JP4205941B2 - ペレットのピックアップ方法及びペレットボンディング装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ペレットのピックアップ方法及びペレットボンディング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造工程の１つに、ペレットに用いて好適なボンディング工程があり、この工程ではペレットボンディング装置が用いられる。この装置によると、まずトレイホルダ内に搬送されトレイプレートに定置されたトレイに収容されたペレットの位置をカメラを用いて検出し、正規位置からの位置ずれ状態を検出する。その位置ずれ状態を補正するためにトレイホルダを正規位置へ移動させ、その後、コレットと呼ばれるノズルで吸着保持して取り出し、ペレット位置修正装置の載置台に移載する。次に、載置台上のペレットをカメラを用いて認識し、正規位置からの位置ずれ状態を検出する。そして、その位置ずれ状態の回転方向分のずれを載置台を回転させて、ペレットの回転方向での位置ずれを補正する。その後、このペレットをノズルで再度吸着保持し、リードフレームに移載してボンディングする。なお、先に検出したペレットの位置ずれ状態のＸＹ方向分は、ノズルの移動量の修正により補正する。
【０００３】
まず、図４乃至図５を用いてペレットボンディング装置４０の構成について説明する。ペレットボンディング装置４０はリードフレーム搬送装置４１と、ペレット位置修正装置４２と、トレイ搬送装置４３と、ペレット取出装置４４と、ボンディング装置４５と、を備えて構成される。
【０００４】
リードフレーム搬送装置４１はリードフレーム８を搬送レール９に沿って、図示しない送り機構によって間欠的に、図中矢印搬送方向に搬送される。
【０００５】
ペレット位置修正装置４２はトレイホルダ５と搬送レール９との間に設置される。トレイ１からピックアップされたペレット３は載置台６上に置かれ、載置台の上にはカメラ１２Ｂが設置され、このカメラによってペレットの画像が取り込まれる。カメラによって取り込まれた画像は、画像処理部１５Ｂによって処理されて、ペレットの位置が認識される。この情報をもとにペレットを回転方向の向きθを修正する。
【０００６】
トレイ搬送装置４３はトレイ１内に収容されたペレット３をピックアップ位置に順次搬送する。トレイ１は複数の凹部を所定の配置関係で形成した供給具であり、凹部には前工程でウエーハ上の半導体ペレットの良品のみを収容されている。このトレイはトレイホルダ５上に複数個トレイプレート４を介し所定位置に定置される。トレイホルダはＸＹ方向に移動可能なＸＹテーブル１０上に配置されている。トレイ凹部２内のペレットはピックアップ位置の上に設置されたカメラ１２Ａによってペレットの画像が取り込まれる。カメラによって取り込まれた画像は、画像処理部１５Ａによって処理され、ペレットの位置が認識される。この情報をもとにＸＹ方向分の位置ずれ状態はトレイホルダを移動されて補正される。
【０００７】
ペレット取出装置４４はトレイホルダ５に定置されたトレイプレート４上に定置されたトレイ１からペレット３を取り出すペレットトランスファ１３を備えてなる。このペレットトランスファはその先端に設置された吸着ノズル１１Ａによってペレットを吸着して、位置修正位置の載置台に移送する。
【０００８】
ボンディング装置４５は、先端に吸着ノズル１１Ｂを備えたボンディングヘッド１４を有し、載置台６上のペレット３をピックアップし、搬送レール９に沿って搬送されるリードフレーム８のアイランド７にボンディングする。この時ボンディングヘッドは前記画像処理部１５Ｂによって処理されたペレットの位置認識の情報をもとにＸＹ方向分の位置ずれ状態を図示されないＸＹテーブルを移動させることで補正され、ペレットはこれにより、リードフレームのボンディング点に正確に位置決めされる。なお、リードフレームにおけるボンディング点には予め接着材が塗布されていて、ペレットはこの接着材を介してリードフレームにボンディングされる。
【０００９】
また、不図示の制御装置はペレットボンディング装置４０を構成するリードフレーム搬送装置４１、ペレット位置修正装置４２、トレイ搬送装置４３、ペレット取出装置４４、ボンディング装置４５を制御する。
ここで、ペレットボンディング装置を用いたボンディング動作について説明する。まず、トレイホルダに定置されたトレイ凹部に収容されたペレットをカメラがそのペレットの画像を取り込む。カメラの取り込み画像は、認識装置としての画像処理部にて画像処理され、ペレットの正規位置からの位置ずれ状態が認識される。画像が認識できないペレットはピックアップせずに次の収容部へトレイホルダを移動し、収容部内のペレットを認識する。次に、不図示の制御装置は、画像処理部で認識されたＸＹ方向におけるペレットのずれ量に応じてトレイホルダを移動させ、ペレットのＸＹ方向におけるずれを修正する。位置修正されたペレットはペレットトランスファの吸着ノズルによりトレイ凹部に収容されたペレットを１個取り出し、位置修正位置の載置台に移載する。この時、ペレットトランスファの移動は不図示の制御装置により制御され、ペレットは載置台の載置面に対して粗位置決めされた状態とされる。次に、カメラが、載置台に載置されたペレットの画像を取り込む。カメラの取り込み画像は、認識装置としての画像処理部にて画像処理され、ペレットの正規位置からの位置ずれ状態が認識される。
【００１０】
次に、不図示の制御装置は、画像処理部で認識された回転方向におけるペレットのずれ量に応じて載置台を回転させ、ペレットの回転方向におけるずれを修正する。次に、ボンディング装置が有する吸着ノズルは、載置台上の回転修正されたペレットをピックアップし、搬送レールに沿って搬送されるリードフレームのアイランドとの対向位置上方まで移載する。この移載の際、不図示の制御装置により、ボンディングヘッドの移動距離が画像処理部で認識された位置ずれ状態に応じてＸＹ方向補正され、ペレットはこれにより、リードフレームにおけるボンディング点に正確に位置決めされる。その後は、吸着ノズルの下降により、ペレットをボンディング点に押し付け、ボンディングする。
【００１１】
以上のようにして、トレイ収容部内のペレットの位置認識と位置補正、ペレットトランスファの吸着ノズルによるペレットの吸着、移送及び載置、載置台でのペレットの回転方向分の位置修正、ボンディングヘッドの吸着ノズルによるペレットの吸着、移送、ＸＹ方向分の位置補正及びボンディングの各動作を順次繰り返す。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、トレイの凹部に収容されたペレットを検出する時、トレイは樹脂で製作され、トレイ凹部底面は樹脂成形する時に発生するソリで本来平面となるところが凹面となる場合がある。またペレットサイズはトレイ凹部のＸＹサイズよりも小さいので必ず隙間を有する。そのためトレイ凹部に収容されたペレットは凹部内の隙間分位置がずれる場合がある。そのため凹部へりに寄ったペレットはヘリ側が高く、その対向する辺が低くなる。そのため水平面に対しペレットが傾く。このペレットをカメラで検出するために、ペレットに対し鉛直方向の光を照射する。照射された光はペレット表面で反射するが、その反射光が光学系の開口角より大きく傾斜した場合はカメラに入光しない。そのため画像認識ができない場合がある。また、トレイプレートをトレイホルダに設置する時トレイホルダとトレイプレートすなわちトレイとの位置関係が正規位置に対しずれる場合がある。トレイ第一収容部のペレットはカメラにて検出させるためにカメラの真下に移動するように設定される。トレイが正規の位置に設置された場合はカメラの真下に位置付けられるが、しかし、前記正規位置に対しずれがあると、カメラの真下に位置付けられない。そのため、カメラの持つ検出エリア内にペレットが納まらずこの状態でペレットを検出すると画像処理部はペレットを無しと見なす場合がある。結果的には良品ペレットをトレイ内にピックアップされずに取り残すこととなる。このことが歩留の低下をまねいていた。
【００１３】
またこの取り残した良品ペレットをリードフレームにボンディングするには自動モードから手動モードに切り替えて、取り残したペレットをピックアップ位置までトレイホルダを移動させて、その後再度ペレットを検出させてピックアップし載置台で位置修正後ボンディングしなければならず、装置稼動率の低下をもたらしていた。
本発明の課題は、上述の事情を考慮したなされたものであり、高歩留、高稼動率を実現するペレットのピックアップ方法及びペレットボンディング装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項１に係わる発明は、複数の凹部にペレットを収容したトレイで、第一収容部のペレットの位置を検出し、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後ペレットをピックアップする方法において、第一収容部のペレットが検出できない場合、トレイを第二収容部へ所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、そのペレットの位置ずれ量を求め、再度第一収容部に前記所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項２に係わる発明は、前記第一収容部に戻った後再度第一収容部のペレットを検出し、検出できなかった場合は戻った位置でペレットの位置補正せずに第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項３に係わる発明は、前記第一収容部のペレットが検出できず、トレイを第二収容部に所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、検出ができなかった場合、さらにトレイを第三収容部に所定量移動させ、第三収容部のペレットを検出し、そのペレットの位置ずれ量を求め、再度第一収容部に前記第一収容部から第三収容部までの所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項４に係わる発明は、前記第一収容部のペレットをピックアップ後、第二収容部に所定量移動後、第二収容部のペレットを検出し検出ができない場合はその位置でペレットの位置補正せずに第二収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項５に係わる発明は、複数の凹部にペレットを収容したトレイを支持するトレイ支持手段と、前記ペレットを認識する認識手段と、前記ペレットをトレイ支持台の上からピックアップし載置台へ移載する移載手段と、前記ペレットを位置補正後載置台からピックアップし基板上にボンディングする手段と、前記認識手段からの情報に基づいてトレイ支持手段の移動を制御する制御手段とからなるペレットボンディング装置において、トレイの第一収容部のペレットの位置を検出し、検出できない場合、第二収容部へ所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、そのペレットの位置ずれ量を求め、再度第一収容位置に前記所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とするペレットボンディング装置である。
【００２１】
また、請求項６に係わる発明は、前記第一収容部に戻った後再度第一収容部のペレットを検出し、検出できなかった場合は戻った位置でペレットの位置補正せずに第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とするペレットボンディング装置である。
【００２２】
また、請求項７に係わる発明は、前記第一収容部のペレットが検出できず、トレイを第二収容部に所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、検出ができなかった場合、さらにトレイを第三収容部に所定量移動させ、第三収容部のペレットを検出し、その位置ずれ量を求め、再度第一収容部に前記第一収容部から第三収容部までの所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とするペレットボンディング装置である。
【００２５】
また、請求項８に係わる発明は、前記第一収容部のペレットをピックアップ後、第二収容部に所定量移動後、第二収容部のペレットを検出し検出ができない場合はその位置でペレットの位置補正せずに第二収容部のピックアップすることを特徴とするペレットボンディング装置である。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明するが本発明はこれに限定されるものでないことは言うまでもない。
【００２７】
図１は本発明に適応してなるペレットボンディング装置のペレット検出方法を示すフローチャート図である。図２はトレイ凹部とトレイ凹部内のペレットの位置関係を示した平面図。図３はトレイ内のペレットを検出している概略正面断面図。図４はペレットボンディング装置の概略構成を示す平面図。図５はペレットボンディング装置の概略構成を示す側面図である。本発明のペレットボンディング装置は従来と同様に図４乃至図５で構成されている。ペレットボンディング装置４０はリードフレーム搬送装置４１と、ペレット位置修正装置４２と、トレイ搬送装置４３と、ペレット取出装置４４と、ボンディング装置４５と、を備えて構成される。
【００２８】
リードフレーム搬送装置４１はリードフレーム８を搬送レール９に沿って、図示しない送り機構によって間欠的に、図中矢印搬送方向に搬送される。
【００２９】
ペレット位置修正装置４２はトレイホルダ５と搬送レール９との間に設置される。トレイ１からピックアップされたペレット３は載置台６上に置かれ、載置台の上にはカメラ１２Ｂが設置され、このカメラによってペレットの画像が取り込まれる。カメラによって取り込まれた画像は、画像処理部１５Ｂによって処理されて、ペレットの位置が認識される。この情報をもとにペレットを回転方向の向きθを修正する。
【００３０】
トレイ搬送装置４３はトレイ１内に収容されたペレット３をピックアップ位置に順次搬送する。トレイ１は複数の凹部を所定の配置関係で形成した供給具であり、凹部には前工程でウエーハ上の半導体ペレットの良品のみを収容されている。このトレイはトレイホルダ５上に複数個トレイプレート４を介し所定位置に定置される。トレイホルダはＸＹ方向に移動可能なＸＹテーブル１０上に配置されている。トレイ凹部２内のペレットはピックアップ位置の上に設置されたカメラ１２Ａによってペレットの画像が取り込まれる。カメラによって取り込まれた画像は、画像処理部１５Ａによって処理され、ペレットの位置が認識される。この情報をもとにＸＹ方向分の位置ずれ状態はトレイホルダを移動されて補正される。
【００３１】
ペレット取出装置４４はトレイホルダ５に定置されたトレイプレート４上に定置されたトレイ１からペレット３を取り出すペレットトランスファ１３を備えてなる。このペレットトランスファはその先端に設置された吸着ノズル１１Ａによってペレットを吸着して、位置修正位置の載置台に移送する。
【００３２】
ボンディング装置４５は、先端に吸着ノズル１１Ｂを備えたボンディングヘッド１４を有し、載置台６上のペレット３をピックアップし、搬送レール９に沿って搬送されるリードフレーム８のアイランド７にボンディングする。この時ボンディングヘッドは前記画像処理部１５Ｂによって処理されたペレットの位置認識の情報をもとにＸＹ方向分の位置ずれ状態を図示されないＸＹテーブルを移動させることで補正され、ペレットはこれにより、リードフレームのボンディング点に正確に位置決めされる。なお、リードフレームにおけるボンディング点には予め接着材が塗布されていて、ペレットはこの接着材を介してリードフレームにボンディングされる。
【００３３】
また、不図示の制御装置はペレットボンディング装置４０を構成するリードフレーム搬送装置４１、ペレット位置修正装置４２、トレイ搬送装置４３、ペレット取出装置４４、ボンディング装置４５を制御する。
ここで、ペレットボンディング装置を用いたボンディング動作について説明する。まず、トレイホルダ５にトレイプレート４が搬送位置決めされ、トレイプレート４上に定置されたトレイ１のトレイ凹部の第一収容部に収容されたペレット３をカメラ１２Ａがそのペレット３の画像を取り込む。この時の状態を図３に示す。トレイ３１のトレイ凹部３２のペレット３３はトレイ凹部底面３４が凹状のため、凹部中央側に傾斜する場合もある。この場合傾斜したペレット３３をカメラ３８にて検出する時、水平方向に設置された照明３７からの光は１点鎖線で示すようにハーフミラー３５で反射されペレット表面に対して下方に照射される。照射された光は反射光となってカメラ側に反射するが、カメラ下部に設置された光学系３６の開口角以上反射光が鉛直方向から傾斜していればカメラに反射光は入光しない。すなわち、画像処理部３９はペレットを無しと見なす。次に図１と図２を用いてペレット検出方法について説明する。トレイ２１の第一収容部２４のトレイ凹部２２内のペレット２３を無しと画像処理部が見なした場合、トレイホルダを所定量ＸＰ移動させ第二収容部２６に移動する。この場所で第二収容部２６のペレット２３を検出し、検出ができた場合画像処理部は正規位置２５からのずれ量ｄｘ、ｄｙを算出する。このずれ量ｄｘ、ｄｙを加味して第一収容部２４に所定量移動して戻り、再度第一収容部２４のペレット２３を検出する。第一収容部２４のペレット２３の画像を画像処理部が取り込みができた場合、制御装置は正規位置とのずれ量を算出し、その正規位置とのずれ量トレイホルダを移動させた後ペレットをペレットトランスファの吸着ノズルでピックアップする。画像を画像処理部が取り込めなかった場合は戻った位置でペレットの位置を修正せずにペレットをピックアップする。前記第二収容部でペレットの画像が画像処理部で取りこめなかった場合には第三収容部２７以降のペレットを検出し、検出ができた場合正規位置とのずれ量を算出し、正規位置からのずれ量を加味して第一収容部へ移動して戻る。そこで再度第一収容部のペレットを検出する。このペレットの画像を画像処理部が取り込めた場合正規位置とのずれ量を検出し、そのずれ量トレイホルダを移動させた後ペレットをピックアップする。なお、トレイ内のペレットがすべて検出できなかった場合はエラーとする。次に、第一収容部のペレットをピックアップ後はトレイホルダが第二収容位置に所定量移動しペレットを検出する。検出ができた場合はトレイホルダを移動させて正規位置からのずれ量を補正後第二収容部のペレットをピックアップする。検出ができなかった場合はその場でペレットの位置を修正せずに第二収容部のペレットをピックアップする。このようにペレットはペレットトランスファの吸着ノズルによりトレイの凹部に収容されたペレットを１個取り出し、載置台に移載する。この時、ペレットトランスファの移動は不図示の制御部により制御され、ペレットは載置台の載置面に対して粗位置決めされた状態とされる。次に、カメラが、載置台に載置されたペレットの画像を取り込む。カメラの取り込み画像は、認識装置としての画像処理部にて画像処理され、ペレットの正規位置からの位置ずれ状態が認識される。次に、不図示の制御装置は、画像処理部で認識された回転方向におけるペレットのずれ量に応じて載置台を回転させ、ペレットの回転方向におけるずれθを修正する。次に、ボンディング装置が有する吸着ノズルは、載置台上の回転修正されたペレットをピックアップし、搬送レールに沿って搬送されるリードフレームのアイランドとの対向位置上方まで移載する。この移載の際、不図示の制御装置により、ボンディングヘッドの移動距離が画像処理部で認識された位置ずれ状態に応じてＸＹ方向が補正され、ペレットはこれにより、リードフレームにおけるボンディング点に正確に位置決めされる。その後は、吸着ノズルの下降により、ペレットをボンディング点に押し付け、ボンディングする。
【００３４】
以上のようにして、トレイ内のペレットの位置認識と位置補正、ペレットトランスファの吸着ノズルによるペレットの吸着、移送及び載置、ゲージング台でのペレットの回転方向の位置修正、ボンディングヘッドの吸着ノズルによるペレットの吸着、移送、ＸＹ方向の位置補正及びボンディングの各動作を順次繰り返す。トレイ内の最後に位置するペレットをボンディングして終了となる。
【００３５】
上記実施の形態によれば、トレイ凹部に収容されたペレットをトレイ凹部のサイズからペレットのサイズ引いた値が大きくても、または、トレイプレートがトレイプレートの所定の位置に設置されない場合でも、第一収容部のペレットまたは第二収容部以降のペレットで第一収容部の位置を補正するのでペレットの検出が確実にできペレットを取り残すことが少ない。またトレイ凹部底面の形状が凹状となっていてペレットが傾いて検出ができない場合でもペレットの位置を修正せずにトレイ凹部に収容されたペレットをピックアップするのでトレイ収容部にペレットを取り残すことはない。
【００３６】
図１及び図２ではトレイの個数を１個の場合を説明したが、トレイが複数個トレイプレートに設置されている場合も同様である。
【００３７】
なお、前記実施例では図２の右上側を第一収容部として左側に移動して検出、ピックアップしていく場合について説明したが、図面上で下側に所定量ＹＰ移動して検出、位置補正、ピックアップをしても同様の処理が実行される。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係わるペレットのピックアップ方法及びペレットボンディング装置に寄れば、トレイの第一収容部のペレットは必ずカメラの検出エリアに入るので検出ができる。また、トレイ底面の形状が凹状となり検出ができないペレットでもペレットの位置補正せずにペレットをピックアップするので良品ペレットを残さずトレイからペレットをピックアップすることができる。このため高歩留を実現できる。さらに、取り残した良品ペレットを手動でボンディングする作業がなくなるので装置の高稼動も実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は本発明に適応してなるペレットボンディング装置のペレット検出方法を示すフローチャート図である。
【図２】 図２はトレイ凹部とトレイ凹部内のペレットの位置関係を示した平面図。
【図３】 図３はトレイ内のペレットを検出している概略正面断面図。
【図４】 図４はペレットボンディング装置の概略構成を示す平面図。
【図５】 図５はペレットボンディング装置の概略構成を示す側面図。
【符号の説明】
１ トレイ
２ トレイ凹部
３ ペレット
４ トレイプレート
５ トレイホルダ
６ 載置台
７ アイランド
８ リードフレーム
９ 搬送レール
１０ ＸＹテーブル
１１Ａ吸着ノズル
１１Ｂ吸着ノズル
１２Ａカメラ
１２Ｂカメラ
１３ ペレットトランスファ
１４ ボンディングヘッド
１５Ａ画像処理部
１５Ｂ画像処理部
２１ トレイ
２２ トレイ凹部
２３ ペレット
２４ 第一収容部
２５ 正規位置
２６ 第二収容部
２７ 第三収容部
３１ トレイ
３２ トレイ凹部
３３ ペレット
３４ トレイ凹部底面
３５ ハーフミラー
３６ 光学系
３７ 照明
３８ カメラ
３９ 画像処理部
４０ ペレットボンディング装置
４１ リードフレーム搬送装置
４２ ペレット位置修正装置
４３ トレイ搬送装置
４４ ペレット取出装置
４５ ボンディング装置
ＸＰ トレイのＸ方向の凹部１ピッチ（所定量）
ＹＰ トレイのＹ方向の凹部１ピッチ（所定量）
ｄｘ ペレットのＸ方向の正規位置とのずれ量
ｄｙ ペレットのＹ方向の正規位置とのずれ量
【発明の属する技術分野】
本発明は、ペレットのピックアップ方法及びペレットボンディング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体の製造工程の１つに、ペレットに用いて好適なボンディング工程があり、この工程ではペレットボンディング装置が用いられる。この装置によると、まずトレイホルダ内に搬送されトレイプレートに定置されたトレイに収容されたペレットの位置をカメラを用いて検出し、正規位置からの位置ずれ状態を検出する。その位置ずれ状態を補正するためにトレイホルダを正規位置へ移動させ、その後、コレットと呼ばれるノズルで吸着保持して取り出し、ペレット位置修正装置の載置台に移載する。次に、載置台上のペレットをカメラを用いて認識し、正規位置からの位置ずれ状態を検出する。そして、その位置ずれ状態の回転方向分のずれを載置台を回転させて、ペレットの回転方向での位置ずれを補正する。その後、このペレットをノズルで再度吸着保持し、リードフレームに移載してボンディングする。なお、先に検出したペレットの位置ずれ状態のＸＹ方向分は、ノズルの移動量の修正により補正する。
【０００３】
まず、図４乃至図５を用いてペレットボンディング装置４０の構成について説明する。ペレットボンディング装置４０はリードフレーム搬送装置４１と、ペレット位置修正装置４２と、トレイ搬送装置４３と、ペレット取出装置４４と、ボンディング装置４５と、を備えて構成される。
【０００４】
リードフレーム搬送装置４１はリードフレーム８を搬送レール９に沿って、図示しない送り機構によって間欠的に、図中矢印搬送方向に搬送される。
【０００５】
ペレット位置修正装置４２はトレイホルダ５と搬送レール９との間に設置される。トレイ１からピックアップされたペレット３は載置台６上に置かれ、載置台の上にはカメラ１２Ｂが設置され、このカメラによってペレットの画像が取り込まれる。カメラによって取り込まれた画像は、画像処理部１５Ｂによって処理されて、ペレットの位置が認識される。この情報をもとにペレットを回転方向の向きθを修正する。
【０００６】
トレイ搬送装置４３はトレイ１内に収容されたペレット３をピックアップ位置に順次搬送する。トレイ１は複数の凹部を所定の配置関係で形成した供給具であり、凹部には前工程でウエーハ上の半導体ペレットの良品のみを収容されている。このトレイはトレイホルダ５上に複数個トレイプレート４を介し所定位置に定置される。トレイホルダはＸＹ方向に移動可能なＸＹテーブル１０上に配置されている。トレイ凹部２内のペレットはピックアップ位置の上に設置されたカメラ１２Ａによってペレットの画像が取り込まれる。カメラによって取り込まれた画像は、画像処理部１５Ａによって処理され、ペレットの位置が認識される。この情報をもとにＸＹ方向分の位置ずれ状態はトレイホルダを移動されて補正される。
【０００７】
ペレット取出装置４４はトレイホルダ５に定置されたトレイプレート４上に定置されたトレイ１からペレット３を取り出すペレットトランスファ１３を備えてなる。このペレットトランスファはその先端に設置された吸着ノズル１１Ａによってペレットを吸着して、位置修正位置の載置台に移送する。
【０００８】
ボンディング装置４５は、先端に吸着ノズル１１Ｂを備えたボンディングヘッド１４を有し、載置台６上のペレット３をピックアップし、搬送レール９に沿って搬送されるリードフレーム８のアイランド７にボンディングする。この時ボンディングヘッドは前記画像処理部１５Ｂによって処理されたペレットの位置認識の情報をもとにＸＹ方向分の位置ずれ状態を図示されないＸＹテーブルを移動させることで補正され、ペレットはこれにより、リードフレームのボンディング点に正確に位置決めされる。なお、リードフレームにおけるボンディング点には予め接着材が塗布されていて、ペレットはこの接着材を介してリードフレームにボンディングされる。
【０００９】
また、不図示の制御装置はペレットボンディング装置４０を構成するリードフレーム搬送装置４１、ペレット位置修正装置４２、トレイ搬送装置４３、ペレット取出装置４４、ボンディング装置４５を制御する。
ここで、ペレットボンディング装置を用いたボンディング動作について説明する。まず、トレイホルダに定置されたトレイ凹部に収容されたペレットをカメラがそのペレットの画像を取り込む。カメラの取り込み画像は、認識装置としての画像処理部にて画像処理され、ペレットの正規位置からの位置ずれ状態が認識される。画像が認識できないペレットはピックアップせずに次の収容部へトレイホルダを移動し、収容部内のペレットを認識する。次に、不図示の制御装置は、画像処理部で認識されたＸＹ方向におけるペレットのずれ量に応じてトレイホルダを移動させ、ペレットのＸＹ方向におけるずれを修正する。位置修正されたペレットはペレットトランスファの吸着ノズルによりトレイ凹部に収容されたペレットを１個取り出し、位置修正位置の載置台に移載する。この時、ペレットトランスファの移動は不図示の制御装置により制御され、ペレットは載置台の載置面に対して粗位置決めされた状態とされる。次に、カメラが、載置台に載置されたペレットの画像を取り込む。カメラの取り込み画像は、認識装置としての画像処理部にて画像処理され、ペレットの正規位置からの位置ずれ状態が認識される。
【００１０】
次に、不図示の制御装置は、画像処理部で認識された回転方向におけるペレットのずれ量に応じて載置台を回転させ、ペレットの回転方向におけるずれを修正する。次に、ボンディング装置が有する吸着ノズルは、載置台上の回転修正されたペレットをピックアップし、搬送レールに沿って搬送されるリードフレームのアイランドとの対向位置上方まで移載する。この移載の際、不図示の制御装置により、ボンディングヘッドの移動距離が画像処理部で認識された位置ずれ状態に応じてＸＹ方向補正され、ペレットはこれにより、リードフレームにおけるボンディング点に正確に位置決めされる。その後は、吸着ノズルの下降により、ペレットをボンディング点に押し付け、ボンディングする。
【００１１】
以上のようにして、トレイ収容部内のペレットの位置認識と位置補正、ペレットトランスファの吸着ノズルによるペレットの吸着、移送及び載置、載置台でのペレットの回転方向分の位置修正、ボンディングヘッドの吸着ノズルによるペレットの吸着、移送、ＸＹ方向分の位置補正及びボンディングの各動作を順次繰り返す。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、トレイの凹部に収容されたペレットを検出する時、トレイは樹脂で製作され、トレイ凹部底面は樹脂成形する時に発生するソリで本来平面となるところが凹面となる場合がある。またペレットサイズはトレイ凹部のＸＹサイズよりも小さいので必ず隙間を有する。そのためトレイ凹部に収容されたペレットは凹部内の隙間分位置がずれる場合がある。そのため凹部へりに寄ったペレットはヘリ側が高く、その対向する辺が低くなる。そのため水平面に対しペレットが傾く。このペレットをカメラで検出するために、ペレットに対し鉛直方向の光を照射する。照射された光はペレット表面で反射するが、その反射光が光学系の開口角より大きく傾斜した場合はカメラに入光しない。そのため画像認識ができない場合がある。また、トレイプレートをトレイホルダに設置する時トレイホルダとトレイプレートすなわちトレイとの位置関係が正規位置に対しずれる場合がある。トレイ第一収容部のペレットはカメラにて検出させるためにカメラの真下に移動するように設定される。トレイが正規の位置に設置された場合はカメラの真下に位置付けられるが、しかし、前記正規位置に対しずれがあると、カメラの真下に位置付けられない。そのため、カメラの持つ検出エリア内にペレットが納まらずこの状態でペレットを検出すると画像処理部はペレットを無しと見なす場合がある。結果的には良品ペレットをトレイ内にピックアップされずに取り残すこととなる。このことが歩留の低下をまねいていた。
【００１３】
またこの取り残した良品ペレットをリードフレームにボンディングするには自動モードから手動モードに切り替えて、取り残したペレットをピックアップ位置までトレイホルダを移動させて、その後再度ペレットを検出させてピックアップし載置台で位置修正後ボンディングしなければならず、装置稼動率の低下をもたらしていた。
本発明の課題は、上述の事情を考慮したなされたものであり、高歩留、高稼動率を実現するペレットのピックアップ方法及びペレットボンディング装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために請求項１に係わる発明は、複数の凹部にペレットを収容したトレイで、第一収容部のペレットの位置を検出し、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後ペレットをピックアップする方法において、第一収容部のペレットが検出できない場合、トレイを第二収容部へ所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、そのペレットの位置ずれ量を求め、再度第一収容部に前記所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする。
【００１５】
また、請求項２に係わる発明は、前記第一収容部に戻った後再度第一収容部のペレットを検出し、検出できなかった場合は戻った位置でペレットの位置補正せずに第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする。
【００１６】
また、請求項３に係わる発明は、前記第一収容部のペレットが検出できず、トレイを第二収容部に所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、検出ができなかった場合、さらにトレイを第三収容部に所定量移動させ、第三収容部のペレットを検出し、そのペレットの位置ずれ量を求め、再度第一収容部に前記第一収容部から第三収容部までの所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする。
【００１９】
また、請求項４に係わる発明は、前記第一収容部のペレットをピックアップ後、第二収容部に所定量移動後、第二収容部のペレットを検出し検出ができない場合はその位置でペレットの位置補正せずに第二収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする。
【００２０】
また、請求項５に係わる発明は、複数の凹部にペレットを収容したトレイを支持するトレイ支持手段と、前記ペレットを認識する認識手段と、前記ペレットをトレイ支持台の上からピックアップし載置台へ移載する移載手段と、前記ペレットを位置補正後載置台からピックアップし基板上にボンディングする手段と、前記認識手段からの情報に基づいてトレイ支持手段の移動を制御する制御手段とからなるペレットボンディング装置において、トレイの第一収容部のペレットの位置を検出し、検出できない場合、第二収容部へ所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、そのペレットの位置ずれ量を求め、再度第一収容位置に前記所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とするペレットボンディング装置である。
【００２１】
また、請求項６に係わる発明は、前記第一収容部に戻った後再度第一収容部のペレットを検出し、検出できなかった場合は戻った位置でペレットの位置補正せずに第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とするペレットボンディング装置である。
【００２２】
また、請求項７に係わる発明は、前記第一収容部のペレットが検出できず、トレイを第二収容部に所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、検出ができなかった場合、さらにトレイを第三収容部に所定量移動させ、第三収容部のペレットを検出し、その位置ずれ量を求め、再度第一収容部に前記第一収容部から第三収容部までの所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とするペレットボンディング装置である。
【００２５】
また、請求項８に係わる発明は、前記第一収容部のペレットをピックアップ後、第二収容部に所定量移動後、第二収容部のペレットを検出し検出ができない場合はその位置でペレットの位置補正せずに第二収容部のピックアップすることを特徴とするペレットボンディング装置である。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明するが本発明はこれに限定されるものでないことは言うまでもない。
【００２７】
図１は本発明に適応してなるペレットボンディング装置のペレット検出方法を示すフローチャート図である。図２はトレイ凹部とトレイ凹部内のペレットの位置関係を示した平面図。図３はトレイ内のペレットを検出している概略正面断面図。図４はペレットボンディング装置の概略構成を示す平面図。図５はペレットボンディング装置の概略構成を示す側面図である。本発明のペレットボンディング装置は従来と同様に図４乃至図５で構成されている。ペレットボンディング装置４０はリードフレーム搬送装置４１と、ペレット位置修正装置４２と、トレイ搬送装置４３と、ペレット取出装置４４と、ボンディング装置４５と、を備えて構成される。
【００２８】
リードフレーム搬送装置４１はリードフレーム８を搬送レール９に沿って、図示しない送り機構によって間欠的に、図中矢印搬送方向に搬送される。
【００２９】
ペレット位置修正装置４２はトレイホルダ５と搬送レール９との間に設置される。トレイ１からピックアップされたペレット３は載置台６上に置かれ、載置台の上にはカメラ１２Ｂが設置され、このカメラによってペレットの画像が取り込まれる。カメラによって取り込まれた画像は、画像処理部１５Ｂによって処理されて、ペレットの位置が認識される。この情報をもとにペレットを回転方向の向きθを修正する。
【００３０】
トレイ搬送装置４３はトレイ１内に収容されたペレット３をピックアップ位置に順次搬送する。トレイ１は複数の凹部を所定の配置関係で形成した供給具であり、凹部には前工程でウエーハ上の半導体ペレットの良品のみを収容されている。このトレイはトレイホルダ５上に複数個トレイプレート４を介し所定位置に定置される。トレイホルダはＸＹ方向に移動可能なＸＹテーブル１０上に配置されている。トレイ凹部２内のペレットはピックアップ位置の上に設置されたカメラ１２Ａによってペレットの画像が取り込まれる。カメラによって取り込まれた画像は、画像処理部１５Ａによって処理され、ペレットの位置が認識される。この情報をもとにＸＹ方向分の位置ずれ状態はトレイホルダを移動されて補正される。
【００３１】
ペレット取出装置４４はトレイホルダ５に定置されたトレイプレート４上に定置されたトレイ１からペレット３を取り出すペレットトランスファ１３を備えてなる。このペレットトランスファはその先端に設置された吸着ノズル１１Ａによってペレットを吸着して、位置修正位置の載置台に移送する。
【００３２】
ボンディング装置４５は、先端に吸着ノズル１１Ｂを備えたボンディングヘッド１４を有し、載置台６上のペレット３をピックアップし、搬送レール９に沿って搬送されるリードフレーム８のアイランド７にボンディングする。この時ボンディングヘッドは前記画像処理部１５Ｂによって処理されたペレットの位置認識の情報をもとにＸＹ方向分の位置ずれ状態を図示されないＸＹテーブルを移動させることで補正され、ペレットはこれにより、リードフレームのボンディング点に正確に位置決めされる。なお、リードフレームにおけるボンディング点には予め接着材が塗布されていて、ペレットはこの接着材を介してリードフレームにボンディングされる。
【００３３】
また、不図示の制御装置はペレットボンディング装置４０を構成するリードフレーム搬送装置４１、ペレット位置修正装置４２、トレイ搬送装置４３、ペレット取出装置４４、ボンディング装置４５を制御する。
ここで、ペレットボンディング装置を用いたボンディング動作について説明する。まず、トレイホルダ５にトレイプレート４が搬送位置決めされ、トレイプレート４上に定置されたトレイ１のトレイ凹部の第一収容部に収容されたペレット３をカメラ１２Ａがそのペレット３の画像を取り込む。この時の状態を図３に示す。トレイ３１のトレイ凹部３２のペレット３３はトレイ凹部底面３４が凹状のため、凹部中央側に傾斜する場合もある。この場合傾斜したペレット３３をカメラ３８にて検出する時、水平方向に設置された照明３７からの光は１点鎖線で示すようにハーフミラー３５で反射されペレット表面に対して下方に照射される。照射された光は反射光となってカメラ側に反射するが、カメラ下部に設置された光学系３６の開口角以上反射光が鉛直方向から傾斜していればカメラに反射光は入光しない。すなわち、画像処理部３９はペレットを無しと見なす。次に図１と図２を用いてペレット検出方法について説明する。トレイ２１の第一収容部２４のトレイ凹部２２内のペレット２３を無しと画像処理部が見なした場合、トレイホルダを所定量ＸＰ移動させ第二収容部２６に移動する。この場所で第二収容部２６のペレット２３を検出し、検出ができた場合画像処理部は正規位置２５からのずれ量ｄｘ、ｄｙを算出する。このずれ量ｄｘ、ｄｙを加味して第一収容部２４に所定量移動して戻り、再度第一収容部２４のペレット２３を検出する。第一収容部２４のペレット２３の画像を画像処理部が取り込みができた場合、制御装置は正規位置とのずれ量を算出し、その正規位置とのずれ量トレイホルダを移動させた後ペレットをペレットトランスファの吸着ノズルでピックアップする。画像を画像処理部が取り込めなかった場合は戻った位置でペレットの位置を修正せずにペレットをピックアップする。前記第二収容部でペレットの画像が画像処理部で取りこめなかった場合には第三収容部２７以降のペレットを検出し、検出ができた場合正規位置とのずれ量を算出し、正規位置からのずれ量を加味して第一収容部へ移動して戻る。そこで再度第一収容部のペレットを検出する。このペレットの画像を画像処理部が取り込めた場合正規位置とのずれ量を検出し、そのずれ量トレイホルダを移動させた後ペレットをピックアップする。なお、トレイ内のペレットがすべて検出できなかった場合はエラーとする。次に、第一収容部のペレットをピックアップ後はトレイホルダが第二収容位置に所定量移動しペレットを検出する。検出ができた場合はトレイホルダを移動させて正規位置からのずれ量を補正後第二収容部のペレットをピックアップする。検出ができなかった場合はその場でペレットの位置を修正せずに第二収容部のペレットをピックアップする。このようにペレットはペレットトランスファの吸着ノズルによりトレイの凹部に収容されたペレットを１個取り出し、載置台に移載する。この時、ペレットトランスファの移動は不図示の制御部により制御され、ペレットは載置台の載置面に対して粗位置決めされた状態とされる。次に、カメラが、載置台に載置されたペレットの画像を取り込む。カメラの取り込み画像は、認識装置としての画像処理部にて画像処理され、ペレットの正規位置からの位置ずれ状態が認識される。次に、不図示の制御装置は、画像処理部で認識された回転方向におけるペレットのずれ量に応じて載置台を回転させ、ペレットの回転方向におけるずれθを修正する。次に、ボンディング装置が有する吸着ノズルは、載置台上の回転修正されたペレットをピックアップし、搬送レールに沿って搬送されるリードフレームのアイランドとの対向位置上方まで移載する。この移載の際、不図示の制御装置により、ボンディングヘッドの移動距離が画像処理部で認識された位置ずれ状態に応じてＸＹ方向が補正され、ペレットはこれにより、リードフレームにおけるボンディング点に正確に位置決めされる。その後は、吸着ノズルの下降により、ペレットをボンディング点に押し付け、ボンディングする。
【００３４】
以上のようにして、トレイ内のペレットの位置認識と位置補正、ペレットトランスファの吸着ノズルによるペレットの吸着、移送及び載置、ゲージング台でのペレットの回転方向の位置修正、ボンディングヘッドの吸着ノズルによるペレットの吸着、移送、ＸＹ方向の位置補正及びボンディングの各動作を順次繰り返す。トレイ内の最後に位置するペレットをボンディングして終了となる。
【００３５】
上記実施の形態によれば、トレイ凹部に収容されたペレットをトレイ凹部のサイズからペレットのサイズ引いた値が大きくても、または、トレイプレートがトレイプレートの所定の位置に設置されない場合でも、第一収容部のペレットまたは第二収容部以降のペレットで第一収容部の位置を補正するのでペレットの検出が確実にできペレットを取り残すことが少ない。またトレイ凹部底面の形状が凹状となっていてペレットが傾いて検出ができない場合でもペレットの位置を修正せずにトレイ凹部に収容されたペレットをピックアップするのでトレイ収容部にペレットを取り残すことはない。
【００３６】
図１及び図２ではトレイの個数を１個の場合を説明したが、トレイが複数個トレイプレートに設置されている場合も同様である。
【００３７】
なお、前記実施例では図２の右上側を第一収容部として左側に移動して検出、ピックアップしていく場合について説明したが、図面上で下側に所定量ＹＰ移動して検出、位置補正、ピックアップをしても同様の処理が実行される。
【００３８】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係わるペレットのピックアップ方法及びペレットボンディング装置に寄れば、トレイの第一収容部のペレットは必ずカメラの検出エリアに入るので検出ができる。また、トレイ底面の形状が凹状となり検出ができないペレットでもペレットの位置補正せずにペレットをピックアップするので良品ペレットを残さずトレイからペレットをピックアップすることができる。このため高歩留を実現できる。さらに、取り残した良品ペレットを手動でボンディングする作業がなくなるので装置の高稼動も実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は本発明に適応してなるペレットボンディング装置のペレット検出方法を示すフローチャート図である。
【図２】 図２はトレイ凹部とトレイ凹部内のペレットの位置関係を示した平面図。
【図３】 図３はトレイ内のペレットを検出している概略正面断面図。
【図４】 図４はペレットボンディング装置の概略構成を示す平面図。
【図５】 図５はペレットボンディング装置の概略構成を示す側面図。
【符号の説明】
１ トレイ
２ トレイ凹部
３ ペレット
４ トレイプレート
５ トレイホルダ
６ 載置台
７ アイランド
８ リードフレーム
９ 搬送レール
１０ ＸＹテーブル
１１Ａ吸着ノズル
１１Ｂ吸着ノズル
１２Ａカメラ
１２Ｂカメラ
１３ ペレットトランスファ
１４ ボンディングヘッド
１５Ａ画像処理部
１５Ｂ画像処理部
２１ トレイ
２２ トレイ凹部
２３ ペレット
２４ 第一収容部
２５ 正規位置
２６ 第二収容部
２７ 第三収容部
３１ トレイ
３２ トレイ凹部
３３ ペレット
３４ トレイ凹部底面
３５ ハーフミラー
３６ 光学系
３７ 照明
３８ カメラ
３９ 画像処理部
４０ ペレットボンディング装置
４１ リードフレーム搬送装置
４２ ペレット位置修正装置
４３ トレイ搬送装置
４４ ペレット取出装置
４５ ボンディング装置
ＸＰ トレイのＸ方向の凹部１ピッチ（所定量）
ＹＰ トレイのＹ方向の凹部１ピッチ（所定量）
ｄｘ ペレットのＸ方向の正規位置とのずれ量
ｄｙ ペレットのＹ方向の正規位置とのずれ量
Claims (8)
- 複数の凹部にペレットを収容したトレイで、第一収容部のペレットの位置を検出し、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後ペレットをピックアップする方法において、第一収容部のペレットが検出できない場合、トレイを第二収容部へ所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、そのペレットの位置ずれ量を求め、再度第一収容部に前記所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とするペレットのピックアップ方法。
- 前記第一収容部に戻った後再度第一収容部のペレットを検出し、検出できなかった場合は戻った位置でペレットの位置補正せずに第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする請求項１記載のペレットのピックアップ方法。
- 前記第一収容部のペレットが検出できず、トレイを第二収容部に所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、検出ができなかった場合、さらにトレイを第三収容部に所定量移動させ、第三収容部のペレットを検出し、そのペレットの位置ずれ量を求め、再度第一収容部に前記第一収容部から第三収容部までの所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする請求項１または２に記載のペレットのピックアップ方法。
- 前記第一収容部のペレットをピックアップ後、第二収容部に所定量移動後、第二収容部のペレットを検出し検出ができない場合はその位置でペレットの位置補正せずに第二収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のペレットのピックアップ方法。
- 複数の凹部にペレットを収容したトレイを支持するトレイ支持手段と、前記ペレットを認識する認識手段と、前記ペレットをトレイ支持台の上からピックアップし載置台へ移載する移載手段と、前記ペレットを位置補正後載置台からピックアップし基板上にボンディングする手段と、前記認識手段からの情報に基づいてトレイ支持手段の移動を制御する制御手段とからなるペレットボンディング装置において、トレイの第一収容部のペレットの位置を検出し、検出できない場合、第二収容部へ所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、そのペレットの位置ずれ量を求め、再度第一収容位置に前記所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とするペレットボンディング装置。
- 前記第一収容部に戻った後再度第一収容部のペレットを検出し、検出できなかった場合は戻った位置でペレットの位置補正せずに第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする請求項５記載のペレットボンディング装置。
- 前記第一収容部のペレットが検出できず、トレイを第二収容部に所定量移動させ、第二収容部のペレットを検出し、検出ができなかった場合、さらにトレイを第三収容部に所定量移動させ、第三収容部のペレットを検出し、その位置ずれ量を求め、再度第一収容部に前記第一収容部から第三収容部までの所定量と前記位置ずれ量を加味した距離戻った後、再度第一収容部のペレットを検出し、検出できた場合、検出結果と正規位置とのずれ量を補正後第一収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする請求項５記載のペレットボンデイング装置。
- 前記第一収容部のペレットをピックアップ後、第二収容部に所定量移動後、第二収容部のペレットを検出し検出ができない場合はその位置でペレットの位置補正せずに第二収容部のペレットをピックアップすることを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載のペレットボンディング装置。
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