JP2998600B2 - ウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法 - Google Patents
ウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェーハからのスライ
ス用カーボンの剥離方法に関するものである。
ス用カーボンの剥離方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、シリコンインゴットをスライスし
てウェーハを作成するのに、シリコンインゴットをカー
ボンからなる支持部材（スライス用カーボン）に接着剤
で固着して、シリコンインゴットを内周刃やワイヤソー
で切断してウェーハにし、切断後に、そのウェーハに付
着するスライス用カーボンを除去することが行われてい
る。
てウェーハを作成するのに、シリコンインゴットをカー
ボンからなる支持部材（スライス用カーボン）に接着剤
で固着して、シリコンインゴットを内周刃やワイヤソー
で切断してウェーハにし、切断後に、そのウェーハに付
着するスライス用カーボンを除去することが行われてい
る。
【０００３】ところで、ウェーハからスライス用カーボ
ンを剥離する場合、従来、図１０に示すように、ウェー
ハ面が横向きとなるようにウェーハＷをバスケット１１
０上に一定の間隔をもって並立させ、さらに、このバス
ケット１１０を多数個、バスケット収納用カゴ１１１内
に並べ、そのバスケット収納用カゴ１１１ごと剥離槽１
１２内の薬液に浸漬することによって、スライス用カー
ボンＣをウェーハＷから剥離していた。
ンを剥離する場合、従来、図１０に示すように、ウェー
ハ面が横向きとなるようにウェーハＷをバスケット１１
０上に一定の間隔をもって並立させ、さらに、このバス
ケット１１０を多数個、バスケット収納用カゴ１１１内
に並べ、そのバスケット収納用カゴ１１１ごと剥離槽１
１２内の薬液に浸漬することによって、スライス用カー
ボンＣをウェーハＷから剥離していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな方法によれば、下記のような問題があった。
うな方法によれば、下記のような問題があった。
【０００５】すなわち、このような方法によれば、ウェ
ーハＷとスライス用カーボンＣの界面に存在する接着剤
に薬液が十分に浸透して、スライス用カーボンが自然に
剥離するまで待たなければならないため、剥離に長時間
を要するという問題があった。また、ウェーハＷをバス
ケット１１０上に並立させ、さらに、バスケット１１０
を横並びにバスケット収納用カゴ１１１内に設置してい
るため、剥離槽１１２の設置面積に限界がある場合、単
位時間当たりに剥離処理できるウェーハＷの数が限定さ
れてしまうので、処理効率が悪いという問題があった。
ーハＷとスライス用カーボンＣの界面に存在する接着剤
に薬液が十分に浸透して、スライス用カーボンが自然に
剥離するまで待たなければならないため、剥離に長時間
を要するという問題があった。また、ウェーハＷをバス
ケット１１０上に並立させ、さらに、バスケット１１０
を横並びにバスケット収納用カゴ１１１内に設置してい
るため、剥離槽１１２の設置面積に限界がある場合、単
位時間当たりに剥離処理できるウェーハＷの数が限定さ
れてしまうので、処理効率が悪いという問題があった。
【０００６】一方、この問題を解決するために、バスケ
ット１１０を横並びに、かつ多段に積み上げる場合、一
度に剥離処理できるウェーハＷの数は増えるが、隣合う
ウェーハＷの間に間隔があるために、上側に位置するウ
ェーハＷから剥離したスライス用カーボンＣが下側のウ
ェーハＷの間に入り込み、そのウェーハＷの表裏面に再
付着してしまい、その再付着したスライス用カーボンＣ
を取り除くのに別段の時間を要して滞貨を生じるため、
次工程の洗浄装置をも含めた装置全体の稼働率が悪くな
ってしまうという問題があった。
ット１１０を横並びに、かつ多段に積み上げる場合、一
度に剥離処理できるウェーハＷの数は増えるが、隣合う
ウェーハＷの間に間隔があるために、上側に位置するウ
ェーハＷから剥離したスライス用カーボンＣが下側のウ
ェーハＷの間に入り込み、そのウェーハＷの表裏面に再
付着してしまい、その再付着したスライス用カーボンＣ
を取り除くのに別段の時間を要して滞貨を生じるため、
次工程の洗浄装置をも含めた装置全体の稼働率が悪くな
ってしまうという問題があった。
【０００７】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたもので、剥離処理のスループットの向上と、装置の
稼働率向上と、剥離槽の設置面積の削減とを図れ、ま
た、スライス用カーボンの再付着を防止することができ
る、ウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法を提
供することを目的としている。
れたもので、剥離処理のスループットの向上と、装置の
稼働率向上と、剥離槽の設置面積の削減とを図れ、ま
た、スライス用カーボンの再付着を防止することができ
る、ウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法を提
供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のスライス
用カーボンの剥離方法は、１枚ずつに分離されたウェー
ハからスライス用カーボンを剥離するにあたり、多数枚
の前記ウェーハを、前記スライス用カーボンの向きが同
じで隣合うウェーハ面同士が接触するように重ね合わ
せ、挟持装置によって、前記ウェーハ面に平行な方向か
ら前記スライス用カーボンを挟み込み、そのスライス用
カーボンを前記ウェーハ面に平行な方向に動かして剥離
するようにしたことを特徴とする。
用カーボンの剥離方法は、１枚ずつに分離されたウェー
ハからスライス用カーボンを剥離するにあたり、多数枚
の前記ウェーハを、前記スライス用カーボンの向きが同
じで隣合うウェーハ面同士が接触するように重ね合わ
せ、挟持装置によって、前記ウェーハ面に平行な方向か
ら前記スライス用カーボンを挟み込み、そのスライス用
カーボンを前記ウェーハ面に平行な方向に動かして剥離
するようにしたことを特徴とする。
【０００９】請求項２記載のスライス用カーボンの剥離
方法は、１枚ずつに分離されたウェーハからスライス用
カーボンを剥離するにあたり、多数枚の前記ウェーハ
を、前記スライス用カーボンの向きが同じで隣合うウェ
ーハ面同士が接触するように重ね合わせた状態でウェー
ハ取扱い冶具に収納し、前記スライス用カーボンの一側
面を前記ウェーハ取扱い冶具の固定部に当接させた状態
で、前記スライス用カーボンの他側面を押圧装置によっ
て押圧することによって、そのスライス用カーボンを前
記ウェーハ面に平行な方向に動かして剥離するようにし
たことを特徴とする。
方法は、１枚ずつに分離されたウェーハからスライス用
カーボンを剥離するにあたり、多数枚の前記ウェーハ
を、前記スライス用カーボンの向きが同じで隣合うウェ
ーハ面同士が接触するように重ね合わせた状態でウェー
ハ取扱い冶具に収納し、前記スライス用カーボンの一側
面を前記ウェーハ取扱い冶具の固定部に当接させた状態
で、前記スライス用カーボンの他側面を押圧装置によっ
て押圧することによって、そのスライス用カーボンを前
記ウェーハ面に平行な方向に動かして剥離するようにし
たことを特徴とする。
【００１０】請求項３記載のスライス用カーボンの剥離
方法は、スライス用カーボンによって繋がれた多数枚の
ウェーハから前記スライス用カーボンを剥離するにあた
り、挟持装置によって、ウェーハ面に平行な方向から前
記スライス用カーボンを挟み込み、そのスライス用カー
ボンを前記ウェーハ面に平行な方向に動かして剥離する
ようにしたことを特徴とする。
方法は、スライス用カーボンによって繋がれた多数枚の
ウェーハから前記スライス用カーボンを剥離するにあた
り、挟持装置によって、ウェーハ面に平行な方向から前
記スライス用カーボンを挟み込み、そのスライス用カー
ボンを前記ウェーハ面に平行な方向に動かして剥離する
ようにしたことを特徴とする。
【００１１】請求項４記載のスライス用カーボンの剥離
方法は、スライス用カーボンによって繋がれた多数枚の
ウェーハから前記スライス用カーボンを剥離するにあた
り、前記多数枚のウェーハをウェーハ取扱い冶具に収納
し、前記スライス用カーボンの一側面を前記ウェーハ取
扱い冶具の固定部に当接させた状態で、前記スライス用
カーボンの他側面を押圧装置によって押圧することによ
って、そのスライス用カーボンを前記ウェーハ面に平行
な方向に動かして剥離するようにしたことを特徴とす
る。
方法は、スライス用カーボンによって繋がれた多数枚の
ウェーハから前記スライス用カーボンを剥離するにあた
り、前記多数枚のウェーハをウェーハ取扱い冶具に収納
し、前記スライス用カーボンの一側面を前記ウェーハ取
扱い冶具の固定部に当接させた状態で、前記スライス用
カーボンの他側面を押圧装置によって押圧することによ
って、そのスライス用カーボンを前記ウェーハ面に平行
な方向に動かして剥離するようにしたことを特徴とす
る。
【００１２】
【作用】請求項１〜請求項４記載の方法によれば、スラ
イス用カーボンを強制的に剥離するようにしているの
で、単位時間当たりの処理量が増え、スループットの向
上を図ることができる。その結果、剥離槽の設置面積の
増大を抑制することもできる。また、請求項１および請
求項２記載の方法では、スライス用カーボンの向きが同
じで隣合うウェーハ面同士が接触するように多数枚のウ
ェーハを重ね合わせているので、一方、請求項３および
請求項４記載の方法では、スライス用カーボンが１つの
塊となっているので、剥離されたスライス用カーボンが
ウェーハ面に再付着することもない。
イス用カーボンを強制的に剥離するようにしているの
で、単位時間当たりの処理量が増え、スループットの向
上を図ることができる。その結果、剥離槽の設置面積の
増大を抑制することもできる。また、請求項１および請
求項２記載の方法では、スライス用カーボンの向きが同
じで隣合うウェーハ面同士が接触するように多数枚のウ
ェーハを重ね合わせているので、一方、請求項３および
請求項４記載の方法では、スライス用カーボンが１つの
塊となっているので、剥離されたスライス用カーボンが
ウェーハ面に再付着することもない。
【００１３】また、請求項１〜請求項２記載の方法によ
れば、ウェーハ面と直角でなく平行にスライス用カーボ
ンを剥離するようにしているので、ウェーハの欠けが防
止されることになる。
れば、ウェーハ面と直角でなく平行にスライス用カーボ
ンを剥離するようにしているので、ウェーハの欠けが防
止されることになる。
【００１４】ちなみに、１枚ずつに分離されたウェーハ
を、前記スライス用カーボンの向きが同じで隣合うウェ
ーハ面同士が接触するように重ね合わせる場合、周方向
あるいは径方向にウェーハが位置ずれして、スライス用
カーボンの一部がウェーハと重なり合ったすることもあ
り、この状態でウェーハ面に垂直な方向にスライス用カ
ーボンを押圧するとすれば、その際、ウェーハが欠けた
り、スライス用カーボンの剥離が不完全になってしま
う。しかし、請求項１および請求項２記載の発明によれ
ば、スライス用カーボンをウェーハ面に平行に剥離する
ようにしているので、その心配はない。
を、前記スライス用カーボンの向きが同じで隣合うウェ
ーハ面同士が接触するように重ね合わせる場合、周方向
あるいは径方向にウェーハが位置ずれして、スライス用
カーボンの一部がウェーハと重なり合ったすることもあ
り、この状態でウェーハ面に垂直な方向にスライス用カ
ーボンを押圧するとすれば、その際、ウェーハが欠けた
り、スライス用カーボンの剥離が不完全になってしま
う。しかし、請求項１および請求項２記載の発明によれ
ば、スライス用カーボンをウェーハ面に平行に剥離する
ようにしているので、その心配はない。
【００１５】
【実施例】以下、図面に基いて本発明の第１実施例に係
るスライス用カーボンの剥離方法について説明するが、
まず、この方法に用いられるウェーハ取扱い冶具（以
下、「キャリア」という）について図１を用いて説明す
る。
るスライス用カーボンの剥離方法について説明するが、
まず、この方法に用いられるウェーハ取扱い冶具（以
下、「キャリア」という）について図１を用いて説明す
る。
【００１６】このキャリア１は、ウェーハＷのハンドリ
ングに用いられるものであり、底板２と、この底板２の
４隅に立設された４本のガイド棒３，３，・・と、この
ガイド棒３，３，・・の上部に取り付けられる２つのハ
ンドル４，４とを備えている。
ングに用いられるものであり、底板２と、この底板２の
４隅に立設された４本のガイド棒３，３，・・と、この
ガイド棒３，３，・・の上部に取り付けられる２つのハ
ンドル４，４とを備えている。
【００１７】底板２は、ウェーハＷよりも大きめの正方
形の板材の対向する２辺に台形状の切欠部２ａ，２ａを
形成したものである。この底板２には、図２（ａ）に示
すように、この底板２上にウェーハＷを積層状態に支持
できるようになっている。この底板２にウェーハＷを乗
せる場合には、図２（ｂ）に示すように、ウェーハＷに
付着するスライス用カーボンＣが切欠部２ａ上に位置す
るようにして行う。また、この底板２の中央には矩形状
の長孔５が１つ設けられ、この長孔５の下側から、当該
長孔５と相補的形状を持つ取出し冶具を挿入することに
よって、底板２上に支持されたウェーハＷを持ち上げる
ことができるようになっている。
形の板材の対向する２辺に台形状の切欠部２ａ，２ａを
形成したものである。この底板２には、図２（ａ）に示
すように、この底板２上にウェーハＷを積層状態に支持
できるようになっている。この底板２にウェーハＷを乗
せる場合には、図２（ｂ）に示すように、ウェーハＷに
付着するスライス用カーボンＣが切欠部２ａ上に位置す
るようにして行う。また、この底板２の中央には矩形状
の長孔５が１つ設けられ、この長孔５の下側から、当該
長孔５と相補的形状を持つ取出し冶具を挿入することに
よって、底板２上に支持されたウェーハＷを持ち上げる
ことができるようになっている。
【００１８】ガイド棒３，３，・・は、図２（ｂ）に示
すように、底板２上に支持されるウェーハＷの外周にほ
ぼ接触する位置に設けられる。このガイド棒３，３，・
・は、底板２上でのウェーハＷの横滑りを防止する機能
と、ウェーハＷを底板２上に乗せる際のガイドとしての
機能を有している。このガイド棒３，３，・・の下部に
はおねじ部（図示せず）が設けられている。このガイド
棒３，３，・・は、そのおねじ部によって、底板２の中
心から各隅に向けて３つずつ形成されたねじ穴２０ａ，
２０ｂ，２０ｃに螺合できるようになっている。どのね
じ穴に螺合させるかは、取り扱うウェーハＷの口径によ
る。なお、各ガイド棒３におねじ部を設けずに、各ガイ
ド棒３を底板２に設けた穴へ差し込むような構造として
も良い。
すように、底板２上に支持されるウェーハＷの外周にほ
ぼ接触する位置に設けられる。このガイド棒３，３，・
・は、底板２上でのウェーハＷの横滑りを防止する機能
と、ウェーハＷを底板２上に乗せる際のガイドとしての
機能を有している。このガイド棒３，３，・・の下部に
はおねじ部（図示せず）が設けられている。このガイド
棒３，３，・・は、そのおねじ部によって、底板２の中
心から各隅に向けて３つずつ形成されたねじ穴２０ａ，
２０ｂ，２０ｃに螺合できるようになっている。どのね
じ穴に螺合させるかは、取り扱うウェーハＷの口径によ
る。なお、各ガイド棒３におねじ部を設けずに、各ガイ
ド棒３を底板２に設けた穴へ差し込むような構造として
も良い。
【００１９】各ハンドル４は、一対の縦材４０，４０
と、この一対の縦材４０，４０の上部に掛け渡された横
材４１とから構成されている。各横材４１の内側には台
形状の切欠部４１ａが形成されている。この切欠部４１
ａの存在によって、ウェーハＷを底板２上に乗せる場合
のウェーハＷと各横材４１との干渉が防止される。
と、この一対の縦材４０，４０の上部に掛け渡された横
材４１とから構成されている。各横材４１の内側には台
形状の切欠部４１ａが形成されている。この切欠部４１
ａの存在によって、ウェーハＷを底板２上に乗せる場合
のウェーハＷと各横材４１との干渉が防止される。
【００２０】なお、ハンドル４，４およびガイド棒３，
３，・・の高さ寸法は、特に制限はされないが、５００
枚程度のウェーハＷを積層状態に支持できるような高さ
寸法を持っている。
３，・・の高さ寸法は、特に制限はされないが、５００
枚程度のウェーハＷを積層状態に支持できるような高さ
寸法を持っている。
【００２１】次に、インゴットのスライスによってスラ
イス用カーボンＣまで完全に切断され、１枚ずつに分離
されたウェーハＷからスライス用カーボンＣを剥離する
ための、第１実施例の方法について説明する。
イス用カーボンＣまで完全に切断され、１枚ずつに分離
されたウェーハＷからスライス用カーボンＣを剥離する
ための、第１実施例の方法について説明する。
【００２２】まず、キャリア１の底板２上に、多数枚の
ウェーハＷをスライス用カーボンＣの向きが同じで隣合
うウェーハ面同士が接触するように重合せ状態にして乗
せる。次いで、ハンドル４，４を利用してキャリア１を
吊り上げて剥離場所まで搬送し、キャリア１ごと薬液等
に浸す。次に、図３（ａ）に示すように、挟持装置６に
よって、ウェーハ面に平行な方向からスライス用カーボ
ンＣを挟み込み、そのスライス用カーボンＣをウェーハ
面に平行な方向に剥し取る（図３（ｂ））。その後、薬
液等からキャリア１を出し、底板２上に支持されたウェ
ーハＷを上から順番に取り出し、薬液等を洗い落とす。
ウェーハＷをスライス用カーボンＣの向きが同じで隣合
うウェーハ面同士が接触するように重合せ状態にして乗
せる。次いで、ハンドル４，４を利用してキャリア１を
吊り上げて剥離場所まで搬送し、キャリア１ごと薬液等
に浸す。次に、図３（ａ）に示すように、挟持装置６に
よって、ウェーハ面に平行な方向からスライス用カーボ
ンＣを挟み込み、そのスライス用カーボンＣをウェーハ
面に平行な方向に剥し取る（図３（ｂ））。その後、薬
液等からキャリア１を出し、底板２上に支持されたウェ
ーハＷを上から順番に取り出し、薬液等を洗い落とす。
【００２３】この第１実施例によれば、スライス用カー
ボンＣを強制的に剥離するようにしているので、単位時
間当たりの処理量が増え、スループットの向上を図るこ
とができる。その結果、剥離槽の設置面積の増大を抑制
することもできる。また、スライス用カーボンＣの向き
が同じで隣合うウェーハ面同士が接触するように多数枚
のウェーハＷを重ね合わせているので、剥離されたスラ
イス用カーボンＣがウェーハ面に再付着することもな
い。
ボンＣを強制的に剥離するようにしているので、単位時
間当たりの処理量が増え、スループットの向上を図るこ
とができる。その結果、剥離槽の設置面積の増大を抑制
することもできる。また、スライス用カーボンＣの向き
が同じで隣合うウェーハ面同士が接触するように多数枚
のウェーハＷを重ね合わせているので、剥離されたスラ
イス用カーボンＣがウェーハ面に再付着することもな
い。
【００２４】また、ウェーハ面と直角でなく平行にスラ
イス用カーボンＣを剥離するようにしているので、ウェ
ーハＷの欠けが防止されることになる。
イス用カーボンＣを剥離するようにしているので、ウェ
ーハＷの欠けが防止されることになる。
【００２５】図４および図５には、インゴットのスライ
スによってスライス用カーボンＣまで完全に切断され、
１枚ずつに分離されたウェーハＷからスライス用カーボ
ンＣを剥離するための、第２実施例の方法が示されてい
る。
スによってスライス用カーボンＣまで完全に切断され、
１枚ずつに分離されたウェーハＷからスライス用カーボ
ンＣを剥離するための、第２実施例の方法が示されてい
る。
【００２６】この方法は、多数枚のウェーハＷを、スラ
イス用カーボンＣの向きが同じで隣合うウェーハ面同士
が接触するように重ね合わせた状態でキャリア（ウェー
ハ取扱い冶具）８に収納し（図５）、薬液等に浸し、ス
ライス用カーボンＣの一側面をキャリア８の支柱（固定
部）８ａに当接させた状態で、スライス用カーボンＣの
他側面を押剥し部材（押圧装置）９によって押圧するこ
とによって（図４（ａ））、スライス用カーボンＣを剥
し取るようにしている（図４（ｂ））。なお、図５にお
いてキャリア８のハンドルは省略してある。
イス用カーボンＣの向きが同じで隣合うウェーハ面同士
が接触するように重ね合わせた状態でキャリア（ウェー
ハ取扱い冶具）８に収納し（図５）、薬液等に浸し、ス
ライス用カーボンＣの一側面をキャリア８の支柱（固定
部）８ａに当接させた状態で、スライス用カーボンＣの
他側面を押剥し部材（押圧装置）９によって押圧するこ
とによって（図４（ａ））、スライス用カーボンＣを剥
し取るようにしている（図４（ｂ））。なお、図５にお
いてキャリア８のハンドルは省略してある。
【００２７】この方法によっても第１実施例の方法と同
様の効果を得ることができる。
様の効果を得ることができる。
【００２８】図６および図７には、インゴットのスライ
スによってスライス用カーボンＣまで完全に切断され、
１枚ずつに分離されたウェーハＷからスライス用カーボ
ンＣを剥離するための、第３実施例の方法が示されてい
る。
スによってスライス用カーボンＣまで完全に切断され、
１枚ずつに分離されたウェーハＷからスライス用カーボ
ンＣを剥離するための、第３実施例の方法が示されてい
る。
【００２９】この方法は、多数枚のウェーハＷを、スラ
イス用カーボンＣの向きが同じで隣合う面同士が接触す
るように重ね合わせた状態でキャリア（ウェーハ取扱い
冶具）８に収納し（図７）、薬液等に浸し、スライス用
カーボンＣの一側面をキャリア８の支柱（固定部）８ａ
に当接させた状態で、スライス用カーボンＣの他側面を
引剥し部材（押圧装置）１０によって押圧することによ
って（図６（ａ））、スライス用カーボンＣを剥し取る
ようにしている（図６（ｂ））。
イス用カーボンＣの向きが同じで隣合う面同士が接触す
るように重ね合わせた状態でキャリア（ウェーハ取扱い
冶具）８に収納し（図７）、薬液等に浸し、スライス用
カーボンＣの一側面をキャリア８の支柱（固定部）８ａ
に当接させた状態で、スライス用カーボンＣの他側面を
引剥し部材（押圧装置）１０によって押圧することによ
って（図６（ａ））、スライス用カーボンＣを剥し取る
ようにしている（図６（ｂ））。
【００３０】この方法によっても第１実施例と同様の効
果を得ることができる。
果を得ることができる。
【００３１】図８および図９には、インゴットのスライ
スによってスライス用カーボンＣまで完全に切断され、
１枚ずつに分離されたウェーハＷからスライス用カーボ
ンＣを剥離するための、第４実施例の方法が示されてい
る。
スによってスライス用カーボンＣまで完全に切断され、
１枚ずつに分離されたウェーハＷからスライス用カーボ
ンＣを剥離するための、第４実施例の方法が示されてい
る。
【００３２】この方法は、多数枚のウェーハＷを、スラ
イス用カーボンＣの向きが同じで隣合う面同士が接触す
るように重ね合わせた状態でキャリア（ウェーハ取扱い
冶具）８に収納し（図９）、薬液等に浸し、スライス用
カーボンＣの一側面をキャリア８の支柱（固定部）８ａ
に当接させた状態で、回転部材（押圧装置）１１のシャ
フト１１ａに付設された弾性羽根１１ｂよってスライス
用カーボンＣの他側面を繰り返し押圧することによって
（図８（ａ））、スライス用カーボンＣを剥し取るよう
にしている（図８（ｂ））。なお、ここで弾性羽根１１
ｂは例えばシリコンゴムから構成され、シャフト１１ａ
の軸線方向に適当に分割されている。
イス用カーボンＣの向きが同じで隣合う面同士が接触す
るように重ね合わせた状態でキャリア（ウェーハ取扱い
冶具）８に収納し（図９）、薬液等に浸し、スライス用
カーボンＣの一側面をキャリア８の支柱（固定部）８ａ
に当接させた状態で、回転部材（押圧装置）１１のシャ
フト１１ａに付設された弾性羽根１１ｂよってスライス
用カーボンＣの他側面を繰り返し押圧することによって
（図８（ａ））、スライス用カーボンＣを剥し取るよう
にしている（図８（ｂ））。なお、ここで弾性羽根１１
ｂは例えばシリコンゴムから構成され、シャフト１１ａ
の軸線方向に適当に分割されている。
【００３３】この方法によっても第１実施例と同様の効
果を得ることができる。
果を得ることができる。
【００３４】以上、本発明者がなした実施例について説
明したが、本発明は、かかる実施例に限定されず、その
要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能であること
はいうまでもない。
明したが、本発明は、かかる実施例に限定されず、その
要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能であること
はいうまでもない。
【００３５】例えば、前記実施例では、温調された薬液
等を使用したが、薬液等の代わりに水を用いても良い。
等を使用したが、薬液等の代わりに水を用いても良い。
【００３６】また、前記実施例では、インゴットのスラ
イスによってスライス用カーボンＣまで完全に切断さ
れ、個々に分離されたウェーハＷからスライス用カーボ
ンＣを剥離する方法について述べたが、スライス用カー
ボンＣが不完全にしか切断されずにスライス用カーボン
Ｃによって繋がっている多数枚のウェーハＷからスライ
ス用カーボンＣを剥離する方法にも適用可能であること
はいうまでもない。
イスによってスライス用カーボンＣまで完全に切断さ
れ、個々に分離されたウェーハＷからスライス用カーボ
ンＣを剥離する方法について述べたが、スライス用カー
ボンＣが不完全にしか切断されずにスライス用カーボン
Ｃによって繋がっている多数枚のウェーハＷからスライ
ス用カーボンＣを剥離する方法にも適用可能であること
はいうまでもない。
【００３７】さらに、スライス用カーボンＣを剥離する
方向はオリフラから離れる方向でなくとも良く、オリフ
ラに平行な方向であっても良い。
方向はオリフラから離れる方向でなくとも良く、オリフ
ラに平行な方向であっても良い。
【００３８】
【発明の効果】以上のように、本発明の代表的なものの
効果を説明すれば、単位時間当たりの処理量が増え、ス
ループットの向上を図ることができる。その結果、剥離
槽の設置面積の増大を抑制することもできる。また、剥
離されたスライス用カーボンがウェーハ面に再付着する
こともない。スライス用カーボンを強制的に剥離するよ
うにしているので、単位時間当たりの処理量が増え、ス
ループットの向上を図ることができる。その結果、剥離
槽の設置面積の増大を抑制することもできる。
効果を説明すれば、単位時間当たりの処理量が増え、ス
ループットの向上を図ることができる。その結果、剥離
槽の設置面積の増大を抑制することもできる。また、剥
離されたスライス用カーボンがウェーハ面に再付着する
こともない。スライス用カーボンを強制的に剥離するよ
うにしているので、単位時間当たりの処理量が増え、ス
ループットの向上を図ることができる。その結果、剥離
槽の設置面積の増大を抑制することもできる。
【図１】第１実施例の剥離方法に用いられるキャリアの
斜視図である。
斜視図である。
【図２】第１実施例の剥離方法に用いられるキャリアの
一部を切り欠いた図である。
一部を切り欠いた図である。
【図３】第１実施例の剥離方法を示す図である。
【図４】第２実施例の剥離方法を示す図である。
【図５】第２実施例に用いられる押剥し部材等の斜視図
である。
である。
【図６】第３実施例の剥離方法を示す図である。
【図７】第３実施例に用いられる引剥し部材等の斜視図
である。
である。
【図８】第４実施例の剥離方法を示す図である。
【図９】第４実施例に用いられる回転部材等の斜視図で
ある。
ある。
【図１０】従来の剥離方法を説明するための図である。
１ キャリア（ウェーハ取扱い冶具） ６ 挟持装置 ９ 押剥し部材（押圧装置） １０ 引剥し部材（押圧装置） １１ 回転部材（押圧装置） Ｗ ウェーハ Ｃ カーボン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三浦 仲寿 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社 白河工 場内 (56)参考文献 特開 平８−130198（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−68537（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−106287（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−105638（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304
Claims (4)
- 【請求項１】 １枚ずつに分離されたウェーハからスラ
イス用カーボンを剥離するにあたり、多数枚の前記ウェ
ーハを、前記スライス用カーボンの向きが同じで隣合う
ウェーハ面同士が接触するように重ね合わせ、挟持装置
によって、前記ウェーハ面に平行な方向から前記スライ
ス用カーボンを挟み込み、そのスライス用カーボンを前
記ウェーハ面に平行な方向に動かして剥離するようにし
たことを特徴とするウェーハからのスライス用カーボン
の剥離方法。 - 【請求項２】 １枚ずつに分離されたウェーハからスラ
イス用カーボンを剥離するにあたり、多数枚の前記ウェ
ーハを、前記スライス用カーボンの向きが同じで隣合う
ウェーハ面同士が接触するように重ね合わせた状態でウ
ェーハ取扱い冶具に収納し、前記スライス用カーボンの
一側面を前記ウェーハ取扱い冶具の固定部に当接させた
状態で、前記スライス用カーボンの他側面を押圧装置に
よって押圧することによって、そのスライス用カーボン
を前記ウェーハ面に平行な方向に動かして剥離するよう
にしたことを特徴とするウェーハからのスライス用カー
ボンの剥離方法。 - 【請求項３】 スライス用カーボンによって繋がれた多
数枚のウェーハから前記スライス用カーボンを剥離する
にあたり、挟持装置によって、ウェーハ面に平行な方向
から前記スライス用カーボンを挟み込み、そのスライス
用カーボンを前記ウェーハ面に平行な方向に動かして剥
離するようにしたことを特徴とするウェーハからのスラ
イス用カーボンの剥離方法。 - 【請求項４】 スライス用カーボンによって繋がれた多
数枚のウェーハから前記スライス用カーボンを剥離する
にあたり、前記多数枚のウェーハをウェーハ取扱い冶具
に収納し、前記スライス用カーボンの一側面を前記ウェ
ーハ取扱い冶具の固定部に当接させた状態で、前記スラ
イス用カーボンの他側面を押圧装置によって押圧するこ
とによって、そのスライス用カーボンを前記ウェーハ面
に平行な方向に動かして剥離するようにしたことを特徴
とするウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7186462A JP2998600B2 (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | ウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法 |
| US08/547,107 US6074442A (en) | 1994-10-28 | 1995-10-23 | Method of separating slice base mounting member from wafer and jig adapted therefor |
| DE69526772T DE69526772T2 (de) | 1994-10-28 | 1995-10-24 | Entfernen einer Handhabe für das Scheibenabtrennen und Halteeinrichtung dafür |
| EP95307520A EP0709876B1 (en) | 1994-10-28 | 1995-10-24 | Method of separating a slice base mount and jig for it |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7186462A JP2998600B2 (ja) | 1995-06-29 | 1995-06-29 | ウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0917754A JPH0917754A (ja) | 1997-01-17 |
| JP2998600B2 true JP2998600B2 (ja) | 2000-01-11 |
Family
ID=16188897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7186462A Expired - Lifetime JP2998600B2 (ja) | 1994-10-28 | 1995-06-29 | ウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2998600B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5982650B2 (ja) * | 2013-12-06 | 2016-08-31 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | ウエハ剥離装置 |
-
1995
- 1995-06-29 JP JP7186462A patent/JP2998600B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0917754A (ja) | 1997-01-17 |
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