JP2015109396A - ウエハ剥離装置 - Google Patents

Abstract

【課題】スライスベースからのウエハを剥離すること。【解決手段】スライスベースに接着剤で接着された複数のウエハを前記スライスベースから剥離するウエハ剥離装置であって、液体を貯留する槽と、前記スライスベースによって前記槽内の液体に浸漬された前記複数のウエハの側面に向かって液体を噴流させる第１ノズルと、前記槽内に配置され、前記スライスベースから剥離されたウエハを収容するトレイと、前記トレイの側面又は底面に設けられた開口部を介して前記トレイ内の液体を吸引する吸引口と、を備えることを特徴とするウエハ剥離装置を提供する。【選択図】図３

Description

本発明は、スライスベースに接着されたウエハを剥離するウエハ剥離装置に関する。

シリコンウエハなどのウエハは、インゴットと称される塊状物をスライスして、枚葉化することで得られる。ウエハを得るには、まずインゴットをスライスベースと称される保持体に接着剤を介して固定する。スライスベースに固定されたインゴットを、ワイヤソーでスライスしてウエハとする。そして、スライスベースからウエハを剥離することでウエハを得る。

図１Ａに示すように、スライスベース５０から複数のウエハ６０を剥離するために、複数のウエハ６０が接着されたスライスベース５０を、水１５に浸漬させて、複数のウエハ６０をスライスベース５０に固定している接着剤６３を軟化させていた。それにより、複数のウエハ６０がスライスベース５０から剥離する。剥離したウエハは、トレイ４０に落下して回収される。

また、スライスベースからウエハを剥離する他の手法として、ウエハをスライスベースに接着させる接着剤に、熱風を噴射して接着剤を溶解させる手法が報告されている（特許文献１）。

登録実用新案第３１４９７１２号公報

しかしながら、図１Ｂに示すように、スライスベース５０から剥離されたウエハがトレイ４０に落下すると、落下したウエハ同士が衝突したり、ランダムに重なりあうことで、ウエハが割れたり（符号Ｘ参照）、欠けたりする（符合Ｙ参照）ことがあった。さらに、落下したウエハは、トレイ４０内にランダムに収容されるので、図１Ｃに示すような、ウエハを整列させる工程が別に必要であった。このように、従来は、ウエハに割れや欠けが生じたり、ランダムに収容されたウエハを別途整列させたりする必要があった。

また、特許文献１に記載のように接着剤に熱風を噴射して接着剤を溶解させると、ウエハに汚れが固着して、それを除去するのも困難であった。

そこで本発明は、ウエハの割れや欠けを抑制し、かつ、ウエハへの汚れを軽減し、ウエハを整列可能とするウエハ剥離装置を提供することを目的とする。

本発明のウエハ剥離装置は、スライスベースに接着剤で接着された複数のウエハを前記スライスベースから剥離するウエハ剥離装置であって、液体を貯留する槽と、前記スライスベースによって前記槽内の液体に浸漬された前記複数のウエハの側面に向かって液体を噴流させる第１ノズルと、前記槽内に配置され、前記スライスベースから剥離されたウエハを収容するトレイと、前記トレイの側面又は底面に設けられた開口部を介して前記トレイ内の液体を吸引する吸引口と、を備えることを特徴とする。

本剥離装置により、ウエハの割れや欠けを抑制し、かつ、汚れを軽減しつつ、剥離されたウエハをトレイに整列させることができる。

従来のウエハ剥離方法の概要を示す図 複数のウエハが接着されたスライスベースを得る工程を示す図 図３Ａは実施の形態１のウエハ剥離装置の概要を示す図、図３Ｂは実施の形態２のウエハ剥離装置の概要を示す図 スライスベースと、第１ノズルと、第１補助ノズルと、トレイと、第２ノズルと、吸引口と、スチームノズルとの位置関係を示す模式図 図５Ａはトレイの斜視図、図５Ｂはトレイの分解図 実施の形態１のウエハ剥離方法のフローを示す図 実施の形態２のウエハ剥離方法のフローを示す図 トレイと吸引口との位置関係を示す模式図

本発明のウエハ剥離装置は、ウエハ製造方法の一工程で採用されうる。ウエハ製造方法の典型的なフローの模式図を図２に示し、どの工程で本ウエハ剥離装置が採用されるのかを説明する。

インゴット６５と称される塊状物を接着剤６３でスライスベース５０に貼り付け（図２Ａ参照）、接着剤６３で貼り付けられたインゴットをスライスして複数のウエハとし（図２Ｂ）、スライスされたウエハをスライスベースに貼り付けたまま洗浄する（図２Ｃ）。この工程を経ることで、複数のウエハ６０が接着されたスライスベース５０を得る。その後、本ウエハ剥離装置が採用される。

接着剤６３は、一液型接着剤もしくは二液型接着剤であり、例えばエポキシ接着剤である。スライスベース５０の材質は、カーボン材料などの導電性材料であっても、ガラスなどの絶縁無機材料であっても、エポキシ樹脂などの有機材料であってもよい。また、スライスベース５０は多孔質体であってもよい。多孔質体を構成する材料の例には、カーボン材料などが含まれる。多孔質体からなるスライスベース５０の接着面には、アンカー効果によってインゴットを強固に接着できる。そのため、インゴット６５と接着剤６３との接着強度よりも、スライスベース５０と接着剤６３との接着強度の方が強くなる。その結果、ウエハを剥離する際に、接着剤６３がスライスベース５０のウエハ接着面５５に残り、ウエハには汚れ（接着剤６３）が付着しにくくなる。

図２Ｂに示されるように、一対のメインローラ２１０に巻き掛けられたワイヤ２２０を具備するワイヤソー２００などの切断装置によって、インゴット６５が、薄板状に切断されて複数のウエハとなる。このとき、スライスベース５０は薄板状には切断されない。ただし、スライスベース５０の厚み方向の途中まで切断されてもよい。切断装置であるワイヤソーの例には、マルチワイヤソー、ワイヤ放電加工機などが含まれる。

図２Ｃに示すように、複数のウエハ６０を、水槽３００中の水で洗浄する。スライスベース５０とともに複数のウエハ６０を水中に浸漬させ、複数のウエハ６０に対して超音波ユニット３１０による超音波を照射したり、複数のウエハ６０に対して噴流ノズル３２０による水の噴流を当てたりしてもよい。

次に、図２Ｄに示すように、本ウエハ剥離装置を用いて、複数のウエハ６０が接着されたスライスベース５０から、ウエハを剥離する。本ウエハ剥離装置による剥離の詳細は後述する。本ウエハ剥離装置により、整列されたウエハを得られる。

その後、整列されたウエハは、枚葉装置（セパレータ）で一枚ずつ取り出され、洗浄、乾燥、検査の工程を経て、ウエハ製造工程が完了する。

本ウエハ剥離装置によるウエハ剥離方法は、スライスベースに接着された複数のウエハの各ウエハの少なくとも一部分を槽に貯留した液体に浸漬する工程１を含む。更に、本方法は、槽中の液体に浸漬されたウエハの側面に向かって液体を噴流させる工程２を含む。そして、本方法は、スライスベースから剥離されたウエハを、槽内に配置されたトレイの開口部近傍から液体を吸引しながらトレイに収容する工程３を含む。

本方法には、工程１において、スライスベースの接着剤は槽中に浸漬させずに、ウエハのみを浸漬する実施の形態１（図３Ａ参照）と、ウエハと共にスライスベースの接着剤を槽中に浸漬する実施の形態２（図３Ｂ参照）とが含まれる。以下、各実施の形態について述べる。

まず、実施の形態１の剥離方法について説明する。

実施の形態１の剥離方法では、スライスベース５０に複数のウエハ６０を接着する接着剤６３は槽１０中の水に浸漬させずに、複数のウエハ６０のみを浸漬する（図３Ａ）。実施の形態１の剥離方法は、ウエハ剥離装置１００を用いて行うことができる。

ウエハ剥離装置１００は、液体の一例である水を貯留する槽１０と、複数のウエハ６０が槽１０内の水に浸漬するようにスライスベース５０を保持する保持部２０と、を備える。また、ウエハ剥離装置１００は、槽１０の水に浸漬された複数のウエハ６０のうちの一部のウエハの側面に向かって、水を噴流させる第１ノズル３０を備える。そして、ウエハ剥離装置１００は、槽１０内に配置され、スライスベース５０から剥離されたウエハを受け取るトレイ４０を備える。更に、トレイ４０の側面又は底面には開口部が設けられており、この開口部を介して、トレイ４０内の水を吸引する吸引口９０がウエハ剥離装置１００に備わる。図３Ａにおいては、トレイ４０の底面に開口部を設ける態様を示す。保持部２０は、接着剤６３が槽１０の水と非接触となるようにスライスベース５０を保持する。そして、水と非接触な接着剤６３にスチームをふきつけて軟化させるスチームノズル８０がウエハ剥離装置１００に備わる。スライスベース５０は、剥離すべき複数のウエハ６０を固定するための板状部材である。

複数のウエハ６０は、例えば半導体ウエハであり、具体的にはシリコンウエハである。複数のウエハ６０は、スライスベース５０のウエハ接着面５５に接着剤６３を介して接着されている。また、スライスベース５０に固定された複数のウエハ６０は、その主面を互いに平行にして配列している。

保持部２０は、複数のウエハ６０の配列方向に沿って、槽１０中の水の液面に対して、スライスベース５０のウエハ接着面５５を傾けてスライスベース５０を保持する。具体的に、保持部２０は、最初に剥離しようとするウエハ（複数のウエハ６０で構成されるウエハ列の先頭）が接着している部分を下げて、スライスベース５０を傾けて保持することが好ましい。より確実に１枚ずつ剥離できるからである。スライスベース５０の傾き角度５３（俯角）は５°〜４５°であることが好ましく、例えば２５°である。

保持部２０に保持されたスライスベース５０に接着され、かつ水に浸漬された複数のウエハ６０のうち一部のウエハの側面に向かって、第１ノズル３０は水を噴流させる。噴流させる水は、槽１０に貯留した水でありうる。それにより、スライスベース５０に接着された複数のウエハ６０の各ウエハ同士の間に隙間を生じさせる（あるいは、隙間を拡大させる）。第１ノズル３０による水の噴流方向は、スライスベース５０のウエハ接着面５５と平行もしくは槽１０中の水の液面と平行にすることが好ましい。第１ノズル３０による水の噴流方向を、スライスベース５０のウエハ接着面５５に対して垂直とすると、ウエハ同士の間に隙間を生じさせることはできるものの、その隙間が安定せず、剥離しようとするウエハの向きを制御しにくい。

第１ノズル３０は、最初に剥離しようとするウエハ、つまり整列している複数のウエハ６０のうちの端部に配置しているウエハの側面に、水を噴流させることが好ましい。端部に配置しているウエハから順番に、スライスベース５０から剥離するためである。

ウエハ剥離装置１００は、第１ノズル３０とともに、複数のウエハ６０の側面に水を噴流させる第１補助ノズル３３を有していてもよい。第１補助ノズル３３による水の噴流は、端部に配置しているウエハではなく、その近傍に位置する複数のウエハ６０の側面に向けられる。第１ノズル３０による噴流と第１補助ノズル３３による水の噴流とで、より効率的に剥離しようとするウエハ同士の間に隙間を生じさせる（または拡大させる）。

トレイ４０は、槽１０の水中に配置されている。スライスベース５０から剥離されたウエハは、剥離された順番にトレイ４０に収容される。トレイ４０の収容面４７（トレイの収容部の底面）は、スライスベース５０のウエハ接着面５５と平行に配置されることが好ましい。つまり、スライスベース５０が、槽１０中の水の液面に対して傾けて保持されている場合には、トレイ４０も傾けられて配置されることが好ましい。剥離したウエハをトレイ４０内でより綺麗に整列させるためである。

スチームノズル８０は、スチームを噴きつけて接着剤６３を軟化させる。接着剤６３の軟化とともに、第１ノズル３０による噴流によって、スライスベース５０からウエハを剥離させる。また、噴きつけるガスを高温乾燥ガスではなく、スチームガスとすることで、ウエハの乾燥を抑え、ウエハに汚れが固着するのを防止する。

つまりスチームノズル８０は、第１ノズル３０による噴流があてられるウエハの接着部分（接着剤６３）にスチームを噴きつける。スチームノズル８０は、接着剤６３に、図３Ａに示される矢印８１の方向に沿ってスチームを噴きつける。さらにスチームノズル８０は図３Ａの紙面に対して上下方向に沿ってスチームを接着剤６３に噴きつけてもよい。

図４に、スライスベース５０と、第１ノズル３０と、第１補助ノズル３３と、トレイ４０と、第２ノズル７０と、吸引口９０と、スチームノズル８０と、第３ノズル３５（図３Ａに図示せず）の位置関係の例を示す。ここでは複数のウエハ６０の一部のみを示す。

スチームノズル８０は、スライスベース５０に接着されている複数のウエハ６０のうち、端部に位置するウエハ６０ａを接着している接着剤に向けて、スチームを噴きつける。さらに、第２ノズル７０は、トレイ４０の底面４７（収容面）の面方向と平行の噴流を生じさせるように構成されている。

スライスベース５０に接着されている、端部のウエハ６０ａの側面に噴流が生じるように、第１ノズル３０が配置されている。また、第１補助ノズル３３は、ウエハ６０ａの近傍であって、複数のウエハ６０のうちの他のウエハの側面に噴流が生じるように配置されている。端部のウエハ６０ａが鉛直方向に傾いた状態（図中の点線の状態）のときに、ウエハ６０ａの側面に水を噴流する第３ノズル３５が配置されている。第３ノズル３５の噴流により、ウエハ６０ａの向きを維持する。その後、ウエハ６０ａは、スライスベース５０から落下し、トレイ４０に至る。トレイ４０の底部に設けられた吸引口９０の作用により、落下したウエハ６０ａがトレイ４０内に収容される。

ここで、吸引口９０について詳述する。

図５Ａ、図５Ｂに示すように、トレイ４０は底面４７に開口部４３ａ、側面に開口部４３を有している。図５Ａは、トレイ４０の斜視図であり、図５Ｂは、トレイ４０の分解図である。

図８Ａにトレイ４０と吸引口９０との位置関係を図示する。図８Ａはトレイ４０と吸引口９０との位置関係を示す正面図である。吸引口９０はトレイ４０の底面４７の開口部４３ａの中心部分に配置される。中心部分に配置することで、ウエハに作用する吸引力の左右のバランスが安定し、トレイ４０に安定してウエハを収容できる。

また、吸引口９０をトレイ４０の側面の開口部４３に設置してもよい。図８Ｂにトレイ４０と吸引口９０との位置関係を図示する。図８Ｂはトレイ４０と吸引口９０との位置関係を示す正面図である。トレイ４０の両側面に設けられた開口部４３にそれぞれ吸引口９０を配置すると、ウエハに作用する吸引力が高まり、また、左右のバランスもよいため、トレイ４０内で安定した姿勢でウエハを整列、収納できる。

吸引口９０を設けなかった場合、剥離されたウエハは不安定な姿勢でトレイ４０に収容されるため、ウエハが傾いたり、ウエハ間の隙間が広がったりして、トレイ４０内でウエハが整列されない場合がある。また、整列されていない状態のウエハと、落下したウエハとが衝突したり、ランダムに重なりあうことで、ウエハが割れたり、欠けたりする場合がある。本装置では、これを防止するために、吸引口９０を設けている。この場合、開口部４３又は開口部４３ａを通じて吸引口９０による水の噴流が通り抜け、この噴流の作用によりトレイ４０内でウエハが自動的に整列する。このとき、トレイ４０の底面４７に近い位置に吸引口９０を設けるのが望ましい。ウエハが底面４７に沿うように整列化するため、より整然としたウエハ列を形成できるからである。

吸引口９０を、開口部４３と開口部４３ａとの両方に設けても良い。両方設けることで、トレイ４０内のウエハをより綺麗に整列させることが可能となる。

図８Ａに示すように、吸引口９０を開口部４３ａ側に配置する場合は、トレイ４０の底面４７と垂直に配置する。つまり、図３Ａのようにスライスベース５０が、槽１０中の水の液面に対して傾けて保持されている場合には、トレイ４０も傾けられて配置され、さらに、吸引口９０も傾けられて配置される。

一方、図８Ｂに示すように、吸引口９０を開口部４３側に設ける場合は、トレイ４０の側面と垂直に吸引口９０を配置する。このとき、吸引口９０の中心線を一致させ、かつ、互いに対向するように配置することで、ウエハをより正確に整列できる。

なお、吸引口９０から取水されたトレイ４０内の水は、循環させて再び槽１０内に戻すことが好ましい。水の使用量を削減できるためである。このため、吸引口９０で吸引した水を槽１０内に戻す循環口を槽１０に更に設けることが望ましい。その際、吸引口９０から循環口に至る経路内にフィルターを設置することで、清浄な水を槽１０に戻すことができる。清浄な水を戻すことで、汚れなどがウエハに再付着することを抑制できる。なお、吸引口９０と図３の第１ノズル３０とを連通させて、第１ノズル３０に循環口の役割を持たせてもよい。また、第１補助ノズル３３や第２ノズル７０に循環口の機能を持たせてもよい。

なお、図４に示すように、本装置は、スライスベース５０から剥離されたウエハの主面に向かって水を噴流させる第２ノズル７０を、槽１０の内部に有してもよい。この場合、第２ノズル７０は、トレイ４０の底面４７の面方向と平行な噴流を生じさせるように構成されている。第２ノズル７０による噴流は、剥離されたウエハをトレイ４０内に導くとともに、トレイ４０内に保持させる。この第２ノズル７０による噴流が、吸引口９０による噴流と相俟ってトレイ４０内のウエハをより正確に整列させる。

ここで、図６Ａ〜Ｄに、実施の形態１のウエハ剥離方法のフローを示す。図６Ａに示すように、保持部２０でスライスベース５０を保持して、複数のウエハ６０の一部を槽１０の水に浸漬させる。

次に、図６Ｂに示すように、スチームノズル８０が、複数のウエハ６０の配列端部に位置するウエハを接着する接着剤６３にスチームを噴きつけるとともに、第１ノズル３０から水を噴流させて、このウエハの側面に水の噴流をあてる。同様に、第１補助ノズル３３からも水を噴流させて、別のウエハの側面に水の噴流をあてる。これらの噴流によって、複数のウエハ６０同士の間に隙間が生じる。このとき、最も端部に位置するウエハが鉛直方向に向くことが好ましい。

第１ノズル３０および第１補助ノズル３３からの水の噴出量は特に限定されないものの、例えばそれぞれ１．４〜１．６Ｌ／分である。

スチームノズル８０が接着剤６３にスチームを照射し、かつ第１ノズル３０からウエハの側面に水を噴流させることで、図６Ｃに示すように、端部に位置するウエハがスライスベース５０から剥離して水中に落下する。落下したウエハはトレイ４０の底面に設置された吸引口９０による吸引力と、ウエハの主面にあてられる第２ノズル７０の噴流の力によって、トレイ４０に導かれて収容される（図６Ｄ参照）。

さらに図６Ｄのように、スライスベース５０に残っている複数のウエハ６０のうち、端部に位置するウエハから順番に、スライスベース５０から剥離し落下させる。落下したウエハは、吸引口９０の吸引力と第２ノズル７０の噴流でトレイ４０に導かれ、整列する。この作業を繰り返して、全ての複数のウエハ６０を、トレイ４０に整列して収納する。

端部に位置するウエハから順番にスライスベース５０から剥離させながら、スライスベース５０を移動させてもよい。具体的には、剥離しようとするウエハの側面の近傍に、第１ノズル３０の噴流があたるように、スライスベース５０を移動させることが好ましい。つまり、複数のウエハ６０の配列方向に沿って、スライスベース５０を徐々に水中に沈みこませることが好ましい。

さらに、端部に位置するウエハから順番に剥離しながらトレイ４０を移動させてもよい。具体的には、スライスベース５０の移動と同期させて（スライスベース５０の移動方向と同方向に）、トレイ４０を移動させることが好ましい。剥離するウエハと、トレイ４０の収容位置との相対位置を一定にするためである。ただし、スライスベース５０の移動量よりも、トレイ４０の移動量を少なくすることが好ましい。スライスベース５０に配置されたウエハ同士には隙間があるのに対して、トレイ４０には複数のウエハが隙間なく整列して収容されるからである。

以上が実施の形態１に係る説明である。

ここで、実施の形態２の剥離方法について説明する。

実施の形態２の剥離方法では、複数のウエハ６０をスライスベース５０に接着する接着剤６３を、槽１０内の水に浸漬させる（図３Ｂ）。実施の形態２の剥離方法は、ウエハ剥離装置１００’を用いて行うことができる。

ウエハ剥離装置１００’は、ウエハ剥離装置１００（図３Ａ参照）と異なりスチームノズル８０を有さなくともよい。また、ウエハ剥離装置１００’の槽１０の水には、接着剤６３を溶解させる薬液が添加されている。接着剤を溶解させる薬液は乳酸である。また、ウエハ剥離装置１００’の槽１０内の水を温水としてもよい。

ウエハ剥離装置１００’は、１）保持部２０が複数のウエハ６０とともに接着剤６３を槽１０の水に浸漬させる点、２）スチームノズル８０を有さなくてもよい点、３）槽１０の水に薬液が添加されている点、においてウエハ剥離装置１００と異なるが、その他の構成については同一の構成とすることができる。

図７Ａ〜Ｄに、実施の形態２のウエハ剥離方法のフローを示す。図７Ａに示すように、保持部２０でスライスベース５０を保持して、複数のウエハ６０とそれを接着する接着剤６３とを槽１０の水に浸漬させる。薬液を含む水が、接着剤６３を溶解させて、その接着力を低下させる。

そして、図７Ｂに示すように、実施の形態１（図６Ｂ参照）と同様に、第１ノズル３０の噴流および必要に応じて第１補助ノズル３３の噴流によって、複数のウエハ６０同士の間に隙間を生じさせる。

その結果、図７Ｃに示すように、接着剤６３が溶解するとともに、複数のウエハ６０同士の隙間を生じさせることで、端部に位置するウエハがスライスベース５０から剥離して水中を落下する。

図７Ｄに示されるように、落下したウエハは、トレイ４０の底面４７に設置された吸引口９０による吸引力とウエハの主面にあたる第２ノズル７０の噴流の力によって、トレイ４０に導かれて収容される。さらに、実施の形態１と同様な手順で、全ての複数のウエハ６０をトレイ４０に整列して収納する。実施の形態１と同様に、スライスベース５０やトレイ４０を移動させてもよい。

なお、上記実施の形態において、槽１０は水を貯留する態様を述べたが、槽１０に貯留する液体は、ウエハの乾燥を防止し、複数のウエハ同士の衝突を緩衝させる液体であれば水に限定されず、例えば油でもよい。また、第１ノズル３０、第１補助ノズル３３、及び第２ノズル７０は水を噴射することを述べたが、噴射する液体は水に限定されない。

このように本装置によれば、ウエハ製造方法におけるウエハ剥離から次の工程（例えばカセットへの格納）までを、マニュアル作業を排して自動化することができる。さらに、本装置により、ウエハの割れや欠けを抑制し、高品質なウエハを供給することができる。

本発明のウエハ剥離装置は、例えば太陽電池などのウエハの製造に好適に用いられる。

１０ 槽
２０ 保持部
３０ 第１ノズル
３３ 第１補助ノズル
３５ 第３ノズル
４０ トレイ
４３，４３ａ 開口部
４７ 底面
５０ スライスベース
５３ 傾き角度
５５ ウエハ接着面
６０ 複数のウエハ
６０ａ ウエハ
６３ 接着剤
６５ インゴット
７０ 第２ノズル
８０ スチームノズル
９０ 吸引口
１００、１００’ ウエハ剥離装置

Claims (10)

1. スライスベースに接着剤で接着された複数のウエハを前記スライスベースから剥離するウエハ剥離装置であって、
   液体を貯留する槽と、
   前記スライスベースによって前記槽内の液体に浸漬された前記複数のウエハの側面に向かって液体を噴流させる第１ノズルと、
   前記槽内に配置され、前記スライスベースから剥離されたウエハを収容するトレイと、
   前記トレイの側面又は底面に設けられた開口部を介して前記トレイ内の液体を吸引する吸引口と、を備えることを特徴とするウエハ剥離装置。
2. 前記吸引口は、前記トレイの底面の開口部に配置される、請求項１に記載のウエハ剥離装置。
3. 前記吸引口は、前記トレイの側面の開口部に配置される、請求項１又は２に記載のウエハ剥離装置。
4. 前記吸引口から吸引した液体を前記槽内に戻す循環口を更に有する、請求項１〜３のいずれか記載のウエハ剥離装置。
5. 前記吸引口から前記循環口に至る経路中に設けられるフィルタを更に有する、請求項４記載のウエハ剥離装置。
6. 前記接着剤に水蒸気を噴き付けるスチームノズルを更に有する、請求項１から５のいずれか記載のウエハ剥離装置。
7. 前記槽内の液体には乳酸が添加されている、請求項１から５のいずれか記載のウエハ剥離装置。
8. 前記スライスベースから剥離されたウエハの主面に向かって、液体を噴流させる第２ノズルをさらに有する、請求項１から７のいずれか記載のウエハ剥離装置。
9. 前記スライスベースは、前記槽内の液体の液面に対して、傾いて配置される、請求項１から８のいずれか記載のウエハ剥離装置。
10. 前記スライスベースは多孔質体である、請求項１から９のいずれか記載のウエハ剥離装置。

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