JP2011187499A - ウェハの分離移載方法及び分離移載装置 - Google Patents

Abstract

【課題】多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離し、分離したウェハを一枚ずつ所定の箇所に移載する作業において、分離するウェハに対し摩擦や変形等によるストレスをできるだけ与えないようにして破損を防止することにより、ウェハの歩留まりをより向上させてウェハの安定供給ができる、ウェハの分離移載装置を提供する。
【解決手段】ウェハ分離移載装置は、水槽(2)と、水槽(2)の水面近傍となる位置に配されている吐出ノズル(3)と、積層ウェハ群(7)を保持し、水面側の吐出ノズル(3)による水の入水部へ積層ウェハ群(7)を移動させるウェハ供給機(4)と、積層ウェハ群(7)から分離したウェハを保持して所定の箇所(62)に移載するウェハ移載機(5)とを備え、吐出ノズル(3)は、吐出された水が水面で空気を取り込んで、水中に水と多数の気泡を含む混合流が生じるよう配されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、ウェハの分離移載方法及び分離移載装置に関するものである。更に詳しくは、半導体素子の材料であり、多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離し、分離したウェハを一枚ずつ所定の箇所に移載する、ウェハの分離移載方法及び分離移載装置に関する。

半導体素子の材料として用いられるウェハ(wafer)の製造においては、シリコン等で形成されたインゴットを薄板状に切断することにより多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群を形成し、ウェハはこの積層ウェハ群から一枚ずつ剥がして分離される。
このウェハの分離作業は、周知のように非常に困難な作業であり、ウェハを分離し安定的に供給するための装置としては、例えば特許文献１に記載の「ウェハの分離搬送装置及び分離搬送方法」、あるいは特許文献２に記載の「ウェーハの枚葉装置および枚葉装置」等がある。

特許文献１に記載のものは、支持部材と分離押出手段及び噴射ノズルを有し、液体内において多数枚のウェハを積層状態で支持部材により支持し、支持部材の上昇により多数のウェハを所定量ずつ上昇させて、最上部に位置する一枚のウェハを水面付近の位置に配置し、分離押出手段の接触子で最上部のウェハを機械的に回転させて始動力を付与し、さらに噴射ノズルにより水面位置のウェハの上面に対し、その中心から偏倚した位置に水を噴射して一方向に回転させ、他のウェハから分離させて、搬出方向に搬送するというものである。

また、特許文献２に記載のものは、第１吸着部材によって分離ウェーハを吸着保持するとともに、第２吸着部材によって第１吸着部材よりも上方位置で前記分離ウェーハを吸着保持し、第２吸着部材のフレキシブルパイプを収縮させて分離ウェーハを反らせながら吸着保持し、続いて、隣接ウェーハの外周面上部をストッパによって押さえて、分離ウェーハの移動に伴う隣接ウェーハの移動を禁止しながら、分離ウェーハを上方に移動させて積層ウェーハ群から分離することにより、厳しい隙間管理を要することなく、積層ウェーハ群からウェーハを確実に１枚ずつ枚葉できるようにするというものである。

特開平９−１４８２７８

特開２００２−７５９２２

しかしながら、特許文献１に記載のものは、前記したように、「分離押出手段の接触子で最上部のウェハを機械的に回転させて始動力を付与し、さらに噴射ノズルにより水面位置のウェハの上面に対し、その中心から偏倚した位置に水を噴射して一方向に回転させる」ようになっている。このため、最上部のウェハと他のウェハとの接面部では移動摩擦抵抗が相当に大きくなり、特に分離押出手段による始動の際、両ウェハには大きなストレスがかかるため、実際上はウェハを円滑に分離させることは難しく、ウェハが破損するおそれがあった。

また、特許文献２に記載のものは、前記したように、「第１吸着部材によって分離ウェーハを吸着保持するとともに、第２吸着部材によって第１吸着部材よりも上方位置で分離ウェーハを吸着保持し、第２吸着部材のフレキシブルパイプを収縮させて分離ウェーハを反らせながら吸着保持する」ようになっている。このため、分離ウェーハには変形による大きなストレスがかかり、破損するおそれがあった。

（本発明の目的）
そこで、本発明の目的は、半導体素子の材料であり、多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離し、分離したウェハを一枚ずつ所定の箇所に移載する作業において、分離するウェハに対し摩擦や変形等によるストレスをできるだけ与えないようにして破損を防止することにより、ウェハの歩留まりをより向上させてウェハの安定供給ができるようにした、ウェハの分離移載方法及び分離移載装置を提供することである。

上記課題を解決するために本発明が講じた手段は次のとおりである。

（１）本発明は、
多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離するウェハの分離方法であって、
水中に水と多数の気泡を含む混合流を生じさせ、該混合流を積層ウェハ群の積層面に当てることにより積層ウェハ群からウェハを分離させる、
ウェハの分離方法である。

（２）本発明は、
多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離して所定の箇所に移載するウェハの分離移載方法であって、
水中に水と多数の気泡を含む混合流を生じさせ、該混合流が積層面に当たる位置に積層ウェハ群を移動させ、混合流により積層ウェハ群からウェハを分離させ、分離したウェハを保持して所定の箇所に移載する、
ウェハの分離移載方法である。

（３）本発明は、
多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離して所定の箇所に移載するウェハ分離移載装置であって、
水中に水と多数の気泡を含む混合流を生じさせる吐出手段と、
積層ウェハ群を保持し、前記混合流が積層面に当たる位置に積層ウェハ群を移動させるウェハ供給手段と、
前記混合流により積層ウェハ群から分離したウェハを保持して所定の箇所に移載するウェハ移載手段と、
を備えている、
ウェハ分離移載装置である。

（４）本発明は、
多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離して所定の箇所に移載するウェハ分離移載装置であって、
水槽と、
水槽の水面近傍となる位置に配されている吐出ノズルと、
積層ウェハ群を保持し、水面側の吐出ノズルによる水の入水部へ積層ウェハ群を移動させるウェハ供給機と、
積層ウェハ群から分離したウェハを保持して所定の箇所に移載するウェハ移載機と、
を備えており、
前記吐出ノズルは、
吐出された水が水面で空気を取り込んで、水中に水と多数の気泡を含む混合流が生じるよう配されている、
ウェハ分離移載装置である。

本明細書及び特許請求の範囲にいう「積層面」の用語は、積層ウェハ群の側面、すなわち多数枚積層されている各ウェハの厚みが表れている面の意味で使用している。

（作用）
本発明に係るウェハ分離移載装置の作用を説明する。なお、ここでは、説明で使用する各構成要件に、後述する実施の形態において各部に付与した符号を対応させて付与するが、この符号は、特許請求の範囲の各請求項に記載した符号と同様に、あくまで内容の理解を容易にするためであって、各構成要件の意味を上記各部に限定するものではない。

まず、吐出手段（吐出ノズル(3,3a)等）によって水槽(2)内の水中に、水中に水と多数の気泡(B)を含む混合流を生じさせる。なお、吐出のタイミングは積層ウェハ群(7)を所要の位置に移動させた後でもよい。
次に、ウェハ供給手段（ウェハ供給機(4)等）によって積層ウェハ群(7)を保持し、前記混合流が積層面に当たる位置に積層ウェハ群(7)を移動させる。

これによって、積層ウェハ群(7)を構成するウェハ(70)の間に水と気泡(B)が入り込み、例えば積層ウェハ群(7)の上面側に近い複数枚のウェハ(70)が徐々に分離し、各ウェハ(70)間に隙間が空くことによって水と気泡(B)がさらに入り込み、分離するウェハ(70)に摩擦や変形等による大きなストレスをかけることなく、無理なく分離させることができる。

また、各ウェハ(70)間に多数の気泡(B)が入り、これら気泡(B)がいわばクッション（緩衝材）の機能を果たすことにより、各々が分離し水中で浮遊している状態の各ウェハ(70)同士が接触又は衝突しにくく、これによりウェハ(70)が損傷することを防止できる。さらには、多数の気泡(B)によって分離するウェハ(70)に大きな浮力が付与され、これによりウェハ(70)がより短い時間で分離される。

そして、分離している各ウェハ(70)のうち、最上部のウェハ(70)をウェハ移載手段（ウェハ移載機(5)等）で保持し、所定の箇所(62)に移載する。その後、この移載箇所(62)からウェハを取り出す等して後工程へ送るようにする。

本発明は、半導体素子の材料であり、多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離し、分離したウェハを一枚ずつ所定の箇所に移載する作業において、多数の気泡を含む水流（混合流）を積層ウェハ群の積層面に当てるようにしてウェハを分離させることにより、分離するウェハに対し摩擦や変形等による大きなストレスを与えないようにして破損を防止することができる。
詳しくは、分離している各ウェハ間に多数の気泡が入り、これら気泡がいわばクッションの機能を果たすことにより、各々が分離し水中で浮遊している状態の各ウェハ同士が接触又は衝突しにくく、これによりウェハが損傷することを防止できる。さらには、多数の気泡によって分離するウェハに大きな浮力が付与され、これによりウェハがより短い時間で分離される。
これにより、ウェハの歩留まりをより向上させてウェハを安定的に供給することができる。

本発明に係るウェハ分離移載装置の一実施の形態を示す前方から視た斜視説明図。 ウェハ分離移載装置を後方から視た斜視説明図。 ウェハ分離移載装置の構造を示す正面図。 ウェハ分離移載装置の構造を示す平面図。 ウェハ分離移載装置の構造を示す右側面図。 ウェハ分離移載装置の構造を示す左側面図。 図３におけるＸ−Ｘ断面説明図。 図３におけるＹ−Ｙ断面説明図。 ウェハ分離移載装置によるウェハの分離までの工程を示す説明図。 ウェハ分離移載装置によるウェハの分離後の移載までの工程を示す説明図。 リフト部材の初期状態を示し（ａ）は左側面視説明図、（ｂ）は上面視説明図。 リフト部材に積層ウェハ群を載置した状態を示し（ａ）は左側面視説明図、（ｂ）は上面視説明図。 リフト部材で積層ウェハ群を分離作業位置まで上昇させた状態を示し（ａ）は左側面視説明図、（ｂ）は上面視説明図。 積層ウェハ群に混合流を当てて複数のウェハを分離している状態を示し（ａ）は左側面視説明図、（ｂ）は上面視説明図。

本発明を図面に示した実施の形態に基づき詳細に説明する。
図１乃至図８及び図１１乃至図１４を参照する。
なお、図１乃至図８においては、便宜上、多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群７及び積層ウェハ群７から分離した単独のウェハ７０も表している。

ウェハ分離移載装置Ａは、積層ウェハ群７からウェハ７０を分離して所定の箇所（本実施の形態では、後述する移載受機６）に移載するものである。
ウェハ分離移載装置Ａは、角パイプで組まれたフレーム１を有している。フレーム１には、水槽２、水槽２の水面位置に配されている吐出ノズル３、３ａ、積層ウェハ群７を保持し水面側の吐出ノズル３、３ａによる水の入水部へ積層ウェハ群７を移動させるウェハ供給機４、積層ウェハ群７から分離したウェハ７０を保持して移載するウェハ移載機５及びウェハ移載機５からウェハ７０を受け取る移載受機６が組み込まれている。

水槽２は、フレーム１の下部に固定されている。水槽２には、清浄な水が所定量入れられ、水面の高さは一定に維持されるようになっている。水槽２内には、二箇所に吐出ノズル３、３ａが配されている。吐出ノズル３、３ａには清浄な水が供給されるようになっている。吐出ノズル３、３ａは、先端の吐出口３０の中心が水面の高さとなるように先側が所要角度（例えば、水面に対しては１５〜４０°の角度）で下り傾斜して水槽２に固定されている。

また、吐出ノズル３、３ａは、本実施の形態では、後述するように積層ウェハ群７が水面近傍まで上昇した時に、その両側（図３で左右側）から積層ウェハ群７の左右両角部へ向けて混合流が流れ、積層面の両側面と前面に混合流が効果的に当たるように配されている（図１４（ｂ）参照）。
なお、吐出ノズル３、３ａの位置（高さ）及び傾斜角度は前記に限定されないが、少なくとも吐出ノズル３、３ａから吐出された水が水面で空気を取り込んで、水中において水と多数の気泡を含む混合流が生じる位置及び傾斜角度に設定される。

ウェハ供給機４は、水槽２の底部に固定されている基枠４６を有している。基枠４６の中央には四角形の支持板４０が固定されている。支持板４０は、前側（図６の左側面図で右側）が高くなるように、水槽２の底面（又は水面）と１５〜４０°の角度で傾斜させてある。本実施の形態では、支持板４０の角度が、前記吐出ノズル３、３ａから水が水面に対し吐出される角度と同じに設定されているが、限定はされない。支持板４０の前部側の一辺を除く三辺側の上面には、支持板４０と直角方向に各辺あたり所要間隔で二本ずつ、ガイドピン４１が固定されている（図１１（ａ）、（ｂ）参照）。

各ガイドピン４１は、角柱形状の積層ウェハ群７の三方側部の積層面が若干の隙間をもって内側に収まる位置に設定されており、ガイドピン４１が設けられていない一辺側から積層ウェハ群７を入れて収めることができる。なお、本実施の形態の支持板４０及びガイドピン４１は、四角形のウェハに対応しているが、円形のウェハに対応できるように、例えば支持板４０の前記と同じ三辺にそれぞれガイドピンを一本ずつ設けた構造としてもよい。

各ガイドピン４１のうち、支持板４０の相対向する二辺（図３で左右側）の各ガイドピン４１の上部には、それぞれ板状のストッパー４２が互いに同じ高さになるように平行に固定されている。各ストッパー４２は、ウェハ７０を積層ウェハ群７から分離する際、分離したウェハ７０をウェハ移載機５で吸着する位置から外れないように止めるもので、支持板４０と平行に固定されている。

また、ウェハ供給機４は、積層ウェハ群７を載置するリフト部材４３を有している。リフト部材４３は、支持板４０の上面側に位置し、フレーム１の一方側（図３で右側）に固定された駆動装置４４の移行体４５の下側先端に片持ち構造で固定されている。リフト部材４３の載置部は支持板４０と平行であり、リフト部材４３はボールスクリュー式の駆動装置４４によって前記ガイドピン４１と平行方向に昇降するようになっている。

ウェハ移載機５は、フレーム１の他方側（図３で左側）に固定された所要長さのガイド体５０を有している。ガイド体５０は、前側が高くなるように水槽２の底面と１５〜４０°の角度で傾斜させてある。本実施の形態では、支持板４０の角度と同じに設定されているが、限定はされない。ガイド体５０には、移行体５１がボールスクリュー式の駆動装置５２によってガイド体５０に沿って移行できるように取り付けられている。

移行体５１は、アクチュエータ５２と、アクチュエータ５２により昇降する昇降アーム５３を有している。昇降アーム５３の下側先端には、真空吸着部５４が片持ち構造で設けられている。移行体５１は、真空吸着部５４をリフト部材４３に載置された積層ウェハ群７のガイドピン４１の高さ方向上方に位置させることができ、真空吸着部５４は分離したウェハ７０を吸着することができる。昇降アーム５３の昇降する方向は、ガイド体５０の方向に対して上下に直角方向である。

移載受機６は、フレーム１前側の一方側（図３で右側）に固定され、その取り付け高さは、後述する受台板６２の上昇停止位置が水槽２の上部縁部の高さ近傍となるよう設定されている。
移載受機６は、アクチュエータ６０と、アクチュエータ６０により昇降する昇降体６１を有しており、昇降体６１の下側先端には受台板６２が片持ち構造で設けられている。受台板６２は前記支持板４０と平行、すなわち真空吸着部５４で吸着されて送られてくるウェハ７０と平行になるように傾斜している。

受台板６２の上面には、移載されたウェハ７０が落下しないように嵌め入れる載置凹部６３が設けられている。載置凹部６３は、後側に段部があり、前側に段部がないように形成されており（図８参照）、移載されたウェハ７０は斜め上方向（前方向）にスライドさせて取り出すことができる。

なお、受台板６２は、アクチュエータ６０により受台板６２の表面方向と直角方向に昇降するようになっている。受台板６２の上昇停止位置は、前記ウェハ移載機５の昇降アーム５３が下降したときに、真空吸着部５４で吸着されているウェハ７０が載置凹部６３に入る高さに設定されている。
また、本実施の形態では移載受機６を設けているが、これを設けずに、例えば公知構造の搬送機等、分離したウェハ７０を後工程へ送るための装置にウェハ移載機５からウェハ７０を直接移載する構造とすることもできる。

（作用）
図１乃至図１４を参照して、ウェハ分離移載装置Ａの作用及びウェハ分離移載装置Ａにより、多数枚のウェハが積層された積層ウェハ群からウェハを分離し、分離したウェハを一枚ずつ所定の箇所に移載する工程を説明する。

（１）図９（ａ）及び図１１（ａ）、（ｂ）に示す状態は初期状態であり、ウェハ供給機４のリフト部材４３は最下部まで下降しており、ウェハ移載機５の昇降アーム５３を有する移行体５１は前位置にあり、昇降アーム５３及び真空吸着部５４は上位置にある。
（２）ウェハ供給機４のリフト部材４３の上に積層ウェハ群７を載置し、各ガイドピン４１の内側に収容する（図９（ｂ）、図１２（ａ）、（ｂ）参照）。

（３）駆動装置４４が作動しリフト部材４３と共に積層ウェハ群７が上昇する（図１３（ａ）、（ｂ）参照）。そして、吐出ノズル３、３ａより水中へ水を所要の圧力で吐出する。吐出された水は水面で入水する際に空気を取り込み、水中に水と多数の気泡Ｂを含む混合流が生じる（図９（ｃ）、図１４（ａ）参照）。

（４）リフト部材４３が、積層ウェハ群７の上部の積層面に前記混合流が当たる位置である分離作業位置に停止し、積層ウェハ群７の左右両側から積層ウェハ群７の左右両角部へ向けて混合流が流れ、積層面の両側面と前面に混合流が当たる。なお、混合流は、ウェハ７０の分離に支障がなければ、積層面の他の位置に当てることもできる。
これにより、複数のウェハ７０が混合流によって各ガイドピン４１の内側で積層ウェハ群７から浮き上がるように分離し、最上部のウェハ７０がストッパー４２の下側で止められる（図１４（ａ）参照）。そして、ウェハ移載機５の移行体５１が後方のウェハ吸着位置へ移動する（図９（ｄ）参照）。
なお、ウェハ７０が分離する際には、各ウェハ７０の間に水と気泡Ｂが入り込み、分離するウェハ７０に摩擦や変形等による大きなストレスをかけることなく、無理なく分離させることができる。また、各ウェハ７０間に入った気泡Ｂがいわばクッションの機能を果たすことにより、各々が分離し水中で浮遊している状態の各ウェハ７０同士が接触又は衝突しにくく、これによりウェハが損傷することを防止できる。さらには、多数の気泡Ｂによって、分離する各ウェハ７０に大きな浮力が付与され、これによりウェハ７０がより短い時間で分離される。

（５）ウェハ移載機５の昇降アーム５３が下降し、積層ウェハ群７から分離してストッパー４２の下方に位置している最上部のウェハ７０を真空吸着部５４によって吸着する（図１０（ｅ）参照）。最上部のウェハ７０が吸着される位置は、ストッパー４２の下面よりやや下側の水中（図１４（ａ）では、ウェハ７０の前側の一部が水面から出ているが、全体が水中にあってもよい）であり、移載受機６へ向けて移動する際にストッパー４２に接触しないようにして損傷を防止している。

（６）昇降アーム５３の真空吸着部５４で最上部のウェハ７０を吸着した状態で駆動装置５２が作動し、移行体５１が前進して所定の位置に停止する（図１０（ｆ）参照）。
なお、前記混合流は継続して積層ウェハ群７及び分離している各ウェハ７０に当たっており、最上部のウェハ７０が移動した後、その次のウェハ７０がストッパー４２の下側で止められる。また、積層ウェハ群７は、積層ウェハ群７全体がウェハ７０に分離するようにリフト部材４３によって徐々に上昇するようになっている。

（７）移載受機６のアクチュエータ６０（図１、図２参照）が作動し、受台板６２が上昇し所定位置に停止する。真空吸着部５４によるウェハ７０の吸着状態を解除し、ウェハ７０を受台板６２の載置凹部６３に移載する（図１０（ｇ）、図７、図８参照）。
（８）受台板６２が下降し、元の位置に戻る。また、昇降アーム５３が上昇する（図１０（ｈ）参照）。

これにより前記（３）終了の状態へ戻り、積層ウェハ群７を構成するウェハ７０がなくなるまで、（４）〜（８）の工程を繰り返し、ウェハ７０の分離作業を行う。なお、移載受機６へ移載したウェハは、順次後工程へ送られる。

なお、本実施の形態のウェハ分離移載装置Ａの有効性及び優位性を確認するために、(1)水中にて水と空気の混合流を吐出した場合（本実施の形態）、(2)水中にて水のみを吐出した場合、(3)水中にて空気のみを吐出した場合の各ケースで比較検証した（表１参照）。
具体的には、水槽内の水中にある積層ウェハ群の積層面へ向けて各流体を吐出し、最上段のウェハを分離させる際の分離時間を測定し、最上段のウェハが分離した後に昇降アームにてウェハを移載するまでのＮＧ確率（不良率）を検証した。

（考察）
まず、ウェハ分離時間に関しては、吐出方法を水のみとした(2)の場合よりも、本実施の形態の水と空気の混合流を吐出した(1)の場合の方が、より短時間でウェハを分離させることができた。これは、積層されたウェハ間に水と共に多数の気泡が入り込み、最上段のウェハに大きな浮力を付与することによりウェハの分離を促進しているためと考えられる。

また、ウェハ移載時のＮＧ確率に関しては、吐出方法を水のみとした(2)の場合には、ウェハ分離状態が不安定なことに伴うウェハの割れ、吸着不良によるウェハ移載ミス及びウェハの２枚取りが発生しＮＧ確率が１４％であったのに対し、本実施の形態の水と空気（気泡）の混合流を吐出した(1)の場合はＮＧが発生せず、明確な優位性が認められた。

なお、空気のみを吐出した場合(3)に関しては、水中の空気（気泡）の流れが安定せず、ウェハの破損が発生した。また、ウェハが破損しない程度に空気流量を少なくした場合、ウェハを分離するには流量が足りず、結果的に検証が困難であった。
このように、前記３つのケースでは、(1)の水と空気（気泡）の混合流を吐出する方法でウェハの分離を行うのが最も有効であることが分かった。

なお、本明細書で使用している用語と表現は、あくまでも説明上のものであって、なんら限定的なものではなく、本明細書に記述された特徴およびその一部と等価の用語や表現を除外する意図はない。また、本発明の技術思想の範囲内で、種々の変形態様が可能であるということは言うまでもない。

Ａ ウェハ分離移載装置
１ フレーム
２ 水槽
３、３ａ 吐出ノズル
３０ 吐出口
４ ウェハ供給機
４０ 支持板
４１ ガイドピン
４２ ストッパー
４３ リフト部材
４４ 駆動装置
４５ 移行体
４６ 基枠
５ ウェハ移載機
５０ ガイド体
５１ 移行体
５２ アクチュエータ
５２ 駆動装置
５３ 昇降アーム
５４ 真空吸着部
６ 移載受機
６０ アクチュエータ
６１ 昇降体
６２ 受台板
６３ 載置凹部
７ 積層ウェハ群
７０ ウェハ
Ｂ 気泡

Claims (4)

1. 多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離するウェハの分離方法であって、
   水中に水と多数の気泡(B)を含む混合流を生じさせ、該混合流を積層ウェハ群(7)の積層面に当てることにより積層ウェハ群(7)からウェハ(70)を分離させる、
   ウェハの分離方法。
2. 多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離して所定の箇所に移載するウェハの分離移載方法であって、
   水中に水と多数の気泡(B)を含む混合流を生じさせ、該混合流が積層面に当たる位置に積層ウェハ群(7)を移動させ、混合流により積層ウェハ群(7)からウェハ(70)を分離させ、分離したウェハ(70)を保持して所定の箇所(62)に移載する、
   ウェハの分離移載方法。
3. 多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離して所定の箇所に移載するウェハ分離移載装置であって、
   水中に水と多数の気泡(B)を含む混合流を生じさせる吐出手段(3,3a)と、
   積層ウェハ群(7)を保持し、前記混合流が積層面に当たる位置に積層ウェハ群(7)を移動させるウェハ供給手段(4)と、
   前記混合流により積層ウェハ群(7)から分離したウェハ(70)を保持して所定の箇所(62)に移載するウェハ移載手段(5)と、
   を備えている、
   ウェハ分離移載装置。
4. 多数枚のウェハが積層された状態の積層ウェハ群からウェハを分離して所定の箇所に移載するウェハ分離移載装置であって、
   水槽(2)と、
   水槽(2)の水面近傍となる位置に配されている吐出ノズル(3,3a)と、
   積層ウェハ群(7)を保持し、水面側の吐出ノズル(3,3a)による水の入水部へ積層ウェハ群(7)を移動させるウェハ供給機(4)と、
   積層ウェハ群(7)から分離したウェハ(70)を保持して所定の箇所(62)に移載するウェハ移載機(5)と、
   を備えており、
   前記吐出ノズル(3,3a)は、
   吐出された水が水面で空気を取り込んで、水中に水と多数の気泡(B)を含む混合流が生じるよう配されている、
   ウェハ分離移載装置。

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