JP2002264054A - 基板搬送ロボット制御方法 - Google Patents
基板搬送ロボット制御方法Info
- Publication number
- JP2002264054A JP2002264054A JP2001071697A JP2001071697A JP2002264054A JP 2002264054 A JP2002264054 A JP 2002264054A JP 2001071697 A JP2001071697 A JP 2001071697A JP 2001071697 A JP2001071697 A JP 2001071697A JP 2002264054 A JP2002264054 A JP 2002264054A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- time
- speed
- target
- acceleration
- control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板搬送ロボットの制御パラメータの設定を
専門的知識が無くとも容易に設定変更することができる
基板搬送ロボット制御方法を提供する。 【解決手段】 本発明の基板搬送ロボット制御方法にお
いて、目的位置までの距離は駆動系のパルス量に対応
し、動作時間Ｔを底辺とし、目標の最高速度Ｓｐを頂点
とする二等辺三角形の面積として考えることが可能であ
り、また、目標の最高速度が許容限界速度を超えている
場合には、目標の最高速度を許容限界速度として加減速
時間の間に等速度移動時間を設定した台形の面積として
考えることができる。これらのことにより、どちらの場
合にも、与えられた搬送時間内で制御対象を制御するた
めの加減速度の大きさおよびそれを加える時間、許容限
界速度で等速移動をさせる時間などのパラメータを簡単
に求めることができる。
専門的知識が無くとも容易に設定変更することができる
基板搬送ロボット制御方法を提供する。 【解決手段】 本発明の基板搬送ロボット制御方法にお
いて、目的位置までの距離は駆動系のパルス量に対応
し、動作時間Ｔを底辺とし、目標の最高速度Ｓｐを頂点
とする二等辺三角形の面積として考えることが可能であ
り、また、目標の最高速度が許容限界速度を超えている
場合には、目標の最高速度を許容限界速度として加減速
時間の間に等速度移動時間を設定した台形の面積として
考えることができる。これらのことにより、どちらの場
合にも、与えられた搬送時間内で制御対象を制御するた
めの加減速度の大きさおよびそれを加える時間、許容限
界速度で等速移動をさせる時間などのパラメータを簡単
に求めることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は基板搬送ロボット制
御方法に関し、特に、現在位置から目的位置までの搬送
するための動作時間が指定されると、現在位置を離れる
ときには所定値の加速を、目的位置に到達するときには
前記所定値と同じ減速を制御対象に加え、許容限界速度
内で制御対象を搬送制御する基板搬送ロボット制御方法
に関する。
御方法に関し、特に、現在位置から目的位置までの搬送
するための動作時間が指定されると、現在位置を離れる
ときには所定値の加速を、目的位置に到達するときには
前記所定値と同じ減速を制御対象に加え、許容限界速度
内で制御対象を搬送制御する基板搬送ロボット制御方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板搬送ロボット（典型的なの
は、枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボット）のロボット制御
装置は、サーボモータを駆動して制御対象を目的位置ま
で移動するためのパルス数（距離）を予め記憶するとと
もに、制御対象に対する加速時間／減速時間、もしくは
加速度、および、目標速度を制御パラメータとして記憶
させておく必要がある。ロボット制御装置は、設定され
た制御パラメータに従い、例えば、図６に示されるよう
に制御を行う。すなわち、先ず、制御対象が目標の最高
速度Ｓｐになるように、設定された加速度（もしくは、
加速時間Ｔａ）で加速し、目標の最高速度Ｓｐに到達し
た後は、等速度移動をさせ、その後、設定した加速度
（もしくは、減速時間Ｔｂ）で減速して停止させる。
は、枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボット）のロボット制御
装置は、サーボモータを駆動して制御対象を目的位置ま
で移動するためのパルス数（距離）を予め記憶するとと
もに、制御対象に対する加速時間／減速時間、もしくは
加速度、および、目標速度を制御パラメータとして記憶
させておく必要がある。ロボット制御装置は、設定され
た制御パラメータに従い、例えば、図６に示されるよう
に制御を行う。すなわち、先ず、制御対象が目標の最高
速度Ｓｐになるように、設定された加速度（もしくは、
加速時間Ｔａ）で加速し、目標の最高速度Ｓｐに到達し
た後は、等速度移動をさせ、その後、設定した加速度
（もしくは、減速時間Ｔｂ）で減速して停止させる。
【０００３】上述の場合、サーボモータの動作は、制御
パラメータ（加減速時間や目標速度）により決定される
こととなり、制御対象を搬送するための動作時間Ｔは、
制御パラメータより計算して求めるか、実際に動作させ
てその動作時間を測定する必要がある。このような従来
の枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボットをタクト制御しよう
とすると、最も重要な要素は動作時間であるので、先
ず、動作時間を決定してから各制御パラメータを机上に
て算出し、枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボットのロボット
制御装置に記憶させている。この場合、ガラス基板を搬
送する際の基板ずれを防止するために、目標動作時間内
で加速度が最小となる速度制御を行うことが理想的であ
る。
パラメータ（加減速時間や目標速度）により決定される
こととなり、制御対象を搬送するための動作時間Ｔは、
制御パラメータより計算して求めるか、実際に動作させ
てその動作時間を測定する必要がある。このような従来
の枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボットをタクト制御しよう
とすると、最も重要な要素は動作時間であるので、先
ず、動作時間を決定してから各制御パラメータを机上に
て算出し、枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボットのロボット
制御装置に記憶させている。この場合、ガラス基板を搬
送する際の基板ずれを防止するために、目標動作時間内
で加速度が最小となる速度制御を行うことが理想的であ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述のような理想的な
速度制御を行うための制御パラメータを決定するために
は、複雑な計算が必要となり、制御対象物の移動距離や
目標動作時間に変更が生じた場合には、新しい制御パラ
メータを設定しなければならないが、これらの変更のた
めには多大の時間を要するという問題がある。また、制
御対象となる動作軸や移動距離によって適合している制
御パラメータは同じではなく、目的動作毎に制御パラメ
ータを設定するか、もしくは全ての動作において使用可
能な制御パラメータを用いる必要がある。さらに、制御
パラメータの決定には専門的な知識が必要とされ、一般
ユーザには理解が容易でなく制御パラメータの変更は困
難である。
速度制御を行うための制御パラメータを決定するために
は、複雑な計算が必要となり、制御対象物の移動距離や
目標動作時間に変更が生じた場合には、新しい制御パラ
メータを設定しなければならないが、これらの変更のた
めには多大の時間を要するという問題がある。また、制
御対象となる動作軸や移動距離によって適合している制
御パラメータは同じではなく、目的動作毎に制御パラメ
ータを設定するか、もしくは全ての動作において使用可
能な制御パラメータを用いる必要がある。さらに、制御
パラメータの決定には専門的な知識が必要とされ、一般
ユーザには理解が容易でなく制御パラメータの変更は困
難である。
【０００５】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されてものであって、基板搬送ロボット（例えば、枚葉
式ＬＣＤ用基板搬送ロボット）の制御対象に対する制御
パラメータの設定を専門的知識が無くとも容易に設定あ
るいは変更することができる基板搬送ロボット制御方法
を提供することを目的とする。
されてものであって、基板搬送ロボット（例えば、枚葉
式ＬＣＤ用基板搬送ロボット）の制御対象に対する制御
パラメータの設定を専門的知識が無くとも容易に設定あ
るいは変更することができる基板搬送ロボット制御方法
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ために、本発明は、現在位置から目的位置まで搬送する
ための時間が指定されると、現在位置を離れるときには
所定値の加速を、目的位置に到達するときには前記所定
値と同じ減速を制御対象に加え、許容限界速度内で制御
対象を搬送制御する基板搬送ロボット制御方法であっ
て、現在位置から中間点まで加速し、中間点から目的位
置まで減速したとすると、中間点の最高速度が許容限界
速度を超えない場合には、その加減速に従って制御対象
を搬送制御し、前記中間点における最高速度が許容限界
速度を超える場合には、加速と減速との中間において制
御対象に許容限界速度の等速度移動を行わせることによ
り指定された搬送時間で制御対象を搬送制御する。
ために、本発明は、現在位置から目的位置まで搬送する
ための時間が指定されると、現在位置を離れるときには
所定値の加速を、目的位置に到達するときには前記所定
値と同じ減速を制御対象に加え、許容限界速度内で制御
対象を搬送制御する基板搬送ロボット制御方法であっ
て、現在位置から中間点まで加速し、中間点から目的位
置まで減速したとすると、中間点の最高速度が許容限界
速度を超えない場合には、その加減速に従って制御対象
を搬送制御し、前記中間点における最高速度が許容限界
速度を超える場合には、加速と減速との中間において制
御対象に許容限界速度の等速度移動を行わせることによ
り指定された搬送時間で制御対象を搬送制御する。
【０００７】このような構成によれば、中間点における
最高速度が許容限界速度を超えない場合には、その加減
速に従って制御対象を搬送制御し、前記中間点における
最高速度が許容限界を超える場合には、加速と減速との
中間において制御対象に許容限界速度の等速度移動を行
わせることにより、与えられた搬送時間において、加速
および減速を行う時間、さらには、等速度移動を行わせ
る時間、並びに、加速および減速の所定値を容易に算出
できる。
最高速度が許容限界速度を超えない場合には、その加減
速に従って制御対象を搬送制御し、前記中間点における
最高速度が許容限界を超える場合には、加速と減速との
中間において制御対象に許容限界速度の等速度移動を行
わせることにより、与えられた搬送時間において、加速
および減速を行う時間、さらには、等速度移動を行わせ
る時間、並びに、加速および減速の所定値を容易に算出
できる。
【０００８】そして、本発明の実施の形態では、目的位
置までの距離は駆動系のパルス量に対応し、与えられた
搬送時間である動作時間Ｔを底辺とし、目標の最高速度
Ｓｐを頂点とする二等辺三角形の面積として考えること
が可能であり、また、目標の最高速度Ｓｐが許容限界速
度Ｓｐｍａｘを超えている場合には、目標の最高速度Ｓ
ｐを許容限界速度Ｓｐｍａｘに置き換え、上記の二等辺
三角形と同じ面積を有する台形を形成するように加減速
時間および等速移動時間を決定することにより、どちら
の場合にも、与えられた搬送時間Ｔ内における加減速度
および等速移動に関する制御パラメータを簡単に求める
ことができる。
置までの距離は駆動系のパルス量に対応し、与えられた
搬送時間である動作時間Ｔを底辺とし、目標の最高速度
Ｓｐを頂点とする二等辺三角形の面積として考えること
が可能であり、また、目標の最高速度Ｓｐが許容限界速
度Ｓｐｍａｘを超えている場合には、目標の最高速度Ｓ
ｐを許容限界速度Ｓｐｍａｘに置き換え、上記の二等辺
三角形と同じ面積を有する台形を形成するように加減速
時間および等速移動時間を決定することにより、どちら
の場合にも、与えられた搬送時間Ｔ内における加減速度
および等速移動に関する制御パラメータを簡単に求める
ことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面に基づいて説明する。図１は、本発明の基板
搬送ロボット制御方法が適用される枚葉式ＬＣＤ用基板
搬送ロボットの構造を示す斜視図、図２は、図１の枚葉
式ＬＣＤ用基板搬送ロボットのロボット制御装置を示す
ブロック図、図３は、本発明の基板搬送ロボット制御方
法を説明するためのタイムチャート、図４は、本発明の
基板搬送ロボット制御方法を説明するためのフローチャ
ートである。図１の枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボット１
００は、ガラス基板１０を保持し、移動するための２つ
のアーム１１，１２を有し、アーム１１，１２には複数
のパッド１５が装着され、図２に示されるロボット制御
装置２０によって制御されている。
て添付図面に基づいて説明する。図１は、本発明の基板
搬送ロボット制御方法が適用される枚葉式ＬＣＤ用基板
搬送ロボットの構造を示す斜視図、図２は、図１の枚葉
式ＬＣＤ用基板搬送ロボットのロボット制御装置を示す
ブロック図、図３は、本発明の基板搬送ロボット制御方
法を説明するためのタイムチャート、図４は、本発明の
基板搬送ロボット制御方法を説明するためのフローチャ
ートである。図１の枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボット１
００は、ガラス基板１０を保持し、移動するための２つ
のアーム１１，１２を有し、アーム１１，１２には複数
のパッド１５が装着され、図２に示されるロボット制御
装置２０によって制御されている。
【００１０】図１の枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボット１
００において、ガラス基板１０を移動するための駆動方
向は、アーム１１，１２を前進または後退させる水平直
線方向であるＲ軸方向と、アーム１１，１２を同時に水
平に旋回させるθ軸方向と、上下方向に移動させるＺ軸
方向とである。アーム１１，１２の上面に装着されてい
る複数のパッド１５は、ガラス基板１０がアーム１１，
１２に搭載され移動されたときに、アーム１１，１２の
上面で滑って搭載位置から移動しないように摩擦力で保
持するためのものである。したがって、ガラス基板１０
を搭載したアーム１１，１２に、パッド１５の摩擦力を
超えるような加速度を与える急激な動作をさせると、ガ
ラス基板１０に位置ずれを発生させるので、図２に示さ
れるロボット制御装置２０は、基板搬送ロボット１００
の各部を適切に制御しなければならない。
００において、ガラス基板１０を移動するための駆動方
向は、アーム１１，１２を前進または後退させる水平直
線方向であるＲ軸方向と、アーム１１，１２を同時に水
平に旋回させるθ軸方向と、上下方向に移動させるＺ軸
方向とである。アーム１１，１２の上面に装着されてい
る複数のパッド１５は、ガラス基板１０がアーム１１，
１２に搭載され移動されたときに、アーム１１，１２の
上面で滑って搭載位置から移動しないように摩擦力で保
持するためのものである。したがって、ガラス基板１０
を搭載したアーム１１，１２に、パッド１５の摩擦力を
超えるような加速度を与える急激な動作をさせると、ガ
ラス基板１０に位置ずれを発生させるので、図２に示さ
れるロボット制御装置２０は、基板搬送ロボット１００
の各部を適切に制御しなければならない。
【００１１】図２に示される基板搬送ロボット１００の
ロボット制御装置２０は、位置制御コントローラ２１
と、サーボモータドライバ２２と、サーボモータ２３
と、エンコーダ２４とを有し、基板搬送ロボットの動作
軸２５を適切に駆動し、上記のアーム１１，１２に対す
るＲ軸方向、θ軸方向、Ｚ軸方向の移動に関する制御を
行う。この場合、位置制御コントローラ２１は、制御対
象に関して、原点をゼロとし、移動させるべき目的位置
が指示されると、そこまでの相対距離を、パルス数を単
位とする位置指令値で指示する。したがって、位置制御
コントローラ２１は、現在位置と目的位置とから、制御
対象を目的位置まで移動させるためのパルス数を算出す
ることとなる。
ロボット制御装置２０は、位置制御コントローラ２１
と、サーボモータドライバ２２と、サーボモータ２３
と、エンコーダ２４とを有し、基板搬送ロボットの動作
軸２５を適切に駆動し、上記のアーム１１，１２に対す
るＲ軸方向、θ軸方向、Ｚ軸方向の移動に関する制御を
行う。この場合、位置制御コントローラ２１は、制御対
象に関して、原点をゼロとし、移動させるべき目的位置
が指示されると、そこまでの相対距離を、パルス数を単
位とする位置指令値で指示する。したがって、位置制御
コントローラ２１は、現在位置と目的位置とから、制御
対象を目的位置まで移動させるためのパルス数を算出す
ることとなる。
【００１２】位置制御コントローラ２１は、サーボモー
タドライバ２２に目的位置までの速度指令Ｖｃを、パル
ス量（他の例としては、電圧）を利用してサーボモータ
ドライバ２２に送り、サーボモータ２３を駆動するとと
もに、エンコーダ２４からのフィードバックパルスＰｂ
を参照することにより、動作軸２５に連結された制御対
象の速度や位置が指示通りになるように制御を行う。位
置制御コントローラ２１には、上述の制御を行うために
制御パラメータとして制御対象を移動させるための動作
時間がさらに与えられる。位置制御コントローラ２１
は、上述したように、制御対象を目的位置まで移動させ
るためのパルス数と、動作時間とが与えられると、図３
に示されるような三角制御に従って、加速度および減速
度およびそれらを適用する時間を算出し、算出した結果
に基づき制御を実行する。算出は容易であるが、これら
について説明すると、例えば、図３において、加速度
は、二等辺三角形の一方の斜辺の正の傾き（一定）であ
り、減速度は、二等辺三角形の他方の斜辺の負の傾き
（一定）であり、最高速度は頂点で示される。加減速時
間は、二等辺三角形の頂点から底辺に垂線を下ろしたと
きの片側のそれぞれに相当する。また、図３の場合にお
いて、最高速度が許容限界値を超えたときには、図４の
ような台形制御を行う。
タドライバ２２に目的位置までの速度指令Ｖｃを、パル
ス量（他の例としては、電圧）を利用してサーボモータ
ドライバ２２に送り、サーボモータ２３を駆動するとと
もに、エンコーダ２４からのフィードバックパルスＰｂ
を参照することにより、動作軸２５に連結された制御対
象の速度や位置が指示通りになるように制御を行う。位
置制御コントローラ２１には、上述の制御を行うために
制御パラメータとして制御対象を移動させるための動作
時間がさらに与えられる。位置制御コントローラ２１
は、上述したように、制御対象を目的位置まで移動させ
るためのパルス数と、動作時間とが与えられると、図３
に示されるような三角制御に従って、加速度および減速
度およびそれらを適用する時間を算出し、算出した結果
に基づき制御を実行する。算出は容易であるが、これら
について説明すると、例えば、図３において、加速度
は、二等辺三角形の一方の斜辺の正の傾き（一定）であ
り、減速度は、二等辺三角形の他方の斜辺の負の傾き
（一定）であり、最高速度は頂点で示される。加減速時
間は、二等辺三角形の頂点から底辺に垂線を下ろしたと
きの片側のそれぞれに相当する。また、図３の場合にお
いて、最高速度が許容限界値を超えたときには、図４の
ような台形制御を行う。
【００１３】上述の制御動作について、図５を参照して
説明する。動作時間Ｔが与えられると、動作時間Ｔの半
分である加速する時間と減速する時間とである時間Ｔ／
２（Ｔａ＝Ｔｂ）が算出される（ステップＳ１１）。し
たがって、開始から時間Ｔ／２を境に等加速および等減
速した場合、時間Ｔ／２の前後にある斜線の２つの三角
形の面積は、それぞれ等加速および等減速のために必要
なパルス量（移動量）を示している。現在位置データと
目的位置データとから、現在位置から目的位置までのパ
ルス量Ｐ（上述の２つの三角形の和）が算出される（ス
テップＳ１２）。したがって、目標の最高速度Ｓｐに関
し、Ｓｐ×Ｔ＝Ｐ×２であり、Ｓｐ＝Ｐ／（Ｔ／２）が
求められる（ステップＳ１３）。
説明する。動作時間Ｔが与えられると、動作時間Ｔの半
分である加速する時間と減速する時間とである時間Ｔ／
２（Ｔａ＝Ｔｂ）が算出される（ステップＳ１１）。し
たがって、開始から時間Ｔ／２を境に等加速および等減
速した場合、時間Ｔ／２の前後にある斜線の２つの三角
形の面積は、それぞれ等加速および等減速のために必要
なパルス量（移動量）を示している。現在位置データと
目的位置データとから、現在位置から目的位置までのパ
ルス量Ｐ（上述の２つの三角形の和）が算出される（ス
テップＳ１２）。したがって、目標の最高速度Ｓｐに関
し、Ｓｐ×Ｔ＝Ｐ×２であり、Ｓｐ＝Ｐ／（Ｔ／２）が
求められる（ステップＳ１３）。
【００１４】次に、求められた最高速度Ｓｐが限界値
（Ｓｐｍａｘ）以内である（Ｓｐ≦Ｓｐｍａｘ）か否か
を判断する（ステップＳ１４）。もしも、最高速度Ｓｐ
が限界値Ｓｐｍａｘ以内であれば、先に算出した加速時
間（Ｔａ）および減速時間（Ｔｂ）を位置制御コントロ
ーラ２１にセットする（ステップＳ１６）。もしも、最
高速度Ｓｐが限界値Ｓｐｍａｘ以内でなければ、目標の
最高速度にＳｐに限界値Ｓｐｍａｘを設定し、したがっ
て、パルス量は変わらないので動作時間Ｔの内訳を加速
時間Ｔａと、等速移動時間Ｔｃと、減速時間Ｔｂとに分
割し、それに基づいて加減速時間および等速移動時間を
再算出し（ステップＳ１５）、ステップＳ１６に移行す
る。ステップＳ１６のセット完了後、与えられた動作時
間Ｔ（図４の場合、図６と異なり、動作時間Ｔは、固
定）に従って、算出した各制御パラメータに従い制御を
実行する。このように、搬送時間Ｔが与えられれば、制
御パラメータを二等辺三角形および台形の特徴から容易
に算出することができ、パラメータの変更が必要な場合
でも容易に対応することができる。
（Ｓｐｍａｘ）以内である（Ｓｐ≦Ｓｐｍａｘ）か否か
を判断する（ステップＳ１４）。もしも、最高速度Ｓｐ
が限界値Ｓｐｍａｘ以内であれば、先に算出した加速時
間（Ｔａ）および減速時間（Ｔｂ）を位置制御コントロ
ーラ２１にセットする（ステップＳ１６）。もしも、最
高速度Ｓｐが限界値Ｓｐｍａｘ以内でなければ、目標の
最高速度にＳｐに限界値Ｓｐｍａｘを設定し、したがっ
て、パルス量は変わらないので動作時間Ｔの内訳を加速
時間Ｔａと、等速移動時間Ｔｃと、減速時間Ｔｂとに分
割し、それに基づいて加減速時間および等速移動時間を
再算出し（ステップＳ１５）、ステップＳ１６に移行す
る。ステップＳ１６のセット完了後、与えられた動作時
間Ｔ（図４の場合、図６と異なり、動作時間Ｔは、固
定）に従って、算出した各制御パラメータに従い制御を
実行する。このように、搬送時間Ｔが与えられれば、制
御パラメータを二等辺三角形および台形の特徴から容易
に算出することができ、パラメータの変更が必要な場合
でも容易に対応することができる。
【００１５】上記の制御方法を図３および図４を参照し
て、制御に必要な計算についてさらに具体的に説明す
る。すなわち、（イ）実施の形態を示す図３において、
Ｓｐ≦Ｓｐｍａｘであれば、 Ｔａ＝Ｔｂ＝Ｔ／２・・・（１１） Ｔ×Ｓｐ＝２×Ｐ（Ｐはパルス数）・・・（１２） Ｓｐ＝２Ｐ／Ｔ・・・（１３） Ｓｐ＝α×Ｔ（α＝等加減速値）・・・（１４） （１４）に（１３）を代入して、 α＝Ｓｐ／Ｔ＝２Ｐ／Ｔ2・・・（１５） このように、（１１）および（１５）から、Ｔａ，Ｔ
ｂ，αが搬送時間Ｔ（Ｐは定数）が与えられるだけで容
易に決定される。（ロ）図３においてＳｐ＞Ｓｐｍａｘ
であれば、図４のように制御は変更され、 Ｔ＝（Ｔａ＋Ｔｂ）＋Ｔｃ＝２Ｔａ＋Ｔｃ・・・（２１） ｛（Ｔａ＋Ｔｂ）／２｝×Ｓｐｍａｘ＋Ｔｃ×Ｓｐｍａｘ＝Ｐ・・・（２２） （Ｔａ＋Ｔｃ）×Ｓｐｍａｘ＝Ｐ・・・（２３） （２１）−（２３）から、 Ｔａ（＝Ｔｂ）＝Ｔ−（Ｐ／Ｓｐｍａｘ）・・・（２４） Ｔｃ＝Ｔ−２Ｔａ・・・（２５） β＝Ｓｐｍａｘ／Ｔａ（β＝等加減速値）・・・（２６） このように、（２４），（２５），（２６）から、Ｔ
ａ，Ｔｂ，Ｔｃ，βが搬送時間Ｔ（Ｐ，Ｓｐｍａｘは定
数）が与えられるだけで容易に決定される。
て、制御に必要な計算についてさらに具体的に説明す
る。すなわち、（イ）実施の形態を示す図３において、
Ｓｐ≦Ｓｐｍａｘであれば、 Ｔａ＝Ｔｂ＝Ｔ／２・・・（１１） Ｔ×Ｓｐ＝２×Ｐ（Ｐはパルス数）・・・（１２） Ｓｐ＝２Ｐ／Ｔ・・・（１３） Ｓｐ＝α×Ｔ（α＝等加減速値）・・・（１４） （１４）に（１３）を代入して、 α＝Ｓｐ／Ｔ＝２Ｐ／Ｔ2・・・（１５） このように、（１１）および（１５）から、Ｔａ，Ｔ
ｂ，αが搬送時間Ｔ（Ｐは定数）が与えられるだけで容
易に決定される。（ロ）図３においてＳｐ＞Ｓｐｍａｘ
であれば、図４のように制御は変更され、 Ｔ＝（Ｔａ＋Ｔｂ）＋Ｔｃ＝２Ｔａ＋Ｔｃ・・・（２１） ｛（Ｔａ＋Ｔｂ）／２｝×Ｓｐｍａｘ＋Ｔｃ×Ｓｐｍａｘ＝Ｐ・・・（２２） （Ｔａ＋Ｔｃ）×Ｓｐｍａｘ＝Ｐ・・・（２３） （２１）−（２３）から、 Ｔａ（＝Ｔｂ）＝Ｔ−（Ｐ／Ｓｐｍａｘ）・・・（２４） Ｔｃ＝Ｔ−２Ｔａ・・・（２５） β＝Ｓｐｍａｘ／Ｔａ（β＝等加減速値）・・・（２６） このように、（２４），（２５），（２６）から、Ｔ
ａ，Ｔｂ，Ｔｃ，βが搬送時間Ｔ（Ｐ，Ｓｐｍａｘは定
数）が与えられるだけで容易に決定される。
【００１６】
【発明の効果】本発明の基板搬送ロボット制御方法は、
以上説明したように構成されていることにより、一定の
加速および減速を制御対象に加えるので、目標の最高速
度が許容限界速度を超えない場合には、目的位置までの
距離は、搬送時間である動作時間を底辺とし、目標の最
高速度を頂点とする二等辺三角形の面積として考えるこ
とができる。また、目標の最高速度が許容限界速度を超
えている場合には、目標の最高速度を許容限界速度とし
て加減速時間の間に許容限界速度による等速度移動時間
を設定した台形の面積として考えることができる。これ
らのことにより、どちらの場合にも、与えられた動作時
間内で制御対象を制御するための加減速度の大きさおよ
びそれを加える時間、許容限界速度で等速移動をさせる
時間などのパラメータを簡単に求めることができる。し
たがって、基板搬送ロボットの制御パラメータの設定変
更を専門的知識が無くとも容易に実行することができ
る。
以上説明したように構成されていることにより、一定の
加速および減速を制御対象に加えるので、目標の最高速
度が許容限界速度を超えない場合には、目的位置までの
距離は、搬送時間である動作時間を底辺とし、目標の最
高速度を頂点とする二等辺三角形の面積として考えるこ
とができる。また、目標の最高速度が許容限界速度を超
えている場合には、目標の最高速度を許容限界速度とし
て加減速時間の間に許容限界速度による等速度移動時間
を設定した台形の面積として考えることができる。これ
らのことにより、どちらの場合にも、与えられた動作時
間内で制御対象を制御するための加減速度の大きさおよ
びそれを加える時間、許容限界速度で等速移動をさせる
時間などのパラメータを簡単に求めることができる。し
たがって、基板搬送ロボットの制御パラメータの設定変
更を専門的知識が無くとも容易に実行することができ
る。
【図１】本発明の基板搬送ロボット制御方法が適用され
る枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボットの構造を示す斜視図
である。
る枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボットの構造を示す斜視図
である。
【図２】図１の枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボットのロボ
ット制御装置を示すブロック図である。
ット制御装置を示すブロック図である。
【図３】本発明の基板搬送ロボット制御方法を説明する
ためのタイムチャートである。
ためのタイムチャートである。
【図４】本発明の基板搬送ロボット制御方法を説明する
ためのタイムチャートである。
ためのタイムチャートである。
【図５】本発明の基板搬送ロボット制御方法を説明する
ためのフローチャートである。
ためのフローチャートである。
【図６】従来の基板搬送ロボット制御方法を説明するた
めのタイムチャートである。
めのタイムチャートである。
１０ ガラス基板 １１，１２ ロボットアーム １５ パッド ２０ ロボット制御装置 ２１ 位置制御コントローラ ２２ サーボモータドライバ ２３ サーボモータ ２４ エンコーダ ２５ 基板搬送ロボットの動作軸 １００ 枚葉式ＬＣＤ用基板搬送ロボット Ｔ 動作時間 Ｔａ 加速時間 Ｔｂ 減速時間 Ｐ 目的位置までの必要パルス量（移動距離） Ｓｐ 目標の最高速度 Ｓｐｍａｘ 最高速度の限界値
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 AS24 BS06 ES17 LU03 LU04 NS09 NS13 5F031 CA05 FA02 FA07 GA06 GA07 GA44 GA47 GA49 GA50 JA01 JA32 JA51 LA07 PA02 5H303 AA05 AA10 BB03 BB14 CC10 DD01 DD26 EE10 FF09 GG06 GG11 HH05 JJ01 JJ04 KK08 KK22 LL03
Claims (1)
- 【請求項１】 現在位置から目的位置まで搬送するため
の動作時間が指定されると、現在位置を離れるときには
所定値の加速を、目的位置に到達するときには前記所定
値と同じ減速を制御対象に加え、許容限界速度内で制御
対象を搬送制御する基板搬送ロボット制御方法であっ
て、 現在位置から中間点まで加速し、中間点から目的位置ま
で減速したとすると、中間点の最高速度が許容限界速度
を超えない場合には、その加減速に従って制御対象を搬
送制御し、 前記中間点における最高速度が許容限界速度を超える場
合には、加速と減速との中間において制御対象に許容限
界速度の等速度移動を行わせることにより指定された搬
送時間で制御対象を搬送制御することを特徴とする基板
搬送ロボット制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001071697A JP2002264054A (ja) | 2001-03-14 | 2001-03-14 | 基板搬送ロボット制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001071697A JP2002264054A (ja) | 2001-03-14 | 2001-03-14 | 基板搬送ロボット制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002264054A true JP2002264054A (ja) | 2002-09-18 |
Family
ID=18929386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001071697A Withdrawn JP2002264054A (ja) | 2001-03-14 | 2001-03-14 | 基板搬送ロボット制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002264054A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005085992A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP2012501533A (ja) * | 2008-08-28 | 2012-01-19 | セメス カンパニー リミテッド | 移送部材の速度調節方法、これを利用した基板移送方法及び基板処理装置 |
| JP2012501534A (ja) * | 2008-08-28 | 2012-01-19 | セメス カンパニー リミテッド | 基板処理装置及び基板搬送方法 |
| JP2012177817A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 露光装置 |
-
2001
- 2001-03-14 JP JP2001071697A patent/JP2002264054A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005085992A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP4558293B2 (ja) * | 2003-09-09 | 2010-10-06 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
| JP2012501533A (ja) * | 2008-08-28 | 2012-01-19 | セメス カンパニー リミテッド | 移送部材の速度調節方法、これを利用した基板移送方法及び基板処理装置 |
| JP2012501534A (ja) * | 2008-08-28 | 2012-01-19 | セメス カンパニー リミテッド | 基板処理装置及び基板搬送方法 |
| US8615323B2 (en) | 2008-08-28 | 2013-12-24 | Semes Co., Ltd. | Substrate-processing apparatus and method of transferring substrate in the same |
| JP2012177817A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Hitachi High-Technologies Corp | 露光装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5655060A (en) | Time optimal trajectory for cluster tool robots | |
| US4374349A (en) | Control system for an industrial robot | |
| JP2002264054A (ja) | 基板搬送ロボット制御方法 | |
| CN108237535A (zh) | 一种机械臂及其控制系统与方法 | |
| JP3988255B2 (ja) | 数値制御装置における位置指令方法および装置 | |
| JPH0976184A (ja) | ロボットの制御装置 | |
| JPH07104706B2 (ja) | ロボットの制御方法 | |
| JPH03273607A (ja) | 移動テーブル装置 | |
| JPH0557644A (ja) | ロボツトの制御方法 | |
| KR100897354B1 (ko) | 로봇의 진동 감쇄 방법 | |
| CN111699078A (zh) | 机器人的运行 | |
| JP3773303B2 (ja) | 部品供給部位置決め方法 | |
| JP2918269B2 (ja) | ロボットの移動制御方法 | |
| US20230264351A1 (en) | Robotic system with independently controllable higher derivatives | |
| JPH0651839A (ja) | 位置決め制御方法およびその装置 | |
| KR20230099273A (ko) | 스카라 로봇의 작업 공간상의 직선 궤적을 생성하는 방법 | |
| JPH05210420A (ja) | モータの制御装置 | |
| JP3777713B2 (ja) | クレーンの制御装置 | |
| JPH081561A (ja) | 産業ロボットの制御方法 | |
| JP2021125950A (ja) | モータ制御方法、モータ駆動装置、産業用ロボットの制御方法、及び産業用ロボット | |
| JPH08263128A (ja) | ロボットの位置決め制御時の加減速制御方法 | |
| JP4696396B2 (ja) | 電動機制御装置 | |
| JPH07265958A (ja) | 折曲げ加工機用ロボットの制御方法 | |
| JPS6353611A (ja) | 移動体の速度制御方法 | |
| JP4147512B2 (ja) | クレーンの振れ止め制御装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080603 |