、分離板を挿入した状態を示す図である。 図１５に示す状態の後に、吸引保持されているシート状部材の吸引保持を解除した状態を示す図である。 図１６に示す状態の後に、吸着保持部を退避位置へと位置させると共に、吸着ベッドを降下させて、吸着板を積層体に対して押し付けた状態を示す図である。 図１に示すシート取り出し装置において、第１吸着ユニット側に存在する吸着保持部のうち、並びの一方側に位置する吸着保持部を上昇させた状態を示す斜視図である。 図１８に示す状態の後に、第１吸着ユニット側に存在する吸着保持部のうち、並びの他方側に位置する吸着保持部を上昇させた状態を示す斜視図である。 図１９に示す状態の後に、第２吸着ユニット側に存在する吸着保持部のうち、並びの一方側に位置する吸着保持部を上昇させた状態を示す図である。 図２０に示す状態の後に、第２吸着ユニット側に存在する吸着保持部のうち、並びの他方側に位置する吸着保持部を上昇させた状態を示す図である。

以下、本発明の一実施の形態に係るシート取り出し装置１０について、以下に説明する。以下の説明では、支持軸４１の長手方向をＸ方向とし、Ｘ１側は図１における紙面右側、Ｘ２側は図１における紙面左側とする。また、第１吸着ユニット２０と第２吸着ユニット１２０とを結ぶ方向をＹ方向とし、Ｙ１側は図１における紙面手前側、Ｙ２側は図１における紙面奥側とする。また、Ｚ方向は図５における吸着ベッド２２０と載置台ユニット２００を結ぶ方向（上下方向）とし、Ｚ１側は図５における紙面奥側（上側）とし、Ｚ２側は図５における紙面手前側（下側）とする。

＜シート取り出し装置の構成について＞
図１は、シート取り出し装置１０の構成を示す概略図である。図１に示すように、シート取り出し装置１０は、第１吸着ユニット２０と、第２吸着ユニット１２０と、載置台ユニット２００と、制御部２１０と、吸着ベッド２２０（図５参照）と、を主要な構成要素としている。

これらのうち、第１吸着ユニット２０は、吸着保持部３０と、回動機構４０（第１回動機構に対応）と、吸引機構５０と、昇降機構６０と、分離板ユニット７０とを備えている。これらのうち、吸着保持部３０は、第１吸引手段の一部に対応する。なお、第１吸引手段は、吸着保持部３０のみならず、吸引機構５０も対応する。

図２は、吸着保持部３０の概略的な構成を示す図である。図２に示す吸着保持部３０は、シート状部材Ｓを吸着保持するものであり、回動機構４０を構成する支持軸４１（第１支持軸に対応）に取り付けられている。この吸着保持部３０は、吸着パッド３１を備え、その吸着パッド３１は、支持アーム３２に取り付けられている。

この吸着パッド３１の材質は、たとえばゴムやエラストマー等のような弾性を有する弾性部材から形成されている。そのため、吸着パッド３１の先端側のシート当接部３１ａがシート状部材Ｓに当接しても、シート状部材Ｓにダメージを与えない構成となっている。また、吸着パッド３１は、蛇腹状に設けられた筒状部材である。したがって、シート当接部３１ａの向きは、シート状部材Ｓに追従して容易に変化可能となっているので、シート状部材Ｓに反り等のような変形が生じていても、その変形に追従可能となっている。

また、吸着パッド３１は、支持アーム３２の先端側（一端側）に取り付けられている。支持アーム３２は、たとえば金属のような剛性を有する部材から形成されていて、吸着パッド３１および吸引分岐管路を支持可能となっている。また、支持アーム３２は、回動機構４０によって回動させられ、それによって吸着パッド３１がシート状部材Ｓに対して当接する当接動作と、シート状部材Ｓから離れる退避動作とを行える構成となっている。

図３は、吸着保持部３０、回動機構４０、吸引機構５０および昇降機構６０の概略的な構成を示す図である。回動機構４０は、支持軸４１と、支持柱４２と、回動用アクチュエータ４３（第１回動用アクチュエータに対応）とを備えている。支持軸４１は、支持アーム３２の他端側が取り付けられる部分であり、後述する回動用アクチュエータ４３の作動によって回動させられる部材である。この支持軸４１は、少なくとも２箇所が支持柱４２で回動可能に支持された軸部材である。なお、支持柱４２は、フレーム４４から立設された部材であり、支持軸４１や吸着保持部３０を支持する部分である。また、フレーム４４は、支持柱４２を支持する部材であり、たとえば支持柱４２の下方側に配置された、金属製の長尺状の部材が該当する。

また、支持軸４１の一端側には、駆動伝達機構４５を介して回動用アクチュエータ４３が取り付けられている。この回動用アクチュエータ４３の作動により支持軸４１が回動させられる。この回動動作における一端部は、吸着パッド３１がシート状部材Ｓに対して当接する動作の終点であり、また回動動作における他端部は、シート状部材Ｓから離れる退避動作の終点である。ここで、回動用アクチュエータ４３としては、たとえばエアシリンダ、油圧シリンダ、電磁シリンダ、ソレノイド、モータ等を用いることができる。なお、回動用アクチュエータ４３は、支持軸４１に対して直結されても良い。

また、吸引機構５０は、吸引ポンプ５１と、吸引管路５２とを備えている。吸引ポンプ５１は、吸着パッド３１によってシート状部材Ｓを吸引保持するための負圧を与えるものである。この吸引ポンプ５１には、吸引管路５２の一端側が接続されていて、該吸引管路５２の他端側が吸着パッド３１に接続されている。したがって、吸引ポンプ５１が作動し、吸着パッド３１がシート状部材Ｓに当接すると、吸着パッド３１によってシート状部材Ｓを吸引保持可能となる。

なお、吸引管路５２は、たとえば弾性を有する材質から形成されたチューブ、金属や樹脂製のパイプ等、空気を流通させる筒状の部材であれば、どのようなものであっても良い。また、上述した支持アーム３２が筒状に設けられている場合には、この支持アーム３２も吸引管路５２の一構成要素に該当する。

また、昇降機構６０は、上述した吸着保持部３０、回動機構４０をおよび吸引管路５２の少なくとも一部を昇降させるための機構である。なお、昇降機構６０は、吸引管路５２の少なくとも一部のみならず、吸引ポンプ５１を昇降させるようにしても良い。また、昇降機構６０は、第１昇降手段に対応する。この昇降機構６０は、フレーム４４の長手方向の両端側にそれぞれ配置されている。この昇降機構６０は、懸架部材６１と、昇降シリンダ６２とを備えている。

懸架部材６１は、フレーム４４の端部および昇降シリンダ６２のシリンダロッドの先端部とを結ぶ機構であり、たとえばリンク機構や軸受等を用いることができる。特に、リンク機構を用いる場合には、フレーム４４の一端側の昇降シリンダ６２と、フレーム４４の他端側の昇降シリンダ６２とが、異なるタイミングで昇降させる動作を行うことができ、フレーム４４およびそのフレーム４４に支持されている吸着保持部３０等を傾斜させることができる。

しかしながら、懸架部材６１は、リンク機構や軸受を用いずに、フレーム４４と昇降シリンダ６２の間を、たとえば金属製の柱状部材で連結するようにしても良い。なお、昇降シリンダ６２のシリンダロッドは、通常は傾斜することが不能であるので、懸架部材６１が金属製の柱状部材で構成される場合には、フレーム４４の一端側の昇降シリンダ６２と、フレーム４４の他端側の昇降シリンダ６２とが、同じタイミングで昇降させる動作を行うようにすることが好ましい。

また、昇降シリンダ６２は、フレーム４４や吸着保持部３０等が昇降する駆動力を与えるものである。この昇降シリンダ６２としては、たとえばエアシリンダ、油圧シリンダ、電磁シリンダ、ソレノイド、モータ等を用いることができる。

図４は、分離板ユニット７０の概略的な構成を示す図である。図４に示すように、分離板ユニット７０は、分離板７１と、支持アーム７２と、連結ビーム７３と、分離板アクチュエータ７４と、ガイド部材７５とを備えている。分離板７１は、積層体ＰＳ（図５参照）の最上位のシート状部材Ｓが吸着保持部３０によって保持されたまま持ち上げられた場合に、持ち上げられたシート状部材Ｓの直ぐ下側に位置しているシート状部材Ｓとの間に挿入される板状の部材である。この分離板７１の挿入により、後に吸着保持部３０で保持されているシート状部材Ｓが降下しても、直ぐ下のシート状部材Ｓに対して密着して離れなくなるのを防止することができる。なお、分離板７１は分離手段に対応する。

ここで、分離板７１は、シート状部材Ｓに対してダメージを与え難い材質から形成されている。具体的には、分離板７１は、シート状部材Ｓによって押圧力が付与されても、容易に変形可能な材質から形成されている。そのような材質としては、たとえばバネ鋼や、弾性を有する樹脂が挙げられる。なお、塵埃がシート状部材Ｓに付着するのを防ぐ観点から、分離板７１の材質は、バネ鋼が好適である。

また、支持アーム７２は、分離板７１を支持する部材であり、分離板７１の一端側を保持している。また、連結ビーム７３は、複数（図１および図４では３つ）の支持アーム７２を連結している部材である。また、分離板アクチュエータ７４は、移動手段に対応し、支持アーム７２をシート状部材Ｓに対して近接および離間させるような動作を実行させるものである。このような分離板アクチュエータ７４としては、たとえばエアシリンダ、油圧シリンダ、電磁シリンダ、ソレノイド、モータ等を用いることができる。なお、本実施の形態では、分離板アクチュエータ７４は、連結ビーム７３を移動させるように取り付けられている。また、ガイド部材７５は、分離板アクチュエータ７４の作動による、連結ビーム７３の移動をガイドする部材であり、たとえばレール状の部材や、リニアガイド等が該当する。

なお、図１に示すように、第２吸着ユニット１２０は、第１吸着ユニット２０と同様の構成を有している。具体的には、第２吸着ユニット１２０は、吸着保持部１３０、回動機構１４０（第２回動機構に対応）、吸引機構１５０、昇降機構１６０および分離板ユニット１７０を備えている。

すなわち、吸着保持部１３０は、シート当接部１３１ａを有する吸着パッド１３１、支持アーム１３２を備えている。なお、吸着保持部１３０は、第２吸引手段の一部に対応する。また、回動機構４０は、支持軸１４１（第２支持軸に対応）、支持柱１４２、回動用アクチュエータ１４３（第２回動用アクチュエータに対応）、およびフレーム１４４を備えている。また、吸引機構１５０は、吸引ポンプ１５１、吸引管路１５２を備えている。なお、吸引機構１５０は、第２吸引手段の一部に対応する。また、昇降機構１６０は、懸架部材１６１および昇降シリンダ１６２を備えている。なお、昇降機構１６０は、第２昇降手段に対応する。また、分離板ユニット１７０は、分離板１７１、支持アーム１７２、連結ビーム１７３、分離板アクチュエータ１７４、およびガイド部材１７５を備えている。なお、分離板１７１は分離手段に対応し、分離板アクチュエータ１７４は、移動手段に対応する。これらの各部位は、第１吸着ユニット２０の対応する部位の構成と同様の構成であるので、その説明は省略する。

また、シート取り出し装置１０は、載置台ユニット２００を備えている。図５は、載置台ユニット２００および吸着ベッド２２０を含めたシート取り出し装置１０の構成を示す概略図であり、シート取り出し装置１０を側方から見た状態を示す図である。図５に示すように、載置台ユニット２００は、載置台２０１と、昇降ガイド２０２と、載置台用シリンダ２０３とを有している。

載置台２０１は、平板状に設けられている部材であり、その上面側には多数のシート状部材Ｓが載置される。また、昇降ガイド２０２は、載置台２０１の縁部側（たとえば載置台２０１の縁部側に設けられた凹部等）に、所定の間隔で配置されることで、載置台２０１が位置ずれすることなく、上下方向（Ｚ方向）に昇降するのをガイドする部材である。また、載置台用シリンダ２０３は、載置台２０１が上下方向（Ｚ方向）に移動する駆動力を与える部材である。この載置台用シリンダ２０３としては、たとえばエアシリンダ、油圧シリンダ、電磁シリンダ、ソレノイド、モータ等を用いることができる。

また、シート取り出し装置１０は、制御部２１０を備えている。この制御部２１０は、第１吸着ユニット２０および第２吸着ユニット１２０の各駆動部位の駆動を制御する部分である。具体的には、制御部２１０は、回動用アクチュエータ４３，１４３、吸引ポンプ５１，１５１、昇降シリンダ６２，１６２および分離板アクチュエータ７４，１７４の駆動を制御する。

また、制御部２１０は制御手段に対応する。この制御部２１０は、たとえばコンピュータであり、外部記憶装置を含むメモリに記憶されている所定の制御データおよび所定の制御プログラムを実行することで、各種の制御動作を実行可能としている。なお、制御部２１０が実行する制御動作については、後述する。

図５に示すように、吸着ベッド２２０は、吸着板２２１と、移動機構連結部２２２と、図示を省略する吸引手段と、図示を省略する移動機構を備えている。吸着板２２１には、図示を省略する吸引孔が複数設けられている。このため、吸着板２２１は、シート状部材Ｓを、平面状に吸引可能となっている。また、移動機構連結部２２２は、図示を省略する移動機構に連結されている部分である。そのため、移動機構の作動により、吸着板２２１を降下させたり、吸着ベッド２２０で吸引されたシート状部材Ｓを、別途の処理部位に搬送することが可能となっている。

なお、シート状部材Ｓは、フレキシブルプリント基板の製造に用いられるシート状の部材であり、たとえば銅箔シート、ポリイミドシート等が該当する。なお、銅箔シートやポリイミドフィルム等のシート状部材Ｓには、たとえば銅箔フィルムやポリイミドフィルムといった基材に、リリースフィルムや保護フィルムといった別途のフィルム部材が貼り付けられていても良く、そのようなフィルム部材が貼り付けられていなくても良い。シート状部材Ｓにおける、たとえば銅箔材やポリイミド材等の基材に対して、別途のフィルム部材が貼り付けられている場合、基材とフィルム部材の熱収縮率の相違により、シート状部材Ｓには反りが生じ易い状態となっている。

＜制御動作について＞
以上のように構成されたシート取り出し装置１０を用いたフレキシブルプリント基板の製造方法について、以下に説明する。なお、以下の説明では、第１工程から第７工程について順次記載するが、これら以外の種々の工程が存在していても良いのは勿論である。

（１）第１工程：最上位のシート状部材Ｓの吸着保持（第１制御）
まず、図５に示すように、多数のシート状部材Ｓが積層された積層体ＰＳを、所定の載置部位にセットする。その後に、図６に示すように、制御部２１０は、吸着保持部３０の吸着パッド３１の先端部を積層体ＰＳの最上位のシート状部材Ｓ（以下、このシート状部材Ｓをシート状部材Ｓ１とする）に対して当接させるべく、載置台２０１を規定の上昇位置まで上昇させるように、載置台用シリンダ２０３を作動させる。このとき、制御部２１０は、吸引機構５０の吸引ポンプ５１を作動させて、最上位のシート状部材Ｓを吸着パッド３１によって吸引保持させる。

ここで、吸着パッド３１が当接する最上位のシート状部材Ｓ１には、その端部側が上側（Ｚ１側）に向かうように反りが生じている場合がある。しかしながら、吸着パッド３１は、ベローズ状に設けられていて、弾性的に変形可能となっている。したがって、シート状部材Ｓ１の反っている部位に吸着パッド３１の先端部が当接しても、その反りに倣うように吸着パッド３１が変形可能となっている。したがって、吸着パッド３１の先端部が最上位のシート状部材Ｓ１に当接する際に、その当接部位にダメージを与えるのを防止可能となっている。

なお、制御部２１０は、載置台用シリンダ２０３の上昇に代えて、吸着パッド３１がシート状部材Ｓ１に向かって下降するように昇降シリンダ６２を作動させても良い。このようにしても、最上位のシート状部材Ｓ１を吸引保持することができる。

（２）第２工程：最上位のシート状部材Ｓ１の積層体ＰＳからの離間（第３制御）
次に、図７に示すように、制御部２１０は、吸着パッド３１が最上位のシート状部材Ｓを吸引保持した状態で（すなわち、吸引ポンプ５１が作動した状態で）、最上位のシート状部材Ｓを積層体ＰＳから離間させるように、載置台用シリンダ２０３および昇降シリンダ６２を作動させる。

具体的には、制御部２１０は、載置台２０１を規定の退避位置まで下降させるように、載置台用シリンダ２０３を作動させる。それにより、積層体ＰＳと吸引保持されたシート状部材Ｓ１の間に、比較的大きな空間が形成される。このとき、シート状部材Ｓ１を持ち上げた後に、残りの積層体ＰＳの中で最上位に位置するシート状部材Ｓ（以下、このシート状部材Ｓをシート状部材Ｓ２とする）が想定される範囲内で大きく反っていても、シート状部材Ｓ１とシート状部材Ｓ２の間には、確実に隙間が形成されるような空間となっている。

（３）第３工程：振り落とし動作の実施（第２制御）
ところで、最上位のシート状部材Ｓ１を持ち上げる場合、そのシート状部材Ｓ１が積層時には隣り合っていた次位のシート状部材Ｓ２も、一緒に持ち上げられてしまう場合がある。また、次位のシート状部材Ｓ２を含めて、複数枚のシート状部材Ｓが持ち上げられてしまう場合もある。特に、シート状部材Ｓの表面粗さが非常に小さい場合（シート状部材Ｓが非常に滑らかな場合）、隣り合って密着しているシート状部材Ｓの間には、空気が入り込み難くなるので、そのようなシート状部材Ｓ同士の密着保持（以下、シート状部材Ｓの多数取りとする）が生じ易くなる。

そこで、積層体ＰＳの最上位のシート状部材Ｓ１を持ち上げた後に、そのシート状部材Ｓ１に他のシート状部材Ｓが密着していることを想定して、他のシート状部材Ｓの振り落とし動作を実施する。具体的には、制御部２１０は、第１吸着ユニット２０側の昇降シリンダ６２と、第２吸着ユニット１２０側の昇降シリンダ１６２とを、一緒のタイミングではなく、異なるタイミングで作動させるように制御する。以下、そのような振り落とし動作（第１の動作例および第２の動作例）に関して説明する。

（３－１）振り落とし動作の第１動作例
図８は、第１吸着ユニット２０側の昇降シリンダ６２と、第２吸着ユニット１２０側の昇降シリンダ１６２の作動タイミングの第１の動作例を示す図である。図８に示すように、制御部２１０は、最初に第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を上昇させるように昇降シリンダ６２を作動させるが、同じタイミングでは第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を上昇させずに、昇降シリンダ１６２の作動は停止しておく。このイメージを、図９に示す。すると、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を上昇した際に、シート状部材Ｓ１が斜めに傾斜する。このため、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が入り易くなり、他のシート状部材Ｓの多くがシート状部材Ｓ１から落下する。

次に、図８および図１０に示すように、制御部２１０は、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を規定位置まで上昇させるのに前後して、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を規定位置まで上昇させるように昇降シリンダ１６２を作動させる。すると、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０と、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０とが、共に上昇した状態となる。

次に、制御部２１０は、第１吸着ユニット２０側の昇降シリンダ６２と、第２吸着ユニット１２０側の昇降シリンダ１６２とを、再び異なるタイミングで作動させるように制御する。具体的には、図８および図１１に示すように、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を上昇させたままで、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を規定位置まで下降させる。このとき、シート状部材Ｓ１は、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０側が下側（Ｚ２側）に位置するように斜めに傾斜するが、シート状部材Ｓ１の第１吸着ユニット２０側は、次位のシート状部材Ｓ２に対して接触せずに間隔を有した状態となっている。

次に、図８および図１２に示すように、制御部２１０は、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を規定位置まで下降させるのに前後して、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を下降させた状態を維持したままで、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を規定位置まで下降させるように昇降シリンダ１６２を作動させる。このとき、シート状部材Ｓ１の第１吸着ユニット２０側と共に、シート状部材Ｓ１の第２吸着ユニット１２０側も、次位のシート状部材Ｓ２に対して接触せずに間隔を有した状態となっている。

次に、図８および図９に示すように、制御部２１０は、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を規定位置まで下降させるのに前後して、再び第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を上昇させるように昇降シリンダ６２を作動させるが、同じタイミングでは第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を上昇させずに、昇降シリンダ１６２の作動は停止しておく。

次に、図８および図１０に示すように、制御部２１０は、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を規定位置まで上昇させるのに前後して、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を規定位置まで再び上昇させるように昇降シリンダ１６２を作動させる。すると、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０と、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０とが、共に上昇した状態となる。それにより、吸着保持されているシート状部材Ｓ１と、次位のシート状部材Ｓ２の間には、大きな隙間が形成される。また、上述したような第１吸着ユニット２０および第２吸着ユニット１２０の上昇および下降を繰り返すことにより、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が一層入り易くなり、他のシート状部材Ｓがシート状部材Ｓ１から落下する。

以後は、後述する第４工程に移行する。しかしながら、より確実に他のシート状部材Ｓをシート状部材Ｓ１から落下させるために、再び図８に基づく振り落とし動作を繰り返すようにしても良い。

（３－２）振り落とし動作の第２動作例
次に、振り落し動作の第２動作例について説明する。図１３は、第１吸着ユニット２０側の昇降シリンダ６２と、第２吸着ユニット１２０側の昇降シリンダ１６２の作動タイミングの第２の動作例を示す図である。図１３に示すように、最初に第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を規定位置まで上昇させるように昇降シリンダ６２を作動させるが、同じタイミングでは第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を上昇させずに、昇降シリンダ１６２の作動は停止しておく。このイメージは、既に図９に示したのと同様となり、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を上昇した際に、シート状部材Ｓ１が斜めに傾斜する。このため、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が入り易くなり、他のシート状部材Ｓの多くがシート状部材Ｓ１から落下する。

次に、制御部２１０は、図１３および図１４に示すように、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を規定位置まで上昇させた後に、その第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を規定位置まで下降させるように昇降シリンダ１６２を作動させるが、同じタイミングでは第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を下降させずに、昇降シリンダ６２の作動は停止しておく。すると、上昇の頂部に至った吸着保持部１３０は、再び下降させられるので、シート状部材Ｓ１は、はためかせられたのと同様の状態となり、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が入り易くなる。それにより、他のシート状部材Ｓの多くがシート状部材Ｓ１から落下する。なお、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を規定位置まで下降させた際に、シート状部材Ｓ１の第２吸着ユニット１２０側は、次位のシート状部材Ｓ２に対して接触せずに間隔を有した状態となっている。

さらに、制御部２１０は、図１３および図１２に示すように、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を規定位置まで下降させるのに前後して、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を規定位置まで下降させるように昇降シリンダ６２を作動させるが、同じタイミングでは第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を上昇させずに、昇降シリンダ１６２の作動は停止しておく。このとき、シート状部材Ｓ１の第２吸着ユニット１２０側と共に、シート状部材Ｓ１の第１吸着ユニット２０側も、次位のシート状部材Ｓ２に対して接触せずに間隔を有した状態となっている。

次に、制御部２１０は、図１３および図１１に示すように、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を規定位置まで下降させるのに前後して、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を上昇させるように昇降シリンダ１６２を作動させるが、同じタイミングでは第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を上昇させずに、昇降シリンダ６２の作動は停止しておく。

次に、制御部２１０は、図１３および図１０に示すように、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０を上昇させたままで、再び第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０を規定位置まで上昇させるように昇降シリンダ１６２を作動させる。すると、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０と、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０とが、共に上昇した状態となる。それにより、吸着保持されているシート状部材Ｓ１と、次位のシート状部材Ｓ２の間には、大きな隙間が形成される。また、上述したような第１吸着ユニット２０および第２吸着ユニット１２０の上昇および下降を繰り返すことにより、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が一層入り易くなり、他のシート状部材Ｓがシート状部材Ｓ１から落下する。

以後は、後述する第４工程に移行する。しかしながら、より確実に他のシート状部材Ｓをシート状部材Ｓ１から落下させるために、再び図１３に基づく振り落とし動作を繰り返すようにしても良い。

なお、第１吸着ユニット２０側の昇降シリンダ６２と、第２吸着ユニット１２０側の昇降シリンダ１６２とを、一緒のタイミングではなく、異なるタイミングで作動させるような制御は、上記に限られるものではない。すなわち、最上位のシート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓを良好に落下させることができるものであれば、第１吸着ユニット２０側の昇降シリンダ６２と、第２吸着ユニット１２０側の昇降シリンダ１６２の動作のタイミングは、どのようなものであっても良い。

（４）第４工程：分離板７１の挿入（第４制御）
次に、図１５に示すように、制御部２１０は、吸着保持部３０，１３０で吸引保持されている（持ち上げられた）シート状部材Ｓ１と、残りの積層体ＰＳの最上位のシート状部材Ｓ２の間に、分離板７１を挿入するように、分離板アクチュエータ７４を作動させる。

（５）第５工程：最上位のシート状部材Ｓ１の吸引保持の解除（第５制御）
次に、制御部２１０は、載置台２０１を上昇させるように載置台用シリンダ２０３を作動させる。これと共に、制御部２１０は、第１吸着ユニット２０側の吸引ポンプ５１と、第２吸着ユニット１２０側の吸引ポンプ１５１の作動を停止させて、最上位のシート状部材Ｓ１の吸引保持を解除する。このとき、吸着保持部３０，１３０を下降させるように、昇降シリンダ６２，１６２を制御しても良い。

すると、図１６に示すように、最上位のシート状部材Ｓ１の吸引保持の解除により、最上位のシート状部材Ｓ１は、シート状部材Ｓ２（積層体ＰＳ）に向かって落下する。このとき、最上位のシート状部材Ｓ１と、シート状部材Ｓ２との間に、分離板７１が挟み込まれる状態となる。なお、分離板７１は弾性変形可能な部材によって形成されているので、分離板７１がシート状部材Ｓ１，Ｓ２に当接しても、それらに損傷を与えるのを防ぐことが可能となっている。

なお、シート状部材Ｓ１の吸引保持の解除後に、制御部２１０は、回動用アクチュエータ４３，１４３を作動させて、吸着保持部３０，１３０を退避位置へと位置させる（図１７参照）。それにより、次工程で吸着ベッド２２０が下降しても、吸着保持部３０，１３０が吸着ベッド２２０と干渉するのを防ぐことができる。

（６）第６工程：吸着ベッド２２０による最上位のシート状部材Ｓ１の吸引保持
次に、制御部２１０は、不図示の吸引手段および移動機構を作動させつつ、吸着ベッド２２０を降下させる。そして、吸着板２２１を積層体ＰＳに対して押し付け、該積層体ＰＳを吸着板２２１と載置台２０１とで挟み込む状態とする。このとき、最上位のシート状部材Ｓ１に反りが生じていても、この挟み込み動作によって、最上位のシート状部材Ｓ１は、その反りが矯正された状態で吸着板２２１に吸引保持される。この様子を、図１７に示す。なお、図１７に示す状態でも、図１６に示す状態と同様に、最上位のシート状部材Ｓ１と、シート状部材Ｓ２との間に、分離板７１が挟み込まれている。

ここで、吸着板２２１を強く押し付けてしまうと、積層体ＰＳと吸着板２２１の間に分離板７１，１７１が挟み込まれることで、打痕が発生してしまう虞がある。かかる打痕を生じさせないために、吸着ベッド２２０が図示を省略する吸引ブロワを備え、その吸引ブロワで吸引しながら吸着板２２１が徐々に下降する。そして、吸着板２２１が最上位のシート状部材Ｓ１を下側（Ｚ２側）に押し付ける直前に、その最上位のシート状部材Ｓ１のみを上昇させるように吸引することが好ましい。なお、吸着板２２１は、最上位のシート状部材Ｓ１を吸着保持するまで徐々に下降し、そのシート状部材Ｓ１を吸着保持すると、吸着板２２１の下降が停止される。ここで、最上位のシート状部材Ｓ１を吸着保持したか否かの判断のために、吸着ベッド２２０は、図示を省略する真空センサを備えるようにしても良い。

なお、最上位のシート状部材Ｓ１を始めとして、シート状部材Ｓに反りが生じている場合、最上位のシート状部材Ｓ１が平坦状となるまで吸着板２２１が下降しないと、真空センサが最上位のシート状部材Ｓ１を吸引ブロワで吸着保持したと判断しない。その場合、最上位のシート状部材Ｓ１が吸引ブロワで吸引可能となる程度まで、最上位のシート状部材Ｓ１が平坦状に押し込まれる。しかしながら、平坦状に押し込まれても、最上位のシート状部材Ｓ１を吸着保持した際には、それ以上の最上位のシート状部材Ｓ１の下側（Ｚ２側）への押し込みは停止されるので、上述のような打痕が生じるのを防ぐことが可能となる。

なお、吸着板２２１で最上位のシート状部材Ｓ１が吸引された後に、不図示の移動機構を作動させて、吸着ベッド２２０を上昇させ、その後に最上位のシート状部材Ｓ１を別途の処理部位へと搬送する。

（７）第７工程：載置台２０１の下降（初期位置への復帰）
次に、制御部２１０は、載置台２０１を下降させるように載置台用シリンダ２０３を作動させて、載置台２０１を初期位置へと移動させる。そして、以後は、上述した第１工程から第７工程の動作を繰り返し、積層体ＰＳから順次、シート状部材Ｓを取り出すようにする。

＜他の制御動作について＞
ところで、上述のような第１吸着ユニット２０側および第２吸着ユニット１２０側の、他のシート状部材Ｓを落下させるための動作は、次のようにしても良い。まず、上述した図６で説明したのと同様な第１工程（最上位のシート状部材Ｓの吸着保持）を実施する。この第１工程は、既に説明しているので、その説明を省略する。

次に、第２工程（最上位のシート状部材Ｓ１の積層体ＰＳからの離間）および第３工程（振り落とし動作の実施）を兼ねた動作として、次のような第８工程～第１１工程の動作を行う。

（８）第８工程：第１吸着ユニット２０の並びの一方側（Ｘ１側）の吸着保持部３０の上昇
第１工程の後に、たとえば第１吸着ユニット２０側に存在する吸着保持部３０のうち、並びの一方側（Ｘ１側）に位置する吸着保持部３０が上昇するように、制御部２１０が昇降シリンダ６２の作動を制御する。この状態を、図１８に示す。すると、支持軸４１は傾斜するので、吸着保持部３０のうち、並びの一方側（Ｘ１側）から他方側（Ｘ２側）に向かうにつれて、吸着保持部３０の高さ位置が徐々に低くなる。このとき、第２吸着ユニット１２０側に存在する吸着保持部１３０は、高さ位置が揃う状態で並んでいるので、吸引保持されているシート状部材Ｓ１は、平面状ではなく、奥側（Ｙ２側）が捩じれるように吸引保持された状態となる。

このような、シート状部材Ｓ１を捩じるような動作の実施により、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が入り易くなり、他のシート状部材Ｓの多くがシート状部材Ｓ１から落下する。

（９）第９工程：第１吸着ユニット２０の並びの他方側（Ｘ２側）の吸着保持部３０の上昇
次に、第１吸着ユニット２０側に存在する吸着保持部３０のうち、並びの他方側（Ｘ２側）に位置する吸着保持部３０が上昇するように、制御部２１０が昇降シリンダ６２の作動を制御する。この状態を、図１９に示す。すると、第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０は全体的に上昇した状態となる。このとき、第１吸着ユニット２０側では、吸着保持されているシート状部材Ｓ１と次位のシート状部材Ｓ２との間に、隙間が形成される。

このとき、シート状部材Ｓ１は、捩じれ状態から復帰して、その奥側（Ｙ２側）が全体的に持ち上げられる状態となる。かかる動作の実施によっても、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が入り易くなり、他のシート状部材Ｓの多くがシート状部材Ｓ１から落下する。

（１０）第１０工程：第２吸着ユニット１２０の並びの一方側（Ｘ１側）の吸着保持部１３０の上昇
次に、第２吸着ユニット１２０側に存在する吸着保持部１３０のうち、並びの一方側（Ｘ１側）に位置する吸着保持部１３０が上昇するように、制御部２１０が昇降シリンダ１６２の作動を制御する。この状態を、図２０に示す。すると、支持軸１４１は傾斜するので、吸着保持部１３０のうち、並びの一方側（Ｘ１側）から他方側（Ｘ２側）に向かうにつれて、吸着保持部１３０の高さ位置が徐々に低くなる。このとき、第１吸着ユニット２０側の複数の吸着保持部３０は、同じ高さとなるように既に上昇しているので、吸引保持されているシート状部材Ｓ１は、平面状ではなく、手前側（Ｙ１側）が捩じれるように吸引保持された状態となる。

このような、シート状部材Ｓ１を捩じるような動作の実施により、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、さらに空気が入り易くなり、他のシート状部材Ｓの多くがシート状部材Ｓ１から落下する。

（１１）第１１工程：第２吸着ユニット１２０の並びの他方側（Ｘ２側）の吸着保持部１３０の上昇
次に、第２吸着ユニット１２０側に存在する吸着保持部１３０のうち、並びの他方側（Ｘ２側）に位置する吸着保持部１３０が上昇するように、制御部２１０が昇降シリンダ１６２の作動を制御する。この状態を、図２１に示す。すると、第２吸着ユニット１２０側の吸着保持部１３０は全体的に上昇した状態となる。また、このときには、既に第１吸着ユニット２０側の吸着保持部３０は、全体的に上昇している。したがって、吸着保持されているシート状部材Ｓ１と次位のシート状部材Ｓ２との間には、概ね平行な状態の隙間（空間）が形成される。

このとき、シート状部材Ｓ１は、捩じれ状態から復帰して、その奥側（Ｙ２側）が全体的に持ち上げられる状態となる。かかる動作の実施によっても、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が入り易くなり、他のシート状部材Ｓがシート状部材Ｓ１から落下する。

このような、第８工程～第１１工程の動作を経ることにより、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が入り易くなり、シート状部材Ｓ１に密着していた他のシート状部材Ｓが落下する。

なお、第１１工程の後には、上述したような、第４工程（分離板７１の挿入）、第５工程（最上位のシート状部材Ｓ１の吸引保持の解除）、第６工程（吸着ベッド２２０による最上位のシート状部材Ｓ１の吸引保持）、および第７工程（載置台２０１の下降（初期位置への復帰））を、順次実行する。

なお、上述した各工程の後に、フレキシブルプリント基板を製造するための各工程を実施することで、製品としてのフレキシブルプリント基板が製造される。

＜効果について＞
以上のような構成のシート取り出し装置１０は、フレキシブルプリント基板の製造に用いられるシート状部材Ｓを取り出すものであり、シート状部材Ｓの一方の縁部側を吸引保持可能な吸着保持部３０（第１吸引手段）と、シート状部材Ｓの他方の縁部側を吸引保持可能な吸着保持部１３０（第２吸引手段）と、吸着保持部３０（第１吸引手段）を昇降させる昇降機構６０（第１昇降手段）と、吸着保持部１３０（第２吸引手段）を昇降させる昇降機構１６０（第２昇降手段）と、昇降機構６０（第１昇降手段）および昇降機構１６０（第２昇降手段）の作動を制御する制御部２１０（制御手段）とを備える。

また、制御部２１０（制御手段）は、複数枚のシート状部材Ｓが積層されている積層体ＰＳから最上位に積層されているシート状部材Ｓ１を吸着保持部３０（第１吸引手段）および吸着保持部１３０（第２吸引手段）で吸引保持させるように昇降機構６０（第１昇降手段）および昇降機構１６０（第２昇降手段）の作動を制御する第１制御を行い、その第１制御の後に、吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）のうちのいずれか一方をいずれか他方に対して相対的に昇降させるように、昇降機構６０（第１昇降手段）と昇降機構１６０（第２昇降手段）のうちの少なくとも一方の作動を制御することで、吸引保持している以外のシート状部材Ｓを振り落すための第２制御を行う。

このため、第１制御により、最上位のシート状部材Ｓ１が吸着保持部３０（第１吸引手段）および吸着保持部１３０（第２吸引手段）で吸引保持された状態とした後に、第２制御により、その第１制御の後に、吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）のうちのいずれか一方をいずれか他方に対して相対的に昇降させることで、吸引保持されているシート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が入り易くなり、他のシート状部材Ｓの多くがシート状部材Ｓ１から落下する。したがって、シート状部材Ｓを複数枚取り出すのを防止可能となる。

また、このような、シート状部材Ｓを複数枚取り出してしまうのを防止するためには、現状は、人手によってシート状部材Ｓを取り出すようにしているが、本実施の形態のシート取り出し装置１０を用いることで、そのシート状部材Ｓの取り出しが自動的に行える。そのため、シート状部材Ｓの取り出しにおけるヒューマンエラーを防止することができると共に、自動的な取り出しの実施により、フレキシブルプリント基板の生産性を向上させることができる。

また、このようなシート状部材Ｓの複数枚の取り出しを防止するための動作は、吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）との間の相対的な昇降動作により実現されるので、シート状部材Ｓに歪みが生じない状態とすることができる。

また、本実施の形態では、制御部２１０（制御手段）は、上述の第１制御の後に、吸着保持部３０（第１吸引手段）および吸着保持部１３０（第２吸引手段）で吸引保持されたシート状部材Ｓを積層体ＰＳから離間させる方向に移動させるように昇降機構６０（第１昇降手段）および昇降機構１６０（第２昇降手段）の作動を制御する第３制御を行い、その第３制御の後に、第２制御を行ようにしている。

このため、シート状部材Ｓに反りのような変形が生じていても、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓを落下させるための空間を確保することができる。また、吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）との間の相対的な昇降動作を行うための十分なスペースを確保することができ、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓを良好に落下させることができる。

さらに、本実施の形態では、昇降機構６０（第１昇降手段）は、吸着保持部３０（第１吸引手段）の長手方向の一方側を昇降させる昇降シリンダ６２（一方側第１昇降手段）と、吸着保持部３０（第１吸引手段）の長手方向の他方側を昇降させる昇降シリンダ６２（他方側第１昇降手段）とを備えている。また、昇降機構１６０（第２昇降手段）は、吸着保持部１３０（第２吸引手段）の長手方向の一方側を昇降させる昇降シリンダ１６２（一方側第２昇降手段）と、吸着保持部１３０（第２吸引手段）の長手方向の他方側を昇降させる昇降シリンダ１６２（他方側第２昇降手段）とを備えている。また、第２制御では、制御部２１０（制御手段）は、吸着保持部３０（第１吸引手段）の長手方向の一方側を上昇させるように昇降シリンダ６２（一方側第１昇降手段）の作動を制御し、その作動開始の後に吸着保持部３０（第１吸引手段）の長手方向の他方側を上昇させるように昇降シリンダ６２（他方側第１昇降手段）の作動を制御し、さらに吸着保持部１３０（第２吸引手段）の長手方向の一方側を上昇させるように昇降シリンダ１６２（一方側第２昇降手段）の作動を制御し、その作動開始の後に吸着保持部１３０（第２吸引手段）の長手方向の他方側を上昇させるように昇降シリンダ１６２（他方側第２昇降手段）の作動を制御している。

このため、長手方向（Ｘ方向）の他方側（Ｘ２側）に位置する吸着保持部３０（第１吸引手段）に対して、長手方向（Ｘ方向）の一方側（Ｘ１側）に位置する吸着保持部３０（第１吸引手段）が上昇するので、図１８に示すように、シート状部材Ｓ１を捩じるような動作が実施される。また、長手方向（Ｘ方向）の他方側（Ｘ２側）に位置する吸着保持部１３０（第２吸引手段）に対して、長手方向（Ｘ方向）の一方側（Ｘ１側）に位置する吸着保持部３０（第２吸引手段）が上昇するので、図２０に示すように、シート状部材Ｓ１を捩じるような動作が実施される。このような動作の実施により、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が入り易くなり、他のシート状部材Ｓの多くがシート状部材Ｓ１から落下する。したがって、シート状部材Ｓを複数枚取り出すのを良好に防止可能となる。

また、本実施の形態では、上述した第２制御では、吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）のうちのいずれか一方を積層体ＰＳから離間させる方向に移動させると共に、吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）のうちのいずれか他方は移動させない状態となるように、昇降機構６０（第１昇降手段）および昇降機構１６０（第２昇降手段）の作動を制御すると共に、その作動開始の後に吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）のうちのいずれか１つを移動させない状態としつつ、吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）のうちの残りの１つを積層体ＰＳから離間させる方向に移動させるように、昇降機構６０（第１昇降手段）および昇降機構１６０（第２昇降手段）の作動を制御している。

このため、図８や図１３に示すように、吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）のいずれか一方が、いずれか他方を支点として昇降させる状態となるので、シート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が入り易くなる。それにより、他のシート状部材Ｓを最上位のシート状部材Ｓ１から良好に落下させることができ、シート状部材Ｓを複数枚取り出すのを良好に防止可能となる。

さらに、本実施の形態では、シート取り出し装置１０は、隣り合うシート状部材Ｓの間に挿入されて、これらのシート状部材Ｓの間での吸着を防止する分離板７１（分離手段）と、分離板７１（分離手段）を隣り合うシート状部材Ｓの間に挿入させるように分離板７１（分離手段）を移動させる分離板アクチュエータ７４（移動手段）とを備えている。また、制御部２１０（制御手段）は、分離板アクチュエータ７４（移動手段）の作動を制御すると共に、制御部２１０（制御手段）は、上述した第３制御の後に、吸着保持部３０（第１吸引手段）および吸着保持部１３０（第２吸引手段）で保持されているシート状部材Ｓ１と、積層体ＰＳの最上位のシート状部材Ｓ２との間に、分離板７１（分離手段）を配置するように、分離板アクチュエータ７４（移動手段）の作動を制御する第４制御を行う。

このため、吸着保持部３０および吸着保持部１３０（第１吸引手段および第２吸引手段）で吸引保持しているシート状部材Ｓ１の保持を解除し、そのシート状部材Ｓ１が積層体ＰＳの最上位のシート状部材Ｓ２に向かって落下すると、シート状部材Ｓ１と、シート状部材Ｓ２との間に、分離板７１が挟み込まれる状態となる。したがって、シート状部材Ｓ１とシート状部材Ｓ２とが再び密着してしまうのを防止して、シート状部材Ｓ１とシート状部材Ｓ２とを良好に分離させることができる。

また、本実施の形態では、シート取り出し装置１０は、シート状部材Ｓを平面状に吸引保持可能であると共に積層体ＰＳに対して昇降可能な吸着ベッド２２０を備え、この吸着ベッド２２０は制御部２１０（制御手段）によって作動が制御されている。また、上述した第４制御の後に、制御部２１０（制御手段）は、吸着保持部３０および吸着保持部１３０（第１吸引手段および第２吸引手段）で保持されているシート状部材の保持を解除するように吸引機構５０（第１吸引手段）および吸引機構１５０（第２吸引手段）の作動を制御して、シート状部材Ｓ１を積層体ＰＳに重ねさせる第５制御を行う。また、制御部２１０（制御手段）は、第５制御の後に、積層体ＰＳ（積層体）を押圧するように吸着ベッド２２０を下降させると共に、積層体ＰＳの最上位のシート状部材Ｓ１を吸引保持するように吸着ベッド２２０の作動を制御する。

このため、図１７に示すように、吸着ベッド２２０の下降による積層体ＰＳを押圧する動作により、積層体ＰＳを吸着板２２１と載置台２０１とで挟み込む状態となる。それにより、最上位のシート状部材Ｓ１に反りが生じていても、この挟み込み動作によって、最上位のシート状部材Ｓ１は、その反りを矯正することができる。そのため、最上位のシート状部材Ｓ１は、平面状となった状態で吸着ベッド２２０に吸引保持させることができる。それにより、フレキシブルプリント基板を製造する後の工程において、正確なシート状部材Ｓ１の位置決めを行うことができる。

また、本実施の形態では、吸着保持部３０および吸着保持部１３０（第１吸引手段および第２吸引手段）は、弾性部材を材質とすると共に蛇腹状に設けられている吸着パッド３１，１３１を備えている。このため、吸着パッド３１は、シート状部材Ｓに追従して容易に変化可能となるので、シート状部材Ｓに反り等のような変形が生じていても、その変形に追従させることができる。このため、シート状部材Ｓに吸着パッド３１が当接しても、シート状部材Ｓに損傷が生じるのを防止可能となる。

また、本実施の形態におけるフレキシブルプリント基板の製造方法は、積層体ＰＳから最上位に積層されているシート状部材Ｓ１を、シート状部材Ｓ１の一方の縁部側を吸引保持可能な吸着保持部３０（第１吸引手段）、およびシート状部材Ｓ１の他方の縁部側を吸引保持可能な吸着保持部１３０（第２吸引手段）で吸引保持させるように昇降機構６０（第１昇降手段）および昇降機構１６０（第２昇降手段）の作動を制御する吸引工程と、その吸引工程の後に、吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）のうちのいずれか一方をいずれか他方に対して相対的に昇降させるように、吸着保持部３０（第１吸引手段）を昇降させる昇降機構６０（第１昇降手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）を昇降させる昇降機構１６０（第２昇降手段）のうちの少なくとも一方を作動させることで、吸引保持している以外のシート状部材Ｓを振り落すための振り落とし工程と、を備えている。

このため、吸引工程により、最上位のシート状部材Ｓ１が吸着保持部３０（第１吸引手段）および吸着保持部１３０（第２吸引手段）で吸引保持された状態とした後に、振り落し工程により、吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）のうちのいずれか一方をいずれか他方に対して相対的に昇降させることで、吸引保持されているシート状部材Ｓ１に密着している他のシート状部材Ｓとの間に、空気が入り易くなり、他のシート状部材Ｓの多くがシート状部材Ｓ１から落下する。したがって、シート状部材Ｓを複数枚取り出すのを防止可能となる。

また、このような、シート状部材Ｓを複数枚取り出してしまうのを防止するためには、現状は、人手によってシート状部材Ｓを取り出すようにしているが、本実施の形態のシート取り出し装置１０を用いることで、そのシート状部材Ｓの取り出しが自動的に行える。そのため、シート状部材Ｓの取り出しにおけるヒューマンエラーを防止することができると共に、自動的な取り出しの実施により、フレキシブルプリント基板の生産性を向上させることができる。

また、このようなシート状部材Ｓの複数枚の取り出しを防止するための動作は、吸着保持部３０（第１吸引手段）と吸着保持部１３０（第２吸引手段）との間の相対的な昇降動作により実現されるので、シート状部材Ｓに歪みが生じない状態とすることができる。

＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。

上述の実施の形態では、第１吸引手段には吸着保持部３０および吸引機構５０が対応し、第２吸引手段には吸着保持部１３０および吸引機構１５０が対応するものとしている。しかしながら、かかる対応関係を逆にしても良い。すなわち、第１吸引手段には吸着保持部１３０および吸引機構１５０が対応し、第２吸引手段には吸着保持部３０および吸引機構５０が対応するようにしても良い。同様に、第１昇降手段には昇降機構１６０が対応し、第２昇降手段には昇降機構６０が対応するようにしても良い。

また、上述の実施の形態においては、吸着パッド３１は、蛇腹状に設けられた構成としている。しかしながら、吸着パッド３１は、そのような構成には限られず、たとえば所定の長さのゴムチューブに、所定ピッチで吸引孔が設けられているものを用いる等、その他の構成としても良い。

また、上述の実施の形態のシート取り出し装置１０は、さらに別途の構成を備えても良い。たとえば、シート状部材Ｓ同士が、静電気により吸着する場合に対応させて、イオナイザ（除電ブロア）を設け、そのイオナイザから所定の電荷に帯電された空気を吹き付けて、静電気を取り除くようにしても良い。

また、上述した各制御動作においては、ある制御動作が終了してから、次の制御動作を開始するようにしても良いが、ある制御動作が終了したのと同時か、または終了しないうちに、次の制御動作を開始するようにしても良い。

また、上述の実施の形態におけるシート状部材Ｓは、ポリイミドフィルム等の基材の片面側にのみ銅箔が存在する片面銅箔材でも良く、基材の両面側に銅箔が存在する両面銅箔材でも良く、両面銅箔材以上の多層の銅箔を有する多層材でも良い。また、シート状部材Ｓは、基材および銅箔以外に、接着材層や、その接着材層を保護するリリースフィルムを備えていても良い。かかる接着材層やリリースフィルムを備える場合、それらを備えない場合よりもシート状部材Ｓの厚みが大きくなる。そのため、シート状部材Ｓに反りが生じていても、吸着板２２１が下降して最上位のシート状部材Ｓ１を吸着保持する際に、打痕が一層生じ難くなる。

１０…シート取り出し装置、２０…第１吸着ユニット、３０…吸着保持部（第１吸引手段の一部に対応）、３１…吸着パッド、３１ａ…シート当接部、３２…支持アーム、４０…回動機構、４１…支持軸、４２…支持柱、４３…回動用アクチュエータ、４４…フレーム、４５…駆動伝達機構、５０…吸引機構（第１吸引手段の一部に対応）、５１…吸引ポンプ、５２…吸引管路、６０…昇降機構（第１昇降手段に対応）、６１…懸架部材、６２…昇降シリンダ、７０…分離板ユニット、７１…分離板（分離手段に対応）、７２…支持アーム、７３…連結ビーム、７４…分離板アクチュエータ（移動手段に対応）、７５…ガイド部材、１２０…第２吸着ユニット、１３０…吸着保持部（第２吸引手段の一部に対応）、１３１…吸着パッド、１３１ａ…シート当接部、１３２…支持アーム、１４０…回動機構、１４１…支持軸、１４２…支持柱、１４３…回動用アクチュエータ、１４４…フレーム、１４５…駆動伝達機構、１５０…吸引機構（第２吸引手段の一部に対応）、１５１…吸引ポンプ、１５２…吸引管路、１６０…昇降機構（第２昇降手段に対応）、１６１…懸架部材、１６２…昇降シリンダ、１７０…分離板ユニット、１７１…分離板（分離手段に対応）、１７２…支持アーム、１７３…連結ビーム、１７４…分離板アクチュエータ（移動手段に対応）、１７５…ガイド部材、２００…載置台ユニット、２０１…載置台、２０２…昇降ガイド、２０３…載置台用シリンダ、２１０…制御部（制御手段に対応）、２２０…吸着ベッド、２２１…吸着板、２２２…移動機構連結部、ＰＳ…積層体、Ｓ，Ｓ１，Ｓ２…シート状部材

Claims (7)

1. フレキシブルプリント基板の製造に用いられるシート状部材を取り出すシート取り出し装置であって、
   前記シート状部材の一方の縁部側を吸引保持可能な複数の第１吸引手段と、
   前記シート状部材の他方の縁部側を吸引保持可能な複数の第２吸引手段と、
   前記第１吸引手段を昇降させる第１昇降手段と、
   前記第２吸引手段を昇降させる第２昇降手段と、
   前記第１昇降手段および前記第２昇降手段の作動を制御する制御手段と、
   複数の前記第１吸引手段を回動させて前記第１吸引手段を前記シート状部材に当接させる当接動作と前記シート状部材から離れるための退避動作を行うための第１回動機構と、
   複数の前記第２吸引手段を回動させて前記第２吸引手段を前記シート状部材に当接させる当接動作と前記シート状部材から離れるための退避動作を行うための第２回動機構と、
   を備え、
   前記第１回動機構は、前記複数の第１吸引手段を同時に回転させる第１支持軸と、前記制御手段の作動制御によって当該第１支持軸を回動させる第１回動用アクチュエータとを備え、
   前記第２回動機構は、前記複数の第２吸引手段を同時に回転させる第２支持軸と、前記制御手段の作動制御によって当該第２支持軸を回動させる第２回動用アクチュエータとを備え、
   前記制御手段は、複数枚の前記シート状部材が積層されている積層体から最上位に積層されている前記シート状部材を前記第１吸引手段および前記第２吸引手段で吸引保持させるように前記第１昇降手段および前記第２昇降手段の作動を制御する第１制御を行い、
   前記第１制御の後に、前記第１吸引手段および前記第２吸引手段で吸引保持された前記シート状部材を前記積層体から離間させる方向に移動させるように前記第１昇降手段および前記第２昇降手段の作動を制御する第３制御を行い、
   その第３制御の後に、前記第１吸引手段と前記第２吸引手段のうちのいずれか一方をいずれか他方に対して相対的に昇降させるように、前記第１昇降手段と前記第２昇降手段のうちの少なくとも一方の作動を制御することで、吸引保持している以外の前記シート状部材を振り落すための第２制御を行う、
   ことを特徴とするシート取り出し装置。
2. 請求項１記載のシート取り出し装置であって、
   前記第１昇降手段は、前記第１吸引手段の長手方向の一方側を昇降させる一方側第１昇降手段と、前記第１吸引手段の長手方向の他方側を昇降させる他方側第１昇降手段とを備え、
   前記第２昇降手段は、前記第２吸引手段の長手方向の一方側を昇降させる一方側第２昇降手段と、前記第２吸引手段の長手方向の他方側を昇降させる他方側第２昇降手段とを備え、
   前記第２制御では、前記制御手段は、前記第１吸引手段の長手方向の一方側を上昇させるように前記一方側第１昇降手段の作動を制御し、その作動開始の後に前記第１吸引手段の長手方向の他方側を上昇させるように前記他方側第１昇降手段の作動を制御し、
   さらに前記第２吸引手段の長手方向の一方側を上昇させるように前記一方側第２昇降手段の作動を制御し、その作動開始の後に前記第２吸引手段の長手方向の他方側を上昇させるように前記他方側第２昇降手段の作動を制御する、
   ことを特徴とするシート取り出し装置。
3. 請求項１記載のシート取り出し装置であって、
   前記第２制御では、前記第１吸引手段と前記第２吸引手段のうちのいずれか一方を前記積層体から離間させる方向に移動させると共に、前記第１吸引手段と前記第２吸引手段のうちのいずれか他方は移動させない状態となるように、前記第１昇降手段および前記第２昇降手段の作動を制御すると共に、
   その作動開始の後に前記第１吸引手段と前記第２吸引手段のうちのいずれか１つを移動させない状態としつつ、前記第１吸引手段と前記第２吸引手段のうちの残りの１つを前記積層体から離間させる方向に移動させるように、前記第１昇降手段および前記第２昇降手段の作動を制御する、
   ことを特徴とするシート取り出し装置。
4. 請求項１記載のシート取り出し装置であって、
   隣り合う前記シート状部材の間に挿入されて、これらのシート状部材の間での吸着を防止する分離手段と、
   前記分離手段を隣り合う前記シート状部材の間に挿入させるように該分離手段を移動させる移動手段とを備え、
   前記制御手段は、前記移動手段の作動を制御すると共に、
   前記制御手段は、前記第３制御の後に、前記第１吸引手段および前記第２吸引手段で保持されている前記シート状部材と、前記積層体の最上位の前記シート状部材との間に、前記分離手段を配置するように、前記移動手段の作動を制御する第４制御を行う、
   ことを特徴とするシート取り出し装置。
5. 請求項４記載のシート取り出し装置であって、
   前記シート状部材を平面状に吸引保持可能であると共に前記積層体に対して昇降可能な吸着ベッドを備え、この吸着ベッドは前記制御手段によって作動が制御され、
   前記第４制御の後に、前記制御手段は、前記第１吸引手段および前記第２吸引手段で保持されている前記シート状部材の保持を解除するように前記第１吸引手段および前記第２吸引手段の作動を制御して、当該シート状部材を前記積層体に重ねさせる第５制御を行い、
   前記制御手段は、前記第５制御の後に、前記積層体を押圧するように前記吸着ベッドを下降させると共に、前記積層体の最上位の前記シート状部材を吸引保持するように前記吸着ベッドの作動を制御する、
   ことを特徴とするシート取り出し装置。
6. 請求項１から５のいずれか１項に記載のシート取り出し装置であって、
   前記第１吸引手段および前記第２吸引手段は、弾性部材を材質とすると共に蛇腹状に設けられている吸着パッドを備えている、
   ことを特徴とするシート取り出し装置。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載のシート取り出し装置であって、
   前記シート状部材を吸引保持する吸着ベッドを備え、
   前記吸着ベッドは、複数の吸引孔が設けられていて当該複数の吸引孔を介して前記シート状部材を平面状に吸引可能な吸着板を備える、
   ことを特徴とするシート取り出し装置。

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