KR101681191B1 - 반송 유닛, 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 - Google Patents

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조명찬
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명의 실시예는 기판을 반송하는 장치 및 방법을 제공한다. 기판 처리 장치는 기판을 지지하는 지지 부재들이 상하 방향으로 배열되도록 제공된 수납 유닛 및 상기 수납 유닛에 기판을 반송하는 상부 반송 부재를 가지는 반송 유닛을 포함하되, 상기 상부 반송 부재는 복수의 제1핸드들이 상하 방향으로 서로 배열되도록 고정 결합된 제1아암 및 상기 제1아암과 상하 방향으로 이격되도록 제공되며, 단일의 제2핸드가 결합된 제2아암을 포함하되, 상기 제1아암과 상기 제2아암은 서로 간에 독립적으로 수평 방향을 따라 신장 가능하게 구동된다. 이로 인해 복수 개의 기판을 정 위치에 동시 반송할 수 있다.

Description

반송 유닛, 기판 처리 장치, 기판 처리 방법{Transfer unit, Apparatus for treating substrate, and Method for treating substrate}
본 발명은 기판을 반송하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
이러한 공정들은 복수 개의 공정 챔버들을 가지는 공정 처리 유닛에서 진행된다. 수용 용기에 수용된 기판들은 버퍼 유닛을 거쳐 공정 처리 유닛으로 반송된다. 버퍼 유닛은 공정 처리 유닛에 반송되기 전 또는 후에 기판을 임시 보관하는 유닛이며, 반송 유닛은 수용 용기와 버퍼 유닛 간에 기판을 반송한다.
도 1은 일반적인 반송 유닛을 보여주는 사시도이다. 도 1을 참조하면, 일반적으로 반송 유닛(2)은 복수 개의 핸드들(4)을 포함한다. 핸드들(4) 각각에는 아암(6)이 개별적으로 고정 결합되어 수평 방향으로 이동 가능하다. 따라서 개별 핸드(4)에 대한 티칭 작업이 이루어지며, 각 핸드(4)는 티칭된 위치로 기판을 반송한다.
그러나 각 핸드(4)에 대한 티칭 위치는 서로 상이하게 제공된다. 이로 인해 복수 개의 기판들을 동시에 반송하는 경우에는 기판들의 반송 위치와 정 위치 간에 차이가 발생된다.
본 발명은 복수 개의 기판을 정 위치에 동시 반송할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
또한 본 발명은 기판을 신속하게 반송할 수 있는 장치 및 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예는 기판을 반송하는 장치 및 방법을 제공한다. 기판 처리 장치는 기판을 지지하는 지지 부재들이 상하 방향으로 배열되도록 제공된 수납 유닛 및 상기 수납 유닛에 기판을 반송하는 상부 반송 부재를 가지는 반송 유닛을 포함하되, 상기 상부 반송 부재는 복수의 제1핸드들이 상하 방향으로 서로 배열되도록 고정 결합된 제1아암 및 상기 제1아암과 상하 방향으로 이격되도록 제공되며, 단일의 제2핸드가 결합된 제2아암을 포함하되, 상기 제1아암과 상기 제2아암은 서로 간에 독립적으로 수평 방향을 따라 신장 가능하게 구동된다.
서로 인접하는 상기 지지 부재들 간에 간격인 지지 간격은 서로 동일하게 제공되고, 서로 인접하는 상기 제1핸드들 간에 간격인 핸드 간격은 서로 동일하게 제공되며, 상기 지지 간격과 상기 핸드 간격은 서로 동일하게 제공될 수 있다. 상기 제1핸드들 중 상기 제2핸드에 가장 인접하게 위치한 핸드와 상기 제2핸드 간에 간격은 상기 지지 간격과 동일할 수 있다. 상기 반송 유닛은 상기 제1아암 및 상기 제2아암 각각을 지지하는 지지 몸체 및 상기 지지 몸체에 고정 결합되며, 상하 방향으로 이동 가능한 승강축을 더 포함할 수 있다. 상기 반송 유닛은 상기 상부 반송 부재의 아래에 위치되며, 기판을 반송하는 하부 반송 부재를 더 포함하되, 상기 하부 반송 부재는 단일의 제3핸드가 결합된 제3아암 및 상기 제3아암과 상하 방향으로 이격되도록 제공되며, 복수의 제4핸드들이 상하 방향으로 서로 배열되도록 고정 결합된 제4아암을 포함하되, 상기 제3아암과 상기 제4아암은 서로 간에 독립적으로 수평 방향을 향하는 신장 가능하게 구동될 수 있다. 서로 인접하는 상기 제4핸드들 간에 간격은 핸드 간격과 동일하게 제공되며, 상기 제4핸드들 중 상기 제3핸드에 가장 인접하게 위치한 핸드와 상기 제3핸드 간에 간격은 상기 핸드 간격과 동일할 수 있다. 위에서 아래를 향하는 방향을 따라 상기 제1핸드들, 상기 제2핸드, 상기 제3핸드, 그리고 상기 제4핸드들은 순차적으로 배열되게 위치될 수 있다. 상기 제2핸드와 상기 제3핸드 간에 간격은 상기 핸드 간격보다 넓을 수 있다. 상기 제1핸드들 및 상기 제4핸드들 각각은 N 개(N은 3 이상의 자연수)로 제공되고, 상기 반송 유닛은 상기 상부 반송 부재 및 상기 하부 반송 부재를 제어하는 제어기를 더 포함하되, 상기 제어기는 N 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제1아암 또는 상기 제4아암으로 상기 N 개의 기판들을 동시 반송하고, 단일 기판을 반송 시에는 상기 제2아암 또는 상기 제3아암으로 단일 기판을 반송할 수 있다. 상기 N 개는 3 개로 제공되고, 상기 제어기는 2 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제2아암 및 상기 제3아암으로 상기 2 개의 기판들을 반송할 수 있다.
상기 기판 처리 장치는 기판을 공정 처리하는 공정 처리 유닛을 더 포함하고, 상기 수납 유닛은 내부에 수용 공간을 가지며, 일측면이 일 방향을 향해 개방된 통 형상을 가지는 수용 용기, 상기 일측면을 개폐하는 도어, 그리고 내부에 버퍼 공간을 가지며, 서로 마주보는 양 측면이 상기 일 방향을 향해 개방된 통 형상을 가지는 버퍼 용기를 포함하되, 상기 수용 용기, 상기 반송 유닛, 상기 버퍼 용기, 그리고 공정 처리 유닛은 상기 일 방향을 따라 배열되게 위치되고, 상기 상부 반송 부재는 상기 버퍼 용기에서 상기 수용 용기로 기판을 반송하고, 상기 하부 반송 부재는 상기 수용 용기에서 상기 버퍼 용기로 기판을 반송할 수 있다.
또한 상기 반송 유닛은 상기 제1아암, 상기 제2아암, 상기 제3아암, 그리고 상기 제4아암 각각을 지지하는 지지 몸체 및 상기 지지 몸체에 고정 결합되며, 상하 방향으로 이동 가능한 승강축을 더 포함할 수 있다. 상기 제1핸드들, 상기 제2핸드, 상기 제3핸드, 그리고 상기 제4핸드들 각각은 세라믹을 포함하는 재질로 제공될 수 있다.
상기 반송 유닛은 상기 제1아암 및 상기 제2아암을 제어하는 제어기를 더 포함하고, 상기 수납 유닛은 내부에 버퍼 공간을 가지며, 서로 마주보는 양 측면이 개방된 통 형상을 가지는 버퍼 용기를 포함하되, 상기 제어기는 상기 버퍼 공간에 복수 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제1아암 및 상기 제2아암 중 하나의 아암으로 기판을 반송하고, 이후에 다른 아암으로 기판을 반송할 수 있다.
또한 상기 수납 유닛은 내부에 수용 공간을 가지며, 일면이 개방된 통 형상을 가지는 수용 용기 및 상기 수용 용기의 개방된 일측면을 개폐하는 도어를 더 포함하되, 상기 제어기는 상기 수용 공간에 복수 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제1아암 및 상기 제2아암으로 상기 복수 개의 기판들을 동시 반송할 수 있다.
반송 유닛은 복수의 제1핸드들이 상하 방향으로 서로 배열되도록 고정 결합된 제1아암 및 상기 제1아암과 상하 방향으로 이격되도록 제공되며, 단일의 제2핸드가 결합된 제2아암을 포함하되, 상기 제1아암과 상기 제2아암은 서로 간에 독립적으로 수평 방향을 따라 신장 가능하게 구동된다.
서로 인접하는 상기 제1핸드들 간에 간격인 핸드 간격은 서로 동일하게 제공되며, 상기 제1핸드들 중 상기 제2핸드에 가장 인접하게 위치한 핸드와 상기 제2핸드 간에 간격은 상기 핸드 간격과 동일할 수 있다. 상기 반송 유닛은 단일의 제3핸드가 결합된 제3아암 및 상기 제3아암과 상하 방향으로 이격되도록 제공되며, 복수의 제4핸드들이 상하 방향으로 서로 배열되도록 고정 결합된 제4아암을 더 포함하되, 상기 제3아암과 상기 제4아암은 서로 간에 독립적으로 수평 방향을 향하는 신장 가능하게 구동되고, 위에서 아래를 향하는 방향을 따라 상기 제1핸드들, 상기 제2핸드, 상기 제3핸드, 그리고 상기 제4핸드들은 순차적으로 배열되게 위치될 수 있다. 서로 인접하는 상기 제4핸드들 간에 간격은 상기 핸드 간격과 동일하게 제공되며, 상기 제4핸드들 중 상기 제3핸드에 가장 인접하게 위치한 핸드와 상기 제3핸드 간에 간격은 상기 핸드 간격과 동일하게 제공되며, 상기 제2핸드와 상기 제3핸드 간에 간격은 상기 핸드 간격보다 넓을 수 있다. 상기 반송 유닛은 상기 제1아암, 상기 제2아암, 상기 제3아암, 그리고 상기 제4아암 각각을 지지하는 지지 몸체 및 상기 지지 몸체에 고정 결합되며, 상하 방향으로 이동 가능한 승강축을 더 포함할 수 있다.
상기 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 반송 처리하는 방법으로는, 상기 반송 유닛은 제1모드 및 제2모드로 기판을 반송 처리하되, 상기 제1모드는 상기 수납 유닛의 형상에 따라 상기 제1아암 및 상기 제2아암의 동작을 상이하게 제어하는 모드이고, 상기 제2모드는 반송되는 기판의 개수에 따라 상기 제1아암 및 상기 제2아암의 동작을 상이하게 제어하는 모드로 제공된다.
상기 수납 유닛은 일면이 개방된 통 형상을 가지는 수용 용기 및 서로 마주보는 양면이 개방된 통 형상을 가지는 버퍼 용기를 포함하되, 상기 수용 용기에 복수 개의 기판을 반송 시에는 상기 제1아암 및 상기 제2아암으로 상기 복수 개의 기판들을 동시 반송하고, 상기 버퍼 공간에 복수 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제1아암 및 상기 제2아암 중 하나의 아암으로 기판을 반송하고, 이후에 다른 아암으로 기판을 반송할 수 있다.
또한 상기 제1핸드들은 N 개(N은 3 이상의 자연수)로 제공되고, 상기 N 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제1아암으로 상기 N 개의 기판들을 동시 반송하고, 단일 기판을 반송 시에는 상기 제2아암으로 상기 단일 기판을 반송할 수 있다. 상기 N 개는 3 개로 제공되고, 상기 반송 유닛은 상기 제1핸드들보다 상기 제2핸드에 더 가깝게 위치되는 단일의 제3핸드가 결합되는 제3아암을 더 포함하되, 2 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제2아암 및 상기 제3아암으로 상기 2 개의 기판들을 반송 처리할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 상하 방향으로 정렬된 복수 개의 제1핸드들은 제1아암에 고정 결합되어 동시 이동이 가능하다. 이로 인해 복수 개의 기판을 정 위치에 동시 반송할 수 있다.
도 1은 일반적인 반송 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 평면도이다.
도 3은 도 2의 인덱스 모듈을 보여주는 단면도이다.
도 4는 도 2의 수납 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 2의 반송 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 6은 도 5의 아암 및 핸드를 보여주는 단면도이다.
도 7은 도 2의 버퍼 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 8은 도 6의 버퍼 유닛을 수직 방향으로 절단한 단면도이다.
도 9는 도 2의 공정 챔버를 보여주는 단면도이다.
도 10은 제1모드로 기판을 반송하는 과정을 보여주는 단면도들이다.
도 11은 제2모드로 기판을 반송하는 과정을 보여주는 단면도들이다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
이하, 도 2 내지 도 11을 참조하여 본 발명의 일 예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 평면도이고, 도 3은 도 2의 인덱스 모듈을 보여주는 단면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 기판 처리 장치(1)는 인덱스 모듈(10)과 공정 처리 모듈(20)을 가진다. 인덱스 모듈(10)은 로드 포트(120) 및 이송 프레임(140)을 가진다. 로드 포트(120), 이송 프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)은 순차적으로 일렬로 배열된다. 이하, 로드 포트(120), 이송 프레임(140), 그리고 공정 처리 모듈(20)이 배열된 방향을 제1방향(12)이라 하고, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라 하며, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 칭한다.
로드 포트(120)는 복수 개가 제공되며, 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치된다. 로드 포트(120)의 개수는 공정 처리 모듈(20)의 공정효율 및 풋 프린트조건 등에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다. 각 로드 포트(120)에는 캐리어(130)가 안착된다. 일 예에 의하면, 캐리어(130)는 내부에 기판(W)이 수납되는 수납 유닛으로 제공될 수 있다. 수납 유닛은 전면 개방 일체형 포드(Front Opening Unifed Pod;FOUP)가 사용될 수 있다. 도 4는 도 2의 캐리어를 보여주는 사시도이다. 도 4를 참조하면, 캐리어(130)는 수용 용기(132) 및 도어(134)를 포함한다. 수용 용기(132)는 일측면이 개방된 통 형상을 가진다. 수용 용기(132)의 내부에는 수용 공간(136)이 형성된다. 수용 공간(136)은 복수 개의 기판들(W)이 수용 가능한 공간으로 제공된다. 수용 공간(136)에는 복수 개의 지지 부재들(138)이 제공된다. 지지 부재들은 상하 방향으로 서로 이격되게 배열된다. 서로 인접한 2 개의 지지 부재들(138) 간에 지지 간격은 서로 동일하게 제공된다. 지지 부재(138)는 기판(W)을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 복수 개의 슬롯(138)으로 제공된다. 예컨대, 지지 부재(138)는 수평 방향으로 서로 마주보는 2 개의 슬롯을 포함할 수 있다. 각각의 슬롯은 서로 마주보는 수용 용기(132)의 양 내측면에 각각 위치된다.
이송 프레임(140)은 로드 포트(120)에 안착된 캐리어(130)와 버퍼 유닛(220) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송 프레임(140)에는 인덱스 레일(142)과 반송 유닛(400)이 제공된다. 인덱스 레일(142)은 그 길이 방향이 제2방향(14)과 나란하게 제공된다. 반송 유닛(400)(144)은 인덱스 레일(142) 상에 설치되며, 인덱스 레일(142)을 따라 제2방향(14)으로 이동 가능하다.
도 5는 도 2의 반송 유닛을 보여주는 사시도이고, 도 6은 도 5의 아암 및 핸드를 보여주는 단면도이다. 도 5 및 도 6을 참조하면, 반송 유닛(400)은 구동 부재(410), 상부 반송 부재(520), 하부 반송 부재(530), 그리고 제어기(600)를 포함한다. 구동 부재(410)는 상부 반송 부재(520) 및 하부 반송 부재(530)를 상하 방향으로 이동 및 축을 중심으로 회전시킨다. 구동 부재(410)는 승강 부재(420) 및 지지 몸체(440)를 포함한다. 승강 부재(420)는 연결 블록(424) 및 승강축(422)을 포함한다. 연결 블록(424)은 인덱스 레일(142)에 설치된다. 연결 블록(424)은 인덱스 레일(142)의 길이 방향을 따라 직선 이동이 가능하다. 승강축(422)은 지지 몸체(440) 및 연결 블록(424)을 서로 연결한다. 승강축(422)은 연결 블록(424)의 상면에 설치된다. 승강축(422)은 상하 방향을 향하는 길이 방향을 가진다. 승강축(422)은 상하 방향으로 길이가 조절 가능하다. 또한 승강축(422)은 그 중심축을 중심으로 회전 가능하다.
지지 몸체(440)는 승강축(422)의 상단에 고정 결합된다. 지지 몸체(440)는 승강 부재(420)에 의해 상하 방향으로 이동 및 수직축을 중심으로 회전 가능하다. 지지 몸체(440)의 측면에는 가이드 레일이 설치된다. 가이드 레일은 복수 개로 제공된다. 가이드 레일들은 서로 평행한 길이 방향을 가진다. 가이드 레일들의 길이 방향을 수평 방향을 향하도록 제공된다. 각각의 가이드 레일은 지지 몸체(440)의 서로 상이한 위치에 설치된다. 각각의 가이드 레일에는 서로 상이한 아암들(522,524,532,534)을 설치된다. 예컨대, 가이드 레일은 4 개이며, 지지 몸체(440)의 일측 및 타측 각각에 2 개씩 제공될 수 있다. 지지 몸체(440)의 일측면에 제공된 가이드 레일에는 상부 반송 부재(520)의 아암들(522,524)이 설치되고, 타측면에 제공된 가이드 레일에는 하부 반송 부재(530)의 아암들(532,534)이 설치될 수 있다. 각각의 가이드 레일에는 구동 모터(미도시)가 설치되고, 각 구동 모터(미도시)는 독립 제어가 가능하다. 이에 따라 복수 개의 아암들(522,524,532,534)은 서로 간에 독립적으로 수평 방향을 따라 신장 가능하게 구동된다.
상부 반송 부재(520)는 버퍼 유닛(220)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송하고, 하부 반송 부재(530)는 캐리어(130)에서 버퍼 유닛(220)으로 기판(W)을 반송한다. 이는 기판(W)을 반입 및 반출하는 과정에서 공정 처리 전의 기판(W)으로부터 발생된 파티클이 공정 처리 후의 기판(W)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.
상부 반송 부재(520)는 1 이상의 기판(W)을 반송 처리한다. 상부 반송 부재(520)는 전진 및 후진 이동하여 기판(W)을 제1방향(12)으로 반송할 수 있다. 상부 반송 부재(520)는 제1아암(522) 및 제2아암(524)을 포함한다. 제1아암(522)은 수평 방향을 향하는 바 형상을 가진다. 제1아암(522)은 가이드 레일에 설치되며, 가이드 레일의 길이 방향을 따라 수평 방향으로 이동 가능하다. 제1아암(522)의 끝단에는 N 개(N은 3 이상의 자연수)의 제1핸드들(542)이 고정 결합된다. 따라서 제1핸드들(542)에 의해 복수 개의 기판(W)들은 반송 처리 가능하다. 제1핸드들(542)은 기판(W)이 안착되는 안착면을 가지는 판 형상을 가진다. 예컨대, 제1핸드들(542)은 'Y' 자 또는 'U' 자의 판 형상으로 제공될 수 있다. 제1핸드들(542)은 상하 방향으로 서로 이격되게 배열된다. 상부에서 바라볼 때 제1핸드들(542)은 서로 중첩되게 위치된다. 서로 인접한 제1핸드들(542) 간에 핸드 간격은 서로 동일하게 제공된다. 일 예에 의하면, 제1핸드들(542)은 3 개일 수 있다. 핸드 간격은 지지 간격과 동일하게 제공될 수 있다. 핸드 간격은 10 mm 일 수 있다.
제2아암(524)은 수평 방향을 향하는 바 형상을 가진다. 제2아암(524)은 가이드 레일에 설치되며, 가이드 레일의 길이 방향을 따라 수평 방향으로 이동 가능하다. 제2아암(524)의 끝단에는 단일의 제2핸드(544)가 고정 결합된다. 따라서 제2핸드(544)에 의해 단일 기판(W)이 반송 처리 가능하다. 제2핸드(544)는 제1핸드들(542) 중 최하위에 위치되는 핸드보다 아래에 위치된다. 제2핸드(544)는 제1핸들에 마주보도록 위치된다. 상부에서 바라볼 때 제2핸드(544) 및 제1핸드들(542)은 서로 중첩되게 위치된다. 제2핸드(544)와 제1핸드들(542) 중 최하위에 위치되는 핸드 간에 간격은 핸드 간격과 동일하게 제공된다. 제2핸드(544)는 제1핸드와 동일한 형상을 가진다.
하부 반송 부재(530)는 상부 반송 부재(520)의 아래에서 1 이상의 기판(W)을 반송 처리한다. 하부 반송 부재(530)는 전진 및 후진 이동하여 기판(W)을 제1방향으로 반송할 수 있다. 하부 반송 부재(530)는 제3아암(532) 및 제4아암(534)을 포함한다. 제3아암(532)은 수평 방향을 향하는 바 형상을 가진다. 제3아암(532)은 가이드 레일에 설치되며, 가이드 레일의 길이 방향을 따라 수평 방향으로 이동 가능하다. 제3아암(532)의 끝단에는 단일의 제3핸드(552)이 고정 결합된다. 따라서 제3핸드(552)에 의해 단일의 기판(W)이 반송 처리 가능하다. 제3핸드(552)는 제1핸드(542)와 동일한 형상을 가진다. 제3핸드(552)는 제2핸드(544)보다 아래에 위치된다. 제3핸드(552)는 제2핸드(544)에 마주보도록 위치된다. 상부에서 바라볼 때 제3핸드(552) 및 제2핸드(544)는 서로 중첩되게 위치된다. 제2핸드(544)와 제3핸드(552) 간에 간격은 핸드 간격보다 넓게 제공된다.
제4아암(534)은 수평 방향을 향하는 바 형상을 가진다. 제4아암(534)은 가이드 레일에 설치되며, 가이드 레일의 길이 방향을 따라 수평 방향으로 이동 가능하다. 제4아암(534)의 끝단에는 N 개(N은 3 이상의 자연수)의 제4핸드들(554)이 고정 결합된다. 따라서 제4핸드들(554)에 의해 복수 개의 기판(W)들은 반송 처리 가능하다. 제4핸드들(554) 각각은 제1핸드들(542)와 동일한 형상을 가진다. 복수 개의 제4핸드들(554)은 제3핸드(552)보다 아래에 위치된다. 제4핸드들(554)은 제3핸드(552)에 마주보도록 위치된다. 제4핸드들(554)은 상하 방향으로 서로 이격되게 배열된다. 상부에서 바라볼 때 제4핸드들(554)은 서로 중첩되게 위치된다. 서로 인접한 제4핸드들(554) 간에 핸드 간격은 서로 동일하게 제공된다. 제4핸드들(554) 중 최상위에 위치되는 핸드와 제3핸드(552) 간에 간격은 핸드 간격과 동일하게 제공된다. 일 예에 의하면, 제4핸드들(554)은 3 개일 수 있다.
따라서 위에서 아래를 향하는 방향을 따라 제1핸드들(542), 제2핸드(544), 제3핸드(552), 그리고 제4핸드들(554)은 순차적으로 배열되게 위치된다. 예컨대, 제1핸드들(542), 제2핸드(544), 제3핸드(552), 그리고 제4핸드들(554) 각각은 세라믹을 포함하는 재질로 제공될 수 있다.
제어기(600)는 제1모드 또는 제2모드로 기판(W)이 반송되도록 상부 반송 부재(520) 및 하부 반송 부재(530)를 제어한다. 여기서 제1모드는 기판(W)이 수용되는 유닛의 종류의 따라 각 아암(520)의 동작을 상이하게 제어하는 모드이고, 제2모드는 반송되는 기판(W)의 개수에 따라 각 아암(520)의 동작을 상이하게 제어하는 모드이다.
공정 처리 모듈(20)은 버퍼 유닛(220), 이송 챔버(240), 그리고 공정 챔버(260)를 가진다. 이송 챔버(240)는 그 길이 방향이 제1방향(12)과 평행하게 배치된다. 이송 챔버(240)의 양측에는 각각 공정 챔버들(260)이 배치된다. 이송 챔버(240)의 일측 및 타측에서 공정 챔버들(260)은 이송 챔버(240)를 기준으로 대칭되도록 제공된다. 이송 챔버(240)의 일측에는 복수 개의 기판처리부(260)들이 제공된다. 공정 챔버들(260) 중 일부는 이송 챔버(240)의 길이 방향을 따라 배치된다. 또한, 공정 챔버들(260) 중 일부는 서로 적층되게 배치된다. 즉, 이송 챔버(240)의 일측에는 공정 챔버들(260)이 A X B의 배열로 배치될 수 있다. 여기서 A는 제1방향(12)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이고, B는 제3방향(16)을 따라 일렬로 제공된 공정 챔버(260)의 수이다. 이송 챔버(240)의 일측에 공정 챔버(260)가 4개 또는 6개 제공되는 경우, 공정 챔버(260)들은 2 X 2 또는 3 X 2의 배열로 배치될 수 있다. 공정 챔버(260)의 개수는 증가하거나 감소할 수도 있다. 상술한 바와 달리, 공정 챔버(260)는 이송 챔버(240)의 일측에만 제공될 수 있다. 또한, 공정 챔버(260)는 이송 챔버(240)의 일측 및 양측에 단층으로 제공될 수 있다.
버퍼 유닛(220)은 이송 프레임(140)과 이송 챔버(240) 사이에 배치된다. 버퍼 유닛(220)의 내부에는 버퍼 공간(226)이 형성된다. 버퍼 공간(226)은 이송 챔버(240)와 이송 프레임(140) 간에 기판(W)이 반송되기 전 또는 후에 기판(W)이 일시적으로 머무르는 공간을 제공한다.
도 7은 도 2의 버퍼 유닛을 보여주는 사시도이고, 도 8은 도 6의 버퍼 유닛을 수직 방향으로 절단한 단면도이다. 도 7 및 도 8을 참조하면, 버퍼 유닛(220)은 버퍼 용기(222), 지지 부재(228), 그리고 센서(224)를 포함한다. 버퍼 용기(222)는 서로 마주보는 양 측면이 직육면체 형상을 가진다. 버퍼 용기(222)의 개방된 측면들은 기판(W)이 반입출입되는 입구로 기능한다. 버퍼 용기(222)의 개방된 일측면은 이송 프레임(140)과 마주보는 면이고, 버퍼 용기(222)의 개방된 타측면은 이송 챔버(240)와 마주보는 면으로 제공된다.
지지 부재(228)는 버퍼 공간(226)에서 기판을 지지한다. 지지 부재(228)는 복수 개로 제공되며, 상하 방향을 따라 서로 이격되게 배열된다. 지지 부재들(228)은 각 핸드들을 합한 개수 또는 그 이상으로 제공된다. 본 실시예에는 지지 부재들(228)이 각 핸드들(542,544,552,554)을 합한 개수와 동일한 개수로 제공되는 것으로 설명한다. 지지 부재(228)는 기판(W)을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 복수 개의 슬롯으로 제공된다. 예컨대, 지지 부재(228)는 2 개의 슬롯을 포함할 수 있다. 각각의 슬롯은 서로 마주보는 버퍼 용기(222)의 양 내측면에 각각 위치된다. 일부 지지 부재들(228) 간에 간격은 핸드 간격과 동일하게 제공되고, 이와 다른 지지 부재들(228) 간에 간격은 핸드 간격보다 넓게 제공된다. 일 예에 의하면, 상부에 위치한 4 개의 지지 부재들(228) 간에 간격은 핸드 간격과 동일하게 제공되고, 하부에 위치한 4 개의 지지 부재들(228) 간에 간격은 핸드 간격과 동일하게 제공될 수 있다. 상부에 위치한 지지 부재들(228) 중 가장 아래에 위치한 지지 부재(228), 그리고 하부에 위치한 지지 부재들(228) 중 가장 위에 위치한 지지 부재(228) 간에 간격은 핸드 간격보다 넓게 제공될 수 있다.
센서(224)는 버퍼 공간(226)에 수용된 기판들의 정렬 상태를 센싱한다. 센서(224)는 수광기(224a) 및 발광기(224b)를 포함한다. 수광기(224a) 및 발광기(224b)는 상하 방향으로 서로 대향되게 위치된다. 수광기(224a)는 발광기(224b)로부터 발광된 광 소자를 수광한다. 수광기(224a) 및 발광기(224b) 중 하나는 버퍼 용기(222)의 상부면에 설치되고, 다른 하나는 버퍼 용기(222)의 바닥면에 설치된다. 수광기(224a) 및 발광기(224b) 각각은 복수 개로 제공되며, 버퍼 용기(222)의 개방된 양면 각각에 인접하게 위치된다. 선택적으로 수광기(224a) 및 발광기(224b) 각각은 단일하게 제공되며, 버퍼 용기(222)의 개방된 양면 중 일면에 인접하게 위치될 수 있다.
이송 챔버(240)는 버퍼 유닛(220)과 공정 챔버(260) 간에, 그리고 공정 챔버들(260) 간에 기판(W)을 반송한다. 이송 챔버(240)에는 가이드레일(242)과 메인로봇(244)이 제공된다. 가이드레일(242)은 그 길이 방향이 제1방향(12)과 나란하도록 배치된다. 메인로봇(244)은 가이드레일(242) 상에 설치되고, 가이드레일(242) 상에서 제1방향(12)을 따라 직선 이동된다. 메인로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 그리고 메인암(244c)을 가진다. 베이스(244a)는 가이드레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합된다. 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 제3방향(16)을 따라 이동 가능하도록 제공된다. 또한, 몸체(244b)는 베이스(244a) 상에서 회전 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 이는 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 이동 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수 개 제공되어 각각 개별 구동되도록 제공된다. 메인암(244c)들은 제3방향(16)을 따라 서로 이격된 상태로 적층되게 배치된다.
공정 챔버(260)는 기판(W)에 대해 세정 공정을 수행하는 공정 처리 유닛(300)으로 제공된다. 공정 처리 유닛(300)은 수행하는 세정 공정의 종류에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 이와 달리 각각의 공정 챔버(260) 내에는 동일한 구조의 장치가 제공될 수 있다. 선택적으로 공정 챔버들(260)은 복수 개의 그룹으로 구분되어, 동일한 그룹에 속하는 공정 챔버(260) 내에 장치(300)는 서로 동일하고, 서로 상이한 그룹에 속하는 공정 챔버(260) 내에 장치(300)의 구조는 서로 상이하게 제공될 수 있다.
도 9는 도 2의 공정 챔버를 보여주는 단면도이다. 도 9를 참조하면, 기판 처리 장치(300)는 처리 용기(320), 스핀 헤드(340), 승강 유닛(360), 그리고 액 공급 유닛(380)을 포함한다.
처리 용기(320)는 상부가 개방된 통 형상을 가진다. 처리 용기(320)는 내부회수통(322) 및 외부회수통(326)을 가진다. 각각의 회수통(322,326)은 공정에 사용된 처리액들 중 서로 상이한 처리액을 회수한다. 내부회수통(322)은 스핀 헤드(340)를 감싸는 환형의 링 형상으로 제공되고, 외부회수통(326)은 내부회수통(326)을 감싸는 환형의 링 형상으로 제공된다. 내부회수통(322)의 내측공간(322a) 및 내부회수통(322)은 내부 회수통(322)으로 처리액이 유입되는 제1유입구(322a)로서 기능한다. 내부 회수통(322)과 외부회수통(326)의 사이공간(326a)은 외부회수통(326)으로 처리액이 유입되는 제2유입구(326a)로서 기능한다. 일 예에 의하면, 각각의 유입구(322a,326a)는 서로 상이한 높이에 위치될 수 있다. 각각의 회수통(322,326)의 저면 아래에는 회수라인(322b,326b)이 연결된다. 각각의 회수통(322,326)에 유입된 처리액들은 회수라인(322b,326b)을 통해 외부의 처리액 재생 시스템(미도시)으로 제공되어 재사용될 수 있다.
스핀 헤드(340)는 공정 진행 중 기판(W)을 지지 및 회전시키는 기판 지지 유닛(340)으로 제공된다. 스핀 헤드(340)는 몸체(342), 지지핀(344), 척핀(346), 그리고 지지축(348)을 가진다. 몸체(342)는 상부에서 바라볼 때 대체로 원형으로 제공되는 상부면을 가진다. 몸체(342)의 저면에는 구동부(349)에 의해 회전가능한 지지축(348)이 고정결합된다.
지지핀(344)은 복수 개 제공된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면의 가장자리부에 소정 간격으로 이격되게 배치되고 몸체(342)에서 상부로 돌출된다. 지지 핀(344)들은 서로 간에 조합에 의해 전체적으로 환형의 링 형상을 가지도록 배치된다. 지지핀(344)은 몸체(342)의 상부면으로부터 기판(W)이 일정거리 이격되도록 기판(W)의 후면 가장자리를 지지한다.
척핀(346)은 복수 개 제공된다. 척핀(346)은 몸체(342)의 중심에서 지지핀(344)보다 멀리 떨어지게 배치된다. 척핀(346)은 몸체(342)에서 상부로 돌출되도록 제공된다. 척핀(346)은 스핀 헤드(340)가 회전될 때 기판(W)이 정 위치에서 측 방향으로 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 척핀(346)은 몸체(342)의 반경 방향을 따라 외측 위치와 내측 위치 간에 직선 이동이 가능하도록 제공된다. 외측 위치는 내측 위치에 비해 몸체(342)의 중심으로부터 멀리 떨어진 위치이다. 기판(W)이 스핀 헤드(340)에 로딩 또는 언로딩 시 척핀(346)은 외측 위치에 위치되고, 기판(W)에 대해 공정 수행 시 척 핀(346)은 내측 위치에 위치된다. 내측 위치는 척핀(346)과 기판(W)의 측부가 서로 접촉되는 위치이고, 외측 위치는 척핀(346)과 기판(W)이 서로 이격되는 위치이다.
승강 유닛(360)은 처리 용기(320)를 상하 방향으로 직선 이동시킨다. 처리 용기(320)가 상하로 이동됨에 따라 스핀 헤드(340)에 대한 처리 용기(320)의 상대 높이가 변경된다. 승강 유닛(360)은 브라켓(362), 이동축(364), 그리고 구동기(366)를 가진다. 브라켓(362)은 처리 용기(320)의 외벽에 고정설치되고, 브라켓(362)에는 구동기(366)에 의해 상하 방향으로 이동되는 이동축(364)이 고정결합된다. 기판(W)이 스핀 헤드(340)에 놓이거나, 스핀 헤드(340)로부터 들어올려 질 때 스핀 헤드(340)가 처리 용기(320)의 상부로 돌출되도록 처리 용기(320)는 하강된다. 또한, 공정이 진행될 시에는 기판(W)에 공급된 처리액의 종류에 따라 처리액이 기설정된 회수통(360)으로 유입될 수 있도록 처리 용기(320)의 높이가 조절한다. 선택적으로, 승강 유닛(360)은 스핀 헤드(340)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
액 공급 유닛(380)은 기판(W) 상으로 처리액을 공급한다. 액 공급 유닛(380)은 복수 개로 제공되며, 각각은 서로 상이한 종류의 처리액들을 공급할 수 있다. 액 공급 유닛(380)은 이동 부재(381) 및 노즐(390)을 포함한다.
이동 부재(381)는 노즐(390)을 공정 위치 및 대기 위치로 이동시킨다. 여기서 공정 위치는 노즐(390)이 기판 지지 유닛(340)에 지지된 기판(W)과 대향되는 위치이고, 대기 위치는 노즐(390)이 공정 위치를 벗어난 위치로 정의한다.
이동 부재(381)는 지지축(386), 아암(382), 그리고 구동기(388)를 포함한다. 지지축(386)은 처리 용기(320)의 일측에 위치된다. 지지축(386)은 그 길이방향이 제3방향을 향하는 로드 형상을 가진다. 지지축(386)은 구동기(388)에 의해 회전 가능하도록 제공된다. 지지축(386)은 승강 이동이 가능하도록 제공된다. 아암(382)은 지지축(386)의 상단에 결합된다. 아암(382)은 지지축(386)으로부터 수직하게 연장된다. 아암(382)의 끝단에는 노즐(390)이 고정 결합된다. 지지축(386)이 회전됨에 따라 노즐(390)은 아암(382)과 함께 스윙 이동 가능하다. 노즐(390)은 스윙 이동되어 공정 위치 및 대기 위치로 이동될 수 있다. 상부에서 바라볼 때 노즐(390)은 공정 위치에서 기판(W)의 중심축과 일치되도록 위치될 수 있다. 예컨대, 처리액은 케미칼일 수 있다. 케미칼은 산 또는 염기 성질을 가지는 식각액일 수 있다. 케미칼은 황산(H2SO4), 인산(P2O5), 그리고 수산화 암모늄(NH4OH)을 포함할 수 있다. 선택적으로 아암(382)은 그 길이방향을 향해 전진 및 후진 이동이 가능하도록 제공될 수 있다.
다음은 상술한 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 반송 처리하는 과정을 설명한다. 도 10은 제1모드로 기판을 반송하는 과정을 보여주는 단면도들이다. 제1모드에 의하면, 버퍼 공간(226)에 수용된 기판(W)들을 반출 시에는 제1아암(522) 및 제2아암(524) 중 하나의 아암으로 기판(W)을 반출하고, 이후에 다른 아암으로 기판(W)을 반출한다. 일 예에 의하면, 제1아암(522)으로 3 개의 기판(W)들을 반출한 후에 제2아암(524)으로 1 개의 기판(W)을 반출한다.
이는 수용 용기(132)에 기판(W)들이 비정렬된 상태로 수용될지라도, 그 비정렬된 기판(W)들은 도어가 수용 용기(132)를 폐쇄하는 과정에서 재정렬될 수 있다. 이로 인해 제1핸드(542)들 및 제2핸드(544)가 동작하는 과정에서 지지 부재에 놓인 기판(W)을 건드리고, 그 기판(W)이 비정렬 상태가 될지라도 자동 복구 가능하다. 이와 달리 버퍼 용기에는 양 측면이 개방되며, 버퍼 공간(226)에 수용된 기판(W)을 정렬시킬 수 있는 수단이 없다. 이로 인해 제1핸드(542)들 및 제2핸드(544)을 순차적으로 동작하여 버퍼 공간(226)에 수용된 기판(W)과 핸드 간에 마찰을 최소화할 수 있다.
또한 버퍼 공간(226)에 기판(W)들을 반입 시에는 제3아암(532) 및 제4아암(534) 중 하나의 아암으로 기판(W)을 반입하고, 이후에 다른 아암으로 기판(W)을 반입한다. 일 예에 의하면, 제3아암(532)으로 1 개의 기판(W)들을 반입한 후에 제4아암(534)으로 3 개의 기판(W)들을 반입한다.
도 11은 제2모드로 기판을 반송하는 과정을 보여주는 단면도들이다. 제2모드에 의하면, 3 개의 기판(W)들을 반송 시에는 제1아암(522) 또는 제4아암(534)으로 3 개의 기판(W)들을 동시 반송한다. 이와 달리 단일 기판(W)을 반송 시에는 제2아암(524) 또는 제3아암(532)으로 단일 기판(W)을 반송한다. 또한 2 개의 기판(W)들을 반송 시에는 제2아암(524) 및 제3아암(532)으로 2 개의 기판(W)들을 동시 반송한다. 제2핸드(544) 및 제3핸드(552)는 그 위치가 서로 인접하게 위치된다. 이로 인해 제2핸드(544) 및 제3핸드(552)가 2 개의 기판(W)들을 반입 및 반출하기 위한 동선을 최소화할 수 있다.
상술한 바와 달리, 제1모드는 상부 반송 부재 및 하부 반송 부재가 수납 용기에 대한 기판 반송 동작이 상이하게 제어하는 모드이고, 제2모드는 반송되는 기판의 개수에 따라 제1아암, 제2아암, 그리고 제3아암의 동작을 상이하게 제어하는 모드로 제공될 수 있다.
522: 제1아암 524: 제2아암
532: 제3아암 542: 제4아암
542: 제1핸드 544: 제2핸드
552: 제3핸드 554: 제4핸드
600: 제어기

Claims (24)

  1. 기판을 지지하는 지지 부재들이 상하 방향으로 배열되도록 제공된 수납 유닛과;
    상기 수납 유닛에 기판을 반송하는 상부 반송 부재 및 상기 상부 반송 부재의 아래에 위치되는 하부 반송 부재 각각을 가지는 반송 유닛을 포함하되,
    상기 상부 반송 부재는,
    복수의 제1핸드들이 상하 방향으로 서로 배열되도록 고정 결합된 제1아암과;
    상기 제1아암과 상하 방향으로 이격되도록 제공되며, 단일의 제2핸드가 결합된 제2아암을 포함하되,
    상기 제1아암과 상기 제2아암은 서로 간에 독립적으로 수평 방향을 따라 신장 가능하게 구동되되,
    서로 인접하는 상기 지지 부재들 간에 간격인 지지 간격은 서로 동일하게 제공되고,
    서로 인접하는 상기 제1핸드들 간에 간격인 핸드 간격은 서로 동일하게 제공되며,
    상기 지지 간격과 상기 핸드 간격은 서로 동일하게 제공되며,
    상기 제1핸드들 중 상기 제2핸드에 가장 인접하게 위치한 핸드와 상기 제2핸드 간에 간격은 상기 지지 간격과 동일하게 제공되고,
    상기 하부 반송 부재는,
    단일의 제3핸드가 결합된 제3아암과;
    상기 제3아암과 상하 방향으로 이격되도록 제공되며, 복수의 제4핸드들이 상하 방향으로 서로 배열되도록 고정 결합된 제4아암을 포함하되,
    상기 제3아암과 상기 제4아암은 서로 간에 독립적으로 수평 방향을 향하는 신장 가능하게 구동되는 기판 처리 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 반송 유닛은,
    상기 제1아암 및 상기 제2아암 각각을 지지하는 지지 몸체와;
    상기 지지 몸체에 고정 결합되며, 상하 방향으로 이동 가능한 승강축을 더 포함한 기판 처리 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    서로 인접하는 상기 제4핸드들 간에 간격은 핸드 간격과 동일하게 제공되며,
    상기 제4핸드들 중 상기 제3핸드에 가장 인접하게 위치한 핸드와 상기 제3핸드 간에 간격은 상기 핸드 간격과 동일한 기판 처리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    위에서 아래를 향하는 방향을 따라 상기 제1핸드들, 상기 제2핸드, 상기 제3핸드, 그리고 상기 제4핸드들은 순차적으로 배열되게 위치되는 기판 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제2핸드와 상기 제3핸드 간에 간격은 상기 핸드 간격보다 넓은 기판 처리 장치.
  9. 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1핸드들 및 상기 제4핸드들 각각은 N 개(N은 3 이상의 자연수)로 제공되고,
    상기 반송 유닛은 상기 상부 반송 부재 및 상기 하부 반송 부재를 제어하는 제어기를 더 포함하되,
    상기 제어기는 N 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제1아암 또는 상기 제4아암으로 상기 N 개의 기판들을 동시 반송하고, 단일 기판을 반송 시에는 상기 제2아암 또는 상기 제3아암으로 단일 기판을 반송하는 기판 처리 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 N 개는 3 개로 제공되고,
    상기 제어기는 2 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제2아암 및 상기 제3아암으로 상기 2 개의 기판들을 반송하는 기판 처리 장치.
  11. 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는
    기판을 공정 처리하는 공정 처리 유닛을 더 포함하고,
    상기 수납 유닛은
    내부에 수용 공간을 가지며, 일측면이 일 방향을 향해 개방된 통 형상을 가지는 수용 용기와;
    상기 일측면을 개폐하는 도어와;
    내부에 버퍼 공간을 가지며, 서로 마주보는 양 측면이 상기 일 방향을 향해 개방된 통 형상을 가지는 버퍼 용기를 포함하되,
    상기 수용 용기, 상기 반송 유닛, 상기 버퍼 용기, 그리고 공정 처리 유닛은 상기 일 방향을 따라 배열되게 위치되고,
    상기 상부 반송 부재는 상기 버퍼 용기에서 상기 수용 용기로 기판을 반송하고,
    상기 하부 반송 부재는 상기 수용 용기에서 상기 버퍼 용기로 기판을 반송하는 기판 처리 장치.
  12. 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송 유닛은,
    상기 제1아암, 상기 제2아암, 상기 제3아암, 그리고 상기 제4아암 각각을 지지하는 지지 몸체와;
    상기 지지 몸체에 고정 결합되며, 상하 방향으로 이동 가능한 승강축을 더 포함하는 기판 처리 장치.
  13. 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1핸드들, 상기 제2핸드, 상기 제3핸드, 그리고 상기 제4핸드들 각각은 세라믹을 포함하는 재질로 제공되는 기판 처리 장치.
  14. 제1항 또는 제4항에 있어서,
    상기 반송 유닛은 상기 제1아암 및 상기 제2아암을 제어하는 제어기를 더 포함하고,
    상기 수납 유닛은,
    내부에 버퍼 공간을 가지며, 서로 마주보는 양 측면이 개방된 통 형상을 가지는 버퍼 용기를 포함하되,
    상기 제어기는 상기 버퍼 공간에 복수 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제1아암 및 상기 제2아암 중 하나의 아암으로 기판을 반송하고, 이후에 다른 아암으로 기판을 반송하는 기판 처리 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 수납 유닛은,
    내부에 수용 공간을 가지며, 일면이 개방된 통 형상을 가지는 수용 용기와;
    상기 수용 용기의 개방된 일측면을 개폐하는 도어를 더 포함하되,
    상기 제어기는 상기 수용 공간에 복수 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제1아암 및 상기 제2아암으로 상기 복수 개의 기판들을 동시 반송하는 기판 처리 장치.
  16. 복수의 제1핸드들이 상하 방향으로 서로 배열되도록 고정 결합된 제1아암과;
    상기 제1아암과 상하 방향으로 이격되도록 제공되며, 단일의 제2핸드가 결합된 제2아암과;
    단일의 제3핸드가 결합된 제3아암과;
    상기 제3아암과 상하 방향으로 이격되도록 제공되며, 복수의 제4핸드들이 상하 방향으로 서로 배열되도록 고정 결합된 제4아암을 포함하되,
    상기 제1아암과 상기 제2아암은 서로 간에 독립적으로 수평 방향을 따라 신장 가능하게 구동되고,
    상기 제3아암과 상기 제4아암은 서로 간에 독립적으로 수평 방향을 향하는 신장 가능하게 구동되며,
    서로 인접하는 상기 제1핸드들 간에 간격인 핸드 간격은 서로 동일하게 제공되며,
    상기 제1핸드들 중 상기 제2핸드에 가장 인접하게 위치한 핸드와 상기 제2핸드 간에 간격은 상기 핸드 간격과 동일하게 제공되는 반송 유닛.
  17. 삭제
  18. 제16항에 있어서,
    위에서 아래를 향하는 방향을 따라 상기 제1핸드들, 상기 제2핸드, 상기 제3핸드, 그리고 상기 제4핸드들은 순차적으로 배열되게 위치되는 반송 유닛.
  19. 제18항에 있어서,
    서로 인접하는 상기 제4핸드들 간에 간격은 상기 핸드 간격과 동일하게 제공되며,
    상기 제4핸드들 중 상기 제3핸드에 가장 인접하게 위치한 핸드와 상기 제3핸드 간에 간격은 상기 핸드 간격과 동일하게 제공되며,
    상기 제2핸드와 상기 제3핸드 간에 간격은 상기 핸드 간격보다 넓은 반송 유닛.
  20. 제18항 또는 제19항에 있어서,
    상기 반송 유닛은,
    상기 제1아암, 상기 제2아암, 상기 제3아암, 그리고 상기 제4아암 각각을 지지하는 지지 몸체와;
    상기 지지 몸체에 고정 결합되며, 상하 방향으로 이동 가능한 승강축을 더 포함하는 반송 유닛.
  21. 제1항 또는 제4항 중 어느 하나의 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 반송 처리하는 방법에 있어서,
    상기 수납 유닛은,
    일면이 개방된 통 형상을 가지는 수용 용기와;
    내부에 버퍼 공간이 형성되며, 서로 마주보는 양면이 개방된 통 형상을 가지는 버퍼 용기를 포함하고,
    상기 반송 유닛은 상기 수용 용기에 복수 개의 기판을 반송 시에는 상기 제1아암 및 상기 제2아암으로 상기 복수 개의 기판들을 동시 반송하고,
    상기 버퍼 공간에 복수 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제1아암 및 상기 제2아암 중 하나의 아암으로 기판을 반송하고, 이후에 다른 아암으로 기판을 반송하는 기판 처리 방법.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 제1핸드들은 N 개(N은 3 이상의 자연수)로 제공되고,
    상기 N 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제1아암으로 상기 N 개의 기판들을 동시 반송하고, 단일 기판을 반송 시에는 상기 제2아암으로 상기 단일 기판을 반송하는 기판 처리 방법.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 N 개는 3 개로 제공되고,
    상기 반송 유닛은,
    상기 제1핸드들보다 상기 제2핸드에 더 가깝게 위치되는 단일의 제3핸드가 결합되는 제3아암을 더 포함하되,
    2 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제2아암 및 상기 제3아암으로 상기 2 개의 기판들을 반송 처리하는 기판 처리 방법.
  24. 제6항 내지 제8항 중 어느 하나의 기판 처리 장치를 이용하여 기판을 반송 처리하는 방법에 있어서,
    상기 반송 유닛은 제1모드 또는 제2모드로 기판을 반송 처리하되,
    상기 제1모드는 상기 제1모드는 상기 상부 반송 부재가 상기 수납 유닛에 기판을 반입하고, 상기 하부 반송 부재가 상기 수납 유닛로부터 기판을 반출하는 모드이고,
    상기 제1핸드들은 N 개(N은 3 이상의 자연수)로 제공될 때 상기 제2모드는 상기 N 개의 기판들을 반송 시에 상기 제1아암 또는 상기 제4아암으로 상기 N 개의 기판들을 동시 반송하고, 단일 기판을 반송 시에 상기 제2아암 또는 상기 제3아암으로 상기 단일 기판을 반송하며, 2 개의 기판들을 반송 시에는 상기 제2아암 및 상기 제3아암으로 상기 2 개의 기판들을 반송 처리하는 모드로 제공되는 기판 처리 방법.






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