JP7465855B2 - 加熱処理装置、搬入搬出治具、および有機膜の形成方法 - Google Patents
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Description
例えば、内部にワークが保持される処理容器と、処理容器の内部に設けられ、ワークの表面に対向する板材と、処理容器の内部に設けられ、ワークの裏面に対向する板材と、処理容器の上側および下側に設けられた複数のヒータと、処理容器に連結されたロードロック室と、を有する加熱処理装置が提案されている。(例えば、特許文献1を参照)
この様な加熱処理装置とすれば、ワークの表面側、およびワークの裏面側から加熱を行うことができるので、処理時間の短縮を図ることができる。
また、処理容器の内部に、ワークの裏面に対向する板材が設けられているので、複数のヒータからの熱を板材に入射させることができる。板材に入射した熱は、板材の面方向に伝達しながらワークの裏面に入射する。
そのため、加熱処理の際に、ワークの表面温度、およびワークの裏面温度に面内分布のばらつきが生じるのを抑制することができる。その結果、形成された膜や、処理された層の品質に面内分布のばらつきが生じるのを抑制することができる。
ところが、板材は処理容器の内部に固定され、処理容器はロードロック室に固定されている。そのため、昇華物を除去する際にこれらの要素の分解と組立が必要となるので、メンテナンスに要する時間や労力が過大となる。また、昇華物を除去するメンテナンスを行っている間は、加熱処理装置を稼働させることができない。
以下においては、一例として、大気圧よりも減圧された雰囲気においてワークを加熱して、ワークの表面に有機膜を形成する加熱処理装置を説明する。しかしながら、本発明は、これに限定されるわけではない。例えば、本発明は、ワークを加熱して、ワークの表面に無機膜などを形成したり、ワークの表面を処理したりする加熱処理装置にも適用することができる。
なお、溶液には、液体が仮焼成されて半硬化状態(流れない状態)のものも含まれる。
基板は、例えば、ガラス基板や半導体ウェーハなどである。ただし、基板は、例示をしたものに限定されるわけではない。
溶液は、例えば、有機材料と溶剤を含んでいる。有機材料は、溶剤により溶解が可能なものであれば特に限定はない。溶液は、例えば、ポリアミド酸を含むワニスなどとすることができる。ただし、溶液は、例示をしたものに限定されるわけではない。
なお、図1においては、繁雑となるのを避けるために、カセット50を1つのみ描いている。
図2は、図1における加熱処理装置1のA-A線方向の模式断面図である。
なお、図2においては、繁雑となるのを避けるために、カセット50を省いて描いている。
図3は、チャンバ10、およびカセットラック60の模式斜視図である。
なお、各図中のX方向、Y方向、およびZ方向は、互いに直交する三方向を表している。本明細書における上下方向は、Z方向とすることができる。
図1に示すように、排気部20は、第1の排気部21、および第2の排気部22を有する。第1の排気部21、および第2の排気部22は、チャンバ10の底面に設けられた排気口16に接続されている。
排気ポンプ21aは、大気圧から所定の圧力まで粗引き排気を行う排気ポンプとすることができる。そのため、排気ポンプ21aは、後述する排気ポンプ22aよりも排気量が多い。排気ポンプ21aは、例えば、ドライ真空ポンプなどとすることができる。
排気ポンプ22aは、排気ポンプ21aによる粗引き排気の後、さらに低い所定の圧力まで排気を行う。排気ポンプ22aは、例えば、高真空の分子流領域まで排気可能な排気能力を有する。例えば、排気ポンプ22aは、ターボ分子ポンプ(TMP:Turbo Molecular Pump)などとすることができる。
第1の加熱部31は、カセット50の上方に設けられている。第1の加熱部31は、例えば、後述する一対の受け部材62の上方に設けられている。なお、カセット50の詳細については後述する。
後述するように、カセット50の内部にワーク100が支持される。そのため、第1の加熱部31は、カセット50の内部に支持されたワーク100の表面(上面)を加熱する。第2の加熱部32は、カセット50の内部に支持されたワーク100の裏面(下面)を加熱する。
また、ヒータ33は、一方向に延びる棒状のヒータとすることができる。なお、本明細書においては、石英カバーで覆われた各種ヒータをも含めて「棒状のヒータ」と称する。また、「棒状」の外観形状には限定がなく、例えば、円柱状や角柱状などとすることができる。
冷却ガスは、加熱されたワーク100と反応し難いガスであれば特に限定がない。冷却ガスは、例えば、窒素ガス、希ガスなどである。希ガスは、例えば、アルゴンガスやヘリウムガスなどである。冷却ガスの温度は、例えば、室温(例えば、25℃)以下とすることができる。
なお、煩雑さを避けるため、図1および図2には、直線状の配管44を示した。しかし、複数のカセット50がチャンバ10内に設けられる場合、配管44を複数の分岐を有する配管としても良いことは言うまでもない。
図4に示すように、カセット50は、箱状を呈し、内部にワーク100が支持される空間を有している。カセット50の外観形状には特に限定はない。カセット50の外観形状は、例えば、直方体とすることができる。
枠状部材51aは、前述した処理空間の上面および下面を構成する役割を有する。そのため、枠状部材51aは、垂直方向に2つ配置される。なお、図5では、煩雑さを避けるため、上側の枠状部材51aは、省略されている。
側部均熱板54、55の材料は、前述した上部均熱板52および下部均熱板53の材料と同じとすることができる。
複数のワーク支持部56の一方の端部(ワーク100側の端部)の形状は、半球状などとすることができる。複数のワーク支持部56の一方の端部の形状が半球状であれば、ワーク100の裏面に損傷が発生するのを抑制することができる。また、ワーク100の裏面と複数のワーク支持部56との接触面積を小さくすることができる。そのため、ワーク100から複数のワーク支持部56に伝わる熱を少なくすることができる。
複数のワーク支持部56の数、配置、間隔などは、ワーク100の大きさや剛性(撓み)などに応じて適宜変更することができる。
図5に示すように、冷却部57は、例えば、配管57a、ノズル57b、およびジョイント57cを有する。
ワーク100の表面に垂直な方向から見て、ノズル57bの吐出口は、ワーク100と重ならない位置に設けることができる。
フレーム61は、例えば、細長い部材を用いて構成された骨組み構造を有している。フレーム61の外観形状には特に限定はない。フレーム61の外観形状は、例えば、直方体や円筒とすることができる。
図6に示すように、受け部材62は、例えば、板金加工などにより形成された細長い部材とすることができる。受け部材62は、例えば、短手方向に2つの端部と、2つの端部を接続する側部を有する。つまり、受け部材62は、側部62a、上端部62bおよび下端部62cを有する。
上端部62bから下端部62cに向かう方向に見た場合に、下端部62cの先端は、上端部62bの先端よりも、カセット50の、カセット支持部58が設けられた側面側に位置している。
搬入搬出治具200は、カセット50の搬入、または、カセット50の搬出の際に用いられる治具である。
図7に示すように、搬入搬出治具200は、例えば、駆動ユニット210、昇降ユニット220、および連結ユニット230を有する。
駆動ユニット210は、搬入搬出治具200を上昇端あるいは下降端に移動させるための動力源の役割を担う。駆動ユニット210は、例えば、1つ設けることができる。
図8に示すように、駆動ユニット210は、例えば、ブロック211、駆動部212、およびジョイント213を有する。
切替弁212aは、配管を介して、駆動部212の2つのポートに接続される。切替弁212aは、例えば、四方弁とすることができる。作業者が切替弁212aを操作することで、Y方向におけるロッド212cの位置をエア源の空気圧により変化させることができる。その結果、Y方向におけるジョイント213の位置、ひいては後述する搬入搬出治具200の昇降位置を変化させることができる。この場合、切替弁212aは、一対の搬入搬出治具200に対して1つ設けることもできる。この様にすれば、作業者が1つの切替弁212aを操作することで、一対の搬入搬出治具200の昇降位置を同時に変化させることができる。
また、切替弁212aが手動弁である場合を例示したが、例えば、切替弁212aは、手動スイッチやコントローラ70により動作する電磁弁などであってもよい。ただし、切替弁212aが手動弁であれば、構成の簡易化や、設置作業の容易化などを図ることができる。
ジョイント213は、駆動部212のロッド212cと後述する昇降ユニット220のシャフト222とを接続する(図9参照)。
図10は、連結ユニット230と連結ユニット230との間に連結された昇降ユニット220を例示するための模式断面図である。
昇降ユニット220は、搬入搬出治具200、ひいては複数のローラ223を昇降させる。
図9および図10に示すように、昇降ユニット220は、例えば、ブロック221、シャフト222、ローラ223、ピン224、リンク225、ピン226、フット227、ピン228、および受け渡し部229を有する。
上部プレート221aの上面には、ローラ223が設けられる。
軸受け221bは、シャフト222が往復運動する際の軸を支持する役割を有する。軸受け221bは、上部プレート221aの下面に一対設けられる。一対の軸受け221bは、互いに対向し、Y方向に並べて設けられている。軸受け221bには、厚み方向を貫通し、シャフト222が挿通される孔221baが設けられている。
ピン226は、ブロック221のベース221cに設けられた孔221cbの内部をX方向に挿通している。また、ピン226は、リンク225を貫通する。
リンク225は、ピン226を中心として揺動可能となっている。また、リンク225には、ピン224が挿通されている。そのため、駆動ユニット210の駆動部212がシャフト222を動かす力が、ピン224を介して、リンク225に伝えられる。
フット227は、搬入搬出治具200が上昇した際に、搬入搬出治具200を支える役割を担う。フット227は、リンク225の、シャフト222の往復運動に連動して昇降する位置に設けられている。フット227は、ピン228を介して、リンク225に揺動可能に設けられている。
受け渡し部229は、例えば、ブラケット229a、ローラ229c、および固定部材229bを有する。
搬入搬出治具200には、ローラ229cを有する受け渡し部229が設けられている。そのため、搬入搬出治具200を受け部材62に着脱する際には、ローラ229cを受け部材62の下端部62cに接触させることができる。したがって、搬入搬出治具200を着脱する際にパーティクルが発生するのを抑制することができる。
図12に示すように、連結ユニット230は、例えば、カバー231、ローラ223、およびシャフト232を有する。
図13に示すように、カバー231は、筒状を呈する。Y方向におけるカバー231の端部は、昇降ユニット220のブロック221に着脱自在に設けられている(図12参照)。例えば、Y方向におけるカバー231の端部には、フランジ231aを設けることができる。フランジ231aには、ブロック221のベース221cのY方向における側面に設けられたネジ孔に対応する孔231bが設けられている。そのため、カバー231は、ネジなどの締結部材を用いて、ブロック221に取り付けることができる。Z方向において、カバー231の上面は、ブロック221の上面と略同じ位置となっている。X方向におけるカバー231の側面は、シャフト232の側方を覆っている。
ローラ223は、カバー231の上面に少なくとも1つ設けることができる。昇降ユニット220と連結ユニット230を連結した際には、複数のローラ223は、昇降ユニット220と連結ユニット230の連結方向に並んでいる。
シャフト232は、カバー231の内部をY方向に延びている。
図14は、搬入搬出治具200が下降端にある場合の昇降ユニット220の状態を例示するための模式図である。
図14は、受け部材62の上にカセット50を受け渡した際の状態、または、搬入搬出治具200を受け部材62の下端部62cから着脱する際の状態である。
図15は、受け部材62の上からカセット50を持ち上げた際の状態、または、カセット50が受け部材62に受け渡される位置までカセット50が移動する際の状態である。
図16および図17は、カセット50の搬入搬出方法を例示するための模式図である。 まず、図16に示すように、カセットラック60の一対の受け部材62のそれぞれに、搬入搬出治具200を設ける。前述したように、搬入搬出治具200は、受け部材62の、下端部62c、上端部62b、および側部62aにより画されたスペースに設けられる。例えば、搬入搬出治具200は、受け部材62の下端部62cの上に載置される。
続いて、切替弁212aを操作して駆動部212を動作させて、搬入搬出治具200を上昇端まで上昇させる。搬入搬出治具200が上昇端まで上昇すると、図16に示すように、複数のローラ223の頂部が、受け部材62の上方に突出する。
続いて、搬送装置300は、カセット50を昇降させて、カセット50のZ方向の位置を調整する。カセット50は、カセット50のカセット支持部58の下端と、複数のローラ223の頂部との位置が略同じとなるように調整される。
次に、切替弁212aを操作して駆動部212を動作させて、搬入搬出治具200を下降端まで下降させる。搬入搬出治具200が下降端まで下降すると、複数のローラ223が、受け部材62の内部に収納される。そのため、複数のローラ223に支持されていたカセット50のカセット支持部58が、受け部材62の上に載置される。
以上の様にして、チャンバ10の内部にカセット50を搬入することができる。
以上の様にして、チャンバ10の内部からカセット50を搬出することができる。
複数のカセット50の搬入搬出を行う際には、前述した手順を繰り返し行えばよい。
本実施の形態に係る有機膜の形成方法は、例えば、以下の工程を備えることができる。
前述した搬入搬出治具200を用いて、ワーク100が支持されたカセット50を、加熱処理装置1のチャンバ10の内部に搬入する工程。
箱状を呈するカセット50の内部に、基板と、基板の表面に塗布された溶液と、を有するワーク100を支持させる工程。
チャンバ10の内部に搬入されたカセット50を加熱して、基板の表面に有機膜を形成する工程。
有機膜が形成されたワーク100の温度を低下させる冷却工程。
有機膜が形成されたワーク100をカセット50から搬出する工程。
前述した搬入搬出治具200を用いて、カセット50を、加熱処理装置1のチャンバ10から外部に搬出する工程。
なお、ワーク100の加熱条件およびワーク100の冷却条件などには既知の技術を適用することができる。また、各工程における内容は、前述したものと同様とすることができる。そのため、各工程における詳細な説明は省略する。
カセット50aは、例えば、カセットフレーム151、上部均熱板52、下部均熱板53、側部均熱板54、側部均熱板55、ワーク支持部56、冷却部157、およびカセット支持部58を有する。つまり、カセット50aは、カセット50と比べて、カセットフレーム151および冷却部157が異なる。
なお、図18は、煩雑さを避けるため、上部均熱板52、側部均熱板54および側部均熱板55が省略されている。
なお、図18は、煩雑さを避けるため、上側の枠状部材51aは、省略されている。
枠状部材151aは、例えば、矩形の枠状を呈する。枠状部材151aは、例えば、複数の角パイプなどの筒状体を組み合わせることで形成される。つまり、枠状部材151aの内部は中空である。枠状部材151aは、例えば、複数の筒状体を溶接することで形成される。枠状部材151aは、例えば、ステンレスなどの金属から形成される。
枠状部材151aの内側の側面の一部、例えば、枠状部材151aの1辺が有する内周面には、ノズル57bが接続される孔151abおよび梁151cが接続される孔151acが設けられる。
図18に示すように、冷却部157は、例えば、配管157a、ノズル57b、ノズル157b、およびジョイント57cを有する。
前述の実施の形態に関して、当業者が適宜設計変更を加えたものも、本発明の特徴を備えている限り、本発明の範囲に包含される。
例えば、加熱処理装置1の形状、寸法、配置などは、例示をしたものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。
Claims (9)
- チャンバと、
前記チャンバの内部に設けられ、少なくとも一対の受け部材を有するカセットラックと、
前記一対の受け部材の上方に設けられ、少なくとも1つの第1のヒータを有する第1の加熱部と、
前記一対の受け部材の下方に設けられ、少なくとも1つの第2のヒータを有し、前記第1の加熱部と対向する第2の加熱部と、
箱状を呈し、内部にワークが支持される空間を有し、前記第1の加熱部と前記第2の加熱部との間において、前記一対の受け部材に着脱自在に支持されるカセットと、
を備え、
前記カセットの、互いに対向する一対の側面のそれぞれには、前記受け部材に支持されるカセット支持部が設けられている加熱処理装置。 - 前記受け部材は、
前記第1の加熱部側に設けられ、前記カセットの前記カセット支持部を支持する第1の端部と、
前記第2の加熱部側に設けられ、前記第1の端部と対向する第2の端部と、
を有し、
前記第1の端部から前記第2の端部に向かう方向に見た場合に、前記第2の端部の先端は、前記第1の端部の先端よりも、前記カセットの前記側面側に位置している請求項1記載の加熱処理装置。 - 前記カセットは、前記ワークが支持される空間の外縁を形成する骨組み構造であって、直方体の縁を形成するカセットフレームと、
前記カセットフレームに設けられる均熱板と、を有することを特徴とする請求項1記載の加熱処理装置。 - 前記均熱板は、前記カセットフレームの上面と下面の少なくとも一方が、単一の板状部材である前記均熱板からなることを特徴とする請求項3記載の加熱処理装置。
- 前記カセットは、
前記カセットの内部に設けられ、前記ワークに冷却ガスを供給する少なくとも1つのノズルと、
前記ノズルと接続され、前記冷却ガスが流通する筒状体と、
をさらに備え、
前記筒状体は、前記カセットの一部を構成する請求項1乃至4のいずれかに記載の加熱処理装置。 - 前記第1の端部と、前記第2の端部と、の間に、着脱自在に設けられ、前記カセットを昇降可能な搬入搬出治具をさらに備えた請求項2記載の加熱処理装置。
- 箱状を呈し内部にワークを加熱する空間を有するカセットを、加熱処理装置に搬入、または、前記加熱処理装置から搬出する際に用いられる治具であって、
前記カセットに接触する複数のローラと、
前記複数のローラを昇降させる昇降ユニットと、
を備えた搬入搬出治具。 - 前記昇降ユニットと、連結および分離可能な連結ユニットをさらに備え、
前記複数のローラは、前記昇降ユニットと前記連結ユニットの連結方向に並んでいる請求項7記載の搬入搬出治具。 - 請求項7または8に記載の搬入搬出治具を用いて、基板と、前記基板の表面に塗布された溶液と、を有するワークを加熱する処理空間を有するカセットを、加熱処理装置のチャンバの内部に搬入する工程と、
前記カセットの内部に、前記ワークを支持させる工程と、
前記チャンバの内部に搬入された前記カセットを加熱して、前記基板の表面に有機膜を形成する工程と、
を備えた有機膜の形成方法。
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