JP3476911B2 - Ｉｃテストハンドラのデバイス収納トレイの位置決め構造 - Google Patents
Ｉｃテストハンドラのデバイス収納トレイの位置決め構造Info
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- JP3476911B2 JP3476911B2 JP14395394A JP14395394A JP3476911B2 JP 3476911 B2 JP3476911 B2 JP 3476911B2 JP 14395394 A JP14395394 A JP 14395394A JP 14395394 A JP14395394 A JP 14395394A JP 3476911 B2 JP3476911 B2 JP 3476911B2
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- Special Conveying (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣテストハンドラ
装置において、デバイスを多数収容するトレイを用い
て、このトレイから１個あるいは複数個のデバイスを吸
着あるいは開放する構造に関する。
装置において、デバイスを多数収容するトレイを用い
て、このトレイから１個あるいは複数個のデバイスを吸
着あるいは開放する構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術のＩＣテストハンドラ装置のデ
バイスを吸着あるいは開放する構造を図３と図４を参照
して説明する。本装置の構成は、図３に示すように、ト
レイ５０と、セット・プレート５４と、上下駆動手段５
２と、透過センサ８１と、吸着装置９０と、上下移動手
段９３と、ｘ軸／ｙ軸移動手段９４とで構成している。
吸着装置９０は、複数の吸着部９２とゴムパッド９１と
で構成している。ＩＣテストハンドラは、デバイス６０
をトレイから吸着して順次取り出されて他に供給され
て、デバイスの電気的試験を実施した後排出されて出て
くる。そして、この供給側機構と収納側機構は、通常は
独立して設ける場合が多く、両者の構造は、同様の機構
となっている。
バイスを吸着あるいは開放する構造を図３と図４を参照
して説明する。本装置の構成は、図３に示すように、ト
レイ５０と、セット・プレート５４と、上下駆動手段５
２と、透過センサ８１と、吸着装置９０と、上下移動手
段９３と、ｘ軸／ｙ軸移動手段９４とで構成している。
吸着装置９０は、複数の吸着部９２とゴムパッド９１と
で構成している。ＩＣテストハンドラは、デバイス６０
をトレイから吸着して順次取り出されて他に供給され
て、デバイスの電気的試験を実施した後排出されて出て
くる。そして、この供給側機構と収納側機構は、通常は
独立して設ける場合が多く、両者の構造は、同様の機構
となっている。
【０００３】第１に、デバイス供給側の場合の動作を説
明する。トレイ５０は、図５に示す例のように、多数個
のデバイスを収容するくぼみ状の収容ポケット５０ａを
形成したものである。トレイ５０上には、デバイス６０
が格納されている。このトレイ５０は、図３に示すよう
に、他の搬送装置により予めセット・プレート５４上の
所定位置に配置されている。
明する。トレイ５０は、図５に示す例のように、多数個
のデバイスを収容するくぼみ状の収容ポケット５０ａを
形成したものである。トレイ５０上には、デバイス６０
が格納されている。このトレイ５０は、図３に示すよう
に、他の搬送装置により予めセット・プレート５４上の
所定位置に配置されている。
【０００４】セット・プレート５４は、上記トレイ５０
を乗せる台であり、パルスモータ等の上下駆動手段５２
により、上下に移動でき任意の位置で停止できる構造に
なっている。透過センサ８１は、このセット・プレート
５４の上端で停止させる位置センサである。まず、上下
駆動手段５２を駆動開始して、セット・プレート５４を
上昇させる。やがて、透過センサ８１がトレイ５０の上
端位置を検出すると、この検出信号を受けて、上下駆動
手段５２を止める。これによりセット・プレート５４
は、所望の高さに停止する。
を乗せる台であり、パルスモータ等の上下駆動手段５２
により、上下に移動でき任意の位置で停止できる構造に
なっている。透過センサ８１は、このセット・プレート
５４の上端で停止させる位置センサである。まず、上下
駆動手段５２を駆動開始して、セット・プレート５４を
上昇させる。やがて、透過センサ８１がトレイ５０の上
端位置を検出すると、この検出信号を受けて、上下駆動
手段５２を止める。これによりセット・プレート５４
は、所望の高さに停止する。
【０００５】トレイ５０の上部にある吸着装置９０は、
複数の吸着部９２を有して同時に複数のデバイスを吸着
して他に搬送するものであり、上下移動手段９３と、ｘ
軸／ｙ軸移動手段により移動できる装置である。各吸着
部９２は、操作空圧源９５からの個別のチューブ配管に
より接続されていて、ゴムパッド９１に供給している。
このゴムパッド９１により、デバイス６０は、吸着ある
いは開放される。吸着装置９０のｘ軸／ｙ軸移動手段に
より所望のデバイス６０上に移動させた後、吸着装置９
０の上下移動手段９３を駆動して下降させ、ゴムパッド
９１をデバイス６０に接触させる。この移動距離は、固
定距離である。その後、所望の吸着部９２の操作空圧源
９５を真空状態に駆動してデバイス６０を吸着して保持
させた後、上側に上昇させた後、ｘ軸／ｙ軸移動手段９
４を駆動して他の場所へデバイス６０を搬送する。
複数の吸着部９２を有して同時に複数のデバイスを吸着
して他に搬送するものであり、上下移動手段９３と、ｘ
軸／ｙ軸移動手段により移動できる装置である。各吸着
部９２は、操作空圧源９５からの個別のチューブ配管に
より接続されていて、ゴムパッド９１に供給している。
このゴムパッド９１により、デバイス６０は、吸着ある
いは開放される。吸着装置９０のｘ軸／ｙ軸移動手段に
より所望のデバイス６０上に移動させた後、吸着装置９
０の上下移動手段９３を駆動して下降させ、ゴムパッド
９１をデバイス６０に接触させる。この移動距離は、固
定距離である。その後、所望の吸着部９２の操作空圧源
９５を真空状態に駆動してデバイス６０を吸着して保持
させた後、上側に上昇させた後、ｘ軸／ｙ軸移動手段９
４を駆動して他の場所へデバイス６０を搬送する。
【０００６】トレイ５０の材質は、主に樹脂成形品で形
成している。この為、トレイ５０は、経時変化、温度変
化等により、反りや湾曲等の変形するものがある。この
ようなトレイでは、上記の透過センサ８１による位置決
めにおいて、セット・プレート５４の停止位置に変動を
もたらす場合がある。つまり、セット・プレート５４上
に置かれたトレイ５０が、図４に示すような、反りによ
る浮き４１が生じている場合では、透過センサ８１は、
トレイ５０の最も上端位置を検出して停止する。この為
に、本来の所望の高さよりも浮き４１の高さだけずれた
下の位置４２で停止してしまう。この結果、デバイス６
０をゴムパッドで吸着しようとしても、場所によりゴム
パッド９１ｂのように、デバイス６０との間に隙が生じ
てしまい、これが原因で吸着出来ない不具合現象が発生
してしまう。この結果、搬送不良が生じ装置が停止し
て、いわゆるジャムの発生となってしまう。この為、事
前に、トレイ５０の反りの量を目視検査して、必要以上
の反りのあるトレイは排除する等の検査をする必要な場
合もある。
成している。この為、トレイ５０は、経時変化、温度変
化等により、反りや湾曲等の変形するものがある。この
ようなトレイでは、上記の透過センサ８１による位置決
めにおいて、セット・プレート５４の停止位置に変動を
もたらす場合がある。つまり、セット・プレート５４上
に置かれたトレイ５０が、図４に示すような、反りによ
る浮き４１が生じている場合では、透過センサ８１は、
トレイ５０の最も上端位置を検出して停止する。この為
に、本来の所望の高さよりも浮き４１の高さだけずれた
下の位置４２で停止してしまう。この結果、デバイス６
０をゴムパッドで吸着しようとしても、場所によりゴム
パッド９１ｂのように、デバイス６０との間に隙が生じ
てしまい、これが原因で吸着出来ない不具合現象が発生
してしまう。この結果、搬送不良が生じ装置が停止し
て、いわゆるジャムの発生となってしまう。この為、事
前に、トレイ５０の反りの量を目視検査して、必要以上
の反りのあるトレイは排除する等の検査をする必要な場
合もある。
【０００７】また、反りのない正常なトレイ５０の場合
でも、まれにトレイ自体が、持ち上がってしまう場合が
ある。つまり、トレイ上にデバイスがない空の状態で吸
着しようとした場合には、複数のゴムパッド９１による
吸着力により、トレイ５０全体が持ち上がってしまう場
合がある。この持ち上げの結果、トレイ５０の位置が移
動してしまったり、他のトレイ上に置かれていたデバイ
スが振動等でトレイ上から跳びはねたりしてしまう。こ
のデバイスの不慮の位置ずれ等による吸着ミスや搬送不
具合が発生する為、好ましくない。
でも、まれにトレイ自体が、持ち上がってしまう場合が
ある。つまり、トレイ上にデバイスがない空の状態で吸
着しようとした場合には、複数のゴムパッド９１による
吸着力により、トレイ５０全体が持ち上がってしまう場
合がある。この持ち上げの結果、トレイ５０の位置が移
動してしまったり、他のトレイ上に置かれていたデバイ
スが振動等でトレイ上から跳びはねたりしてしまう。こ
のデバイスの不慮の位置ずれ等による吸着ミスや搬送不
具合が発生する為、好ましくない。
【０００８】第２に、電気試験を完了したデバイス６０
を収納する収納側の場合の動作を説明する。空のトレイ
５０は、上記説明と同様にして所望の位置で停止してい
る。ゴムパッド９１で吸着状態で搬送されてきたデバイ
ス６０は、ｘ軸／ｙ軸移動手段９４で、所定の空き収容
位置の上にくる。次に、上下移動手段９３を駆動して吸
着装置９０を下降させる。吸着状態のデバイス６０は、
トレイ５０との間で、少し隙を持たせた位置で停止した
後、吸着を解除して自然落下によりトレイ５０の各収容
ポケット５０ａに収容する。ここで、前記同様にトレイ
の反りにより、セット・プレート５４の停止位置が低い
状態にあるとする。この状態では、落下収容の高さが高
くなってしまう為に、安定して落下収容できない場合が
生じる。つまり、傾いてしまったり、ポケット５０ａ内
から外れてはみ出してしまったりの不具合が発生する。
を収納する収納側の場合の動作を説明する。空のトレイ
５０は、上記説明と同様にして所望の位置で停止してい
る。ゴムパッド９１で吸着状態で搬送されてきたデバイ
ス６０は、ｘ軸／ｙ軸移動手段９４で、所定の空き収容
位置の上にくる。次に、上下移動手段９３を駆動して吸
着装置９０を下降させる。吸着状態のデバイス６０は、
トレイ５０との間で、少し隙を持たせた位置で停止した
後、吸着を解除して自然落下によりトレイ５０の各収容
ポケット５０ａに収容する。ここで、前記同様にトレイ
の反りにより、セット・プレート５４の停止位置が低い
状態にあるとする。この状態では、落下収容の高さが高
くなってしまう為に、安定して落下収容できない場合が
生じる。つまり、傾いてしまったり、ポケット５０ａ内
から外れてはみ出してしまったりの不具合が発生する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記説明のように、反
りや湾曲変形したトレイ５０では、浮き４１の高さだけ
セット・プレート５４の停止位置がずれる為に、デバイ
ス供給側の場合では、ゴムパッド９１との隙が発生して
安定した吸着が出来ない不具合が発生し易くなる。ま
た、デバイス６０を収納する収納側の場合では、落下収
容の高さが高くなる為に、所定のポケット５０ａ内に安
定して収容できない不具合が発生し易くなる。これらの
結果、ジャムの発生となって、ＩＣテストハンドラが停
止してしまったり、トラブルを招いたり、稼働率が低下
してしまう等の難点があった。また、ＩＣテストハンド
ラは、昼夜連続運転や、無人運転等で使用される場合が
多く、このような不安定要因は極力無くすることが、強
く要求されている。
りや湾曲変形したトレイ５０では、浮き４１の高さだけ
セット・プレート５４の停止位置がずれる為に、デバイ
ス供給側の場合では、ゴムパッド９１との隙が発生して
安定した吸着が出来ない不具合が発生し易くなる。ま
た、デバイス６０を収納する収納側の場合では、落下収
容の高さが高くなる為に、所定のポケット５０ａ内に安
定して収容できない不具合が発生し易くなる。これらの
結果、ジャムの発生となって、ＩＣテストハンドラが停
止してしまったり、トラブルを招いたり、稼働率が低下
してしまう等の難点があった。また、ＩＣテストハンド
ラは、昼夜連続運転や、無人運転等で使用される場合が
多く、このような不安定要因は極力無くすることが、強
く要求されている。
【００１０】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、トレイ５０の反りや湾曲変形があっても、正常に吸
着／開放が行える構造にして、不具合の発生を低減し、
ジャムの発生を極力無くすることを目的とする。
は、トレイ５０の反りや湾曲変形があっても、正常に吸
着／開放が行える構造にして、不具合の発生を低減し、
ジャムの発生を極力無くすることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決する為の手段】第１図は、本発明による第
１の解決手段を示している。上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、セット・プレート５４とトレイ
・アジャスト１１ａとでトレイ５０をはさんで、上下駆
動手段５２の駆動力によりトレイ５０の反りを矯正する
構造としたトレイ・アジャスト１１ａを設ける構造手段
としている。これにより、トレイ５０の反りの有無に関
係なく、正確に位置決めできる。あるいは、複数のゴム
パッド９１による吸着力により、トレイ５０全体が持ち
上がってしまう不具合を解消できる構造となる。
１の解決手段を示している。上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、セット・プレート５４とトレイ
・アジャスト１１ａとでトレイ５０をはさんで、上下駆
動手段５２の駆動力によりトレイ５０の反りを矯正する
構造としたトレイ・アジャスト１１ａを設ける構造手段
としている。これにより、トレイ５０の反りの有無に関
係なく、正確に位置決めできる。あるいは、複数のゴム
パッド９１による吸着力により、トレイ５０全体が持ち
上がってしまう不具合を解消できる構造となる。
【００１２】第２図は、本発明による第２の解決手段を
示している。上記課題を解決するために、本発明の構成
では、セット・プレート５４とトレイ・アジャスト１１
ａとでトレイ５０をはさんで、上下駆動手段５２の駆動
力によりトレイ５０の反りを矯正する構造としたトレイ
・アジャスト１１ａを設ける構造手段とし、これに追加
して、トレイ・アジャスト１１ａとトレイ５０の縁と接
する位置に位置決め用テーパ２１形状を設ける構造手段
としている。これにより、トレイ５０は、トレイ・アジ
ャスト１１ｂによってｘ方向ｙ方向が修正移動されて一
層正しい位置状態に位置決めできる構造となる。
示している。上記課題を解決するために、本発明の構成
では、セット・プレート５４とトレイ・アジャスト１１
ａとでトレイ５０をはさんで、上下駆動手段５２の駆動
力によりトレイ５０の反りを矯正する構造としたトレイ
・アジャスト１１ａを設ける構造手段とし、これに追加
して、トレイ・アジャスト１１ａとトレイ５０の縁と接
する位置に位置決め用テーパ２１形状を設ける構造手段
としている。これにより、トレイ５０は、トレイ・アジ
ャスト１１ｂによってｘ方向ｙ方向が修正移動されて一
層正しい位置状態に位置決めできる構造となる。
【００１３】
【作用】トレイ・アジャスト１１ａと、セット・プレー
ト５４とで、トレイ５０の周縁を押さえることで、トレ
イ５０の反りを矯正状態に維持する作用がある。実施例
２のトレイ・アジャスト１１ｂの内側をテーパ２１形状
した場合は、トレイ５０のｘ方向ｙ方向の位置を修正移
動させる作用がある。
ト５４とで、トレイ５０の周縁を押さえることで、トレ
イ５０の反りを矯正状態に維持する作用がある。実施例
２のトレイ・アジャスト１１ｂの内側をテーパ２１形状
した場合は、トレイ５０のｘ方向ｙ方向の位置を修正移
動させる作用がある。
【００１４】
（実施例１）本発明の実施例は、１個のトレイ５０を用
いた場合のデバイスを吸着／開放する構造例である。こ
れについて、図１を参照して説明する。本機構の構成
は、図１に示すように、トレイ５０と、セット・プレー
ト５４と、上下駆動手段５２と、トレイ・アジャスト１
１ａと、ストッパー１２である。図示していない他の、
吸着装置９０と、上下移動手段９３と、ｘ軸／ｙ軸移動
手段９４は、従来と同様である。本構成は、従来の構成
に対して、透過センサ８１を削除し、トレイ・アジャス
ト１１ａを追加した構成になっている。
いた場合のデバイスを吸着／開放する構造例である。こ
れについて、図１を参照して説明する。本機構の構成
は、図１に示すように、トレイ５０と、セット・プレー
ト５４と、上下駆動手段５２と、トレイ・アジャスト１
１ａと、ストッパー１２である。図示していない他の、
吸着装置９０と、上下移動手段９３と、ｘ軸／ｙ軸移動
手段９４は、従来と同様である。本構成は、従来の構成
に対して、透過センサ８１を削除し、トレイ・アジャス
ト１１ａを追加した構成になっている。
【００１５】改善された構造部分についての説明をす
る。トレイ５０上は、従来同様に、他の搬送装置により
予めセット・プレート５４上に配置されている。セット
・プレート５４は、上下駆動手段５２を駆動して上昇す
る。やがて、セット・プレート５４は、トレイ・アジャ
スト１１ａに突き当たって停止する。ここで、トレイ・
アジャスト１１ａの構造は、トレイ５０の周縁を押さえ
る形状に抜き孔が形成されていて構造物に固定された状
態にある。このトレイ・アジャスト１１ａの形状によ
り、トレイ５０は、セット・プレート５４とトレイ・ア
ジャスト１１ａにはさまれて、上下駆動手段５２の駆動
力により反りが矯正させた状態になって支持停止してい
る。この結果、トレイ５０の上端位置は、常に一定した
高さに固定され、かつ、トレイ５０は平坦状態に矯正さ
れる。以後は、この状態にあるトレイ５０から、デバイ
ス６０の吸着／開放動作を、安定に実施できることとな
る。また、トレイ・アジャスト１１ａによりトレイ５０
は固定支持されている為、トレイ上にデバイスがない空
の状態で吸着しようとした場合でも、吸着力により、ト
レイ５０全体が持ち上がるという不具合も解消される。
る。トレイ５０上は、従来同様に、他の搬送装置により
予めセット・プレート５４上に配置されている。セット
・プレート５４は、上下駆動手段５２を駆動して上昇す
る。やがて、セット・プレート５４は、トレイ・アジャ
スト１１ａに突き当たって停止する。ここで、トレイ・
アジャスト１１ａの構造は、トレイ５０の周縁を押さえ
る形状に抜き孔が形成されていて構造物に固定された状
態にある。このトレイ・アジャスト１１ａの形状によ
り、トレイ５０は、セット・プレート５４とトレイ・ア
ジャスト１１ａにはさまれて、上下駆動手段５２の駆動
力により反りが矯正させた状態になって支持停止してい
る。この結果、トレイ５０の上端位置は、常に一定した
高さに固定され、かつ、トレイ５０は平坦状態に矯正さ
れる。以後は、この状態にあるトレイ５０から、デバイ
ス６０の吸着／開放動作を、安定に実施できることとな
る。また、トレイ・アジャスト１１ａによりトレイ５０
は固定支持されている為、トレイ上にデバイスがない空
の状態で吸着しようとした場合でも、吸着力により、ト
レイ５０全体が持ち上がるという不具合も解消される。
【００１６】ストッパー１２は、トレイ５０がない場合
に、セット・プレート５４の過度な上昇を止める保護用
である。
に、セット・プレート５４の過度な上昇を止める保護用
である。
【００１７】（実施例２）本発明の実施例は、１個のト
レイ５０を用いた場合で、トレイ５０の位置決め用テー
パ２１構造を設けた場合のデバイスを吸着／開放する構
造例である。これについて、図２を参照して説明する。
本機構の構成は、図２に示すように、トレイ５０と、セ
ット・プレート５４と、上下駆動手段５２と、トレイ・
アジャスト１１ｂである。図示していない他の構造は、
従来構造と同様である。これは、実施例１の構成に対し
て、トレイ５０の位置決め用テーパ部を設けた構造にな
っている。
レイ５０を用いた場合で、トレイ５０の位置決め用テー
パ２１構造を設けた場合のデバイスを吸着／開放する構
造例である。これについて、図２を参照して説明する。
本機構の構成は、図２に示すように、トレイ５０と、セ
ット・プレート５４と、上下駆動手段５２と、トレイ・
アジャスト１１ｂである。図示していない他の構造は、
従来構造と同様である。これは、実施例１の構成に対し
て、トレイ５０の位置決め用テーパ部を設けた構造にな
っている。
【００１８】トレイ５０の位置決めについて説明する。
トレイ・アジャスト１１ｂは、トレイ５０と接する内側
を、テーパ２１形状に形成してある。セット・プレート
５４上に置かれたトレイ５０は、上下駆動手段５２で上
昇しているときに、トレイ・アジャスト１１ｂの内側の
周縁のテーパ２１部分に当たり、これに押されるように
しながら上昇していく。この結果、トレイ５０は、トレ
イ・アジャスト１１ｂによってｘ方向ｙ方向が修正移動
されて正しい位置状態に移動されて位置決めされる。こ
れにより、吸着装置の吸着／開放位置関係のばらつきが
押さえられる為に、より一層安定した吸着搬送を実現で
きる。
トレイ・アジャスト１１ｂは、トレイ５０と接する内側
を、テーパ２１形状に形成してある。セット・プレート
５４上に置かれたトレイ５０は、上下駆動手段５２で上
昇しているときに、トレイ・アジャスト１１ｂの内側の
周縁のテーパ２１部分に当たり、これに押されるように
しながら上昇していく。この結果、トレイ５０は、トレ
イ・アジャスト１１ｂによってｘ方向ｙ方向が修正移動
されて正しい位置状態に移動されて位置決めされる。こ
れにより、吸着装置の吸着／開放位置関係のばらつきが
押さえられる為に、より一層安定した吸着搬送を実現で
きる。
【００１９】上記実施例１、２では、１個のトレイ５０
を用いた場合の説明であったが、複数個のトレイ５０を
セット・プレート５４上に置く場合でも同様にして実施
できる。
を用いた場合の説明であったが、複数個のトレイ５０を
セット・プレート５４上に置く場合でも同様にして実施
できる。
【００２０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。ト
レイ・アジャスト１１ａは、トレイ５０の上昇を停止さ
せるので、従来のように透過センサ８１を設けて停止制
御する必要が無くなる効果がある。トレイ・アジャスト
１１ａと、セット・プレート５４と、上下駆動手段５２
の駆動力により、トレイ５０の周縁を押さえてトレイ５
０の反りが矯正させた状態に支持できる。この結果、ト
レイ５０の上端位置は、常に一定した高さに固定できる
効果が得られ、安定したデバイス６０の吸着／開放動作
が可能になり、ジャムの発生を一層軽減できる効果が得
られる。また、トレイ５０は固定支持される為、空の状
態で吸着した場合でも、トレイ５０全体が持ち上がると
いう不具合も解消できる。実施例２のトレイ・アジャス
ト１１ｂの内側をテーパ２１形状した場合は、トレイ５
０のｘ方向ｙ方向が修正移動されることで、一層正しい
位置決めが実現できる効果がある。
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。ト
レイ・アジャスト１１ａは、トレイ５０の上昇を停止さ
せるので、従来のように透過センサ８１を設けて停止制
御する必要が無くなる効果がある。トレイ・アジャスト
１１ａと、セット・プレート５４と、上下駆動手段５２
の駆動力により、トレイ５０の周縁を押さえてトレイ５
０の反りが矯正させた状態に支持できる。この結果、ト
レイ５０の上端位置は、常に一定した高さに固定できる
効果が得られ、安定したデバイス６０の吸着／開放動作
が可能になり、ジャムの発生を一層軽減できる効果が得
られる。また、トレイ５０は固定支持される為、空の状
態で吸着した場合でも、トレイ５０全体が持ち上がると
いう不具合も解消できる。実施例２のトレイ・アジャス
ト１１ｂの内側をテーパ２１形状した場合は、トレイ５
０のｘ方向ｙ方向が修正移動されることで、一層正しい
位置決めが実現できる効果がある。
【００２１】
【図１】本発明の、１個のトレイ５０を用いた場合のデ
バイスを吸着／開放構造図である。
バイスを吸着／開放構造図である。
【図２】本発明の、１個のトレイ５０を用いた場合のデ
バイスを吸着／開放構造図に、トレイ５０の位置決め用
テーパ２１部を設けた構造図である。
バイスを吸着／開放構造図に、トレイ５０の位置決め用
テーパ２１部を設けた構造図である。
【図３】従来の、ＩＣテストハンドラ装置のデバイスを
吸着あるいは開放する構造図である。
吸着あるいは開放する構造図である。
【図４】従来の、トレイ５０の反りによる吸着位置関係
を説明する側面図である。
を説明する側面図である。
【図５】トレイ５０の形状例を示す図である。
１ａ、１１ｂ トレイ・アジャスト
１２ ストッパー
２１ テーパ
４１ 浮き
５０ トレイ
５０ａ ポケット
５２ 上下駆動手段
５４ セット・プレート
６０ デバイス
８１ 透過センサ
９０ 吸着装置
９１、９１ａ、９１ｂ ゴムパッド
９２ 吸着部
９３ 上下移動手段
９４ ｘ軸／ｙ軸移動手段
９５ 操作空圧源
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ
Ｈ０５Ｋ 13/02 Ｈ０５Ｋ 13/02 Ａ
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
B23P 19/00 301
B25J 15/06
B65G 1/00 539
H01L 21/66
H05K 13/02
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のデバイス（６０）を収容する１つ
のトレイ（５０）を乗せるセット・プレート（５４）
と、このセット・プレート（５４）を上下方向へ駆動す
る上下駆動手段（５２）を有し、複数のデバイス（６
０）を同時に吸着あるいは開放する複数のゴムパッド
（９１）を備える吸着装置（９０）と、これを上下方向
へ駆動する上下移動手段（９３）を有するデバイス収納
トレイの位置決め構造において、トレイ（５０）の周縁を押さえる形状に抜き孔が形成さ
れ、且つ一定した高さに固定して配設されたトレイ・ア
ジャスト（１１ａ）と、 セット・プレート（５４）を押し上げて セット・プレー
ト（５４）とトレイ・アジャスト（１１ａ）とでトレイ
（５０）の周縁を上下方向から挟むように押さえて、ト
レイの反りを矯正しながら支持する、 ことでトレイに収容する同時に吸着あるいは開放する複
数のデバイスの高さを常に一定した高さにすることを特
徴としたＩＣテストハンドラのデバイス収納トレイの位
置決め構造。 - 【請求項２】 請求項１記載のトレイ・アジャスト（１
１ａ）は、 トレイ・アジャスト（１１ａ）の内周縁部に、トレイ
（５０）の外周縁と接しながら当該トレイを所定の位置
へ案内する位置決め用テーパ（２１）形状を形成したこ
とを特徴としたＩＣテストハンドラのデバイス収納トレ
イの位置決め構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14395394A JP3476911B2 (ja) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | Ｉｃテストハンドラのデバイス収納トレイの位置決め構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14395394A JP3476911B2 (ja) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | Ｉｃテストハンドラのデバイス収納トレイの位置決め構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07335727A JPH07335727A (ja) | 1995-12-22 |
| JP3476911B2 true JP3476911B2 (ja) | 2003-12-10 |
Family
ID=15350895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14395394A Expired - Fee Related JP3476911B2 (ja) | 1994-06-02 | 1994-06-02 | Ｉｃテストハンドラのデバイス収納トレイの位置決め構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3476911B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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-
1994
- 1994-06-02 JP JP14395394A patent/JP3476911B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH07335727A (ja) | 1995-12-22 |
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