KR101094387B1 - 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법 - Google Patents

기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법 Download PDF

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Abstract

기판 처리 장치는 수납부재, 이송 부재 및 제어부를 구비한다. 이송부재는 수납부재에 기판을 적재 또는 픽업하는 다수의 이송암을 구비한다. 제어부는 이송암들의 속도를 조절하여 동시 구동되는 이송암들이 목표 지점에 동시에 도달하도록 제어한다. 이에 따라, 이송 부재는 다수의 기판을 수납부재에 한번에 적재 또는 인출할 수 있으므로, 기판 처리 장치는 이송 시간을 단축시키며, 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD FOR TRANSFERRING SUBSTRATE OF THE SAME}
본 발명은 반도체 기판을 제조하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 기판을 처리하는 기판 처리장치 및 이의 기판 이송 방법에 관한 것이다.
일반적으로 기판 제조공정에서는 절연막 및 금속물질의 증착(Deposition), 식각(Etching), 감광제(Photo Resist)의 도포(Coating), 현상(Develop), 애셔(Asher) 제거 등이 수회 반복되어 미세한 패터닝(Patterning)의 배열을 만들어 나가게 되는데, 이러한 공정의 진행에 따라 기판 내에는 식각이나 애셔의 제거공정으로 완전제거가 되지 않은 이물질이 남게 된다. 이러한 이물질의 제거를 위한 공정으로는 순수(Deionized Water) 또는 약액(Chemical)을 이용한 세정공정(Wet Cleaning)이 있다.
기판 세정장치는 배치식 세정장치(Batch Processor)와 매엽식 세정장치(Single Processor)로 구분된다. 배치식 세정장치는 한번에 25매 또는 50매를 처리할 수 있는 크기의 약액조(Chemical Bath), 린스조(Rinse Bath), 건조조(Dry Bath) 등을 구비한다. 배치식 세정장치는 기판들을 각각의 조(Bath)에 일정 시간 동안 담가 이물을 제거한다. 이러한 배치식 세정장치는 기판의 상부 및 하부가 동시에 세정되고 동시에 대용량을 처리할 수 있는 이점이 있다. 그러나, 기판의 대구경화가 진행될수록 조의 크기가 커져 장치의 크기 및 약액의 사용량이 많아질 뿐만 아니라, 동시에 약액조 내에서 세정이 진행중인 기판에서는 인접한 기판로부터 떨어져 나온 이물이 재부착되는 문제가 있다.
최근에는 기판 직경의 대형화로 인해 매엽식 세정장치가 많이 사용된다. 매엽식 세정장치는 한 장의 기판을 처리할 수 있는 작은 크기의 챔버(Chamber)에서 기판을 기판 척(Chuck)으로 고정시킨 후 모터(Motor)에 의해 기판을 회전시키면서, 기판 상부에서 노즐(Nozzle)을 통해 약액 또는 순수를 기판에 제공한다. 기판의 회전력에 의해 약액 또는 순수 등이 기판 상부로 퍼지며, 이에 따라, 기판에 부착된 이물이 제거된다. 이러한 매엽식 세정장치는 배치식 세정장치에 비해 장치의 크기가 작고 균질의 세정효과를 갖는 것이 장점이다.
일반적으로 매엽식 세정장치는 일측으로부터 로딩/언로딩부, 인덱스 로봇, 버퍼부, 공정챔버들, 및 메인 이송 로봇을 포함하는 구조로 이루어진다. 인덱스 로봇은 버퍼부와 로딩/언로딩부 간의 기판을 이송하며, 메인 이송 로봇은 버퍼부와 공정챔버들 간의 기판을 이송한다. 버퍼부에는 세정전의 기판이 공정챔버에 투입되기 위해 대기하거나, 세정이 완료된 기판이 로딩/언로딩부로 이송되기 위해 대기한다.
인덱스 로봇 및 메인 이송 로봇과 같은 이송용 로봇들은 기판 1매를 각각 적재하는 다수의 암들을 구비하며, 각 암은 수평 이동하여 풉이나 버퍼부와 같은 수 납 장치로부터 기판을 인출하거나 적재한다.
도 1은 종래의 이송용 로봇의 암의 이동 속도 변화를 나타낸 그래프이고, 도 2는 종래의 이송 로봇의 두 개의 암이 동시에 이동할 때의 속도 변화를 나타낸 그래프이다.
도 1을 참조하여 각 암의 수평 이동 속도를 살펴보면, 수평 이동을 개시한 시점(ST)부터 최대 속도(UV)에 도달하는 제1 시점(T1)까지 속도가 증가하고, 상기 제1 시점(T1)부터 점차 속도가 감소되는 제2 시점(T2)까지 최대 속도를 유지한다. 즉, 제1 시점(T1)부터 제2 시점(T2)까지 최대 속도(UV)로 등속 운동한다. 이송용 로봇의 암은 제2 시점(T2)부터 수평 이동을 종료한 시점(ET), 즉, 수납 장치 안에서 멈춘 시점(ET)까지 점차 감속한다.
이와 같이, 이송용 로봇의 암의 수평 이동 프로파일은, 점차 속도가 증가하는 가속 구간과 균일한 속도로 이동하는 등속 구간 및 점차 속도가 감소하는 감속 구간 순으로 나타난다.
이러한 이송용 로봇의 암들은 각각 별개로 구동되기 때문에, 각각 별도의 수평 구동축을 갖으며, 이송용 로봇 암들 간에 조립 공차가 발생한다. 이로 인해, 두 개 이상의 암을 함께 구동시 각 암의 이동 속도가 다르므로, 각 암이 목표 지점에 도달하는 시점이 다르다.
도 2에 도시된 바와 같이, 두 개의 암을 함께 수평 이동시킬 경우, 두 개의 암이 수평 이동을 개시하는 시점(ST) 및 최대 속도(UV)에 도달하는 시점(T1)은 각각 동일하게 나타난다. 그러나, 두 개의 암 중 제1 암이 감속하는 시점(T2)과 제2 암이 감속하는 시점(T3)이 서로 다르므로, 제1 암과 제2 암이 목표 지점에 도달하는 시점이 다르다.
이와 같이, 이송용 로봇의 암들을 동시에 구동시, 목표 지점에 도달하는 시점이 다르므로, 수납 장치로부터 다수의 기판을 동시에 인출하기가 어렵다.
본 발명의 목적은 기판의 로딩 및 언로딩의 효율을 향상시킬 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 상기한 기판 처리 장치에서 기판을 이송하는 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 기판 처리장치는, 수납부재, 이송 부재 및 제어부로 이루어질 수 있다.
수납 부재는 다수의 기판을 수직 방향으로 배치시켜 수납한다. 이송 부재는 상기 수직 방향으로 서로 마주하게 배치되어 각각 기판이 적재되는 다수의 이송암 및 각 이송암을 수평 방향으로 이동시키는 암 구동부를 구비하고, 상기 수납 부재로부터 하나 또는 두 개 이상의 기판을 인출 및 적재한다. 제어부는 상기 이송 부재의 이동 속도를 제어하고, 동시 구동을 요하는 이송암들이 동시에 상기 수납 부재 내의 목표 지점에 도달하도록 해당 이송암들이 각각 목표 지점에 도달하는 데 소요되는 예상 시간에 근거하여 해당 이송암들의 수평 이동 속도를 조절한다.
또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 기판 처리장치는, 수납용기, 버퍼부, 인덱스 로봇 및 제1 제어부로 이루어질 수 있다.
수납용기는 처리 대기중인 기판들 또는 처리 완료된 기판들을 수직 방향으로 이격시켜 수납한다. 버퍼부는 상기 처리 대기중인 기판들과 상기 처리 완료된 기판 들을 수직 방향으로 이격시켜 수납한다. 인덱스 로봇은 상기 수직 방향으로 서로 마주하게 배치되어 각각 기판이 적재되는 다수의 인덱스 암 및 각 인덱스 암을 수평 방향으로 이동시키는 암 구동부를 구비하고, 상기 수납용기와 상기 버퍼부간의 기판을 이송하며, 상기 수납용기 또는 상기 버퍼부로부터 하나 또는 다수의 기판을 인출 및 적재한다. 제1 제어부는 상기 인덱스 로봇의 이동 속도 및 위치를 제어하고, 동시 구동을 요하는 인덱스 암들이 동시에 상기 수납 부재 내의 목표 지점에 도달하도록 해당 인덱스 암들이 각각 목표 지점에 도달하는 데 소요되는 예상 시간에 근거하여 해당 인덱스 암들의 수평 이동 속도를 조절한다.
또한, 기판 처리 장치는 공정 챔버, 메인 이송 로봇 및 제2 제어부를 더 포함할 수 있다. 공정 챔버는 기판의 처리가 이루어진다. 메인 이송 로봇은 상기 수직 방향으로 서로 마주하게 배치되어 각각 기판이 적재되는 다수의 픽업 핸드 및 각 픽업 핸드를 수평 방향으로 이동시키는 핸드 구동부를 구비하고, 상기 공정 챔버와 상기 버퍼부간의 기판을 이송하며, 상기 버퍼부로부터 하나 또는 다수의 기판을 인출 및 적재한다. 제2 제어부는 상기 메인 이송 로봇의 이동 속도 및 위치를 제어하고, 각 픽업 핸드의 이동 속도를 제어하여 두 개 이상의 픽업 핸드가 동시에 상기 버퍼부 내의 서로 다른 목표 지점에 도달하도록 상기 핸드 구동부를 제어하는 제2 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
또한, 상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 기판 이송 방법은 다음과 같다. 먼저, 기판을 이송하는 이송 부재의 이송암들 각각에 대한 최대 속도와 감속도 및 가속도를 포함하는 이동 속도 정보를 생성한다. 각 이송암 에 대응하는 목표 지점의 위치 값과 상기 이동 속도 정보에 근거하여 각 이송암이 해당 목표 지점에 도달하는 데 소요되는 예상 시간을 산출한다. 상기 이송암들이 동일한 소요시간을 갖도록, 산출된 예상 소요시간들과 상기 이동 속도 정보에 근거하여 상기 각 이송암의 속도를 재설정한다. 상기 이송암들을 동시에 재설정된 속도로 수평 이동시켜 수납 부재로부터 다수의 기판을 동시에 인출 또는 적재한다.
상기 각 이송암의 속도를 재설정하는 과정은 다음과 같다. 먼저, 상기 산출된 예상 소요시간들을 비교하여 가장 긴 소요 시간을 최대 소요시간으로 설정한다. 상기 최대 소요시간보다 작은 예상 소요시간을 갖는 이송암의 속도를 재설정하여 상기 이송암들이 동일한 소요시간을 갖도록 조절한다.
상술한 본 발명에 따르면, 기판 처리 장치는 이송암들의 속도를 조절하는 제어부를 구비하여 동시 구동되는 이송암들이 목표지점에 동시에 도달하게 제어한다. 이에 따라, 이송 부재는 다수의 기판을 수납부재에 한번에 적재 또는 인출할 수 있으므로, 기판 처리 장치는 이송 시간을 단축시키며, 생산성을 향상시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다. 한편, 이하에서는 웨이퍼를 기판의 일례로 설명하나, 본 발명의 기술적 사상과 범위는 이에 한정되지 않는다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 4는 도 3에 도시된 인덱스 로봇을 나타낸 사시도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 발명의 기판 처리 시스템(1000)은 로딩/언로딩부(110), 인덱스 로봇(Index Robot)(200), 버퍼부(300), 메인 이송 로봇(Main Transfer Robot)(500), 다수의 공정 챔버(600), 제1 및 제2 제어부(710, 720)를 포함할 수 있다.
상기 로딩/언로딩부(110)는 다수의 로드 포트(110a, 110b, 110c, 110d)를 포한다. 이 실시예에 있어서, 상기 로딩/언로딩부(110)는 네 개의 로드 포트(110a, 110b, 110c, 110d)를 구비하나, 상기 로드 포트(110a, 110b, 110c, 110d)의 개수는 상기 기판 처리 시스템(1000)의 공정 효율 및 풋 프린트(Foot print) 조건에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다.
상기 로드 포트들(110a, 110b, 110c, 110d)에는 웨이퍼들이 수납되는 풉들(Front Open Unified Pods: FOUPs)(120a, 120b, 120c, 120d)이 안착된다. 각 풉(120a, 120b, 120c, 120d)은 웨이퍼들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯이 형성된다. 상기 풉(120a, 120b, 120c, 120d)에는 공정 챔버(600) 안에 투입되어 처리가 완료된 웨이퍼들 또는 상기 공정 챔버(600)로 투입되어 처리될 웨이퍼들을 수납한다. 이하, 설명의 편의를 위해, 상기 기판 처리 시스템(1000)에 의해 처리가 완료된 웨이퍼를 가공 웨이퍼라 하고, 아직 처리되지 않은 웨이퍼를 원시 웨이퍼라 한다.
상기 로딩/언로딩부(110)와 상기 버퍼부(300) 사이에는 상기 인덱스 로봇(200)이 설치되고, 상기 인덱스 로봇(200)의 아래에는 제1 이송 레일(20)이 설치 된다. 상기 인덱스 로봇(200)은 상기 제1 이송 레일(20)을 따라 이동하며 웨이퍼들을 이송한다. 상기 인덱스 로봇(200)은 암 구동부(210), 다수의 인덱스 암(220), 다수의 연결부(230), 회전부(240), 수직 이동부(250), 및 수평 이동부(260)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 암 구동부(210)는 상기 인덱스 암들(220)을 각각 수평 이동시키며, 각 인덱스 암(221, 222, 223, 224)은 상기 암 구동부(210)에 의해 개별 구동된다.
상기 암 구동부(210)의 상부에는 상기 인덱스 암들(220)이 설치된다. 상기 인덱스 암들(220)은 수직 방향으로 서로 마주하게 배치되고, 각각 1매의 웨이퍼를 적재할 수 있다. 이 실시예에 있어서, 상기 인덱스 로봇(200)은 4개의 인덱스 암(221, 222, 223, 224)를 구비하나, 상기 인덱스 암(221, 222, 223, 224)의 개수는 상기 기판 처리 시스템(1000)의 공정 효율에 따라 증가할 수도 있다.
상기 인덱스 암들(220)은 원시 웨이퍼를 이송하는 투입용 인덱스 암들(221, 222)과 가공 웨이퍼를 이송하는 배출용 인덱스 암들(223, 224)로 구분하여 운용될 수 있으며, 이러한 경우, 투입용 인덱스 암들(221, 222)과 배출용 인덱스 암들(223, 224)은 서로 혼재되어 위치하지 않는다. 본 발명의 일례로, 상기 배출용 인덱스 암들(223, 224)이 상기 투입용 인덱스 암들(221, 222)의 상부에 위치한다. 이에 따라, 상기 인덱스 로봇(200)은 원시 웨이퍼와 가공 웨이퍼를 이송하는 과정에서 원시 웨이퍼로 인해 가공 웨이퍼가 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
상기 투입용 인덱스 암들(221, 222)은 상기 로딩/언로딩부(110)에 안착되어 공정 대기중인 어느 하나의 풉으로부터 원시 웨이퍼를 인출한 후 상기 버퍼부(300)에 적재한다. 상기 인덱스 로봇(200)은 공정 대기중인 풉으로부터 한번에 하나 또는 다수의 원시 웨이퍼를 인출할 수 있다. 즉, 상기 투입용 인덱스 암들(221, 222)이 동시에 상기 공정 대기중인 풉에 인입한 후, 원시 웨이퍼들을 동시에 인출할 수 있다. 이로써, 상기 공정 대기중인 풉으로부터 2매의 원시 웨이퍼들이 동시에 인출된다.
또한, 상기 인덱스 로봇(200)은 한번에 하나 또는 다수의 원시 웨이퍼를 상기 버퍼부(300)에 적재할 수 있다. 즉, 상기 투입용 인덱스 암들(221, 222)은 동시에 상기 버퍼부(300)에 인입한 후, 상면에 안착된 원시 웨이퍼를 동시에 상기 버퍼부(300)에 적재한다. 이로써, 2매의 원시 웨이퍼들이 상기 버퍼부(300)에 동시에 적재된다.
본 발명의 일례로, 상기 인덱스 로봇(200)이 상기 공정 대기중인 풉으로부터 한번에 인출할 수 있는 웨이퍼들의 최대 개수와 한번에 상기 버퍼부(300)에 적재할 수 있는 웨이퍼들의 최대 개수는 상기 투입용 인덱스 암들(221, 222)의 개수와 동일하다.
한편, 상기 배출용 인덱스 암들(223, 224)은 상기 버퍼부(300)로부터 가공 웨이퍼를 인출한 후 상기 버퍼부(300)에 적재한다. 상기 인덱스 로봇(200)은 상기 버퍼부(300)로부터 한번에 하나 또는 다수의 가공 웨이퍼를 인출할 수 있다. 즉, 상기 배출용 인덱스 암들(223, 224)이 동시에 상기 버퍼부(300)에 인입한 후, 가공 웨이퍼들을 동시에 인출할 수 있다. 이로써, 상기 버퍼부(300)로부터 2매의 가공 웨이퍼들이 동시에 인출된다.
또한, 상기 인덱스 로봇(200)은 한번에 하나 또는 다수의 가공 웨이퍼를 상기 공정 대기중인 풉에 다시 적재할 수 있다. 즉, 상기 배출용 인덱스 암들(223, 224)은 동시에 상기 공정 대기중인 풉에 인입한 후, 상면에 안착된 가공 웨이퍼를 동시에 적재한다. 이로써, 2매의 가공 웨이퍼들이 상기 공정 대기중인 풉에 동시에 적재된다.
본 발명의 일례로, 상기 인덱스 로봇(200)이 상기 버퍼부(300)로부터 한번에 인출할 수 있는 웨이퍼들의 최대 개수와 풉에 한번에 적재할 수 있는 웨이퍼들의 최대 개수는 상기 배출용 인덱스 암들(223, 224)의 개수와 동일하다.
이와 같이, 상기 인덱스 로봇(200)은 풉(120a, 120b, 120c, 120d)과 상기 버퍼부(300)로부터 한번에 다수의 웨이퍼를 인출 및 적재할 수 있으므로, 웨이퍼 이송에 소요되는 시간을 단축시키고, 생산성을 향상시킬 수 있다.
상기 인덱스 암들(220)은 상기 다수의 연결부(230)와 연결된다. 상기 다수의 연결부(230)는 상기 암 구동부(210)에 결합되어 상기 암 구동부(210)의 구동에 따라 연결된 인덱스 암을 수평 이동시킨다.
상기 암 구동부(210)의 아래에는 상기 회전부(240)가 설치된다. 상기 회전부(240)는 상기 암 구동부(210)와 결합하고, 회전하여 상기 암 구동부(210)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 인덱스 암들(220)이 함께 회전한다.
상기 회전부(240)의 아래에는 상기 수직 이동부(250)가 설치되고, 상기 수직 이동부(250)의 아래에는 수평 이동부(260)가 설치된다. 상기 수직 이동부(250)는 상기 회전부(240)와 결합하여 상기 회전부(240)를 승강 및 하강시키고, 이에 따라, 상기 암 구동부(210) 및 상기 인덱스 암들(220)의 수직 위치가 조절된다. 상기 수평 이동부(260)는 상기 제1 이송 레일(20)에 결합되어 상기 제1 이송 레일(20)을 따라 수평 이동한다. 이에 따라, 상기 인덱스 로봇(200)이 상기 로드 포트들(110a, 110b, 110c, 110d)의 배치 방향을 따라 이동할 수 있다.
한편, 상기 버퍼부(300)는 상기 인덱스 로봇(200)이 설치된 영역과 상기 다수의 공정 챔버(600) 및 상기 메인 이송 로봇(500)이 설치된 영역 사이에 위치한다. 상기 버퍼부(300)는 상기 인덱스 로봇(200)에 의해 이송된 원시 웨이퍼들을 수납하고, 상기 공정 챔버들(600)에서 처리된 가공 웨이퍼들을 수납한다.
도 5는 도 1에 도시된 버퍼부를 나타낸 사시도이다.
도 3 및 도 5를 참조하면, 상기 버퍼부(300)는 본체(310)와 제1 및 제2 지지부(320, 330)로 이루어진다.
구체적으로, 상기 본체(310)는 바닥면(311), 상기 바닥면(311)으로부터 수직하게 연장된 제1 및 제2 측벽(312, 313), 및 상기 제1 및 제2 측벽(312, 313)의 상단에 결합된 상면(314)을 포함할 수 있다.
상기 본체(310)는 웨이퍼의 출입을 위해 상기 인덱스 로봇(200)과 마주하는 전방 측벽 및 상기 메인 이송 로봇(500)과 마주하는 후방 측벽이 개방된다. 이에 따라, 상기 인덱스 로봇(200)과 상기 메인 이송 로봇(500)은 상기 버퍼부(300)로부터 웨이퍼를 인입 및 인출하기가 용이하다.
상기 제1 및 제2 측벽(312, 313)은 서로 마주하게 배치되며, 상기 상면(314)은 일부분 제거되어 개구부(314a)가 형성된다.
상기 본체(310) 내부에는 상기 제1 및 제2 지지부(320, 330)가 형성된다. 상기 제1 지지부(320)는 상기 제1 측벽(312)에 결합되고, 상기 제2 지지부(330)는 제2 측벽(313)에 결합된다. 상기 제1 및 제2 지지부(320, 330)는 각각 다수의 지지대를 포함한다. 상기 제1 지지부(320)의 지지대들은 상기 제2 지지부(330)의 지지대들과 서로 일대일 대응하며, 웨이퍼는 서로 대응하는 상기 제1 지지부(320)의 지지대와 상기 제2 지지부(330)의 지지대에 의해 단부가 지지되어 상기 버퍼부(300)에 수납된다. 이때, 상기 웨이퍼는 상기 바닥면(311)과 마주하게 배치된다.
상기 제1 및 제2 지지부(320, 330)의 지지대들은 수직 방향으로 서로 이격되어 위치한다. 상기 지지대들은 상기 투입용 인덱스 암들(221, 222)(도 4 참조)과 상기 반출용 인덱스 암들(223, 224)(도 4 참조)의 각 개수와 동일한 개수 단위로 제1 간격으로 이격되어 위치하고, 상기 투입용 인덱스 암들(221, 222)과 상기 반출용 인덱스 암들(223, 224)도 각각 상기 제1 간격으로 이격되어 위치한다. 이에 따라, 상기 인덱스 로봇(200)이 상기 버퍼부(300)로부터 한번에 다수의 웨이퍼를 인출 및 적재할 수 있다. 여기서, 상기 제1 간격은 상기 풉(120a, 120b, 120c, 120d)의 슬롯 간격과 동일하다.
상기 제1 및 제2 지지부(320, 330)의 각 지지대에는 웨이퍼의 위치를 가이드하는 가이드부(31)가 형성될 수 있다. 상기 가이드부(31)는 상기 지지대의 상면으로부터 돌출되어 형성되며, 웨이퍼의 측면을 지지한다.
상술한 바와 같이, 상기 버퍼부(300)는 연속하여 위치하는 소정 단위 개수의 지지대들이 동시에 픽업 또는 적재할 수 있는 인덱스 암들 간의 간격과 동일한 간격으로 위치한다. 이에 따라, 상기 인덱스 로봇(200)이 상기 버퍼부(300)로부터 한번에 다수의 웨이퍼를 인출 및 적재할 수 있으므로, 작업 효율이 향상되고, 공정 시간이 단축되며, 생산성이 향상된다.
상기 버퍼부(300)에 수납된 원시 웨이퍼들은 상기 메인 이송 로봇(500)에 의해 각 공정 챔버로 이송된다. 상기 메인 이송 로봇(500)은 이송 통로(400)에 설치되고, 상기 이송 통로(400)에 설치된 제2 이송 레일(30)을 따라 이동한다. 상기 이송 통로(400)는 상기 다수의 공정 챔버(600)와 연결된다.
상기 메인 이송 로봇(500)은 상기 버퍼부(300)로부터 원시 웨이퍼를 픽업한 후, 상기 제2 이송 레일(30)를 따라 이동하면서 해당 공정 챔버에 원시 웨이퍼를 제공한다. 또한, 상기 메인 이송 로봇(500)은 다수의 공정 챔버(600)에서 처리된 가공 웨이퍼를 상기 버퍼부(300)에 적재한다.
도 6은 도 3에 도시된 메인 이송 로봇을 나타낸 사시도이다.
도 3 및 도 6을 참조하면, 상기 메인 이송 로봇(500)은 핸드 구동부(510), 다수의 픽업 핸드(520), 다수의 연결부(530), 회전부(540), 수직 이동부(550) 및 수평 이동부(560)를 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 핸드 구동부(510)는 상기 픽업 핸드들(520)을 각각 수평 이동시키며, 각 픽업 핸드(521, 522, 523, 524)는 상기 핸드 구동부(510)에 의해 개별 구동된다.
상기 핸드 구동부(510)의 상부에는 상기 픽업 핸드들(520)이 설치된다. 상기 픽업 핸드들(520)은 수직 방향으로 서로 마주하게 배치되고, 각각 1매의 웨이퍼를 적재할 수 있다. 이 실시예에 있어서, 상기 메인 이송 로봇(500)은 4개의 픽업 핸드(521, 522, 523, 524)를 구비하나, 상기 픽업 핸드(521, 522, 523, 524)의 개수는 상기 기판 처리 시스템(1000)의 공정 효율에 따라 증가할 수도 있다.
상기 픽업 핸드들(520)은 원시 웨이퍼를 이송하는 투입용 픽업 핸드들(521, 522)과 가공 웨이퍼를 이송하는 배출용 픽업 핸드들(523, 524)로 구분하여 운용될 수 있으며, 이러한 경우, 투입용 픽업 핸드들(521, 522)과 배출용 픽업 핸드들(523, 524)은 서로 혼재되어 위치하지 않는다. 본 발명의 일례로, 상기 배출용 픽업 핸드들(523, 524)이 상기 투입용 픽업 핸드들(521, 522)의 상부에 위치한다. 이에 따라, 상기 메인 이송 로봇(500)은 원시 웨이퍼와 가공 웨이퍼를 이송하는 과정에서 원시 웨이퍼로 인해 가공 웨이퍼가 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.
상기 투입용 픽업 핸드들(521, 522)은 각각 상기 버퍼부(300)로부터 상기 가공 웨이퍼를 인출한 후 유휴 상태의 공정 챔버에 제공한다. 상기 투입용 픽업 핸드들(521, 522)은 상기 버퍼부(300)의 단위 개수별 지지대들과 동일한 상기 제1 간격으로 이격된다. 따라서, 상기 투입용 픽업 핸드들(521, 522)은 상기 버퍼부(300)로부터 원시 웨이퍼들을 동시에 인출할 수 있다.
한편, 상기 배출용 픽업 핸드들(523, 524)은 각각 공정 완료된 공정 챔버로부터 가공 웨이퍼를 인출한 후 상기 버퍼부(300)에 적재한다. 상기 배출용 픽업 핸 드들(523, 524)은 상기 제1 간격으로 이격된다. 따라서, 상기 배출용 픽업 핸드들(523, 524)은 공정 챔버들(600)로부터 인출한 가공 웨이퍼들을 상기 버퍼부(300)에 동시에 적재할 수 있다.
이 실시예에 있어서, 상기 가공용 픽업 핸드들(521, 522)과 상기 배출용 픽업 핸드(523, 524)는 각각 두 개의 픽업 핸드로 이루어지나, 상기 가공용 픽업 핸드들(521, 522)과 상기 배출용 픽업 핸드(523, 524)의 개수는 상기 기판 처리 시스템(1000)의 처리 효율에 따라 증가할 수도 있다.
본 발명의 일례로, 상기 버퍼부(300)에서 상기 제1 간격으로 이격되어 연속적으로 배치된 지지대들의 개수와, 상기 인덱스 로봇(200)이 한번에 상기 버퍼부(300)로부터 웨이퍼를 인출 또는 적재할 수 있는 인덱스 암의 최대 개수, 및 상기 메인 이송 로봇(500)이 한번에 상기 버퍼부(300)로부터 웨이퍼를 인출 또는 적재할 수 있는 픽업 핸드의 최대 개수는 서로 동일하다.
이와 같이, 상기 메인 이송 로봇(500)은 필요에 따라 상기 버퍼부(300)로부터 한번에 다수의 원시 웨이퍼를 인출할 수도 있고, 하나의 원시 웨이퍼를 인출할수도 있다. 또한, 상기 메인 이송 로봇(500)은 필요에 따라 한번에 다수의 가공 웨이퍼를 상기 버퍼부(300)에 적재할 수도 있고, 하나의 가공 웨이퍼를 적재할 수도 있다. 이에 따라, 웨이퍼의 이송 시간이 단축되므로, 상기 기판 처리 시스템(1000)은 공정 시간을 단축시키고, 생산성을 향상시킬 수 있다.
상기 픽업 핸드들(520)은 상기 다수의 연결부(530)와 연결된다. 상기 다수의 연결부(530)는 상기 핸드 구동부(510)에 결합되어 상기 핸드 구동부(510)의 구동에 따라 연결된 픽업 핸드를 수평 이동시킨다.
상기 핸드 구동부(510)의 아래에는 상기 회전부(540)가 설치된다. 상기 회전부(540)는 상기 핸드 구동부(510)와 결합하고, 회전하여 상기 핸드 구동부(510)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 픽업 핸드들(520)이 함께 회전한다.
상기 회전부(540)의 아래에는 상기 수직 이동부(550)가 설치되고, 상기 수직 이동부(550)의 아래에는 수평 이동부(560)가 설치된다. 상기 수직 이동부(550)는 상기 회전부(540)와 결합하여 상기 회전부(540)를 승강 및 하강시키고, 이에 따라, 상기 핸드 구동부(510) 및 상기 픽업 핸드들(520)의 수직 위치가 조절된다. 상기 수평 이동부는 상기 제2 이송 레일(30)에 결합되어 상기 제2 이송 레일(30)을 따라 수평이동한다. 이에 따라, 상기 메인 이송 로봇(500)이 상기 버퍼부(300)와 공정 챔버들(600) 간을 이동할 수 있다.
상기 메인 이송 로봇(500)이 설치되는 이송 통로(400)의 양 측에는 상기 원시 웨이퍼를 처리하여 상기 가공 웨이퍼를 생성하는 상기 공정 챔버들(600)이 각각 배치된다. 상기 공정 챔버들(600)에서 이루어지는 처리 공정으로는 상기 원시 웨이퍼를 세정하는 세정 공정 등이 있다. 상기 다수의 공정 챔버(600)는 두 개의 공정 챔버가 상기 이송 통로(400)를 사이에 두고 서로 마주하게 배치되며, 상기 이송 통로(400)의 양측에는 각각 3개의 공정 챔버가 배치된다.
이 실시예에 있어서, 상기 기판 처리 시스템(1000)은 6개의 공정 챔버를 구비하나, 상기 공정 챔버의 개수는 상기 기판 처리 시스템(1000)의 공정 효율 및 풋 프린트 조건에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 또한, 이 실시예에 있어서, 상 기 공정 챔버들(600)은 단층 구조로 배치되나, 12개의 공정 챔버들이 6개씩 복층 구조로 배치될 수도 있다.
다시, 도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 인덱스 로봇(200)은 상기 제1 제어부(710)와 연결되고, 상기 제1 제어부(710)는 상기 인덱스 로봇(200)의 위치 및 각 인덱스 암(221, 222, 223, 224)의 위치를 제어한다.
구체적으로, 상기 제1 제어부(710)는 상기 인덱스 로봇(200)의 수평 이동부(260)를 제어하여 상기 제1 이송 레일(20)에서의 상기 인덱스 로봇(200)의 위치, 즉, 상기 인덱스 로봇(200)의 수평 이동 위치 및 수평 이동 속도를 조절한다. 상기 제1 제어부(710)는 상기 인덱스 로봇(200)의 회전부(240)를 제어하여 상기 인덱스 암들(220)의 회전 위치와 회전 속도를 조절하고, 상기 인덱스 로봇(200)의 수직 이동부(250)를 제어하여 상기 인덱스 암들(220)의 수직 이동 위치 및 수직 속도를 조절한다.
또한, 상기 제1 제어부(710)는 상기 암 구동부(210)를 제어하여 각 인덱스 암(221, 222, 223, 224)의 수평 이동 위치 및 수평 이동 속도를 조절한다. 즉, 상기 인덱스 로봇(200)이 동시에 다수의 인덱스 암을 구동하여 다수의 웨이퍼를 적재 또는 픽업하도록 상기 제1 제어부(710)는 상기 각 인덱스 암(221, 222, 223, 224)의 속도를 제어한다.
구체적으로, 상기 제1 제어부(710)는 상기 인덱스 암들(221, 222, 223, 224) 중 동시에 구동시킬 각 인덱스 암에 대한 이동 속도 정보, 즉, 동시에 구동시킬 각 인덱스 암의 최대 등속도와 최대 감속도 및 최대 가속도 값을 산출한다. 상기 제1 제어부(710)는 이동 속도 정보들을 통해 해당 인덱스 암들이 각각 목표 지점까지 도달하는 데 소요되는 예상 시간을 산출하고, 산출된 예상 소요 시간들의 차이에 근거하여 해당 인덱스 암들 각각의 속도를 조절한다.
즉, 상기 제1 제어부(710)는 상기 산출된 예상 소요 시간들을 비교하여 가장 긴 최대 소요 시간을 선택한다. 상기 제1 제어부(710)는 상기 최대 소요 시간을 갖는 인덱스 암을 제외한 나머지 인덱스 암들이 각각 상기 최대 소요 시간과 동일한 소요시간을 갖도록 속도를 조절한다. 여기서, 상기 제1 제어부(710)는 인덱스 암들의 소요시간을 동일하게 설정하기 위해 최대 소요 시간보다 작은 예상 소요 시간을 갖는 인덱스 암들의 최대 속도를 조절한다. 최대 속도 조절시, 상기 제1 제어부(710)는 예상 소요시간이 가장 긴 인덱스 암의 최대 속도 보다 낮게 조절한다. 상기 인덱스 암들(210)은 수평 이동 시, 기 설정된 최대 속도에 도달하면, 등속으로 이동한다.
이와 같이, 상기 제1 제어부(710)는 인덱스 암들(220)의 속도를 조절하여 상기 인덱스 암들(220)이 목표 지점에 도달하는 데 소요되는 시간을 동일하게 설정한다. 이에 따라, 상기 인덱스 로봇(200)은 다수의 인덱스 암을 동시에 목표 지점에 위치시킬 수 있으므로, 풉(120a, 120b, 120c, 120d) 또는 상기 버퍼부(300)로부터 동시에 두 개의 웨이퍼를 인출 및 적재할 수 있다.
한편, 상기 메인 이송 로봇(500)은 상기 제2 제어부(720)와 연결된다. 상기 제2 제어부(720)는 상기 메인 이송 로봇(500)의 위치 및 각 픽업 핸드(521, 522, 523, 524)(도 6 참조)의 위치를 제어한다. 상기 제2 제어부(720)에 의한 상기 메인 이송 로봇(500)의 위치 제어는 상기 제1 제어부(720)에 의한 상기 인덱스 로봇(200)의 위치 제어와 동일하므로, 상기 제2 제어부(720)에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
이하, 도면을 참조하여 상기 인덱스 로봇(200)의 인덱스 암들(220) 중 두 개 이상의 인덱스 암을 동시에 목표 지점에 도달하게 하는 과정을 구체적으로 설명하며, 상기 인덱스 암들(210) 중 반출용 인덱스 암인 제1 인덱스 암(224)과 제2 인덱스 암(223)을 동시에 구동시킬 경우를 일례로 설명한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인덱스 로봇의 다수의 인덱스 암을 동시에 구동하는 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 3, 도 4 및 도 7을 참조하면, 먼저, 상기 제1 제어부(710)는 동시에 구동시킬 제1 및 제2 인덱스 암들(223, 224) 각각의 이동 속도 정보를 산출한다(단계 S110).
이어, 상기 제1 제어부(710)는 상기 제1 인덱스 암(224)의 목표 지점과 상기 제2 인덱스 암(223)의 목표 지점에 대해 각각 위치 값을 산출한다(단계 S120). 여기서, 상기 제1 및 제2 인덱스 암(223, 224)은 서로 다른 웨이퍼를 인출 또는 적재하므로, 대응하는 목표 지점이 서로 다르다.
이어, 상기 제1 제어부(710)는 상기 제1 인덱스 암(224)과 상기 제2 인덱스 암(223)이 동시에 출발하여 해당 목표 지점에 도착할 때까지의 속도 변화를 시뮬레이션하여 상기 제1 및 제2 인덱스 암(223, 224) 각각의 속도 그래프를 생성한다(단 계 S130). 여기서, 상기 제1 제어부(710)는 상기 단계 S110에서 산출된 이동 속도 정보들에 근거하여서 상기 제1 및 제2 인덱스 암(223, 224)의 속도 그래프들을 생성한다.
이어, 상기 제1 및 제2 인덱스 암(223, 224)의 속도 변화 시뮬레이션을 통해 상기 제1 및 제2 인덱스 암(223, 224)이 대응하는 목표 지점에 도달하는 데 소요되는 예상 시간을 각각 산출한다(단계 S140).
이어, 산출된 제1 및 제2 인덱스 암(223, 224) 각각의 예상 소요시간을 비교하여 가장 긴 소요 시간을 최대 소요 시간으로 설정하고, 상기 최대 소요 시간 보다 작은 예상 소요시간을 갖는 인덱스 암의 속도를 재설정한다(단계 S150).
예컨대, 상기 제1 및 제2 인덱스 암(223, 224) 중 제1 인덱스 암(224)이 상기 제2 인덱스 암(223) 보다 긴 예상 소요시간을 가질 경우, 상기 제1 제어부(710)는 상기 제2 인덱스 암(223)의 속도를 조절하여 상기 제2 인덱스 암(223)이 상기 제1 인덱스 암(224)과 동일한 소요시간을 갖도록 조절한다.
구체적으로, 상기 제1 제어부(710)는 상기 제2 인덱스 암(223)의 최대 속도와 가속도 및 감속도를 재설정하여 상기 제1 및 제2 인덱스 암(223, 224)이 동일한 소요 시간을 갖도록 설정한다. 이때, 상기 제2 인덱스 암(223)의 최대 속도는 상기 제1 인덱스 암(224)의 최대 속도보다 낮게 조절된다.
상기 제2 인덱스 암(223)의 최대 속도와 가속도 및 감속도를 각각 재산출하는 과정은 하기하는 수학식 1과 같다.
Figure 112008061481743-pat00001
Figure 112008061481743-pat00002
Figure 112008061481743-pat00003
수학식 1에서, VMS와 AVS 및 DVS는 각각 상기 제2 인덱스 암(223)의 재설정된 최대 속도와 가속도 및 감속도를 나타내며, MD는 출발지점부터 목표지점까지의 거리, VR은 제1 인덱스 암(224)의 최대 속도, DR1은 제1 인덱스 암(224)이 최대 속도로 등속 이동하는 거리, AR은 제1 인덱스 암(224)의 가속도, DR2는 제1 인덱스 암(224)이 가속도로 이동하는 거리, DR은 제1 인덱스 암(224)의 감속도, DR3는 제1 인덱스 암(224)이 감속도로 이동하는 거리이다.
이어, 상기 제1 및 제2 인덱스 암(223, 224)이 풉 또는 상기 버퍼부(300)로부터 웨이퍼를 인출 또는 적재하기 위해 동시에 수평 이동을 개시한다(단계 S160).
이어, 상기 제1 및 제2 인덱스 암(223, 224)은 상기 제1 제어부(710)에 의해 조절된 속도로 이동하여 동시에 목표 지점에 도착하고, 각각 대응하는 목표 지점에 위치하는 웨이퍼를 동시에 인출하거나 적재한다(단계 S170).
이와 같이, 상기 제1 제어부(710)는 인덱스 암들(210)의 속도를 조절하여 동 시에 구동할 인덱스 암들이 동일한 소요시간을 갖도록 한다. 이에 따라, 인덱스 로봇(200)은 두 개 이상의 인덱스 암이 해당 목표 지점에 동시에 도착할 수 있으므로, 다수의 웨이퍼를 한번에 적재 또는 인출할 수 있고, 웨이퍼 이송 시간을 단축시키며, 생산성을 향상시킬 수 있다.
이 실시예에 있어서, 상기 제2 제어부(720)가 상기 메인 이송 로봇(500)의 픽업 핸드들(520)의 속도를 조절하여 두 개 이상의 픽업 핸드를 서로 다른 목표 지점에 동시에 도착시키는 과정은, 상기 제1 제어부(710)가 상기 인덱스 로봇(200)의 인덱스 암들(220)의 속도를 조절하여 두 개 이상의 인덱스 암을 서로 다른 목표 지점에 동시에 도착시키는 과정과 동일하므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
도 8은 도 7에 도시된 두 개의 인덱스 암이 제1 제어부에 의해 조절된 속도로 이동할 때 출발 시점부터 도착 시점까지의 속도 변화를 나타낸 그래프이다.
도 8을 참조하면, 동시에 구동된 두 개의 인덱스 암(A1, A2)은 최대 속도(UV1, UV2)에 도달할 때까지 점차 속도가 증가하며, 최대 속도(UV1, UV2)에 도달하면 일정 시간 동안 등속 이동한다. 이후, 목표 지점에 도달할 때까지 점차 속도 감소가 감소된다.
상기 동시에 구동된 두 개의 인덱스 암(A1, A2)은 최대 속도(UV1, UV2)가 서로 다르게 설정되며, 각각 최대 속도(UV1, UV2)로 등속 이동하는 시간이 서로 다르다. 즉, 상기 인덱스 암들(A1, A2)은 각각 최대 속도(UV1, UV2)에 도달하는 시점(T1, T2)이 서로 다르고, 최대 속도(UV1, VU2)로 등속 이동 후 감속하는 시점(T3, T4)이 서로 다르다. 그러나, 상기 인덱스 암들(A1, A2)은 수평 이동을 개시 하는 시작 시점(ST)과 목표 지점에 도달하는 시점(ET)이 각각 동일하므로, 소요 시간은 서로 동일하다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 종래의 이송용 로봇의 암의 이동 속도 변화를 나타낸 그래프이다.
도 2는 종래의 이송 로봇의 두 개의 암이 동시에 이동할 때의 이동 속도 변화를 나타낸 그래프이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3에 도시된 인덱스 로봇을 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 3에 도시된 버퍼부를 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 3에 도시된 메인 이송 로봇을 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 인덱스 로봇의 다수의 인덱스 암을 동시에 목표 지점에 위치시키는 과정을 나타낸 흐름도이다.
도 8은 도 7에 도시된 두 개의 인덱스 암이 제1 제어부에 의해 조절된 속도로 이동할 때 출발 시점부터 도착 시점까지의 속도 변화를 나타낸 그래프이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
110 : 로딩/언로딩부 120a, 120b, 120c, 120d : 풉
200 : 인덱스 로봇 300 : 버퍼부
400 : 이송 통로 500 : 메인 이송 로봇
600 : 공정 챔버 720 : 제2 제어부
720 : 제2 제어부 1000 : 기판 처리 시스템

Claims (14)

  1. 다수의 기판을 수직 방향으로 배치시켜 수납하는 수납 부재;
    상기 수직 방향으로 서로 마주하게 배치되어 각각 기판이 적재되는 다수의 이송암 및 각 이송암을 수평 방향으로 이동시키는 암 구동부를 구비하고, 상기 수납 부재로부터 하나 또는 두 개 이상의 기판을 인출 및 적재하는 이송 부재; 및
    상기 이송 부재의 이동 속도를 제어하고, 동시 구동을 요하는 이송암들이 동시에 상기 수납 부재 내의 목표 지점에 도달하도록 해당 이송암들이 각각 목표 지점에 도달하는 데 소요되는 예상 시간에 근거하여 해당 이송암들의 수평 이동 속도를 조절하는 상기 암 구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 상기 이송암들 중 동시에 구동시킬 각 이송암의 최대 이동 속도와 감속도 및 가속도에 근거하여 상기 예상 시간을 해당 이송암별로 산출하고, 산출된 예상 소요시간들 간의 차에 근거하여 해당 이송암들 각각의 속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제어부는 상기 동시 구동시킬 각 이송암의 속도 조절을 통해 해당 이송암들이 동일한 시간에 목표 지점에 도달하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 제어부는 산출된 예상 소요시간들 중 가장 긴 예상 소요시간을 갖는 이송암의 최대 속도와 가속도 및 감속도에 근거하여 상대적으로 작은 소요시간을 이송암의 최대 속도와 가속도 및 감속도를 조절하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  5. 처리 대기중인 기판들 또는 처리 완료된 기판들을 수직 방향으로 이격시켜 수납하는 수납용기;
    상기 처리 대기중인 기판들과 상기 처리 완료된 기판들을 수직 방향으로 이격시켜 수납하는 버퍼부;
    상기 수직 방향으로 서로 마주하게 배치되어 각각 기판이 적재되는 다수의 인덱스 암 및 각 인덱스 암을 수평 방향으로 이동시키는 암 구동부를 구비하고, 상기 수납용기와 상기 버퍼부간의 기판을 이송하며, 상기 수납용기 또는 상기 버퍼부로부터 하나 또는 다수의 기판을 인출 및 적재하는 인덱스 로봇; 및
    상기 인덱스 로봇의 이동 속도 및 위치를 제어하고, 동시 구동을 요하는 인덱스 암들이 동시에 상기 수납 부재 내의 목표 지점에 도달하도록 해당 인덱스 암들이 각각 목표 지점에 도달하는 데 소요되는 예상 시간에 근거하여 해당 인덱스 암들의 수평 이동 속도를 조절하는 제1 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    기판의 처리가 이루어지는 공정 챔버;
    상기 수직 방향으로 서로 마주하게 배치되어 각각 기판이 적재되는 다수의 픽업 핸드 및 각 픽업 핸드를 수평 방향으로 이동시키는 핸드 구동부를 구비하고, 상기 공정 챔버와 상기 버퍼부간의 기판을 이송하며, 상기 버퍼부로부터 하나 또는 다수의 기판을 인출 및 적재하는 메인 이송 로봇; 및
    상기 메인 이송 로봇의 이동 속도 및 위치를 제어하고, 각 픽업 핸드의 이동 속도를 제어하여 두 개 이상의 픽업 핸드가 동시에 상기 수납용기 또는 상기 버퍼부 내의 서로 다른 목표 지점에 도달하도록 상기 핸드 구동부를 제어하는 제2 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 기판을 이송하는 이송 부재의 이송암들 각각에 대한 최대 속도와 감속도 및 가속도를 포함하는 이동 속도 정보를 생성하는 단계;
    각 이송암에 대응하는 목표 지점의 위치 값과 상기 이동 속도 정보에 근거하여 각 이송암이 해당 목표 지점에 도달하는 데 소요되는 예상 시간을 산출하는 단계;
    상기 이송암들이 동일한 소요시간을 갖도록, 산출된 예상 소요시간들과 상기 이동 속도 정보에 근거하여 상기 각 이송암의 속도를 재설정하는 단계; 및
    상기 이송암들을 동시에 재설정된 속도로 수평 이동시켜 수납 부재로부터 다수의 기판을 동시에 인출 또는 적재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 각 이송암의 속도를 재설정하는 단계는,
    상기 산출된 예상 소요시간들을 비교하여 가장 긴 소요 시간을 최대 소요시간으로 설정하는 단계; 및
    상기 최대 소요시간보다 작은 예상 소요시간을 갖는 이송암의 속도를 재설정하여 상기 이송암들이 동일한 소요시간을 갖도록 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 최대 소요시간보다 작은 예상 소요시간을 갖는 이송암의 속도를 재설정하는 단계는, 상대적으로 작은 예상 소요시간을 갖는 이송암의 최대 속도와 가속도 및 감속도를 상기 최대 소요시간과 동일한 예상 소요시간을 갖는 이송암의 최대 속도와 가속도 및 감속도에 근거하여 각각 재설정하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 상대적으로 작은 예상 소요시간을 갖는 이송암은 상기 최대 소요시간과 동일한 예상 소요시간을 갖는 이송암의 최대 속도보다 낮은 최대 속도를 갖도록 조절되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  11. 제10항에 있어서, 상기 상대적으로 작은 예상 소요시간을 갖는 이송암의 최 대 속도와 가속도 및 감속도를 산출하는 과정은 하기하는 수학식과 같고,
    Figure 112008061481743-pat00004
    Figure 112008061481743-pat00005
    Figure 112008061481743-pat00006
    상기 수학식에서, VMS와 AVS 및 DVS는 각각 상기 상대적으로 작은 예상 소요시간을 갖는 이송암의 재설정된 최대 속도와 가속도 및 감속도를 나타내며, MD는 출발지점부터 목표지점까지의 거리, VR은 상기 최대 소요시간과 동일한 예상 소요시간을 갖는 이송암의 최대 속도, DR1은 상기 최대 소요시간과 동일한 예상 소요시간을 갖는 이송암이 최대 속도로 등속 이동하는 거리, AR은 상기 최대 소요시간과 동일한 예상 소요시간을 갖는 이송암의 가속도, DR2는 상기 최대 소요시간과 동일한 예상 소요시간을 갖는 이송암이 가속 이동하는 거리, DR은 상기 최대 소요시간과 동일한 예상 소요시간을 갖는 이송암의 감속도, DR3는 상기 최대 소요시간과 동일한 예상 소요시간을 갖는 이송암이 감속 이동하는 거리인 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  12. 제7항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 각 이송암은 수평 이동을 개시한 출발 시점부터 설정된 최대 속도에 도달하는 제1 시점까지 설정된 가속도로 가속 이동하고, 상기 제1 시점부터 제2 시점까지 상기 설정된 최대 속도로 등속 이동하며, 상기 제2 시점부터 상기 목표 지점에 도달하는 시점까지 설정된 감속도로 감속 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  13. 제1 제어부가 기판을 적재할 수 있는 인덱스 암들 각각에 대한 최대 속도와 감속도 및 가속도를 포함하는 암 속도 정보를 생성하는 단계;
    상기 제1 제어부가 각 인덱스 암에 대응하는 목표 지점의 위치 값과 상기 암 속도 정보에 근거하여 각 인덱스 암이 해당 목표 지점에 도달하는 데 소요되는 예상 시간을 산출하는 단계;
    상기 제1 제어부가 상기 인덱스 암들이 동일한 소요시간을 갖도록, 산출된 예상 소요시간들과 상기 암 속도 정보에 근거하여 상기 각 인덱스 암의 속도를 재설정하는 단계; 및
    상기 인덱스 암들이 동시에 재설정된 속도로 수평 이동하여 수납용기 또는 버퍼부로부터 다수의 기판을 동시에 인출 또는 적재하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
  14. 제어부가 기판을 적재할 수 있는 픽업 핸드들 각각에 대한 최대 속도와 감속도 및 가속도를 포함하는 핸드 속도 정보를 생성하는 단계;
    상기 제어부가 각 픽업 핸드에 대응하는 목표 지점의 위치 값과 상기 핸드 속도 정보에 근거하여 각 픽업 핸드가 해당 목표 지점에 도달하는 데 소요되는 예상 시간을 산출하는 단계;
    상기 제어부가 상기 픽업 핸드들이 동일한 소요시간을 갖도록, 산출된 예상 소요시간들과 상기 핸드 속도 정보에 근거하여 상기 각 픽업 핸드의 속도를 재설정하는 단계; 및
    상기 픽업 핸드들이 동시에 재설정된 속도로 수평 이동하여 상기 버퍼부로부터 다수의 기판을 동시에 인출 또는 적재하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 방법.
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