KR101052883B1 - 편광판 이송장치 및 편광판 이송방법 - Google Patents

편광판 이송장치 및 편광판 이송방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 편광판 이송장치는 편광판이 적재된 적재 카세트의 상부에 위치하며 측방향으로 이동 가능하도록 된 이송대; 상기 이송대에 다수개 설치되며 상기 편광판을 흡착하는 다수의 흡착패드; 상기 흡착패드를 상기 편광판의 표면으로 하강시키는 다수개의 승강 액츄에이터; 상기 승강 액츄에이터들을 선택적으로 상승 하강시키는 제어부를 구비하는 것으로, 본 발명에 따른 편광판 이송장치와 편광판 이송방법은 공급을 위하여 적층 되어 있는 편광판들의 흡착시 2매 이상의 편광판이 흡착된 상태를 해소하는 2매 분리 동작을 수행하도록 함으로써 낱장의 편광판이 효과적으로 공급되도록 하고, 또한 편광판의 흡착실패시를 감지하도록 하여 편광판 공급 에러가 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Description

편광판 이송장치 및 편광판 이송방법{Polarizer transfer apparatus and Polarizer transfer method}
본 발명은 편광판 이송장치 및 편광판 이송방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 편광판이 적층된 편광판 적층 카세트에서 편광판을 이송하는 편광판 이송장치 및 편광판 이송방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 액정 표시 장치는 전기적인 신호를 영상으로 표시할 수 있는 액정 패널을 구비한다. 이와 같은 액정 패널의 외면에는 편광판이 부착되어 전체 방향으로 진동하는 빛을 특정 방향으로만 진동하는 빛으로 편광시켜 원하는 영상이 구현되도록 한다. 따라서 액정 패널의 외면에 편광판을 부착하기 위하여, 편광판을 낱장 단위로 공급해주는 편광판 이송장치와, 공급된 편광판을 액정 패널의 외면에 부착하는 편광판 부착 장치가 사용된다.
그런데, 편광판은 100 - 600 마이크로미터 정도의 두께를 가지는 매우 얇은 필름 형태로 되어 있고, 최초 공급될 때 카세트에 다량이 적층되어 있으므로 상호 간의 정전기력 또는 모서리 부분에 잔존하는 접착제 등에 의하여 복수매가 한꺼번에 공급되는 경우가 발생하는 문제점이 있다. 또한 편광판 이송장치에서 편광판을 이송할 때 편광판이 제대로 흡착 이송되지 못하는 경우가 발생하면 이후 공정 진행이 진행되지 못하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 편광판을 낱장씩 자동 분리하여 공급하도록 하고, 또한 편광판의 공급을 위한 흡착 유무를 식별하여 편광판을 공급할 수 있도록 하는 편광판 이송장치와 편광판 이송방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 편광판이 적재된 적재 카세트의 상부에 위치하며 측방향으로 이동 가능하도록 된 이송대; 상기 이송대에 다수개 설치되며 상기 편광판을 흡착하는 다수의 흡착패드; 상기 흡착패드를 상기 편광판의 표면으로 하강시키는 다수개의 승강 액츄에이터; 상기 승강 액츄에이터들을 선택적으로 상승 하강시키는 제어부를 구비한다.
상기 제어부는 상기 승강 액츄에이터들중 선택된 일부를 동작시켜 상기 흡착패드를 하강시켜 상기 편광판에 함께 흡착된 다른 상기 편광판을 분리시키도록 할 수 있다.
상기 제어부는 상기 승강 액츄에이터들중 일부를 동작시켜 상기 흡착패드를 상승시켜 상기 편광판에 함께 흡착된 다른 상기 편광판을 분리시키도록 할 수 있다.
상기 흡착 패드 중의 어느 하나는 상기 승강 액츄에이터에 의하여 상하 승강하지 않고, 상기 이송대에 상하 슬라이딩되게 설치된 흡착 감지용 흡착패드일 수 있다.
상기 이송대에는 상기 흡착 감지용 흡착패드의 상승과 하강 여부를 감지하는 감지센서가 구비될 수 있다.
상기 흡착 감지용 흡착패드의 외주에는 상기 흡착 감지용 흡착패드의 하강폭을 제한하는 걸림턱이 형성될 수 있다.
상기 제어부는 상기 흡착 감지용 흡착패드가 상승하였다고 감지할 때 상기 흡착 감지용 흡착패드에 진공펌핑력을 제공할 수 있다.
본 발명에 따른 편광판 이송방법은 편광판이 적재된 적재 카세트의 상부에 위치하는 다수개의 흡착패드를 승강 액츄에이터들을 이용하여 동시에 하강시켜 상기 편광판을 흡착하고, 상기 편광판이 흡착된 상태에서 상기 흡착패드 중의 일부를 상기 승강 액츄에이터로 하강, 상승 또는 상승과 하강을 반복하는 동작 중 어느 하나의 동작으로 상기 편광판의 이매 분리 동작을 수행하고, 상기 모든 흡착패드를 상기 승강 액츄에이터로 모두 상승시킨 후 상기 흡착패드들을 측방으로 이동시킨다.
상기 흡착 패드 중의 어느 하나는 상기 승강 액츄에이터에 의하여 상하 승강 하지 않고, 상하 슬라이딩되게 설치된 흡착 감지용 흡착패드이고, 상기 승강 액츄에이터의 동작시 상기 흡착 감지용 흡착패드가 상승하지 않았다고 판단되면 상기 편광판 흡착실패로 판단할 수 있다.
상기 흡착 감지용 흡착패드가 상승하였다고 판단될 때 상기 흡착 감지용 흡착패드에 진공 펌핑력을 제공할 수 있다.
본 발명에 따른 편광판 이송장치와 편광판 이송방법은 공급을 위하여 적층 되어 있는 편광판들의 흡착시 2매 이상의 편광판이 흡착된 상태를 해소하는 2매 분리 동작을 수행하도록 함으로써 낱장의 편광판이 효과적으로 공급되도록 하고, 또한 편광판의 흡착실패시를 감지하도록 하여 편광판 공급 에러가 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 실시예에 따른 편광판 이송장치를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 실시예에 따른 편광판 이송장치를 도시한 측면도이다.
도 1과 도 2에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 편광판 이송장치는 다량의 편광판(P)이 적재된 적재 카세트(100)를 구비한다. 카세트(100)는 편광판(P)이 적재되는 적재테이블(101)과 이 적재테이블(101)을 상하 구동시키는 승강기(102)를 포함할 수 있다.
카세트(100)의 상부에는 카세트(100)의 상부에 노출된 편광판(P)을 흡착하는 다수의 흡착패드(130)가 위치하고, 상기 흡착패드(130)의 상부에는 각각의 흡착패드(130)들이 설치되는 승강 액츄에이터(140)가 구비된다.
이 다수개의 흡착패드(130)들은 다수의 행과 열로써 배치되어 편광판(P)의 표면을 고르게 흡착하도록 배치되어 있다. 그리고 승강 액츄에이터(140)들은 유압 또는 공압에 의하여 동작하는 실린더일 수 있다.
그리고 승강 액츄에이터(140)들을 동시에 수평으로 이송시키는 수평 이송대(120)가 구비된다. 수평 이송대(120)는 모터와 볼스크류 등에 의하여 수평으로 이동가능하게 구성되어 있다. 그리고 각각의 흡착패드(130)들에는 진공 흡착력이 제공되게 되어 있다. 또한 편광판 이송장치의 전체 동작을 제어하는 제어부(110)가 구비된다.
한편, 흡착패드(130)들 중의 중앙부에 위치하는 흡착패드(150)에는 승강 액츄에이터(140)가 설치되어 있지 않다. 도 3은 본 실시예에 따른 편광판 이송장치에 구비된 흡착 감지용 흡착패드의 설치상태를 도시한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이 흡착 감지용 흡착패드(150)는 승강 액츄에이터(140)가 설치된 흡착패드(130)들과 달리 이송대(120)의 내부에서 상하로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있고, 이송대(120)의 내부에 형성된 설치부(121) 내측에 걸리도록 외주에 걸림턱(151)이 형성되어 있다.
따라서 흡착 감지용 흡착패드(150)는 걸림턱(151)이 이송대(120) 내부의 설치부(121)에 걸림으로써 하강 높이가 제한되게 설치된다. 그리고 흡착 감지용 흡착 패드(150)의 상단 상측에는 흡착 감지용 흡착패드(150)의 상승을 감지하는 감지센서(160)가 설치된다.
이하에서는 전술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 편광판 이송장치의 편광판 이송방법에 대하여 설명한다.
도 4a와 도 4b는 본 실시예에 따른 편광판 이송장치에 구비된 흡착 감지용 흡착패드의 설치상태를 도시한 도면이고, 도 5a, 도 5b, 도 5c 그리고 도 5d는 본 실시예에 따른 편광판 이송장치의 편광판 이송방법을 설명하기 위한 도면이다.
먼저 도 5a에 도시된 바와 같이 편광판(P)의 흡착을 위하여 승강 액츄에이터(140)가 설치된 흡착패드(130)들은 하강하여 카세트(100)의 최상층에 위치한 편광판(P)의 표면으로 하강한다.
이때 흡착패드(130)들의 최대 하강 높이보다 더 낮은 높이에 최상층의 편광판(P)이 위치하면 제어부(110)는 카세트(100)의 승강기(102)를 구동시켜 카세트(100)의 적재테이블(101)을 상승시킬 수 있다.
그리고 도 4a에 도시된 바와 같이 승강 액츄에이터(140)가 하강할 때 흡착 감지용 흡착패드(150)는 함께 하강하지 않고, 최대 하강 위치에 위치한 상태가 된다.
이후 승강 액츄에이터(140)가 설치된 흡착패드(130)들에 진공 흡착력을 제공한다. 이에 따라 승강 액츄에이터(140)가 설치된 흡착패드(130)들은 일제히 편광판(P)을 흡착한다.
이후 도 5b에 도시된 같이 승강 액츄에이터(140)들은 흡착패드(130)를 동시 에 상승시킨다. 이때 정상적인 경우라면 편광판(P)은 낱장이 흡착되어 상승하여야 한다. 그러나 적층된 편광판(P)들은 서로간의 정전기력 또는 접착제에 의 부착 등으로 2매의 편광판(P)이 함께 흡착되어 상승할 수 있다.
그리고 편광판(P)이 성공적으로 흡착되어 상승하는 중에 흡착 감지용 흡착패드(150)에 편광판(P)의 표면이 위치하면 이 흡착 감지용 흡착패드(150)는 편광판(P)의 상승으로 함께 상승한다.
따라서 도 4b에 도시된 바와 같이 흡착 감지용 흡착패드(150)의 상단이 감지센서(160)에 의하여 감지되고, 제어부(110)는 이 감지센서(160)에서 흡착 감지용 흡착패드(150)가 감지됨에 따라 편광판(P)이 성공적으로 흡착되었다는 것을 판단한다.
그리고 이와 같은 판단이 완료된 후 흡착 감지용 흡착패드(150)에 진공 펌핑력을 제공하여 이 흡착 감지용 흡착패드(150)도 다른 흡착패드(130)들과 함께 편광판(P)을 흡착하도록 한다.
반면에 이와 같은 동작중 감지센서(160)에서 흡착 감지용 흡착패드(150)가 상승하지 않았다고 판단되면, 제어부(110)는 흡착 실패로 판단한다. 그리고 필요에 따라 편광판(P) 흡착의 위한 재시도를 위하여 상술한 동작을 처음부터 반복하게 하거나 또는 편광판 이송장치의 오동작을 알리기 위한 경보를 발생시키도록 할 수 있다.
한편, 편광판(P)이 성공적으로 흡측되어 상승하면 계속해서 2매 분리 동작을 수행한다.
2매 분리동작은 도 5c에 도시된 바와 같이 일군의 흡착패드(130)를 해당 승강 액츄에이터(140)로 상승시킨다. 그리고 나머지 일군의 흡착패드(130)들의 승강 액츄에이터(140)들은 상승 동작을 수행하지 않고 정지한 상태가 되도록 한다.
이에 따라 2매의 편광판(P)이 함께 흡착된 경우 하부의 편광판(P)은 상부의 편광판(P)과 접촉상태가 해제되어 2매의 편광판이 서로 분리된다. 즉 하부 편광판(P)이 상부 편광판과 분리된다.
그리고 분리된 하부 편광판(P)은 낙하하여 카세트(100)의 상부에 다시 적재 된다. 이와 같은 2매 분리동작은 2 그룹의 흡착패드(130)를 교번하여 상하로 승강 및 하강시킴으로써 수행될 수 있고, 또는 일부 흡착패드(130)를 하강시켜 편광판(P)을 흡착한 상태에서 일부 흡착패드(130) 만을 상승시켜 이매 분리를 수행할 수 있다. 즉 흡착패드(130)로 편광판(P)을 흡착한 상태에서 흡착패드(130)들중 일부 또는 전부를 교번시키거나 일부만 상승 또는 하강시키는 등 다양한 방법으로 이매 분리동작을 수행하도록 할 수 있다.
이상과 같이 2매 분리동작이 완료되면 도 5d에 도시된 바와 같이 수평 이송대(120)는 편광판(P)이 흡착된 흡착패들을 수평 이동시키고, 다음 공정의 진행을 위하여 대기 중인 클램프(170)가 편광판(P)의 끝단을 클램핑한다.
그리고 클램프(170)가 편광판(P)의 끝단을 클램핑하였다고 제어부(110)가 판단하면 제어부(110)는 모든 흡착패드(130)에 가해지는 진공펌핑력을 해제하여 편광판(P)이 이송되도록 함으로써 편광판(P)이 공급이 완료된다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대해 상세히 기술하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에 있어서 통상의 지식을 가진 사람이라면, 첨부된 특허청구범위에 정의된 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 본 발명을 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 본 실시예에 따른 편광판 이송장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 실시예에 따른 편광판 이송장치를 도시한 측면도이다.
도 3은 본 실시예에 따른 편광판 이송장치에 구비된 흡착 감지용 흡착패드의 설치상태를 도시한 도면이다.
도 4a와 도 4b는 본 실시예에 따른 편광판 이송장치에 구비된 흡착 감지용 흡착패드의 설치상태를 도시한 도면이다.
도 5a, 도 5b, 도 5c 그리고 도 5d는 본 실시예에 따른 편광판 이송장치의 편광판 이송방법을 설명하기 위한 도면이다.

Claims (10)

  1. 편광판이 적재된 적재 카세트의 상부에 위치하며 측방향으로 이동 가능하도록 된 이송대;
    상기 이송대에 다수개 설치되며 상기 편광판을 흡착하는 다수의 흡착패드;
    상기 흡착패드를 상기 편광판의 표면으로 하강시키는 다수개의 승강 액츄에이터;
    상기 승강 액츄에이터들을 선택적으로 상승 하강시키는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 편광판 이송장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 승강 액츄에이터들중 선택된 일부를 동작시켜 상기 흡착패드를 하강시켜 상기 편광판에 함께 흡착된 다른 상기 편광판을 분리시키도록 하는 것을 특징으로 하는 편광판 이송장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 승강 액츄에이터들중 일부를 동작시켜 상기 흡착패드를 상승시켜 상기 편광판에 함께 흡착된 다른 상기 편광판을 분리시키도록 하는 것을 특징으로 하는 편광판 이송장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 흡착 패드 중의 어느 하나는 상기 승강 액츄에이터에 의하여 상하 승강하지 않고, 상기 이송대에 상하 슬라이딩되게 설치된 흡착 감지용 흡착패드인 것을 특징으로 하는 편광판 이송장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 이송대에는 상기 흡착 감지용 흡착패드의 상승과 하강 여부를 감지하는 감지센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 편광판 이송장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 흡착 감지용 흡착패드의 외주에는 상기 흡착 감지용 흡착패드의 하강폭을 제한하는 걸림턱이 형성되는 것을 특징으로 하는 편광판 이송장치.
  7. 제 5항에 있어서, 상기 제어부는 상기 흡착 감지용 흡착패드가 상승하였다고 감지할 때 상기 흡착 감지용 흡착패드에 진공펌핑력을 제공하는 것을 특징으로 하는 편광판 이송장치.
  8. 편광판이 적재된 적재 카세트의 상부에 위치하는 다수개의 흡착패드를 승강 액츄에이터들을 이용하여 동시에 하강시켜 상기 편광판을 흡착하고,
    상기 편광판이 흡착된 상태에서 상기 흡착패드 중의 일부를 상기 승강 액츄에이터로 하강, 상승 또는 상승과 하강을 반복하는 동작 중 어느 하나의 동작으로 상기 편광판의 이매 분리 동작을 수행하고,
    상기 모든 흡착패드를 상기 승강 액츄에이터로 모두 상승시킨 후 상기 흡착패드들을 측방으로 이동시키는 편광판 이송방법.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 흡착 패드 중의 어느 하나는 상기 승강 액츄에이터에 의하여 상하 승강하지 않고, 상하 슬라이딩되게 설치된 흡착 감지용 흡착패드이고, 상기 승강 액츄에이터의 동작시 상기 흡착 감지용 흡착패드가 상승하지 않았다고 판단되면 상기 편광판 흡착실패로 판단하는 것을 특징으로 하는 편광판 이송방법.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 흡착 감지용 흡착패드가 상승하였다고 판단될 때 상기 흡착 감지용 흡착패드에 진공 펌핑력을 제공하는 것을 특징으로 하는 편광판 이송방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030006503A (ko) * 2001-07-13 2003-01-23 주식회사 현대 디스플레이 테크놀로지 편광 판 부착 장치 및 방법
KR20040081412A (ko) * 2004-09-02 2004-09-21 (주)영원테크 대형 디스플레이 패널용 편광필름 부착장치
KR20060040924A (ko) * 2004-11-08 2006-05-11 에스이테크 주식회사 액정패널용 편광판 부착장치
KR20060104666A (ko) * 2005-03-31 2006-10-09 에버테크노 주식회사 편광필름 검사장치 및 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030006503A (ko) * 2001-07-13 2003-01-23 주식회사 현대 디스플레이 테크놀로지 편광 판 부착 장치 및 방법
KR20040081412A (ko) * 2004-09-02 2004-09-21 (주)영원테크 대형 디스플레이 패널용 편광필름 부착장치
KR20060040924A (ko) * 2004-11-08 2006-05-11 에스이테크 주식회사 액정패널용 편광판 부착장치
KR20060104666A (ko) * 2005-03-31 2006-10-09 에버테크노 주식회사 편광필름 검사장치 및 방법

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