JP5849201B2 - 切り残し部除去装置 - Google Patents
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Description
次に、図8(b)に示すスライス工程において、スライスベース50に貼り付けられたインゴット65を、一対のメインローラ210と、ワイヤ220とを具備するワイヤソー200などの切断装置によって、スライス状に切断してウエハ列60を得る。また、切断装置であるワイヤソー200は、例えば、複数のワイヤ220を用いて、一度に複数枚のウエハを得るマルチワイヤソーや、インゴット65との間の放電現象により溶融加工を行うワイヤ放電加工機などである。このとき、インゴット65の両端部はウエハに対して十分な厚みを有する切り残し部601となる。
(実施の形態1)
ウエハは、インゴットをスライスして形成され、スライスされたインゴットの端部には切り残し部が形成される。ウエハ及び切り残し部は、例えば、図8(a)に示す接着工程と、図8(b)に示すスライス工程とを経て形成される。
実施の形態1によれば、第1ノズル30が水を噴射して、切り残し部601とウエハ列60との間に隙間を設けている期間に、保持アーム710が切り残し部601を回転させることで、切り残し部601とウエハ列60との間の隙間を拡げつつ、スライスベース50と切り残し部601とを剥離し、切り残し部601のスライス面602に沿う方向に切り残し部601を移動させることにより、スライスベース50から切り残し部601のみを除去することができる。これにより、ウエハ600を取り出す際に、ウエハ600と切り残し部601とが接触することによるウエハ600の割れや欠け等の品質異常を抑制できる。
(実施の形態2)
実施の形態1では、槽10と、保持部材20と、第1ノズル30と、保持アーム710とを備えた切り残し部除去装置701について説明したが、実施の形態2では、実施の形態1の構成に加えて、水を噴流させる第2ノズル70を備える切り残し部除去装置702について説明する。
(実施の形態3)
実施の形態1では、槽10と、保持部材20と、第1ノズル30と、保持アーム710とを備えた切り残し部除去装置701について説明したが、実施の形態3では、実施の形態1の構成に加えて、接着剤63を軟化させる軟化機構であるスチームノズル80を備えた切り残し部除去装置703について説明する。また、本実施の形態における切り残し部除去装置703に、実施の形態2で説明した第2ノズル70をさらに備えていても良い。
実施の形態3では、接着剤63としてエポキシ接着剤を用いたため、接着剤63は80℃〜100℃程度に加熱されることによって軟化する。切り残し部601とスライスベース50との接着箇所の軟化によって、その接着箇所の接着力が弱まるため、切り残し部601を回転させて、切り残し部601をスライスベース50から剥離する際に、実施の形態1よりも少ない力で確実に切り残し部601をスライスベース50から剥離することができる。
例えば、軟化機構として、スチームノズル80の代わりに、乾燥した高温ガスを噴きつける機構や、高温の液体、例えば温水を噴きつける機構を採用することも考えられるが、乾燥した高温ガスを噴きつけると、ウエハが乾燥してウエハに汚れが固着するおそれがあり、また、温水を噴きつけると、その温水が槽10の水と混ぜ合わされて槽10の水の温度が上昇し、ウエハ600を介して接着剤63に熱が伝わることで、接着剤63のスライスベース50とウエハ列60との接着箇所も軟化し、ウエハ600が落下するおそれがある。
また、各ウエハ600の一部が槽10の水に浸漬され、接着剤63が槽10の水と非接触となるように、保持部材20で、スライスベース50を保持することで、軟化機構の作用では槽10の内部の水の温度が上昇することがないため、ウエハ600が落下することを防止できる。
20 保持部材
30 第1ノズル
50 スライスベース
60 ウエハ列
63 接着剤
65 インゴット
70 第2ノズル
80 スチームノズル
600 ウエハ
601 切り残し部
602 スライス面
710 保持アーム
711 吸着パッド
Claims (7)
- インゴットをスライスして形成されたウエハ列と、前記インゴットの端部に配された切り残し部とが接着剤で接着されたスライスベースから、前記切り残し部を除去する切り残し部除去装置であって、
液体が貯留される槽と、
前記スライスベースを保持する保持部材と、
前記切り残し部を保持すると共に移動させる保持アームと、
前記ウエハ列のうち前記切り残し部の隣に位置するウエハの、前記切り残し部に対向する面に流体を噴射する第1ノズルと、
前記切り残し部の回転に同調して移動する第2ノズルと、を備え
前記切り残し部を保持し、前記切り残し部と前記スライスベースとの接着箇所を軸として、前記ウエハ列から離間する方向に前記切り残し部を回転させる回転機構と、
前記スライスベースから離間する方向に前記切り残し部を移動させる移動機構と、を有する
ことを特徴とする切り残し部除去装置。 - 前記移動機構は、前記切り残し部のスライス面に沿う方向であって、前記スライスベースから離間する方向に前記切り残し部を移動させる、請求項1に記載の切り残し部除去装置。
- 前記切り残し部に対向する前記面と前記第1ノズルの噴射方向とが成す鋭角よりも、前記切り残し部に対向する前記面と前記第2ノズルの噴射方向とが成す鋭角の方が大きい、請求項1または2に記載の切り残し部除去装置。
- 前記保持部材は、前記ウエハ列が前記槽の液体に浸漬され、かつ、前記接着剤が前記槽の液体と非接触となるように前記スライスベースを保持する、請求項1〜3のいずれかに記載の切り残し部除去装置。
- インゴットをスライスして形成されたウエハ列と、前記インゴットの端部に配された切り残し部とが接着剤で接着されたスライスベースから、前記切り残し部を除去する切り残し部除去装置であって、
液体が貯留される槽と、
前記スライスベースを保持する保持部材と、
前記切り残し部を保持すると共に移動させる保持アームと、
前記ウエハ列のうち前記切り残し部の隣に位置するウエハの、前記切り残し部に対向する面に流体を噴射する第1ノズルと、を備え
前記切り残し部を保持し、前記切り残し部と前記スライスベースとの接着箇所を軸として、前記ウエハ列から離間する方向に前記切り残し部を回転させる回転機構と、
前記スライスベースから離間する方向に前記切り残し部を移動させる移動機構と、
前記切り残し部と前記スライスベースとの間の前記接着剤を軟化させる軟化機構と、を有し、
前記保持部材は、前記ウエハ列が前記槽の液体に浸漬され、かつ、前記接着剤が前記槽の液体と非接触となるように前記スライスベースを保持する
ことを特徴とする切り残し部除去装置。 - 前記第1ノズルは、前記回転機構が前記切り残し部を回転させている期間に流体を噴射する、請求項1〜5のいずれかに記載の切り残し部除去装置。
- 前記移動機構は、前記回転機構による前記切り残し部の回転が完了した後に前記切り残し部を移動させる、請求項1〜6のいずれかに記載の切り残し部除去装置。
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