JP2013149702A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 ウエハが割れることを防止できるウエハ搬送装置を提供すること。
【解決手段】 互いに積層された状態で複数枚のウエハを載置する載置部と、前記載置部に載置された複数枚のウエハの積層方向視において、前記積層方向に直交するいずれか一つの方向である面内方向側に、前記載置部に載置された複数枚のウエハの各々が移動することを規制する移動規制部と、前記載置部に載置された複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハに向かって液体を噴出することにより、前記少なくとも最上位に位置するウエハに対し前記面内方向に向かう力を与えるウエハ浮上用液体噴出機構と、定常工程を開始すべきと判断すると、定常工程開始信号Ｓｔ２を生成する定常工程開始判断器と、を備え、前記ウエハ浮上用液体噴出機構は、定常工程開始信号Ｓｔ２が生成される前には、初期噴出量ｆｆ１で液体を噴出し、且つ、前記定常工程開始信号が生成された後には、初期噴出量ｆｆ１より大きい定常噴出量ｆｆ２で液体を噴出する。
【選択図】 図２４

Description

本発明は、ウエハ搬送装置に関する。

従来から、インゴットを切断することにより複数枚のウエハを形成している。インゴットを切断することにより形成された複数枚のウエハに付着した切断粉の洗浄等を目的として、これらのウエハは洗浄液に漬けられる。洗浄液によってウエハがウエットの状態になると、ウエハどうしが張り付いてしまう。そのため、互いに張り付いたウエハどうしを分離する作業（枚葉化作業）が必要となる。特許文献１には、枚葉化作業を行うための装置が開示されている。同文献に記載の装置は、保持手段と、支持手段と、ノズルと、送出手段と、装填コンベアと、カセットと、を備える。保持手段は、複数枚のウエハを互いに積層された状態で保持する。支持手段には、保持手段に保持されている複数枚のウエハが保持手段から積み替えられる。そして、支持手段は、液体中にて複数枚のウエハを互いに積層された状態で保持する。支持手段は、規制部材を含む。規制部材は、支持手段に支持された互いに積層された複数枚のウエハが脱落することを防止する。ノズルは、支持手段に保持された複数枚のウエハのうち最上位を含む上位の数十枚のウエハの端面に向かって、液体を噴出する。これにより、支持手段に保持された複数枚のウエハのうち最上位に位置するウエハが浮上する。送出手段は、浮上したウエハを受け取り、装填コンベア側へと送り出す。カセットは、装填コンベアによって送られたウエハを、一枚ずつ格納する。以上のように特許文献１に開示の装置によると、互いに張り付いたウエハを枚葉化し、一枚ずつカセットに格納することができる。

同文献１に記載の装置を用いる場合、保持手段から支持手段に複数枚のウエハを積み替える際に、複数枚のウエハの端面にずれが生じることがある。複数枚のウエハの端面にずれが生じると、ウエハの端面と規制部材との間に隙間が生じる。ウエハの端面と規制部材との間に隙間が生じると、ノズルからの液体が噴出されたとき、ウエハが規制部材に衝突し、ウエハが割れてしまうおそれがある。

特開２０１１−１５１１６７号公報

同文献１に記載の装置を用いる場合、保持手段から支持手段に複数枚のウエハを積み替える際に、複数枚のウエハの端面にずれが生じることがある。複数枚のウエハの端面にずれが生じると、ウエハの端面と規制部材との間に隙間が生じる。ウエハの端面と規制部材との間に隙間が生じると、ノズルからの液体が噴出されたとき、ウエハが規制部材に衝突し、ウエハが割れてしまうおそれがある。

本発明は、前記した事情のもとで考え出されたものであって、ウエハが割れることを防止できるウエハ搬送装置を提供することをその主たる課題とする。

本発明の第１の側面によると、互いに積層された状態で複数枚のウエハを載置する載置部と、前記載置部に載置された複数枚のウエハの積層方向視において、前記積層方向に直交するいずれか一つの方向である面内方向側に、前記載置部に載置された複数枚のウエハの各々が移動することを規制する移動規制部と、前記載置部に載置された複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハに向かって液体を噴出することにより、前記少なくとも最上位に位置するウエハに対し前記面内方向に向かう力を与えるウエハ浮上用液体噴出機構と、定常工程を開始すべきと判断すると、定常工程開始信号を生成する定常工程開始判断器と、を備え、前記ウエハ浮上用液体噴出機構は、前記定常工程開始信号が生成される前には、初期噴出量で液体を噴出し、且つ、前記定常工程開始信号が生成された後には、前記初期噴出量より大きい定常噴出量で液体を噴出する、ウエハ搬送装置が提供される。

このような構成によると、定常工程を開始する前に、ウエハにウエハ浮上用液体噴出機構の噴流による力が与えられ、移動規制部とウエハとの間に隙間が生じていた場合には、移動規制部にゆっくりとウエハが接近する。ウエハが移動規制部にゆっくりと接近すると、ウエハが移動規制部に当たっても割れにくい。また、移動規制部にウエハが接近すればするほど、定常工程開始時にウエハ浮上用液体噴出機構からの噴流がウエハに向かってきても、ウエハが割れにくくなる。以上より、ウエハが割れることを防止できる。

好ましくは、前記載置部に載置された複数枚のウエハのうち最上位に位置するウエハを受け取るウエハ受け取り機構と、前記ウエハ受け取り機構に対し前記載置部を相対移動させるリフタと、を更に備え、前記定常工程開始判断器は、前記ウエハ受け取り機構に対する前記載置部の位置が、定常工程開始位置になったときに、前記定常工程を開始すべきと判断する。

このような構成によると、載置部が定常工程開始位置に到達するより前の期間中にて、ウエハ浮上用液体噴出機構から初期噴出量で液体を噴出させることができる。よって、載置部を定常工程開始位置に到達させる工程と、ウエハ浮上用液体噴出機構から初期噴出量で液体を噴出させることにより、移動規制部にゆっくりとウエハを接近させる上述の工程と、を並行して行うことができる。これは、ウエハ枚葉化の効率化を図るのに適する。

好ましくは、ウエハ接触検知機構を更に備え、前記ウエハ接触検知機構は、前記ウエハ受け取り機構に前記最上位に位置するウエハが接触したことを検知すると、検知信号を送り、前記リフタは、前記検知信号が生成されると、前記載置部を前記ウエハ受け取り機構から離間させ、前記ウエハ浮上用液体噴出機構は、前記検知信号が生成されると、前記初期噴出量で液体を噴出し始める。

好ましくは、前記ウエハ浮上用液体噴出機構は、前記初期噴出量で液体を噴出する状態から前記定常噴出量で液体を噴出する状態へと、液体の噴出を停止させずに移行させる。

このような構成によると、定常噴出量で液体を噴出し始める際に噴流に泡が混入してしまうおそれを回避できる。

本発明の実施形態にかかるウエハ搬送装置の正面図である。 図１に示したウエハ搬送装置における第１支持機構を拡大して示す部分拡大正面図である。 図２に示した第１支持機構の平面図である。 図１に示したウエハ搬送装置における第２支持機構を拡大して示す部分拡大正面図である。 図４に示した第２支持機構の平面図である。 第２載置部が第１載置部に載置された複数枚のウエハを持ち上げる際の、第１支持機構および第２支持機構を示す平面図である。 図１に示したウエハ搬送装置におけるウエハ移し替え時用液体噴出機構を模式的に示す斜視図である。 本発明の実施形態にかかるウエハ搬送装置におけるウエハ格納ユニットを示す正面図（一部構成模式化、一部構成省略）である。 図８のＩＸ−ＩＸ線に沿う断面図である。 図８に示したウエハ格納ユニットにおけるカセットを示す底面図である。 図８に示したウエハ格納ユニットにおけるカセットを示す上面図である。 図１０のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿う断面図である。 図１０のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線に沿う断面図である。 本発明の実施形態におけるウエハ格納ユニットのうち、カセットとカセット保持機構とカセット移動機構とを示す断面図である。 図１４のＸＶ−ＸＶ線に沿う断面図（一部省略）である。 図１４のＸＶＩ−ＸＶＩ線に沿う断面図（一部省略）である。 図１４のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線に沿う断面図（一部省略）である。 本発明の実施形態にかかるウエハ搬送装置を用いたウエハ搬送方法の一工程を示す正面図である。 図１８に続く一工程を示す正面図である。 図１９に続く一工程を示す正面図である。 図２０に続く一工程を示す正面図である。 図２０に示す場合の、第１配置位置と第２配置位置との位置関係を示す平面図である。 図２０に示す場合の、ウエハの移動状態を示す部分拡大断面図である。 本発明の実施形態にかかるウエハ搬送方法における信号等のタイミングチャートである。 図２１に続く一工程を示す正面図である。 図２５に示す場合の、第２支持機構とウエハ受け取り機構との位置関係を示す部分拡大正面図である。 図２６に続く一工程を示す部分拡大正面図である。 図２７に続く一工程を示す部分拡大正面図である。 図２８に続く一工程を示す正面図である。 図２９に続く一工程を示す正面図である。

図１は、本発明の実施形態にかかるウエハ搬送装置の正面図である。

同図に示すウエハ搬送装置Ａ１は、インゴットを切断することにより得られる複数枚のウエハを一枚ずつ分離する作業（枚葉化作業）を行うためのものである。なお、本実施形態におけるウエハ８８１は矩形状である。ウエハ搬送装置Ａ１は、ウエハ枚葉化ユニットＢ２と、ウエハ格納ユニットＢ３とを備える。

ウエハ８８１が太陽電池用である場合、ウエハ８８１の厚みは、たとえば、０．１４ｍｍ〜０．１８ｍｍである。ウエハ８８１の縦および横の寸法は、たとえば１５６ｍｍである。ウエハ８８１が半導体デバイス用である場合には、ウエハ８８１の形状は円形状であってもよい。この場合、ウエハ８８１の厚みは、たとえば、１ｍｍであり、ウエハ８８１の直径は、たとえば、４５０ｍｍである。

ウエハ枚葉化ユニットＢ２は、枚葉化水槽２０と、基部２１と、第１支持機構２２と、移動機構２３と、第２支持機構２４と、リフタ２５と、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１と、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２と、ウエハ受け取り機構２７と、演算回路２８と、ウエハ接触検出機構２９と、を含む。

枚葉化水槽２０は液体Ｌｑ２を蓄えるためのものである。液体Ｌｑ２に複数枚のウエハ８８１が浸された状態で、複数枚のウエハ８８１の枚葉化作業（後述）が行われる。液体Ｌｑ２は、たとえば、水に界面活性剤が混入されたものである。なお、枚葉化作業が行われる際における液体Ｌｑ２の温度は、常温よりも高温であることが好ましい。

基部２１は、枚葉化水槽２０と、移動機構２３と、リフタ２５と、を固定するためのものである。本実施形態において基部２１は台座２１１および起立壁２１２を有する。台座２１１は、たとえば水平な床面に設置される。台座２１１には枚葉化水槽２０が固定されている。図１では、理解の便宜上、起立壁２１２にハッチングを付している。起立壁２１２は台座２１１から起立している。

図２は、図１に示したウエハ搬送装置Ａ１における第１支持機構２２を拡大して示す部分拡大正面図である。図３は、図２に示した第１支持機構２２の平面図である。

図２、図３に示すように、第１支持機構２２は、複数枚のウエハ８８１を互いに積層させた状態で支持するためのものである。第１支持機構２２は、枠部２２１と、第１載置部２２２と、第１移動規制部２２３と、第１脱落防止部２２４と、を有する。

枠部２２１は、平面視においてコの字状の部材である。本実施形態において枠部２２１は、互いに連結された複数の板材によって構成されている。

第１載置部２２２は、互いに積層された状態で複数枚のウエハ８８１を載置するためのものである。本実施形態においては、第１載置部２２２は互いに離間した４つの部位を有する。第１載置部２２２を構成する４つの部位は各々、板状の部材からなる。第１載置部２２２の具体的形状は、複数枚のウエハ８８１を互いに積層された状態で載置できれば本実施形態に示したものには限定されない。たとえば、第１載置部２２２は複数の棒状の部材が並列されたものであってもよい。なお、図２では、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向を、方向Ｚ１として記載している。

第１移動規制部２２３は、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向である第１積層方向（図２では、方向Ｚ１）に直交する第１面内方向（図２、図３では方向Ｘ１に一致する）側に、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１が移動することを規制する。より具体的には、第１移動規制部２２３は、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向である第１積層方向視において、第１配置位置Ｓ１１（図３参照）よりも、第１積層方向に直交する第１面内方向側に、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１が移動することを規制する。すなわち、第１移動規制部２２３は、第１移動規制部２２３に当接する位置よりも図３における左側に各ウエハ８８１が移動することを、防止する。本実施形態においては、第１移動規制部２２３は２つの細板である。第１移動規制部２２３を構成する２つの細板は各々、方向Ｚ１に沿って起立している。第１移動規制部２２３を構成する２つの細板は各々、第１載置部２２２を構成する上述の４つの部位のうちの、図３にて左側に示した２つの部位のいずれか一方に固定されている。また、第１移動規制部２２３を構成する２つの細板は各々、枠部２２１にも固定されている。これにより、第１載置部２２２を構成する４つの部位のうちの、図３にて左側に示した２つの部位と、第１移動規制部２２３と、枠部２２１とが、互いに固定されている。第１移動規制部２２３の具体的形状は本実施形態にて示したものに限られない。たとえば、第１移動規制部２２３は、方向Ｚ１に沿って延びる棒状であってもよい。

図２，図３に示す第１脱落防止部２２４は、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１が、第１載置部２２２から脱落することを防止するためのものである。本実施形態において、第１脱落防止部２２４は、２つの部材により構成される。第１脱落防止部２２４を構成する２つの部材は各々、断面形状がＬ字状を呈し、方向Ｚ１に沿って起立している。第１脱落防止部２２４を構成する２つの部材は各々、第１載置部２２２を構成する上述の４つの部位のうちの、図３にて右側に示した２つの部位のいずれか一方に固定されている。また、第１脱落防止部２２４を構成する２つの部材は各々、枠部２２１にも固定されている。これにより、第１載置部２２２を構成する４つの部位のうちの、図３にて右側に示した２つの部位と、第１脱落防止部２２４と、枠部２２１とが、互いに固定されている。

図１によく表れている移動機構２３は、第１支持機構２２を移動させるための機構である。移動機構２３によって第１支持機構２２が移動させられることにより、第１支持機構２２は所望の位置に移動できる。移動機構２３は基部２１における起立壁２１２に固定されている。

本実施形態において移動機構２３は、エアシリンダ２３１ａと、ロッド２３１ｂと、ナックルジョイント２３１ｃと、回動部材２３２と、を有する。

エアシリンダ２３１ａは基部２１における起立壁２１２に固定されている。ロッド２３１ｂは、エアシリンダ２３１ａから突出している。ロッド２３１ｂは、エアシリンダ２３１ａに対し、前進および後退移動可能となっている。ナックルジョイント２３１ｃは、ロッド２３１ｂの先端に固定されている。

回動部材２３２は、軸心２３２ｅを中心として回動可能に、基部２１における起立壁２１２に対し固定されている。回動部材２３２には第１支持機構２２が固定されている。また、回動部材２３２は、ナックルジョイント２３１ｃを介してロッド２３１ｂに固定されている。ロッド２３１ｂの前進および後退移動に伴い、回動部材２３２は軸心２３２ｅを中心として回動する。これにより、回動部材２３２は、第１支持機構２２を所望の位置に回動させる。

本実施形態における回動部材２３２は、マグネット式ロッドレスシリンダである。回動部材２３２は、第１本体２３２ａと、ガイドレール２３２ｃと、第１可動連結部２３２ｄと、第１棒状部２３２ｆと、第１連結部２３２ｇと、を有する。

第１本体２３２ａはシリンダの本体である。第１本体２３２ａには第１空洞部２３２ｂが形成されている。第１空洞部２３２ｂは、一方向に沿って延びるように形成されている。ガイドレール２３２ｃは第１空洞部２３２ｂ内に配置されている。ガイドレール２３２ｃは、第１空洞部２３２ｂが延びる方向と同一方向に沿って延びている。第１可動連結部２３２ｄは第１空洞部２３２ｂに収容されている。第１可動連結部２３２ｄはガイドレール２３２ｃに連結されている。第１可動連結部２３２ｄは、ガイドレール２３２ｃに沿って、第１空洞部２３２ｂ内にてガイドレール２３２ｃが延びる方向に沿って移動できる。第１可動連結部２３２ｄの移動は、たとえば圧縮空気を用いる。

第１棒状部２３２ｆは、ガイドレール２３２ｃが延びる方向と同一方向に沿って延びている。第１棒状部２３２ｆの一端は、第１可動連結部２３２ｄに固定されている。第１可動連結部２３２ｄが第１空洞部２３２ｂ内を移動することに伴い、第１棒状部２３２ｆはガイドレール２３２ｃが延びる方向に沿って移動できる。第１連結部２３２ｇは、第１棒状部２３２ｆおよび第１支持機構２２を連結している。これにより、第１支持機構２２が第１棒状部２３２ｆに固定されている。第１支持機構２２が第１棒状部２３２ｆに固定されているため、第１棒状部２３２ｆがガイドレール２３２ｃが延びる方向に沿って移動することに伴い、第１支持機構２２も、ガイドレール２３２ｃが延びる方向に沿って移動することができる。回動部材２３２の回動、および、第１棒状部２３２ｆに移動によって、第１支持機構２２は所望の位置に移動できる。

図４は、図１に示したウエハ搬送装置Ａ１における第２支持機構２４を拡大して示す部分拡大正面図である。図５は、図４に示した第２支持機構２４の平面図である。

第２支持機構２４は、複数枚のウエハ８８１を互いに積層させた状態で支持するためのものである。第２支持機構２４は、土台部２４１と、第２載置部２４２と、第２移動規制部２４３と、第２脱落防止部２４４と、を有する。

土台部２４１は、第２支持機構２４の土台となる部材である。土台部２４１は、板状を呈する。土台部２４１には、３つの凹部２４１ａが形成されている。

第２載置部２４２は、互いに積層された状態で複数枚のウエハ８８１を載置するためのものである。図５に示すように、本実施形態においては、第２載置部２４２は、４つのリブ状部材から構成される。第２載置部２４２を構成する４つのリブ状部材は各々、土台部２４１から起立している。第２載置部２４２を構成する４つのリブ状部材の頂上の位置は揃っている。これにより、第２載置部２４２を構成する４つのリブ状部材のいずれもが、ウエハ８８１を支持できる。第２載置部２４２の具体的形状は、複数枚のウエハ８８１を互いに積層された状態で載置できれば本実施形態に示したものには限定されない。たとえば、第２載置部２４２は、複数の棒状の部材が並列されたものであってもよいし、一つの平板であってもよい。なお、図４では、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向を、方向Ｚ２として記載している。

詳細については後述するが、第２載置部２４２は、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１を一括して持ち上げる。図６は、第２載置部２４２が、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際の、第１支持機構２２および第２支持機構２４を示す平面図である。同図に示すように、第１載置部２２２が、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際、第１載置部２２２を構成する４つの部位は土台部２４１に形成された凹部２４１ａにはまるように配置される。そのため、第１載置部２２２が、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際、土台部２４１は第１載置部２２２とは重ならない。

図４、図５に示す第２移動規制部２４３は、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向である第２積層方向（図４では、方向Ｚ２）に直交する第２面内方向（図４、図５では方向Ｘ２に一致する）側に、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１が移動することを規制する。より具体的には、第２移動規制部２４３は、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向である第２積層方向視において、第２配置位置Ｓ１２（図５参照）よりも、第２積層方向に直交する第２面内方向側に、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１が移動することを規制する。すなわち、第２移動規制部２４３は、第２移動規制部２４３に当接する位置よりも図５における左側に各ウエハ８８１が移動することを、防止する。図５に示すように、本実施形態においては、第２移動規制部２４３は２つの細板状の部材である。第２移動規制部２４３を構成する２つの部材は各々、土台部２４１に固定され、且つ、土台部２４１から方向Ｚ２に沿って起立している。第２移動規制部２４３の具体的形状は本実施形態にて示したものに限られない。たとえば、第２移動規制部２４３は、土台部２４１から方向Ｚ２に沿って延びる棒状であってもよい。

図６における下側の部分拡大図に示すように、第２載置部２４２が、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際、第２配置位置Ｓ１２は、第１配置位置Ｓ１１よりも図６にて左側に位置している。これは、第２載置部２４２が、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１を持ち上げる際に、第２移動規制部２４３がウエハ８８１に接触することを防止するためである。

図４、図５に示す第２脱落防止部２４４は、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１が、第２載置部２４２から脱落することを防止するためのものである。本実施形態において、第２脱落防止部２４４は、２つの板材である。第２脱落防止部２４４を構成する２つの板材は各々、土台部２４１から方向Ｚ２に沿って起立している。第２脱落防止部２４４を構成する２つの板材は各々、第２移動規制部２４３を構成する２つの部材のいずれか一つにつながっている。

図１によく表れているリフタ２５には第２支持機構２４が固定されている。リフタ２５は第２支持機構２４（すなわち第２載置部２４２）を移動させる。具体的には、リフタ２５は、第１移動規制部２２３に対し第２載置部２４２を相対移動させる。また、リフタ２５は、ウエハ受け取り機構２７に対し第２載置部２４２を相対移動させる。本実施形態においてリフタ２５が第２載置部２４２を移動させることを、第２支持機構２４を移動させると言うことがある。リフタ２５は、基部２１における起立壁２１２に固定されている。

本実施形態におけるリフタ２５はガイドアクチュエータである。リフタ２５は、第２本体２５１と、サーボモータ２５２と、スクリューシャフト２５３と、第２可動連結部２５４と、第２棒状部２５５と、第２連結部２５６と、を有する。

第２本体２５１は基部２１における起立壁２１２に固定されている。第２本体２５１には、第２空洞部２５１ａが形成されている。第２空洞部２５１ａは、一方向に沿って延びるように形成されている。サーボモータ２５２は第２空洞部２５１ａに収容されている。スクリューシャフト２５３は、第２空洞部２５１ａに収容され、サーボモータ２５２に連結されている。スクリューシャフト２５３は、第２空洞部２５１ａ内にて第２空洞部２５１ａの延びる方向に沿って延びる。スクリューシャフト２５３は、サーボモータ２５２の回転に伴い、回転する。第２可動連結部２５４はスクリューシャフト２５３に連結している。第２可動連結部２５４は、たとえば、スクリューシャフト２５３と螺合している雄螺子を有しているとよい。スクリューシャフト２５３の回転に伴い、第２可動連結部２５４は、第２空洞部２５１ａにてスクリューシャフト２５３の延びる方向に沿って移動する。

第２棒状部２５５は、スクリューシャフト２５３の延びる方向に沿って延びている。第２棒状部２５５の一端は、第２可動連結部２５４に固定されている。第２可動連結部２５４が第２空洞部２５１ａ内を移動することに伴い、第２棒状部２５５はスクリューシャフト２５３の延びる方向に沿って移動できる。第２連結部２５６は、第２棒状部２５５および第２支持機構２４を連結している。これにより、第２支持機構２４が第２棒状部２５５に固定されている。第２支持機構２４が第２棒状部２５５に固定されているため、第２棒状部２５５がスクリューシャフト２５３の延びる方向に沿って移動することに伴い、第２支持機構２４も、スクリューシャフト２５３の延びる方向に沿って移動することができる。

なお、本実施形態においては、第２支持機構２４の移動方向は、鉛直方向から傾いている。

図１に示すウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１は、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１を第２載置部２４２へと移し替える際に、ウエハ８８１に向かって液体を噴出する。

図７は、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１を模式的に示す斜視図である。

図７に示すように、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１には、スリットノズル２６１ａが形成されている。スリットノズル２６１ａからは液体が噴出される。スリットノズル２６１ａは、一方向に沿って延びる形状である。そのため、スリットノズル２６１ａからの噴流の断面形状は、一方向に沿って長手状に延びる形状である。スリットノズル２６１ａは、第２支持機構２４が移動する方向に沿って延びていてもよいし、第２支持機構２４が移動する方向に対し傾斜する方向に沿って延びていてもよい。

更に、本実施形態とは異なり、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１に一方向に沿って延びるスリットノズル２６１ａが形成されていなくてもよい。たとえば、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１に、１または複数の円形のノズルが形成されていてもよい。

図１に示すウエハ浮上用液体噴出機構２６２は、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１に向かって液体を噴出する。ウエハ浮上用液体噴出機構２６２は、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１のうち少なくとも最上位に位置するウエハ８８１を浮上させるためのものである。

ウエハ受け取り機構２７は、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２からの噴流を受けることにより浮上したウエハ８８１を、受け取る。ウエハ受け取り機構２７がウエハ８８１を受け取るためには、ウエハ受け取り機構２７が、たとえば、バキューム手段を有していればよい。ウエハ受け取り機構２７は受け取ったウエハ８８１をウエハ格納ユニットＢ３に向けて送る。ウエハ受け取り機構２７がウエハ８８１を送るには、ウエハ受け取り機構２７がたとえば、ウエハ８８１を吸着した状態でスライドさせる吸着コンベアを有しているとよい。

演算回路２８は、定常工程開始判断器２８１と、噴出量制御器２８２と、動作制御器２８３と、を有する。

定常工程開始判断器２８１は、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２からの液体の噴出量を定常噴出量ｆｆ２に設定される定常工程（後述）を開始すべきと判断すると、定常工程開始信号Ｓｔ２を生成する。本実施形態においては、定常工程開始判断器２８１は、ウエハ受け取り機構２７に対する第２載置部２４２の位置が、定常工程開始位置になったときに、定常工程を開始すべきと判断する。定常工程開始位置は、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１のうち最上位に位置するウエハ８８１の浮上代を確保することができるような値に、予め設定されている。

噴出量制御器２８２は、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２からの液体の噴出量を制御するためのものである。噴出量制御器２８２は、定常工程開始判断器２８１から定常工程開始信号Ｓｔ２を受ける。噴出量制御器２８２は、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２に、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２からの液体の噴出量を制御するための噴出量制御信号Ｓｆを送る。

動作制御器２８３は、リフタ２５の動作を制御するためのものである。具体的には、動作制御器２８３は、サーボモータ２５２の回転方向および回転速度を制御する。動作制御器２８３は、定常工程開始判断器２８１から定常工程開始信号Ｓｔ２を受ける。動作制御器２８３は、リフタ２５に、リフタ２５の動作を制御するための動作制御信号Ｍｓを送る。

ウエハ接触検出機構２９は、第２載置部２４２に載置されたウエハ８８１のうち最上位に位置するウエハ８８１がウエハ受け取り機構２７に接触したことを、検知するためのものである。ウエハ接触検出機構２９は、たとえば、マグネットセンサや、光学センサや、接触式センサである。ウエハ接触検出機構２９は、第２載置部２４２に載置されたウエハ８８１のうち最上位に位置するウエハ８８１がウエハ受け取り機構２７に接触したことを検知すると、検知信号Ｄｓを生成する。ウエハ接触検出機構２９は、生成した検知信号Ｄｓを、噴出量制御器２８２と動作制御器２８３とに送る。

図８は、ウエハ搬送装置Ａ１におけるウエハ格納ユニットＢ３を示す正面図（一部構成模式化、一部構成省略）である。図９は、図８のＩＸ−ＩＸ線に沿う断面図である。

ウエハ格納ユニットＢ３は、中継コンベア３２と、減速コンベア３３と、カセット３６と、カセット保持機構３７（図１では省略、具体的には、図１４参照）と、カセット移動機構３９（図１では省略）と、を含む。

中継コンベア３２は、図１に示したウエハ受け取り機構２７から送られてきたウエハ８８１を受け渡される。本実施形態のように、中継コンベア３２とウエハ受け取り機構２７との間に、他のコンベアが介在していてもよい。

図８、図９に示すように、本実施形態において、中継コンベア３２は、２つのローラ３２１と、２組の中継ベルト３２２と、を有する。

２つのローラ３２１は、ウエハ８８１の搬送方向に沿って互いに離間するように配置されている。ローラ３２１のいずれかが、サーボモータなどの駆動源に連結されている。

各中継ベルト３２２は、２つのローラ３２１に互いに並行に掛け回されている。中継ベルト３２２は、環状のベルトであり、本実施形態においては、丸ベルトと称されるものである。各中継ベルト３２２は、ローラ３２１の回転に伴い周回させられる。中継ベルト３２２上に搬送されたウエハ８８１は、中継ベルト３２２の周回に伴い、カセット３６に向けて送り出される。

図８、図９に示す減速コンベア３３は、中継コンベア３２からウエハ８８１を受け渡される。減速コンベア３３は、中継コンベア３２から送られてきたウエハ８８１の速度を減少させるためのものである。具体的には、ウエハ搬送装置Ａ１の稼動時にて、減速コンベア３３の速度は、中継コンベア３２の速度よりも小さい。なお、コンベアの速度は、ウエハ８８１の搬送方向を正としている。本実施形態においては、中継コンベア３２の速度は３００ｍｍ／ｓｅｃ程度であり、減速コンベア３３の速度は１５０〜２００ｍｍ／ｓｅｃ程度である。なお、本実施形態とは異なり、減速コンベア３３の速度が負の値であってもよい。減速コンベア３３および中継コンベア３２は、互いに相対的に固定されている。

減速コンベア３３は、複数（図８では６つ）のローラ３３１と、２組の減速ベルト３３２と、を有する。

各ローラ３３１は互いに離間している。各減速ベルト３３２は、各ローラ３３１に互いに並行に掛け回されている。各減速ベルト３３２は、環状のベルトであり、本実施形態においては、丸ベルトと称されるものである。各減速ベルト３３２は、ローラ３３１の回転に伴い周回させられる。減速ベルト３３２上に搬送されたウエハ８８１は、減速ベルト３３２の速度程度まで減速させられ、カセット３６に格納される。

図９に示すように、本実施形態において減速コンベア３３は、第１減速区間３３７と、第２減速区間３３８とを構成する。第１減速区間３３７は、ウエハ８８１の搬送方向において、第２減速区間３３８と、中継コンベア３２との間に位置している。第２減速区間３３８は、第１減速区間３３７よりもウエハ８８１の搬送方向の下流側に位置している。

第１減速区間３３７と第２減速区間３３８との間には、空隙３３９が形成されている。具体的には、空隙３３９は、ウエハ８８１の搬送面に垂直な方向視において、第１減速区間３３７と第２減速区間３３８との間に位置する。すなわち、ウエハ８８１の搬送面に垂直な方向視において、第１減速区間３３７と第２減速区間３３８との間には、減速コンベア３３を構成する部品等が無い。第１減速区間３３７および第２減速区間３３８は、同一の減速ベルト３３２によって構成されている。第１減速区間３３７および第２減速区間３３８の各々を構成するベルトを駆動させるモータを共用することができる。そのため、第１減速区間３３７を構成するベルトを駆動させるためのモータと、第２の減速区間３３８を構成するベルトを駆動させるためのモータと、の２つのモータを用意する必要がない。

図１０は、図８に示したウエハ格納ユニットＢ３におけるカセット３６を示す底面図である。図１１は、図８に示したウエハ格納ユニットＢ３におけるカセット３６を示す上面図である。図１２は、図１０のＸＩＩ−ＸＩＩ線に沿う断面図である。図１３は、図１０のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ線に沿う断面図である。

図８〜図１３に示すカセット３６は、ウエハ８８１を一枚ずつ互いに離間した状態で格納する。カセット３６は、底板３６１と、上板３６２と、複数の（本実施形態では５つ）の支軸３６４と、複数の支持片３６５と、を有する。

底板３６１は、たとえば、金属よりなる。図１０に示すように、底板３６１は、コの字状の部材である。底板３６１には第１切欠き３６１ｄが形成されている。

上板３６２は、たとえば、金属よりなる。本実施形態では、上板３６２は底板３６１と同一形状である。上板３６２は底板３６１に対向している。上板３６２は底板３６１と平行に配置されている。図１１に示すように、上板３６２は、コの字状の部材である。上板３６２には第２切欠き３６２ｄが形成されている。

図９、図１２、図１３に示す複数の（５つの）支軸３６４はそれぞれ、底板３６１から一方向に沿って起立している。各支軸３６４は、互いに平行に配置されている。各支軸３６４の一端は底板３６１に固定されており、各支軸３６４の他端は上板３６２に固定されている。これにより、底板３６１と上板３６２とが固定されている。本実施形態においては、複数の支軸３６４のうちの一つは、ウエハの搬送方向の前方側に位置している。なお、各支軸３６４は、底板３６１ないし上板３６２に対し、たとえば螺子を用いて固定されている。各支軸３６４は、ステンレスなどの金属よりなる。

図９、図１２、図１３に示す複数の支持片３６５はそれぞれ、複数の支軸３６４のいずれかに固定されている。各支持片は、一枚のウエハ８８１を支持する。本実施形態においては、互いに異なる５つの支軸３６４に固定された５つの支持片３６５によって、一枚のウエハ８８１が支持される。これにより、複数枚のウエハ８８１が互いに離間した状態で、カセット３６に格納される。なお、カセット３６に格納された複数枚のウエハ８８１のピッチは、たとえば、５ｍｍである。支持片３６５は、たとえば樹脂よりなる。このような樹脂としては、ＰＴＦＥ（ｐｏｌｙ ｔｅｔｒａ ｆｌｕｏｒｏ ｅｔｈｙｌｅｎｅ）が挙げられる。

図１４は、ウエハ格納ユニットＢ３のうち、カセット３６とカセット保持機構３７とカセット移動機構３９とを示す断面図である。図１５は、図１４のＸＶ−ＸＶ線に沿う断面図（一部省略）である。図１６は、図１４のＸＶＩ−ＸＶＩ線に沿う断面図（一部省略）である。図１７は、図１４のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ線に沿う断面図（一部省略）である。図１５〜図１７では、ウエハ８８１の搬送方向を矢印で示している。

カセット保持機構３７はカセット３６を保持するためのものである。カセット保持機構３７は、置台３７１と、第１底板挟持器具３７２と、第１支持器具３７３と、第１上板挟持器具３７４と、第１上板押さえ付け器具３７５と、第２底板挟持器具３７６と、第２支持器具３７７と、第２上板挟持器具３７８と、第２上板押さえ付け器具３７９と、を有する。

置台３７１は、カセット保持機構３７によって保持するカセット３６を置くためのものである。第１支持器具３７３および第２支持器具３７７は、いずれも、置台３７１に固定され且つ置台３７１から起立している。第１支持器具３７３および第２支持器具３７７は、たとえば、板材や形鋼などからなる。

第１底板挟持器具３７２および第２底板挟持器具３７６は、置台３７１に相対的に固定されている。図１７に示すように、第１底板挟持器具３７２および第２底板挟持器具３７６は、カセット３６における底板３６１の平面視において、底板３６１を互いに挟持する。これにより、底板３６１は所望の位置に所望の姿勢で固定される。本実施形態において、第１底板挟持器具３７２は第１支持器具３７３に固定され、第２底板挟持器具３７６は第２支持器具３７７に固定されている。そして、第１底板挟持器具３７２は第１支持器具３７３に固定されたシリンダを有し、第２底板挟持器具３７６は第２支持器具３７７に固定されたシリンダを有する。これらのシリンダの圧力を用い、第１底板挟持器具３７２および第２底板挟持器具３７６は、底板３６１を挟持する。

図１４、図１６に示すように、第１上板挟持器具３７４および第２上板挟持器具３７８は、カセット３６における上板３６２の平面視において上板３６２を互いに挟持する。また、第１上板挟持器具３７４および第２上板挟持器具３７８は、カセット３６における底板３６１に対する、上板３６２の平面視における上板３６２の位置を規定する。これにより、上板３６２は、底板３６１に対し所望の位置に所望の姿勢で固定される。本実施形態において、第１上板挟持器具３７４は第１支持器具３７３に固定され、第２上板挟持器具３７８は第２支持器具３７７に固定されている。

第１上板挟持器具３７４および第２上板挟持器具３７８の具体的構成は、本実施形態では次のとおりである。

図１４、図１６に示すように、第１上板挟持器具３７４は、第１シリンダ３７４ａと、第１ロッド３７４ｂと、第１アタッチメント３７４ｃと、を有する。

第１シリンダ３７４ａは第１支持器具３７３に固定されている。第１シリンダ３７４ａは、たとえば、エアシリンダである。第１シリンダ３７４ａは、第１上板挟持器具３７４が上板３６２に与える力を生成する。第１ロッド３７４ｂは第１シリンダ３７４ａから突出している。第１ロッド３７４ｂは、第１シリンダ３７４ａから突出する方向に沿って前進および後退移動できる。第１アタッチメント３７４ｃは、第１ロッド３７４ｂに固定されている。第１ロッド３７４ｂの移動に伴い、第１アタッチメント３７４ｃは、第１ロッド３７４ｂが第１シリンダ３７４ａから突出する方向に沿って前進および後退移動できる。本実施形態においては、第１アタッチメント３７４ｃが上板３６２に当接し、上板３６２に力を与える。第１アタッチメント３７４ｃには、第１逃げ部３７４ｅが形成されている。本実施形態において第１逃げ部３７４ｅは穴である。

第２上板挟持器具３７８は、第２シリンダ３７８ａと、第２ロッド３７８ｂと、第２アタッチメント３７８ｃと、を有する。

第２シリンダ３７８ａは、第２支持器具３７７に固定されている。第２シリンダ３７８ａは、たとえば、エアシリンダである。第２シリンダ３７８ａは、第２上板挟持器具３７８が上板３６２に与える力を生成する。第２ロッド３７８ｂは第２シリンダ３７８ａから突出している。第２ロッド３７８ｂは、第２シリンダ３７８ａから突出する方向に沿って前進および後退移動できる。第２アタッチメント３７８ｃは、第２ロッド３７８ｂに固定されている。第２ロッド３７８ｂの移動に伴い、第２アタッチメント３７８ｃは、第２ロッド３７８ｂが第２シリンダ３７８ａから突出する方向に沿って前進および後退移動できる。本実施形態においては、第２アタッチメント３７８ｃが上板３６２に当接し、上板３６２に力を与える。第２アタッチメント３７８ｃには、第２逃げ部３７８ｅが形成されている。本実施形態において第２逃げ部３７８ｅは穴である。

図１４、図１５に示す第１上板押さえ付け器具３７５は、カセット３６の底板３６１の位置する側に向かって上板３６２を押さえ付ける。第１上板押さえ付け器具３７５は、第１支持器具３７３に固定されている。第１上板押さえ付け器具３７５が上板３６２を押さえ付ける方向側には、置台３７１が位置する。

第１上板押さえ付け器具３７５は、第１シリンダ部３７５ａと、第１ロッド部３７５ｂと、第１押さえ付け部３７５ｃと、を有する。

第１シリンダ部３７５ａは第１支持器具３７３に固定されている。第１シリンダ部３７５ａは、たとえば、エアシリンダである。第１シリンダ部３７５ａは、第１上板押さえ付け器具３７５が上板３６２に与える力を生成する。本実施形態においては、第１シリンダ部３７５ａは、第１上板押さえ付け器具３７５が上板３６２を押さえ付ける方向において、第１上板挟持器具３７４における第１シリンダ３７４ａと重なるように、配置されている。そのため、図１４では、第１シリンダ部３７５ａは、第１シリンダ３７４ａの右側に位置している。第１シリンダ部３７５ａは、第１上板押さえ付け器具３７５が上板３６２を押さえ付ける方向視において、第１上板挟持器具３７４における第１シリンダ３７４ａに対し、第１上板挟持器具３７４における第１ロッド３７４ｂの突出方向側に位置する部位を有する。そのため、図１４では、第１シリンダ部３７５ａは、第１ロッド３７４ｂの右側に位置している。

第１ロッド部３７５ｂは、第１シリンダ部３７５ａから突出している。第１ロッド部３７５ｂは、第１シリンダ部３７５ａから突出している方向に沿って、前進および後退移動できる。図１６に示すように、第１ロッド部３７５ｂは、第１ロッド部３７５ｂの進行する方向視において、第１アタッチメント３７４ｃに形成された第１逃げ部３７４ｅと重なる位置に配置されている。そのため、第１ロッド部３７５ｂは、第１アタッチメント３７４ｃの動作に妨げられることなく、動作できる。

第１押さえ付け部３７５ｃは、第１ロッド部３７５ｂに固定されている。図１５に示すように、本実施形態では、第１押さえ付け部３７５ｃは、平面視において、第１ロッド部３７５ｂを軸として回動可能に、第１ロッド部３７５ｂに固定されている。これにより、カセット３６を置台３７１に置く際に、第１押さえ付け部３７５ｃが邪魔になりにくい。第１ロッド部３７５ｂの移動に伴い、第１押さえ付け部３７５ｃは、第１ロッド部３７５ｂが第１シリンダ部３７５ａから突出する方向に沿って前進および後退移動できる。本実施形態においては、第１押さえ付け部３７５ｃが上板３６２に当接し、上板３６２に力を与える。

第２上板押さえ付け器具３７９は、カセット３６の底板３６１の位置する側に向かって上板３６２を押さえ付ける。第２上板押さえ付け器具３７９は、第２支持器具３７７に固定されている。第２上板押さえ付け器具３７９が上板３６２を押さえ付ける方向側に、置台３７１が位置する。

第２上板押さえ付け器具３７９は、第２シリンダ部３７９ａと、第２ロッド部３７９ｂと、第２押さえ付け部３７９ｃと、を有する。

第２シリンダ部３７９ａは、第２支持器具３７７に固定されている。第２シリンダ部３７９ａは、たとえば、エアシリンダである。第２シリンダ部３７９ａは、第２上板押さえ付け器具３７９が上板３６２に与える力を生成する。本実施形態においては、第２シリンダ部３７９ａは、第２上板押さえ付け器具３７９が上板３６２を押さえ付ける方向において、第２上板挟持器具３７８における第２シリンダ３７８ａと重なるように、配置されている。そのため、図１４では、第２シリンダ部３７９ａは、第２シリンダ３７８ａの左側に位置している。また、第２シリンダ部３７９ａは、第２上板押さえ付け器具３７９が上板３６２を押さえ付ける方向視において、第２上板挟持器具３７８における第２シリンダ３７８ａに対し、第２上板挟持器具３７８における第２ロッド３７８ｂの突出方向側に位置する部位を有する。そのため、図１４では、第２シリンダ部３７９ａは、第２ロッド３７８ｂの左側に位置している。

第２ロッド部３７９ｂは、第２シリンダ部３７９ａから突出している。第２ロッド部３７９ｂは、第２シリンダ部３７９ａから突出している方向に沿って、前進および後退移動できる。図１６に示すように、第２ロッド部３７９ｂは、第２ロッド部３７９ｂの進行する方向視において、第２アタッチメント３７８ｃに形成された第２逃げ部３７８ｅと重なる位置に配置されている。そのため、第２ロッド部３７９ｂは、第２アタッチメント３７８ｃの動作に妨げられることなく、動作できる。

第２押さえ付け部３７９ｃは、第２ロッド部３７９ｂに固定されている。図１５に示すように、本実施形態では、第２押さえ付け部３７９ｃは、平面視において、第２ロッド部３７９ｂを軸として回動可能に、第２ロッド部３７９ｂに固定されている。これにより、カセット３６を置台３７１に置く際に、第２押さえ付け部３７９ｃが邪魔になりにくい。第２ロッド部３７９ｂの移動に伴い、第２押さえ付け部３７９ｃは、第２ロッド部３７９ｂが第２シリンダ部３７９ａから突出する方向に沿って前進および後退移動できる。本実施形態においては、第２押さえ付け部３７９ｃが上板３６２に当接し、上板３６２に力を与える。

図１４等に示すカセット移動機構３９は、中継コンベア３２および減速コンベア３３に対し、カセット３６を移動させる。本実施形態においては、カセット移動機構３９は、図１に示した基部２１およびカセット保持機構３７に固定されている。そして、カセット保持機構３７を基部２１に対し昇降することにより、中継コンベア３２および減速コンベア３３に対しカセット３６を昇降させる。

次に、図１８〜図３０を用いて、ウエハ搬送装置Ａ１を用いたウエハ搬送方法について説明する。

まず、図１８に示すように、第１支持機構２２における第１載置部２２２に複数枚のウエハ８８１を載置する。第１載置部２２２へ複数枚のウエハ８８１を載置する作業は、機械を用いて行なってもよいし、人の手で行なってもよい。第１載置部２２２に載置する複数枚のウエハ８８１の枚数は、たとえば、５００〜６００枚程度である。第１載置部２２２に複数枚のウエハ８８１を載置する作業は、第１可動連結部２３２ｄを第１空洞部２３２ｂ内にて上限位置に位置させた状態で行われる。このとき、第１載置部２２２は液体Ｌｑ２の液面の上側に位置している。

次に、図１９に示すように、第１支持機構２２を液体Ｌｑ２中へと移動させる。これにより、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１が液体Ｌｑ２に浸される。本実施形態において第１支持機構２２を液体Ｌｑ２中へと移動させる工程は、第１可動連結部２３２ｄをガイドレール２３２ｃに沿って下限位置に移動させることにより、行う。

次に、図２０に示すように、回動部材２３２を軸心２３２ｅを中心に回動させる。回動部材２３２の回動に伴い、第１支持機構２２が移動する。これにより、第１支持機構２２における第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向を、第２支持機構２４の移動可能方向（すなわちスクリューシャフト２５３の延びる方向）に一致させる。なお、この工程では、回動部材２３２を回動させる前に、予め第２支持機構２４を下限位置まで移動させておく。

次に、図２１に示すように、リフタ２５によって第２支持機構２４を上方へと引き上げる。このとき、第２支持機構２４と第１支持機構２２とは、図２２に示した位置関係となる。リフタ２５によって第２支持機構２４が上方へと引き上げられる際、リフタ２５は、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向（図２１ではスクリューシャフト２５３の延びる方向）に沿って、第１移動規制部２２３に対し第２載置部２４２を相対移動させる。そして、第２載置部２４２は、当該相対移動に伴って、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１を一括して持ち上げることにより、複数枚のウエハ８８１を順番に、第１移動規制部２２３よりも、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向（図２１ではスクリューシャフト２５３の延びる方向）において上位に移動させる。図２２に示すように、前記相対移動の間、第２配置位置Ｓ１２は、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向視において、第１配置位置Ｓ１１よりも、上述の第１面内方向側（図２２では方向Ｘ１、すなわち左側）に位置している。

リフタ２５によって第２支持機構２４が上方へと引き上げられる際、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１は、複数枚のウエハ８８１に向かって上述の第２面内方向（図２２では方向Ｘ２に一致する）に沿って液体を噴出する。これにより、図２３に示すように、第１移動規制部２２３よりも上述の第１積層方向において上位に位置しているウエハ８８１は、上述の第１積層方向視において、第１配置位置Ｓ１１から第２配置位置Ｓ１２へと移動する。このときも、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１は、液体を噴出する。そのため、図２３に示すように、上述の第１積層方向視において第１配置位置Ｓ１１から第２配置位置Ｓ１２へと移動しているウエハ８８１に向かって、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１は液体を噴出しているといえる。

なお、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１からの噴出量は、噴流でウエハ８８１が割れてしまわない程度の小さい値とすることが好ましい。また、第１載置部２２２から第２載置部２４２へのウエハ８８１の移し替えは、本実施形態とは異なり、第１載置部２２２に載置された複数枚のウエハ８８１の積層方向を鉛直方向に一致させた状態で行なってもよい。

そして、第２載置部２４２が第１移動規制部２２３よりも上位に位置した後に、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１からの液体の噴出を停止する。

図２４は、図２１に示した工程後の、ウエハ搬送方法における信号等のタイミングチャートである。同図（ａ）はウエハ受け取り機構２７に対する第２載置部２４２の位置を示し、同図（ｂ）は検知信号Ｄｓを示し、同図（ｃ）は噴出量制御信号Ｓｆを示し、同図（ｄ）は定常工程開始信号Ｓｔ２を示す。図２５は、図２１に続く一工程を示す正面図である。図２６は、図２５に示す場合の、第２支持機構２４とウエハ受け取り機構２７との位置関係を示す部分拡大正面図である。図２４〜図２８を参照して説明する工程では、図１も用いる。

次に、図２５〜図２８に示すように、第２載置部２４２を図２８に示す位置（定常工程開始位置）へと移動する。定常工程開始位置は、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２からの液体の噴出量が定常噴出量ｆｆ２に設定される定常工程を開始する位置である。定常工程開始位置は、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１のうち最上位に位置するウエハ８８１の浮上代を確保することができるような値に、予め設定されている。

第２載置部２４２を定常工程開始位置へと移動する際には、図２４（ａ）、図２６に示すように、第２載置部２４２を引き上げる。具体的には、図１の動作制御器２８３が、第２支持機構２４を上方へ引き上げるための動作制御信号Ｍｓを、リフタ２５に送る。これにより、リフタ２５が第２支持機構２４を上方へ引き上げ、第２載置部２４２がウエハ受け取り機構２７に接近する。

次に、図２７に示すように、図２４の時刻ｔ２１において、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１のうち最上位に位置するウエハ８８１が、ウエハ受け取り機構２７に接触する。すると、ウエハ接触検出機構２９が当該接触を検知する。そして、図２４（ｂ）に示すように、ウエハ接触検出機構２９が検知信号Ｄｓを生成する。ウエハ接触検出機構２９は、生成した検知信号Ｄｓを、図１の噴出量制御器２８２と動作制御器２８３とに送る。

時刻ｔ２１において、動作制御器２８３は、検知信号Ｄｓを受けると、第２支持機構２４を降下させるための動作制御信号Ｍｓを、リフタ２５に送る。これにより、図２４（ａ）、図２７に示すように、リフタ２５によって第２支持機構２４が降下させられ、第２載置部２４２がウエハ受け取り機構２７から離間する。

一方、図２４（ｃ）に示すように、時刻ｔ２１において、噴出量制御器２８２は、検知信号Ｄｓを受けると、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２からの液体の噴出量を初期噴出量ｆｆ１とするための噴出量制御信号Ｓｆを、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２に送る。これにより、時刻ｔ２１において、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２は、初期噴出量ｆｆ１で液体を噴出し始める。ウエハ浮上用液体噴出機構２６２からの噴流は、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１のいずれかのウエハ８８１の端面に向かう。初期噴出量ｆｆ１は、０より大きい値である。初期噴出量ｆｆ１は、たとえば、最大５．０リットル／分である。

次に、第２支持機構２４が降下してゆき、図２４の時刻ｔ２２において、第２載置部２４２が図２８に示す位置（定常工程開始位置）に到達する。定常工程開始判断器２８１は、第２載置部２４２が定常工程開始位置に到達したことを検知すると、定常工程を開始すべきと判断する。図２４（ｄ）に示すように、定常工程開始判断器２８１は、定常工程を開始すべきと判断すると、定常工程開始信号Ｓｔ２を生成する。定常工程開始判断器２８１は、生成した定常工程開始信号Ｓｔ２を、噴出量制御器２８２および動作制御器２８３に送る。第２載置部２４２が定常工程開始位置に到達したことを定常工程開始判断器２８１が検知するのは、たとえば、検知信号Ｄｓが生成された時の第２載置部２４２の位置から、所定の距離だけウエハ受け取り機構２７から第２載置部２４２が離間したことに基づく。

時刻ｔ２２において、動作制御器２８３は、定常工程開始信号Ｓｔ２を受けると、第２載置部２４２の降下を停止させるための動作制御信号Ｍｓを、リフタ２５に送る。これにより、図２４（ａ）に示すように、リフタ２５による第２載置部２４２の降下が停止する。

一方、図２４（ｃ）に示すように、時刻ｔ２２において、噴出量制御器２８２は、検知信号Ｄｓを受けると、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２からの液体の噴出量を定常噴出量ｆｆ２とするための噴出量制御信号Ｓｆを、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２に送る。これにより、時刻ｔ２２において、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２は、定常噴出量ｆｆ２で液体を噴出し始める。本実施形態においては、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２は、初期噴出量ｆｆ１で液体を噴出する状態から、定常噴出量ｆｆ２で液体を噴出する状態へと、液体の噴出を停止させずに移行する。定常噴出量ｆｆ２は初期噴出量ｆｆ１より大きい。定常噴出量ｆｆ２は、たとえば、１．０リットル／分〜２０．０リットル／分である。

時刻ｔ２２から定常工程が開始されると、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１のうち最上位のウエハ８８１は、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２からの噴流を受け、浮上させられる。そして、上述したように、ウエハ受け取り機構２７が浮上したウエハ８８１を一枚ずつ受け取り、ウエハ格納ユニットＢ３へと送り出す。このように、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１が一枚ずつ分離される。

本実施形態とは異なり、定常工程開始位置に第２載置部２４２が位置してから、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２が初期噴出量ｆｆ１で液体を噴出させ、その後、定常噴出量ｆｆ２で液体を噴出させてもよい。本実施形態では、初期噴出量ｆｆ１は一定の値として説明したが、たとえば、徐々に大きくなるように変化する値であってもよい。

なお、図２９、図３０に示すように、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１に向かって、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２から液体を噴出させている間、第１支持機構２２を図３０に示した位置まで移動させて、第１載置部２２２に複数枚のウエハ８８１を載置してもよい。このようにすることで、第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１に向かって、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２から液体を噴出させる工程と、第１載置部２２２に複数枚のウエハ８８１を載置する工程とを、並行して行うことができる。

以下の工程は、図１、図８を参照しつつ説明する。

図１に示したウエハ受け取り機構２７からウエハ８８１が送られると、図８に示した中継コンベア３２および減速コンベア３３を経由して、カセット３６に格納される。中継コンベア３２の速度は、減速コンベア３３の速度よりも大きく、本実施形態では、３５０ｍｍ／ｓｅｃ程度である。そのため、ウエハ受け取り機構２７からのウエハ８８１が中継コンベア３２上にて搬送されているとき、ウエハ８８１の速度は比較的大きく、本実施形態では、３５０ｍｍ／ｓｅｃとなっている。次に、中継コンベア３２から減速コンベア３３へとウエハ８８１が受け渡されると、減速コンベア３３の速度は中継コンベア３２の速度より小さいため、ウエハ８８１の速度は減少させられる。そして、ウエハ８８１は比較的ゆっくりとした速度で、カセット３６内の所定の位置にて格納される。

一枚のウエハ８８１がカセット３６内の所定の位置に格納したことは、図示しないフォトインタラプタなどの検出手段によって検出される。検出手段によって、一枚のウエハ８８１がカセット３６内の所定の位置に格納したことが検出されると、カセット移動機構３９がカセット保持機構３７を、カセット３６にて格納されるウエハ８８１どうしのピッチに相当する距離だけ上昇させる。これにより、カセット３６が中継コンベア３２および減速コンベア３３に対し、カセット３６にて格納されるウエハ８８１どうしのピッチに相当する距離だけ上昇する。次に、上述したのと同様に、中継コンベア３２および減速コンベア３３を経由させて、次のウエハ８８１をカセット３６に格納する工程を行う。以上に述べた工程を経ることにより、互いに積層された複数枚のウエハ８８１を一枚ずつ分離したのちに、一枚ずつカセット３６に格納することができる。

次に、本実施形態の作用効果について説明する。

本実施形態においては、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１は、第１載置部２２２から第２載置部２４２へと複数枚のウエハを移し替える際に、ウエハ８８１に対し上述の第２面内方向（図５では方向Ｘ２に一致する）に向かう力を与える。ウエハ８８１は、第２面内方向側に向かう力を受けることにより、第１配置位置Ｓ１１から第２配置位置Ｓ１２へと移動しているウエハ８８１を、第２移動規制部２４３により近接させることができる。ウエハ８８１が第２移動規制部２４３に近接すればするほど、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２からの噴流がウエハ８８１の端面に当たった場合に、ウエハ８８１が第２移動規制部２４３に当たる衝撃を、緩和することができる。これにより、ウエハ８８１が割れることを防止することができる。

複数枚のウエハ８８１を第１載置部２２２から第２載置部２４２へと移し替える前に、ウエハ８８１に割れが生じている可能性がある。ウエハ搬送装置Ａ１がウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１を備える構成によると、複数枚のウエハ８８１を第１載置部２２２から第２載置部２４２へと移し替える際に、このように割れたウエハ８８１の破片をウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１の噴流によって吹き飛ばすことができる。したがって、互いに積層された複数枚のウエハ８８１の間から割れたウエハの破片を除去することができる。

本実施形態においては、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１には、一方向に沿って延びるスリットノズル２６１ａが形成されている。このような構成によると、第１移動規制部２２３よりも上位に位置しているウエハ８８１のうちのより多くのウエハ８８１に、噴流を向かわせることができる。これにより、第１配置位置Ｓ１１から第２配置位置Ｓ１２へと向かっているウエハ８８１よりも上位に位置しているより多くのウエハ８８１どうしの間に隙間を生じさせることができる。そうすると、第１配置位置Ｓ１１から第２配置位置Ｓ１２へと向かっているウエハ８８１が負担する、当該ウエハ８８１よりも上位に位置するウエハ８８１の重みを、低減することができる。そのため、よりスムーズにウエハ８８１を第１配置位置Ｓ１１から第２配置位置Ｓ１２へと移動させることができる。

第２載置部２４２に載置された複数枚のウエハ８８１全てをウエハ受け取り機構２７からウエハ格納ユニットＢ３側へ送った後は、第２載置部２４２を含む第２支持機構２４は再び降下させられる。このとき、第２支持機構２４には割れたウエハの破片が残っていることがある。そこで、第２支持機構２４を降下させるときに、ウエハ移し替え時用液体噴出機構２６１から第２支持機構２４に向かって液体を噴出させるとよい。これにより、第２支持機構２４に残った割れたウエハの破片を除去することができる。

本実施形態によると、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２は、定常工程開始信号Ｓｔ２が生成される前には、初期噴出量ｆｆ１で液体を噴出する。またウエハ浮上用液体噴出機構２６２は、定常工程開始信号Ｓｔ２が生成された後には、初期噴出量ｆｆ１より大きい定常噴出量ｆｆ２で液体を噴出する。このような構成によると、定常工程を開始する前に、ウエハ８８１にウエハ浮上用液体噴出機構２６２の噴流による力が与えられ、第２移動規制部２４３とウエハ８８１との間に隙間が生じていた場合には、第２移動規制部２４３にゆっくりとウエハ８８１が接近する。ウエハ８８１が第２移動規制部２４３にゆっくりと接近すると、ウエハ８８１が第２移動規制部２４３に当たっても割れにくい。また、第２移動規制部２４３にウエハ８８１が接近すればするほど、定常工程開始時にウエハ浮上用液体噴出機構２６２からの噴流がウエハ８８１に向かってきても、ウエハ８８１が割れにくくなる。以上より、ウエハ８８１が割れることを防止できる。

本実施形態においては、定常工程開始判断器２８１を備える。定常工程開始判断器２８１は、ウエハ受け取り機構２７に対する第２載置部２４２の位置が、定常工程開始位置になったときに、定常工程を開始すべきと判断する。このような構成によると、第２載置部２４２が定常工程開始位置に到達するより前の期間中にて、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２から初期噴出量ｆｆ１で液体を噴出させることができる。よって、第２載置部２４２を定常工程開始位置に到達させる工程と、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２から初期噴出量ｆｆ１で液体を噴出させることにより、第２移動規制部２４３にゆっくりとウエハ８８１を接近させる上述の工程と、を並行して行うことができる。これは、ウエハ枚葉化の効率化を図るのに適する。

仮に、初期噴出量ｆｆ１で液体を噴出する状態から定常噴出量ｆｆ２で液体を噴出する状態へと移行する間に、液体の噴出を停止させた場合、定常噴出量ｆｆ２で液体を噴出し始める際に噴流に泡が混入してしまうおそれがある。一方、本実施形態では、ウエハ浮上用液体噴出機構２６２は、初期噴出量ｆｆ１で液体を噴出する状態から、定常噴出量ｆｆ２で液体を噴出する状態へと、液体の噴出を停止させずに移行させる。よって、定常噴出量ｆｆ２で液体を噴出し始める際に噴流に泡が混入してしまうおそれを回避できる。

本実施形態にかかるウエハ格納ユニットＢ３は、カセット保持機構３７を備える。カセット保持機構３７は、第１底板挟持器具３７２と、第２底板挟持器具３７６と、第１上板挟持器具３７４と、第２上板挟持器具３７８と、を備える。第１底板挟持器具３７２および第２底板挟持器具３７６は、底板３６１の平面視において底板３６１を互いに挟持する。第１上板挟持器具３７４および第２上板挟持器具３７８は、上板３６２の平面視において上板３６２を互いに挟持し、底板３６１に対する上板３６２の平面視における上板３６２の位置を規定する。このような構成によると、底板３６１に対する上板３６２の歪みを矯正することができる。すなわち、上板３６２を、底板３６１に対し所望の位置に所望の姿勢で固定することができる。これにより、ウエハ８８１を格納するスペースを確保することができ、ウエハ８８１をカセット３６に格納できないといった不具合を抑制することができる。

本実施形態にかかるカセット保持機構３７は第１上板押さえ付け器具３７５を備える。第１上板押さえ付け器具３７５は、底板３６１の位置する側に向かって上板３６２を押さえ付ける。このような構成によると、より高い精度で、上板３６２を、底板３６１に対し所望の位置に所望の姿勢で固定することができる。これにより、ウエハ８８１をカセット３６に格納できないといった不具合を、より確実に抑制することができる。

本実施形態においては、第１上板挟持器具３７４は、上板３６２に第１上板挟持器具３７４が与える力を生成する第１シリンダ３７４ａを含む。第１上板押さえ付け器具３７５は、上板３６２を第１上板押さえ付け器具３７５が押さえ付けるための力を生成する第１シリンダ部３７５ａを含む。第１シリンダ３７４ａは、前記押さえ付ける方向において第１シリンダ部３７５ａに重なるように配置されている。このような構成によると、第１シリンダ３７４ａと第１シリンダ部３７５ａとを、第１上板押さえ付け器具３７５が上板３６２を押さえ付ける方向において、互いに異なる位置に配置する必要はない。よって、第１上板挟持器具３７４および第１上板押さえ付け器具３７５を含むカセット保持機構３７の、第１上板押さえ付け器具３７５が上板３６２を押さえ付ける方向における寸法を、小さくすることができる。これにより、カセット保持機構３７の小型化を図ることができる。

本実施形態にかかるカセット保持機構３７は第２上板押さえ付け器具３７９を備える。このような構成によっても、カセット保持機構３７が第１上板押さえ付け器具３７５を備えることにより得られる上述の利点を、得ることができる。

本実施形態においては、ウエハ搬送装置Ａ１は、中継コンベア３２によって送られてきたウエハ８８１の速度を減少させる減速コンベア３３を備える。このような構成によると、カセット３６に格納されるウエハ８８１が、カセット３６における部位に激しく衝突することを抑制することができる。これにより、ウエハ８８１をカセット３６に格納する際にウエハ８８１が粉砕することを防止できる。

特に、本実施形態のように、ウエハ８８１の搬送方向の前方に支軸３６４が位置する場合に、ウエハ８８１が支軸３６４に固定された支持片３６５に衝突してしまい粉砕する不具合を、防止できる。

本実施形態においては、減速コンベア３３は、第１減速区間３３７と、第１減速区間３３７よりもウエハ８８１の搬送方向の下流側に位置する第２減速区間３３８と、を構成している。減速コンベア３３には、第１減速区間３３７と第２減速区間３３８との間に形成された空隙３３９が形成されている。図１０に示した場合とは異なり、底板３６１が、底板３６１における互いに離間した２つの部位を連結する連結部を含む場合がある。このように底板３６１が連結部を含む場合、本実施形態の構成によると、カセット３６を降下させた際、底板３６１における連結部は、第１減速区間３３７と第２減速区間３３８との間に位置する空隙３３９を通過する。そのため、カセット３６を降下させた場合に、底板３６１における連結部が減速コンベア３３に接触することを防止できる。

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。

Ａ１ ウエハ搬送装置
２４２ 第２載置部（載置部）
２４３ 第２移動規制部（移動規制部）
２５ リフタ
２６２ ウエハ浮上用液体噴出機構
２７ ウエハ受け取り機構
２８１ 定常工程開始判断器
２９ ウエハ接触検出機構
８８１ ウエハ
Ｄｓ 検知信号
ｆｆ１ 初期噴出量
ｆｆ２ 定常噴出量
Ｓｔ２ 定常工程開始信号

Claims (4)

1. 互いに積層された状態で複数枚のウエハを載置する載置部と、
   前記載置部に載置された複数枚のウエハの積層方向視において、前記積層方向に直交するいずれか一つの方向である面内方向側に、前記載置部に載置された複数枚のウエハの各々が移動することを規制する移動規制部と、
   前記載置部に載置された複数枚のウエハのうち少なくとも最上位に位置するウエハに向かって液体を噴出することにより、前記少なくとも最上位に位置するウエハに対し前記面内方向に向かう力を与えるウエハ浮上用液体噴出機構と、
   定常工程を開始すべきと判断すると、定常工程開始信号を生成する定常工程開始判断器と、を備え、
   前記ウエハ浮上用液体噴出機構は、前記定常工程開始信号が生成される前には、初期噴出量で液体を噴出し、且つ、前記定常工程開始信号が生成された後には、前記初期噴出量より大きい定常噴出量で液体を噴出する、ウエハ搬送装置。
2. 前記載置部に載置された複数枚のウエハのうち最上位に位置するウエハを受け取るウエハ受け取り機構と、
   前記ウエハ受け取り機構に対し前記載置部を相対移動させるリフタと、を更に備え、
   前記定常工程開始判断器は、前記ウエハ受け取り機構に対する前記載置部の位置が、定常工程開始位置になったときに、前記定常工程を開始すべきと判断する、請求項１に記載のウエハ搬送装置。
3. ウエハ接触検知機構を更に備え、
   前記ウエハ接触検知機構は、前記ウエハ受け取り機構に前記最上位に位置するウエハが接触したことを検知すると、検知信号を送り、
   前記リフタは、前記検知信号が生成されると、前記載置部を前記ウエハ受け取り機構から離間させ、
   前記ウエハ浮上用液体噴出機構は、前記検知信号が生成されると、前記初期噴出量で液体を噴出し始める、請求項２に記載のウエハ搬送装置。
4. 前記ウエハ浮上用液体噴出機構は、前記初期噴出量で液体を噴出する状態から前記定常噴出量で液体を噴出する状態へと、液体の噴出を停止させずに移行させる、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のウエハ搬送装置。

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