JP3031183B2 - ウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法およびウェーハ取扱い冶具 - Google Patents
ウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法およびウェーハ取扱い冶具Info
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- JP3031183B2 JP3031183B2 JP28924294A JP28924294A JP3031183B2 JP 3031183 B2 JP3031183 B2 JP 3031183B2 JP 28924294 A JP28924294 A JP 28924294A JP 28924294 A JP28924294 A JP 28924294A JP 3031183 B2 JP3031183 B2 JP 3031183B2
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェーハからのスライ
ス用カーボンの剥離方法およびウェーハ取扱い冶具に関
するものである。
ス用カーボンの剥離方法およびウェーハ取扱い冶具に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、シリコンインゴットをスライスし
てウェーハを作成するのに、シリコンインゴットをカー
ボンからなる支持部材（スライス用カーボン）に接着剤
で固着して、シリコンインゴットを内周刃やワイヤソー
で切断してウェーハにし、切断後に、そのウェーハに付
着するスライス用カーボンを除去することが行われてい
る。
てウェーハを作成するのに、シリコンインゴットをカー
ボンからなる支持部材（スライス用カーボン）に接着剤
で固着して、シリコンインゴットを内周刃やワイヤソー
で切断してウェーハにし、切断後に、そのウェーハに付
着するスライス用カーボンを除去することが行われてい
る。
【０００３】ところで、ウェーハからスライス用カーボ
ンを剥離する場合、従来、図７に示すように、主面が横
向きとなるようにウェーハＷをバスケット１１０上に並
立させ、さらに、このバスケット１１０を多数個、バス
ケット収納用カゴ１１１内に並べ、そのバスケット収納
用カゴ１１１ごと剥離槽１１２内の薬液に浸漬すること
によって、スライス用カーボンＣをウェーハＷから剥離
していた。
ンを剥離する場合、従来、図７に示すように、主面が横
向きとなるようにウェーハＷをバスケット１１０上に並
立させ、さらに、このバスケット１１０を多数個、バス
ケット収納用カゴ１１１内に並べ、そのバスケット収納
用カゴ１１１ごと剥離槽１１２内の薬液に浸漬すること
によって、スライス用カーボンＣをウェーハＷから剥離
していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな方法によれば、下記のような問題があった。
うな方法によれば、下記のような問題があった。
【０００５】すなわち、ウェーハＷをバスケット１１０
上に並立させ、さらに、バスケット１１０を横並びにバ
スケット収納用カゴ１１１内に設置しているため、剥離
槽１１２の設置面積に限界がある場合、一度に剥離処理
できるウェーハＷの数が限定されてしまう。
上に並立させ、さらに、バスケット１１０を横並びにバ
スケット収納用カゴ１１１内に設置しているため、剥離
槽１１２の設置面積に限界がある場合、一度に剥離処理
できるウェーハＷの数が限定されてしまう。
【０００６】一方、この問題を解決するために、バスケ
ット１１０を横並びに、かつ多段に積み上げる場合、一
度に剥離処理できるウェーハＷの数は増えるが、上側に
位置するウェーハＷから剥離したスライス用カーボンＣ
が下側のウェーハＷの間に入り込み、そのウェーハＷの
表裏面に再付着してしまい、その再付着したスライス用
カーボンＣを取り除くのに別段の時間を要して滞貨を生
じるため、次工程の洗浄装置をも含めた装置全体の稼働
率が悪くなってしまうという問題があった。
ット１１０を横並びに、かつ多段に積み上げる場合、一
度に剥離処理できるウェーハＷの数は増えるが、上側に
位置するウェーハＷから剥離したスライス用カーボンＣ
が下側のウェーハＷの間に入り込み、そのウェーハＷの
表裏面に再付着してしまい、その再付着したスライス用
カーボンＣを取り除くのに別段の時間を要して滞貨を生
じるため、次工程の洗浄装置をも含めた装置全体の稼働
率が悪くなってしまうという問題があった。
【０００７】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたもので、剥離処理のスループットの向上と、装置の
稼働率向上と、剥離槽の設置面積の削減とを図れ、しか
も、自動化に適し、また、スライス用カーボンの再付着
を防止することができる、ウェーハからのスライス用カ
ーボンの剥離方法およびウェーハ取扱い冶具を提供する
ことを目的としている。
れたもので、剥離処理のスループットの向上と、装置の
稼働率向上と、剥離槽の設置面積の削減とを図れ、しか
も、自動化に適し、また、スライス用カーボンの再付着
を防止することができる、ウェーハからのスライス用カ
ーボンの剥離方法およびウェーハ取扱い冶具を提供する
ことを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のスライス用カー
ボンの剥離方法は、スライス用カーボンに接着されたウ
ェーハからスライス用カーボンを剥離するにあたり、当
該ウェーハを積層状態に支持して前記スライス用カーボ
ンを前記ウェーハから剥離するようにしたことを特徴と
するものである。
ボンの剥離方法は、スライス用カーボンに接着されたウ
ェーハからスライス用カーボンを剥離するにあたり、当
該ウェーハを積層状態に支持して前記スライス用カーボ
ンを前記ウェーハから剥離するようにしたことを特徴と
するものである。
【０００９】また、本発明のウェーハ取扱い冶具は、ウ
ェーハを積層状態に支持することができる底板と、この
底板に立設された複数本のガイド棒と、前記底板に付設
されたハンドルとから構成され、前記複数本のガイド棒
は、前記底板上に支持されるウェーハにほぼ外接する位
置に設けられていることを特徴とするものである。
ェーハを積層状態に支持することができる底板と、この
底板に立設された複数本のガイド棒と、前記底板に付設
されたハンドルとから構成され、前記複数本のガイド棒
は、前記底板上に支持されるウェーハにほぼ外接する位
置に設けられていることを特徴とするものである。
【００１０】
【作用】上記した方法および冶具によれば、ウェーハを
積層状態に支持した状態でスライス用カーボンを剥離す
るようにしているので、剥離槽の深さを深くすることに
より、剥離槽の設置面積の増大を抑制することができる
一方で、スループットの向上を図ることができる。
積層状態に支持した状態でスライス用カーボンを剥離す
るようにしているので、剥離槽の深さを深くすることに
より、剥離槽の設置面積の増大を抑制することができる
一方で、スループットの向上を図ることができる。
【００１１】本発明のスライス用カーボンの剥離方法
は、スライス用カーボンに接着されたウェーハからスラ
イス用カーボンを剥離するにあたり、当該ウェーハを積
層状態に支持して前記スライス用カーボンを前記ウェー
ハから剥離するようにしたことを特徴とするものであ
る。また、本発明のウェーハ取扱い治具は、ウェーハか
らスライス用カーボンを薬液中で剥離する際に使用され
るウェーハ取扱い治具であって、ウェーハを積層状態に
支持することができる底板と、この底板に立設された複
数本のガイド棒と、前記底板に付設されたハンドルとか
ら構成され、前記底板には、前記ウェーハを押し上げる
ための長孔が設けられ、さらに、前記複数本のガイド棒
は、前記底板上に支持されるウェーハにほぼ外接する位
置に設けられていることを特徴とするものである。
は、スライス用カーボンに接着されたウェーハからスラ
イス用カーボンを剥離するにあたり、当該ウェーハを積
層状態に支持して前記スライス用カーボンを前記ウェー
ハから剥離するようにしたことを特徴とするものであ
る。また、本発明のウェーハ取扱い治具は、ウェーハか
らスライス用カーボンを薬液中で剥離する際に使用され
るウェーハ取扱い治具であって、ウェーハを積層状態に
支持することができる底板と、この底板に立設された複
数本のガイド棒と、前記底板に付設されたハンドルとか
ら構成され、前記底板には、前記ウェーハを押し上げる
ための長孔が設けられ、さらに、前記複数本のガイド棒
は、前記底板上に支持されるウェーハにほぼ外接する位
置に設けられていることを特徴とするものである。
【００１２】また、上記したウェーハ取扱い冶具によれ
ば、ウェーハを積層状態に支持する場合に、ウェーハが
ガイド棒によって案内されるので、ウェーハの支持が簡
単に行えることになる。
ば、ウェーハを積層状態に支持する場合に、ウェーハが
ガイド棒によって案内されるので、ウェーハの支持が簡
単に行えることになる。
【００１３】
【実施例】以下、図面に基いて本発明の一実施例に係る
スライス用カーボンの剥離方法について説明するが、ま
ず、この方法に用いられるウェーハ取扱い冶具（以下、
「キャリア」という）について図１を用いて説明する。
スライス用カーボンの剥離方法について説明するが、ま
ず、この方法に用いられるウェーハ取扱い冶具（以下、
「キャリア」という）について図１を用いて説明する。
【００１４】このキャリア１は、ウェーハＷのハンドリ
ングに用いられるものであり、底板２と、この底板２の
４隅に立設された４本のガイド棒３，３，・・と、この
ガイド棒３，３，・・の上部に取り付けられる２つのハ
ンドル４，４とを備えている。
ングに用いられるものであり、底板２と、この底板２の
４隅に立設された４本のガイド棒３，３，・・と、この
ガイド棒３，３，・・の上部に取り付けられる２つのハ
ンドル４，４とを備えている。
【００１５】底板２は、ウェーハＷよりも大きめの正方
形の板材の対向する２辺に台形状の切欠部２ａ，２ａを
形成したものである。この底板２には、図２（Ａ）に示
すように、この底板２上にウェーハＷを積層状態に支持
できるようになっている。この底板２にウェーハＷを乗
せる場合には、図２（Ｂ）に示すように、ウェーハＷに
付着するスライス用カーボンＣが切欠部２ａ上に位置す
るようにして行う。また、この底板２の中央には矩形状
の長孔５が１つ設けられ、この長孔５の下側から、当該
長孔５と相補的形状を持つ取出し冶具を挿入することに
よって、底板２上に支持されたウェーハＷを持ち上げる
ことができるようになっている。
形の板材の対向する２辺に台形状の切欠部２ａ，２ａを
形成したものである。この底板２には、図２（Ａ）に示
すように、この底板２上にウェーハＷを積層状態に支持
できるようになっている。この底板２にウェーハＷを乗
せる場合には、図２（Ｂ）に示すように、ウェーハＷに
付着するスライス用カーボンＣが切欠部２ａ上に位置す
るようにして行う。また、この底板２の中央には矩形状
の長孔５が１つ設けられ、この長孔５の下側から、当該
長孔５と相補的形状を持つ取出し冶具を挿入することに
よって、底板２上に支持されたウェーハＷを持ち上げる
ことができるようになっている。
【００１６】ガイド棒３，３，・・は、図２（Ｂ）に示
すように、底板２上に支持されるウェーハＷの外周にほ
ぼ接触する位置に設けられる。このガイド棒３，３，・
・は、底板２上でのウェーハＷの横滑りを防止する機能
と、ウェーハＷを底板２上に乗せる際のガイドとしての
機能を有している。このガイド棒３，３，・・の下部に
はおねじ部（図示せず）が設けられている。このガイド
棒３，３，・・は、そのおねじ部によって、底板２の中
心から各隅に向けて３つずつ形成されたねじ穴２０ａ，
２０ｂ，２０ｃに螺合できるようになっている。どのね
じ穴に螺合させるかは、取り扱うウェーハＷの口径によ
る。なお、各ガイド棒３におねじ部を設けずに、各ガイ
ド棒３を底板２に設けた穴へ差し込むような構造として
も良い。
すように、底板２上に支持されるウェーハＷの外周にほ
ぼ接触する位置に設けられる。このガイド棒３，３，・
・は、底板２上でのウェーハＷの横滑りを防止する機能
と、ウェーハＷを底板２上に乗せる際のガイドとしての
機能を有している。このガイド棒３，３，・・の下部に
はおねじ部（図示せず）が設けられている。このガイド
棒３，３，・・は、そのおねじ部によって、底板２の中
心から各隅に向けて３つずつ形成されたねじ穴２０ａ，
２０ｂ，２０ｃに螺合できるようになっている。どのね
じ穴に螺合させるかは、取り扱うウェーハＷの口径によ
る。なお、各ガイド棒３におねじ部を設けずに、各ガイ
ド棒３を底板２に設けた穴へ差し込むような構造として
も良い。
【００１７】各ハンドル４は、一対の縦材４０，４０
と、この一対の縦材４０，４０の上部に掛け渡された横
材４１とから構成されている。各横材４１の内側には台
形状の切欠部４１ａが形成されている。この切欠部４１
ａの存在によって、ウェーハＷを底板２上に乗せる場合
のウェーハＷと各横材４１との干渉が防止される。
と、この一対の縦材４０，４０の上部に掛け渡された横
材４１とから構成されている。各横材４１の内側には台
形状の切欠部４１ａが形成されている。この切欠部４１
ａの存在によって、ウェーハＷを底板２上に乗せる場合
のウェーハＷと各横材４１との干渉が防止される。
【００１８】なお、ハンドル４，４およびガイド棒３，
３，・・の高さ寸法は、特に制限はされないが、５００
枚程度のウェーハＷを積層状態に支持できるような高さ
寸法を持っている。
３，・・の高さ寸法は、特に制限はされないが、５００
枚程度のウェーハＷを積層状態に支持できるような高さ
寸法を持っている。
【００１９】次に、このキャリア１を用いてのスライス
用カーボンの剥離方法について説明する。
用カーボンの剥離方法について説明する。
【００２０】まず、キャリア１の底板２上にウェーハＷ
を積層状態にして乗せる。この場合の「積層状態」とは
２つの状態を意味する。１つは、インゴットのスライス
によってスライス用カーボンＣまで完全に切断され、個
々に分離されたウェーハＷを重畳的に積み上げた状態で
あり、他の１つは、スライス用カーボンＣが不完全にし
か切断されずにスライス用カーボンＣによって繋がって
いるウェーハＷの塊を縦置きした状態である。
を積層状態にして乗せる。この場合の「積層状態」とは
２つの状態を意味する。１つは、インゴットのスライス
によってスライス用カーボンＣまで完全に切断され、個
々に分離されたウェーハＷを重畳的に積み上げた状態で
あり、他の１つは、スライス用カーボンＣが不完全にし
か切断されずにスライス用カーボンＣによって繋がって
いるウェーハＷの塊を縦置きした状態である。
【００２１】次いで、ハンドル４，４を利用してキャリ
ア１を吊り上げて剥離場所まで搬送し、キャリア１ごと
薬液等に浸してスライス用カーボンを剥離する。その
後、薬液等からキャリア１を出し、底板２上に支持され
たウェーハＷを上から順番に取り出し、薬液等を洗い落
とす。次いで、ウェーハＷを乾燥した後に、所定のキャ
リアに収納する。
ア１を吊り上げて剥離場所まで搬送し、キャリア１ごと
薬液等に浸してスライス用カーボンを剥離する。その
後、薬液等からキャリア１を出し、底板２上に支持され
たウェーハＷを上から順番に取り出し、薬液等を洗い落
とす。次いで、ウェーハＷを乾燥した後に、所定のキャ
リアに収納する。
【００２２】この工程を実施するための装置が図３に示
されている。次に、この装置の概略を説明する。
されている。次に、この装置の概略を説明する。
【００２３】この装置は、大別して、剥離装置６と、枚
葉ローダ７と、洗浄装置８と、乾燥装置９と、アンロー
ダ１０とを備えている。
葉ローダ７と、洗浄装置８と、乾燥装置９と、アンロー
ダ１０とを備えている。
【００２４】剥離装置６には剥離槽６０が設置されてい
る。この剥離槽６０には、例えば、図４に示すように、
薬液、純水あるいは上水などが入れられている。また、
この剥離槽６０内の下方には、エアーポンプ（図示せ
ず）に連結されたノズル６１が設置され、このノズル６
１の先端からは圧縮エアーが吹き出されるようになって
いる。この圧縮エアーの供給によって、スライス用カー
ボンＣに衝撃を与え、ウェーハＷからスライス用カーボ
ンを剥離する。なお、この剥離槽６０へのキャリア１の
搬送、および剥離槽６０からのキャリア１の取出しは、
ハンドル４，４を下側に挿入可能で、かつ、そのハンド
ル４，４を掬い上げることが可能なフォークを持つ搬送
装置（図示せず）によって行われる。
る。この剥離槽６０には、例えば、図４に示すように、
薬液、純水あるいは上水などが入れられている。また、
この剥離槽６０内の下方には、エアーポンプ（図示せ
ず）に連結されたノズル６１が設置され、このノズル６
１の先端からは圧縮エアーが吹き出されるようになって
いる。この圧縮エアーの供給によって、スライス用カー
ボンＣに衝撃を与え、ウェーハＷからスライス用カーボ
ンを剥離する。なお、この剥離槽６０へのキャリア１の
搬送、および剥離槽６０からのキャリア１の取出しは、
ハンドル４，４を下側に挿入可能で、かつ、そのハンド
ル４，４を掬い上げることが可能なフォークを持つ搬送
装置（図示せず）によって行われる。
【００２５】枚葉ローダ７は、ウェーハ吸着盤７０を持
つウェーハ吸着装置と、キャリア１の長孔５の下側から
挿入される取出し冶具７１ａを持つ昇降装置７１（図３
および図６）とを備えている。このうち昇降装置７１
は、ウェーハＷをその厚み分だけ順次に押し上げる機能
を持つ。一方、ウェーハ吸着装置は、昇降装置７１によ
って押し上げられたウェーハＷのうち１番上側のウェー
ハＷを吸着して次段の洗浄装置８に運ぶ働きをする。
つウェーハ吸着装置と、キャリア１の長孔５の下側から
挿入される取出し冶具７１ａを持つ昇降装置７１（図３
および図６）とを備えている。このうち昇降装置７１
は、ウェーハＷをその厚み分だけ順次に押し上げる機能
を持つ。一方、ウェーハ吸着装置は、昇降装置７１によ
って押し上げられたウェーハＷのうち１番上側のウェー
ハＷを吸着して次段の洗浄装置８に運ぶ働きをする。
【００２６】洗浄装置８は、ウェーハＷを搬送する搬送
ローラ８０，８０，・・と、ウェーハＷの上下面を洗浄
するための回転ブラシ８１，８１と、洗浄液を供給する
洗浄液供給装置（図示せず）とを備えている。このうち
回転ブラシ８１，８１は互いに同じ方向に回転するよう
に構成され、ウェーハＷの前後端部までしっかりと洗浄
できるようになっている。
ローラ８０，８０，・・と、ウェーハＷの上下面を洗浄
するための回転ブラシ８１，８１と、洗浄液を供給する
洗浄液供給装置（図示せず）とを備えている。このうち
回転ブラシ８１，８１は互いに同じ方向に回転するよう
に構成され、ウェーハＷの前後端部までしっかりと洗浄
できるようになっている。
【００２７】乾燥装置９は、ウェーハＷを搬送する搬送
ローラ９０，９０，・・と、このウェーハＷの上下面に
乾燥エアーを吹き付けるエアー供給装置９１，９１とを
備えており、搬送ローラ９０，９０，・・・によって搬
送されてくるウェーハＷの上下面に乾燥エアーを吹き付
けて乾燥させるように構成されている。
ローラ９０，９０，・・と、このウェーハＷの上下面に
乾燥エアーを吹き付けるエアー供給装置９１，９１とを
備えており、搬送ローラ９０，９０，・・・によって搬
送されてくるウェーハＷの上下面に乾燥エアーを吹き付
けて乾燥させるように構成されている。
【００２８】アンローダ１０は、ウェーハ吸着盤１００
を持つウェーハ吸着装置を備えており、乾燥後のウェー
ハＷを吸着して所定のキャリアに収納するようになって
いる。
を持つウェーハ吸着装置を備えており、乾燥後のウェー
ハＷを吸着して所定のキャリアに収納するようになって
いる。
【００２９】このような実施例によれば、ウェーハＷを
並立状態で支持するバスケットの代わりに、ウェーハＷ
を積層状態で支持するキャリア１を用いて、剥離処理を
行っているので、剥離槽６０の設置面積を増大させるこ
とがない一方で、一度の処理量が増え、スループットの
向上を図ることができる。
並立状態で支持するバスケットの代わりに、ウェーハＷ
を積層状態で支持するキャリア１を用いて、剥離処理を
行っているので、剥離槽６０の設置面積を増大させるこ
とがない一方で、一度の処理量が増え、スループットの
向上を図ることができる。
【００３０】また、ウェーハＷが積層状態にあるため、
剥離したスライス用カーボンＣがウェーハＷの間に入り
込み、ウェーハ面に再付着することが防止される。した
がって、再付着したスライス用カーボンＣを取る工程が
不要となり、該工程に起因する装置の遊びがなくなり、
次工程の洗浄装置８をも含めた装置全体の稼働率が向上
することになる。
剥離したスライス用カーボンＣがウェーハＷの間に入り
込み、ウェーハ面に再付着することが防止される。した
がって、再付着したスライス用カーボンＣを取る工程が
不要となり、該工程に起因する装置の遊びがなくなり、
次工程の洗浄装置８をも含めた装置全体の稼働率が向上
することになる。
【００３１】さらに、エアーバブリングによってスライ
ス用カーボンＣを剥離するようにしているため、スライ
ス用カーボンが確実に剥離されるので、これをわざわざ
確認し、手でその残りのスライス用カーボンを剥離する
必要はなくなる。
ス用カーボンＣを剥離するようにしているため、スライ
ス用カーボンが確実に剥離されるので、これをわざわざ
確認し、手でその残りのスライス用カーボンを剥離する
必要はなくなる。
【００３２】以上、本発明者がなした実施例について説
明したが、本発明は、かかる実施例に限定されず、その
要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能であること
はいうまでもない。
明したが、本発明は、かかる実施例に限定されず、その
要旨を逸脱しない範囲で、種々の変形が可能であること
はいうまでもない。
【００３３】例えば、前記実施例では、温調された薬液
を剥離液として使用し、エアーバブリングを行うように
してスライス用カーボンＣを剥離したが、薬液の代わり
に、温水を用いても良いし、また、エアーバブリングに
代えて、あるいはそれと併用して図５に示す超音波振動
子を用いても良い。
を剥離液として使用し、エアーバブリングを行うように
してスライス用カーボンＣを剥離したが、薬液の代わり
に、温水を用いても良いし、また、エアーバブリングに
代えて、あるいはそれと併用して図５に示す超音波振動
子を用いても良い。
【００３４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、スライ
ス用カーボンに接着されたウェーハからスライス用カー
ボンを剥離するにあたり、当該ウェーハを積層状態に支
持して前記スライス用カーボンを前記ウェーハから剥離
するようにしたので、剥離処理のスループットの向上
と、装置の稼働率向上と、剥離槽の設置面積の削減とを
図れ、しかも、自動化に適し、また、スライス用カーボ
ンの再付着を防止することができる。
ス用カーボンに接着されたウェーハからスライス用カー
ボンを剥離するにあたり、当該ウェーハを積層状態に支
持して前記スライス用カーボンを前記ウェーハから剥離
するようにしたので、剥離処理のスループットの向上
と、装置の稼働率向上と、剥離槽の設置面積の削減とを
図れ、しかも、自動化に適し、また、スライス用カーボ
ンの再付着を防止することができる。
【図１】実施例のキャリアの斜視図である。
【図２】実施例のキャリアの一部を切り欠いた図であ
る。
る。
【図３】実施例の剥離処理を行うシステム装置の概略構
成図である。
成図である。
【図４】実施例の剥離装置の概略構成図である。
【図５】実施例の他の剥離装置の概略構成図である。
【図６】実施例の枚葉ローダの一部の概略構成図であ
る。
る。
【図７】従来の剥離方法を説明するための図である。
１ キャリア ２ 底板 ３ ガイド棒 ４ ハンドル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三浦 仲寿 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社 白河工 場内 (56)参考文献 実開 昭55−62042（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/304,21/68
Claims (2)
- 【請求項１】 スライス用カーボンに接着されたウェー
ハからスライス用カーボンを剥離するにあたり、当該ウ
ェーハを積層状態に支持して前記スライス用カーボンを
前記ウェーハから剥離するようにしたことを特徴とする
スライス用カーボンの剥離方法。 - 【請求項２】 ウェーハからスライス用カーボンを薬液
中で剥離する際に使用されるウェーハ取扱い治具であっ
て、ウェーハを積層状態に支持することができる底板
と、この底板に立設された複数本のガイド棒と、前記底
板に付設されたハンドルとから構成され、前記底板に
は、前記ウェーハを押し上げるための長孔が設けられ、
さらに、前記複数本のガイド棒は、前記底板上に支持さ
れるウェーハにほぼ外接する位置に設けられていること
を特徴とするウェーハ取扱い治具。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28924294A JP3031183B2 (ja) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | ウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法およびウェーハ取扱い冶具 |
| US08/547,107 US6074442A (en) | 1994-10-28 | 1995-10-23 | Method of separating slice base mounting member from wafer and jig adapted therefor |
| DE69526772T DE69526772T2 (de) | 1994-10-28 | 1995-10-24 | Entfernen einer Handhabe für das Scheibenabtrennen und Halteeinrichtung dafür |
| EP95307520A EP0709876B1 (en) | 1994-10-28 | 1995-10-24 | Method of separating a slice base mount and jig for it |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28924294A JP3031183B2 (ja) | 1994-10-28 | 1994-10-28 | ウェーハからのスライス用カーボンの剥離方法およびウェーハ取扱い冶具 |
Publications (2)
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