JP5982650B2 - ウエハ剥離装置 - Google Patents
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Description
20 保持部
30 第1ノズル
33 第1補助ノズル
35 第3ノズル
40 トレイ
43,43a 開口部
47 底面
50 スライスベース
53 傾き角度
55 ウエハ接着面
60 複数のウエハ
60a ウエハ
63 接着剤
65 インゴット
70 第2ノズル
80 スチームノズル
90 吸引口
100、100’ ウエハ剥離装置
Claims (9)
- スライスベースに接着剤で接着された複数のウエハを前記スライスベースから剥離するウエハ剥離装置であって、
液体を貯留する槽と、
前記スライスベースによって前記槽内の液体に浸漬された前記複数のウエハの側面に向かって液体を噴流させる第1ノズルと、
前記槽内に配置され、前記スライスベースから剥離されたウエハを収容するトレイと、
前記トレイの側面又は底面に設けられた開口部を介して前記トレイ内の液体を吸引する吸引口と、を備え、
前記スライスベースは、前記槽内の液体の液面に対して、傾いて配置されることを特徴とするウエハ剥離装置。 - 前記吸引口は、前記トレイの底面の開口部に配置される、請求項1に記載のウエハ剥離装置。
- 前記吸引口は、前記トレイの側面の開口部に配置される、請求項1又は2に記載のウエハ剥離装置。
- 前記吸引口から吸引した液体を前記槽内に戻す循環口を更に有する、請求項1〜3のいずれか記載のウエハ剥離装置。
- 前記吸引口から前記循環口に至る経路中に設けられるフィルタを更に有する、請求項4記載のウエハ剥離装置。
- 前記接着剤に水蒸気を噴き付けるスチームノズルを更に有する、請求項1から5のいずれか記載のウエハ剥離装置。
- 前記槽内の液体には乳酸が添加されている、請求項1から5のいずれか記載のウエハ剥離装置。
- 前記スライスベースから剥離されたウエハの主面に向かって、液体を噴流させる第2ノズルをさらに有する、請求項1から7のいずれか記載のウエハ剥離装置。
- 前記スライスベースは多孔質体である、請求項1から8のいずれか記載のウエハ剥離装置。
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