KR102081056B1 - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR102081056B1
KR102081056B1 KR1020180039091A KR20180039091A KR102081056B1 KR 102081056 B1 KR102081056 B1 KR 102081056B1 KR 1020180039091 A KR1020180039091 A KR 1020180039091A KR 20180039091 A KR20180039091 A KR 20180039091A KR 102081056 B1 KR102081056 B1 KR 102081056B1
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공태경
한기원
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세메스 주식회사
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Abstract

기판의 이송 효율을 높일 수 있는 기판 처리 장치가 제공된다. 상기 기판 처리 장치는 순차적으로 적층되어 배치된 제1 암 내지 제4 암; 및 상기 제1 암 내지 제4 암과 일대일로 대응되고, 상기 제1 암 내지 제4 암을 각각 구동하는 제1 암 구동부 내지 제4 암 구동부를 포함하되, 상기 제1 암과 상기 제4 암은 각각 적층되어 배치된 k(단, k는 2 이상의 자연수)개의 핸드를 포함하고, 상기 제2 암과 상기 제3 암은 각각 1개의 핸드를 포함한다.

Description

기판 처리 장치{Substrate processing apparatus}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 장치를 제조할 때에는, 웨이퍼의 세정 처리, 성막 처리, 가열 처리, 에칭 처리 등, 각종 처리 공정이 실시된다. 각 처리 공정은, 각각 상이한 처리 장치로 실시될 수 있는데, 다수의 처리 장치 사이에서 웨이퍼를 이송할 필요가 있다. 이러한 웨이퍼 이송시에 로봇(이송 장치)가 사용된다. 또한, 반도체 장치의 제조 스루풋을 높이기 위해, 웨이퍼 이송 시에 택 타임(tact time)을 단축할 필요가 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판의 이송 효율을 높일 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 일 면(aspect)은, 순차적으로 적층되어 배치된 제1 암 내지 제4 암; 및 상기 제1 암 내지 제4 암과 일대일로 대응되고, 상기 제1 암 내지 제4 암을 각각 구동하는 제1 암 구동부 내지 제4 암 구동부를 포함하되, 상기 제1 암과 상기 제4 암은 각각 적층되어 배치된 k(단, k는 2 이상의 자연수)개의 핸드를 포함하고, 상기 제2 암과 상기 제3 암은 각각 1개의 핸드를 포함한다.
제1 방향은 상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 이동 방향이고, 제2 방향은 상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 적층 방향이고, 제3 방향은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 수직 방향이고, 상기 제1 방향을 기준으로, 일측에 상기 제1 암 구동부 내지 제4 암 구동부 중 2개의 암 구동부가 배치되고, 타측에 나머지 2개의 암 구동부가 배치된다.
상기 일측에 배치되는 2개의 암 구동부는, 상기 제1 암 구동부와 상기 제4 암 구동부이고, 상기 타측에 배치되는 2개의 암 구동부는, 상기 제2 암 구동부와 상기 제3 암 구동부일 수 있다.
상기 제1 암 내지 제4 암은 각각, 상기 제1 방향으로 길게 연장된 제1 직선 운동 가이드 내지 제4 직선 운동 가이드와 기계적으로 연결되고, 상기 제1 직선 운동 가이드 또는 제4 직선 운동 가이드의 개수는, 상기 제2 직선 운동 가이드 또는 제3 직선 운동 가이드의 개수보다 많을 수 있다.
상기 제2 직선 운동 가이드와 상기 제3 직선 운동 가이드는, 상기 제1 직선 운동 가이드와 상기 제4 직선 운동 가이드 사이에 배치될 수 있다.
상기 제2 직선 운동 가이드 내지 제4 직선 운동 가이드는 상기 제3 방향을 향하고, 상기 제1 직선 운동 가이드는 상기 제2 방향을 향할 수 있다.
상기 제1 암 구동부와 상기 제4 암 구동부는 상기 제3 방향으로 인접하여 배치되고, 상기 제1 암 구동부는 상기 제3 방향으로 상기 제4 암 구동부를 넘어가는 제1 동력 전달 벨트와 기계적으로 연결되고, 상기 제1 동력 전달 벨트는 제1 방향으로 배치된 제1 이송 벨트와 연결되고, 상기 제4 암 구동부는 상기 제3 방향으로 상기 제1 암 구동부를 넘어가는 제4 동력 전달 벨트와 기계적으로 연결되고, 상기 제4 동력 전달 벨트는 제1 방향으로 배치된 제4 이송 벨트와 연결될 수 있다.
상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 홈 위치에서, 상기 제1 암 내지 제4 암의 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 제1 센서부를 더 포함하되, 상기 제1 센서부는 서로 이격되어 배치된 제1 센서 그룹과 제2 센서 그룹을 포함하고, 상기 제1 센서 그룹은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 홀수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인하고, 상기 제2 센서 그룹은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 짝수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인할 수 있다.
상기 다수의 핸드는, 순차적으로 배치된 제1 핸드 내지 제4 핸드를 포함하고, 상기 제1 센서 그룹은, 순차적으로 배치된 제1 발광부, 제1 수광부를 포함하고, 상기 제2 센서 그룹은, 순차적으로 배치된 제2 발광부, 제2 수광부를 포함하고, 상기 제1 발광부와 상기 제1 수광부는 상기 제1 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데 사용되고, 상기 제3 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데에는 사용되지 않고, 상기 제2 발광부와 상기 제2 수광부는 상기 제2 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데 사용되고, 상기 제4 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데에는 사용되지 않을 수 있다.
상기 제1 발광부와 상기 제2 발광부는 서로 다른 높이에 배치될 수 있다. 상기 제1 수광부와 상기 제2 발광부는 서로 같은 높이에 배치될 수 있다.
상기 제1 암 내지 제4 암의 핸드에 기판이 정상 위치에 배치되었는지를 확인하는 제2 센서부를 더 포함하되, 상기 제2 센서부는 상기 다수의 핸드 중 가장 위쪽의 핸드보다 높은 위치에 설치된 제1 센서와, 상기 다수의 핸드 중 가장 아래쪽의 핸드보다 낮은 위치에 설치된 제2 센서를 포함하여, 상기 제1 센서와 상기 제2 센서 사이의 상호 동작을 통해서 웨이퍼의 정상 위치 여부를 확인할 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 다른 면(aspect)은, 다수의 기판을 수납하는 수납 부재; 상기 기판의 처리 공정이 이루어지는 적어도 하나의 공정 챔버; 및 상기 수납 부재로부터 상기 기판을 인출 및 적재하고, 상기 기판을 이송하는 이송부재를 포함하고, 상기 이송부재는 순차적으로 적층되어 배치되고, 각각 상기 기판을 적재할 수 있는 제1 암 내지 제4 암; 및 상기 제1 암 내지 제4 암과 일대일로 대응되고, 상기 제1 암 내지 제4 암을 각각 구동하는 제1 암 구동부 내지 제4 암 구동부를 포함하되, 상기 제1 암과 상기 제4 암은 각각 적층되어 배치된 k(단, k는 2 이상의 자연수)개의 핸드를 포함하고, 상기 제2 암과 상기 제3 암은 각각 1개의 핸드를 포함할 수 있다.
제1 방향은 상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 이동 방향이고, 제2 방향은 상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 적층 방향이고, 제3 방향은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 수직 방향이고, 상기 제1 방향을 기준으로, 일측에 상기 제1 암 구동부와 상기 제4 암 구동부가 배치되고, 타측에 상기 제2 암 구동부와 상기 제3 암 구동부가 배치될 수 있다.
상기 제1 암 내지 제4 암은 각각, 상기 제1 방향으로 길게 연장된 제1 직선 운동 가이드 내지 제4 직선 운동 가이드와 기계적으로 연결되고, 상기 제1 직선 운동 가이드 또는 제4 직선 운동 가이드의 개수는, 상기 제2 직선 운동 가이드 또는 제3 직선 운동 가이드의 개수보다 많을 수 있다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 다른 면(aspect)은, 순차적으로 적층되어 배치된 제1 암 내지 제4 암; 상기 제1 암 내지 제4 암과 일대일로 대응되고, 상기 제1 암 내지 제4 암을 각각 구동하는 제1 암 구동부 내지 제4 암 구동부; 및 상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 홈 위치에서, 상기 제1 암 내지 제4 암의 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 제1 센서부를 포함하되, 상기 제1 센서부는 서로 이격되어 배치된 제1 센서 그룹과 제2 센서 그룹을 포함하고, 상기 제1 센서 그룹은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 홀수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인하고, 상기 제2 센서 그룹은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 짝수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인할 수 있다.
다수의 핸드를 더 포함하되, 상기 제1 암 내지 제4 암은 각각 적어도 하나의 핸드를 포함하고, 상기 다수의 핸드는, 순차적으로 배치된 제1 핸드 내지 제4 핸드를 포함하고, 상기 제1 센서 그룹은, 순차적으로 배치된 제1 발광부, 제1 수광부를 포함하고, 상기 제2 센서 그룹은, 순차적으로 배치된 제2 발광부, 제2 수광부를 포함하고, 상기 제1 발광부와 상기 제1 수광부는 상기 제1 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데 사용되고, 상기 제3 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데에는 사용되지 않고, 상기 제2 발광부와 상기 제2 수광부는 상기 제2 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데 사용되고, 상기 제4 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데에는 사용되지 않을 수 있다.
상기 제1 발광부와 상기 제2 발광부는 서로 다른 높이에 배치되고, 상기 제1 수광부와 상기 제2 발광부는 서로 같은 높이에 배치될 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 인덱스 로봇을 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 인덱스 로봇을 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 인덱스 로봇의 암 유닛을 설명하기 위한 개략적인 분해사시도이다.
도 5는 도 2에 도시된 바디의 내부 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 웨이퍼와 암 구동부, 직선 운동 가이드 사이의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 5 및 도 6에 도시된 제2 암 구동부 및 제3 암 구동부의 동력 전달과 관련된 구성을 도시한 측면도이다.
도 8은 도 5 및 도 6에 도시된 제1 암 구동부 및 제4 암 구동부의 동력 전달과 관련된 구성을 도시한 측면도이다.
도 9 및 도 10은 도 7 및 도 8에 도시된 제1 센서부를 설명하기 위한 도면이다.
도 11은 도 2에 도시된 제2 센서부를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 시스템(1000)은 로딩/언로딩부(110), 인덱스 로봇(Index Robot)(200), 버퍼부(300), 메인 이송 로봇(Main Transfer Robot)(500), 다수의 공정 챔버(600) 등을 포함할 수 있다.
로딩/언로딩부(110)는 다수의 로드 포트(110a, 110b, 110c, 110d)를 포한다. 도 1에서, 로딩/언로딩부(110)는 네 개의 로드 포트(110a, 110b, 110c, 110d)를 구비하나, 로드 포트(110a, 110b, 110c, 110d)의 개수는 상기 기판 처리 시스템(1000)의 공정 효율 및 풋 프린트 조건에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다.
로드 포트(110a, 110b, 110c, 110d)에는 웨이퍼들이 수납되는 풉들(Front Open Unified Pods: FOUPs)(120a, 120b, 120c, 120d)이 안착된다. 각 풉(120a, 120b, 120c, 120d)은 웨이퍼들을 지면에 대해 수평하게 배치한 상태로 수납하기 위한 다수의 슬롯이 형성된다. 풉(120a, 120b, 120c, 120d)에는 공정 챔버(600) 안에 투입되어 처리가 완료된 웨이퍼 또는 공정 챔버(600)로 투입되어 처리될 웨이퍼를 수납한다. 이하, 설명의 편의를 위해, 상기 기판 처리 시스템(1000)에 의해 처리가 완료된 웨이퍼를 가공 웨이퍼라 하고, 아직 처리되지 않은 웨이퍼를 원시 웨이퍼라 한다.
로딩/언로딩부(110)와 버퍼부(300) 사이에는 인덱스 로봇(200)이 설치되고, 인덱스 로봇(200)의 아래에는 제1 이송 레일(20)이 설치된다. 인덱스 로봇(200)은 제1 이송 레일(20)을 따라 이동하며 버퍼부(300)와 풉들(120a, 120b, 120c, 120d) 간에 웨이퍼를 이송한다.
버퍼부(300)는 인덱스 로봇(200)이 설치된 영역과 다수의 공정 챔버(600) 및 메인 이송 로봇(500)이 설치된 영역 사이에 위치한다. 버퍼부(300)는 인덱스 로봇(200)에 의해 이송된 원시 웨이퍼를 수납하고, 공정 챔버들(600)에서 처리된 가공 웨이퍼들을 수납한다.
버퍼부(300)에 수납된 원시 웨이퍼는 메인 이송 로봇(500)에 의해 각 공정 챔버로 이송된다. 메인 이송 로봇(500)은 이송 통로(400)에 설치되고, 이송 통로(400)에 설치된 제2 이송 레일(30)을 따라 이동한다. 이송 통로(400)는 다수의 공정 챔버(600)와 연결된다.
메인 이송 로봇(500)은 픽업 핸드유닛(520)으로 버퍼부(300)로부터 원시 웨이퍼를 픽업한 후, 제2 이송 레일(30)를 따라 이동하면서 해당 공정 챔버에 원시 웨이퍼를 제공한다. 또한, 메인 이송 로봇(500)은 픽업 핸드유닛(520)으로 다수의 공정 챔버(600)에서 처리된 가공 웨이퍼를 버퍼부(300)에 적재한다.
이하, 도 2 내지 도 11을 참조하여 인덱스 로봇을 구체적으로 설명한다.
도 2는 도 1에 도시된 인덱스 로봇을 설명하기 위한 사시도이다. 도 3은 도 1에 도시된 인덱스 로봇을 설명하기 위한 측면도이다. 도 4는 도 1에 도시된 인덱스 로봇의 암 유닛을 설명하기 위한 개략적인 분해사시도이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 인덱스 로봇(200)은 바디(210), 제1 암(221) 내지 제4 암(224)를 구비하는 암 유닛(220)을 포함한다.
우선, 도면에서, 제1 방향(x)은 제1 암(221) 내지 상기 제4 암(224)의 이동 방향(즉, 전후(수평) 이동 방향)을 의미하고, 제2 방향(z)은 제1 암(221) 내지 제4 암(224)의 적층 방향(또는, 수직 이동 방향)을 의미하고, 제3 방향(y)은 제1 방향(x) 및 제2 방향(z)의 수직 방향(즉, 좌우(수평) 이동 방향)을 의미한다.
바디(210)는 제1 암(221) 내지 제4 암(224)을 각각 제1 방향(x)으로 수평 이동시킬 수 있고, 제1 암(221) 내지 제4 암(224)을 개별적으로 구동시킨다. 이러한 바디(210)는 케이스, 제1 암(221) 내지 제4 암(224)에 일대일로 대응되어 제1 암(221) 내지 제4 암(224)을 각각 구동시키는 제1 암 구동부(도 5의 211) 내지 제4 암 구동부(도 5의 214), 다수의 직선 운동 가이드(도 6의 2116, 2126, 2136, 2146), 다수의 동력 전달 벨트(도 5의 2111, 2121, 2131, 2141), 다수의 이송 벨트(도 5의 2112, 2122, 2132, 2142) 등을 포함한다. 또한, 바디(210) 자체가 별도의 구동장치에 의해서 제2 방향(z) 또는 제3 방향(y)으로 이동할 수 있고, 회전할 수도 있다. 구체적인 구성 및 동작에 대해서는 도 5 내지 도 8을 참조하여 후술한다.
또한, 제1 암(221) 내지 제4 암(224)은 순차적으로 적층되어(즉, 제2 방향(z)으로) 배치되고, 개별적으로 구동된다.
여기서, 제1 암(221) 내지 제4 암(224)은 각각 적어도 하나의 핸드(221a, 222a, 223a, 224a)를 포함한다. 각각의 핸드(221a, 222a, 223a, 224a)는 암 베이스(2211, 2221, 2231, 2241)를 통해서, 암 구동부(211, 212, 213, 214)와 기계적으로 연결된다.
특히, 가장 아래에 배치된 제1 암(221)과, 가장 위에 배치된 제4 암(224)은 각각 적층되어 배치된 k(단, k는 2 이상의 자연수)개의 핸드(221a, 224a)를 포함한다. 도면에서는 제1 암(221)과 제4 암(224)이 각각 3개의 핸드를 포함하는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 즉, 제1 암(221)과 제4 암(224)이 각각, 2개의 핸드를 포함하거나, 4개 이상의 핸드를 포함하여도 무방하다.
또한, 제1 암(221)과 제4 암(224) 사이에 배치되는, 제2 암(222)과 제3 암(223)은 각각 1개의 핸드를 포함한다.
한편, 제1 암(221)의 핸드 개수와 제4 암(224)의 핸드 개수가 서로 동일하고, 제2 암(222)의 핸드 개수와 제3 암(223)의 핸드 개수가 서로 동일한 이유는, 인덱스 로봇이 픽앤플레이스(pick and place) 동작을 수행하기 위함이다.
1개의 웨이퍼에 대한 픽액플레이스 동작을 예를 들면, 제2 암(222)이 비어 있고, 제3 암(223)이 가공 웨이퍼를 가지고 있는 상태에서, 제2 암(222)이 로드 포트(예를 들어, 110a)에서 원시 웨이퍼를 픽업하고, 제3 암(223)은 동일한 로드 포트(110a)에 가공 웨이퍼를 제공할 수 있다. 즉, 제2 암(222)과 제3 암(223)이 쌍을 이루어 동작하게 된다.
3개의 웨이퍼에 대해서 픽앤플레이스 동작을 할 때에는, 예를 들어, 제1 암(221)이 로드 포트(110a)에서 원시 웨이퍼를 픽업하고, 제4 암(224)은 동일한 로드 포트(110a)에 가공 웨이퍼를 제공할 수 있다.
4개의 웨이퍼에 대해서 픽앤플레이스 동작을 할 때에는, 제1 암(221)과 제2 암(222)이 로드 포트(110a)에서 원시 웨이퍼를 픽업하고, 제3 암(223)과 제4 암(224)은 동일한 로드 포트(110a)에 가공 웨이퍼를 제공할 수 있다.
본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 인덱스 로봇(200)은 다수의 웨이퍼(즉, 3개 또는 4개의 웨이퍼)에 대해서 동시에 픽앤플레이스 동작을 할 수 있기 때문에, 제조 스루풋을 높일 수 있다. 또한, 인덱스 로봇(200)은 1개의 웨이퍼에 대해서도 픽앤플레이스 동작을 할 수 있기 때문에, 개별적으로 웨이퍼를 핸들링할 수도 있다.
한편, 전술한 것과 같이, 본 발명의 몇몇 실시예에 따른 기판 처리 장치에서, 인덱스 로봇(200)의 다수의 핸드(221a, 222a, 223a, 224a)의 배치(개수)는 (k,1,1,k)이다. 이하에서, (A, B, C, D)는 (제1 암(221)의 핸드 개수, 제2 암(222)의 핸드 개수 제3 암(223)의 핸드 개수, 제4 암(224)의 핸드 개수)를 의미한다.
다수의 핸드(221a, 222a, 223a, 224a)의 배치 (k,1,1,k)는 (1,k,k,1), (1,k,1,k) 또는 (k,1,k,1)에 비해서 동작면에서, 구조배치적인 면에서 장점이 있다.
우선 동작적인 장점을 설명하면 다음과 같다. 전술한 것과 같이, 픽앤플레이스 동작은 원시 웨이퍼를 픽업하여 생긴 빈 슬롯에, 가공 웨이퍼를 제공하는 것이다. 그런데, 1개의 웨이퍼에 대한 픽앤플레이스 동작이, 3개 또는 4개의 웨이퍼에 대한 픽앤플레이스 동작에 비해 더 자주 수행된다. 따라서, 1개의 핸드를 포함하는 제2 암(222)과 제3 암(223)을 최대한 가깝게 배치해야, 1개의 웨이퍼에 대한 픽앤플레이스 동작을 수행할 때의 작업시간이 줄어든다. 즉, 배치 (k,1,1,k)가 다른 형태의 배치에 비해서 작업 시간을 줄일 수 있다.
구조배치적인 면의 장점은 도 5 내지 도 8을 참조하여 후술한다.
도 5는 도 2에 도시된 바디의 내부 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 6은 웨이퍼와 암 구동부, 직선 운동 가이드 사이의 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 바디(210) 내부에는 제1 암(221) 내지 제4 암(224)을 각각 구동하기 위해, 제1 암 구동부(211) 내지 제4 암 구동부(214), 다수의 직선 운동 가이드(2116, 2126, 2136, 2146), 다수의 동력 전달 벨트(2111, 2121, 2131, 2141), 다수의 이송 벨트(2112, 2122, 2132, 2142) 등을 포함한다.
전술한 것과 같이, 바디(210)는 제1 암(221) 내지 제4 암(224)을 각각 개별적으로 구동시킬 수 있다. 제1 암 구동부(211) 내지 제4 암 구동부(214)는 제1 암(221) 내지 제4 암(224)에 일대일로 대응된다.
여기서, 제1 방향(x)을 기준으로, 일측에 제1 암 구동부(211) 내지 제4 암 구동부(214) 중 2개의 암 구동부가 배치되고, 타측에 나머지 2개의 암 구동부가 배치될 수 있다. 이와 같이 4개의 구동부(211, 212, 213, 214)를 2개씩 나누어서 제1 방향(x)을 기준으로 양 끝단에 배치한 이유는, 관성 모멘텀을 줄이기 위해서이다.
구체적으로, 일측에 배치되는 2개의 암 구동부는, 제1 암 구동부(211)와 제4 암 구동부(214)이고, 타측에 배치되는 2개의 암 구동부는, 제2 암 구동부(212)와 제3 암 구동부(213)이다. 또한, 후술하겠으나, 각각 k개의 핸드를 구동하는 제1 암 구동부(211)와 제4 암 구동부(214)를 인접하여 배치하고, 각각 1개의 핸드를 구동하는 제2 암 구동부(212)와 제3 암 구동부(213)를 인접하여 배치한 이유는, 다수의 직선 운동 가이드(2116, 2126, 2136, 2146), 연결부(2115, 2125, 2135, 2145) 등의 구성요소를 효율적으로 콤팩트하게 배치하기 위함이다.
제1 암 구동부(211)는 제1 동력 전달 벨트(2111)를 통해서 제1 이송 벨트(2112)에 동력을 전달한다. 제1 암(221)과 기계적으로 결합된 제1 직선 운동 가이드(2116)는 제1 이송 벨트(2112)에 결합되어 있다. 따라서, 제1 동력 전달 벨트(2111)의 회전에 따라 제1 이송 벨트(2112)가 회전하고, 제1 이송 벨트(2112)의 회전에 따라 제1 암(221)은 제1 직선 운동 가이드(2116)의 연장방향으로 움직이게 된다.
제4 암 구동부(214)는 제4 동력 전달 벨트(2141)를 통해서 제4 이송 벨트(2142)에 동력을 전달한다. 제4 암(224)과 기계적으로 결합된 제4 직선 운동 가이드(2146)는 제4 이송 벨트(2142)에 결합되어 있다. 따라서, 제4 동력 전달 벨트(2141)의 회전에 따라 제4 이송 벨트(2142)가 회전하고, 제4 이송 벨트(2142)의 회전에 따라 제4 암(224)은 제4 직선 운동 가이드(2146)의 연장방향으로 움직이게 된다.
제2 암 구동부(212)는 제2 동력 전달 벨트(2121)를 통해서 제2 이송 벨트(2122)에 동력을 전달한다. 제2 암(222)과 기계적으로 결합된 제2 직선 운동 가이드(2126)는 제2 이송 벨트(2122)에 결합되어 있다. 따라서, 제2 동력 전달 벨트(2121)의 회전에 따라 제2 이송 벨트(2122)가 회전하고, 제2 이송 벨트(2122)의 회전에 따라 제2 암(222)은 제2 직선 운동 가이드(2126)의 연장방향으로 움직이게 된다.
제3 암 구동부(213)는 제3 동력 전달 벨트(2131)를 통해서 제3 이송 벨트(2132)에 동력을 전달한다. 제3 암(223)과 기계적으로 결합된 제3 직선 운동 가이드(2136)는 제3 이송 벨트(2132)에 결합되어 있다. 따라서, 제3 동력 전달 벨트(2131)의 회전에 따라 제3 이송 벨트(2132)가 회전하고, 제3 이송 벨트(2132)의 회전에 따라 제3 암(223)은 제3 직선 운동 가이드(2136)의 연장방향으로 움직이게 된다.
제1 직선 운동 가이드(2116) 내지 제4 직선 운동 가이드(2146)는 예를 들어, LM(linear motion) 가이드일 수 있다. 제1 직선 운동 가이드(2116) 내지 제4 직선 운동 가이드(2146)는 제1 방향(x)으로 길게 연장되어 배치될 수 있다.
도 7 및 도 8을 참조하여, 제1 암 구동부(211) 내지 제4 암 구동부(214)의 동력 전달과 관련된 구성을 구체적으로 설명한다.
도 7은 도 5 및 도 6에 도시된 제2 암 구동부 및 제3 암 구동부의 동력 전달과 관련된 구성을 도시한 측면도이다. 도 8은 도 5 및 도 6에 도시된 제1 암 구동부 및 제4 암 구동부의 동력 전달과 관련된 구성을 도시한 측면도이다. 설명의 편의를 위해서, 도 7에서는 제1 암 구동부, 제4 암 구동부와 관련된 구성은 생략하거나 개략적으로 도시하고, 도 8에서는 제2 암 구동부, 제3 암 구동부와 관련된 구성은 생략하거나 개략적으로 도시하였다.
우선 도 7을 참조하면, 제2 암 구동부(212)와 제3 암 구동부(213)는 제3 방향(y)으로 인접하여 배치된다.
제2 암 구동부(212)는 제3 방향(y)으로 제3 암 구동부(213)를 넘어가는 제2 동력 전달 벨트(2121)와 기계적으로 연결되고, 제2 동력 전달 벨트(2121)는 제1 방향(x)으로 배치된 제2 이송 벨트(2122)와 연결된다. 제2 직선 운동 가이드(2126)는 제2 연결부(2125)를 통해서 제2 암(222)과 연결된다.
제3 암 구동부(213)는 제3 방향(y)으로 제2 암 구동부(212)를 넘어가는 제3 동력 전달 벨트(2131)와 기계적으로 연결되고, 제3 동력 전달 벨트(2131)는 제1 방향(x)으로 배치된 제3 이송 벨트(2132)와 연결된다. 제3 직선 운동 가이드(2136)는 제3 연결부(2135)를 통해서 제2 암(222)과 연결된다.
도 8을 참조하면, 제1 암 구동부(211)와 제4 암 구동부(214)는 제3 방향(y)으로 인접하여 배치된다.
제1 암 구동부(211)는 제3 방향(y)으로 제4 암 구동부(214)를 넘어가는 제1 동력 전달 벨트(2111)와 기계적으로 연결되고, 제1 동력 전달 벨트(2111)는 제1 방향(x)으로 배치된 제1 이송 벨트(2112)와 연결된다. 제1 직선 운동 가이드(2116)는 제1 연결부(2115)를 통해서 제1 암(221)과 연결된다.
제4 암 구동부(214)는 제3 방향(y)으로 제1 암 구동부(211)를 넘어가는 제4 동력 전달 벨트(2141)와 기계적으로 연결되고, 제4 동력 전달 벨트(2141)는 제1 방향(x)으로 배치된 제4 이송 벨트(2142)와 연결된다. 제4 직선 운동 가이드(2146)는 제4 연결부(2145)를 통해서 제4 암(224)과 연결된다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 특히, 제1 직선 운동 가이드(2116) 또는 제4 직선 운동 가이드(2146)의 개수는, 제2 직선 운동 가이드(2126) 또는 제3 직선 운동 가이드(2136)의 개수보다 많을 수 있다. 도시된 것과 같이, 제1 직선 운동 가이드(2116) 또는 제4 직선 운동 가이드(2146)는 각각 2개씩이고, 제2 직선 운동 가이드(2126) 또는 제3 직선 운동 가이드(2136)는 각각 1개씩일 수 있다. 제1 암(221)과 제4 암(224)은 각각 k개의 핸드를 포함하고 있기 때문에, 제1 암(221)과 제4 암(224)은 동시에 k개의 웨이퍼를 이송시킬 수 있고, 이에 따라 제1 암(221)과 제4 암(224)에는 높은 하중이 걸릴 수 있다. 반면, 제2 암(222)과 제3 암(223)은 각각 1개의 핸드를 포함하고 있고, 제1 암(221)과 제4 암(224)에 비해서 상대적으로 낮은 하중이 걸린다. 따라서, 제1 암(221)과 제4 암(224)을, 제2 암(222)과 제3 암(223)에 비해, 안정적으로 지지해 줄 필요가 있다. 따라서, 제1 직선 운동 가이드(2116) 또는 제4 직선 운동 가이드(2146)를 많이 설치한다.
제2 직선 운동 가이드(2126)와 제3 직선 운동 가이드(2136)는, 제1 직선 운동 가이드(2116)와 제4 직선 운동 가이드(2146) 사이에 배치된다. 이와 같이 구성함으로써, 1개의 핸드를 포함하는 제2 암(222)과 제3 암(223)을 최대한 가깝게 배치할 수 있다.
이에 따라, 제1 직선 운동 가이드(2116)와 연결된 제1 연결부(2115)와, 제4 직선 운동 가이드(2146)와 연결된 제4 연결부(2145)가 가장 이격되어 배치된다. 제1 연결부(2115)와 제4 연결부(2145) 사이에, 제2 직선 운동 가이드(2126)와 연결된 제2 연결부(2125)와 제3 직선 운동 가이드(2136)와 연결된 제3 연결부(2135)가 배치된다.
또한, 제2 직선 운동 가이드(2126) 내지 제4 직선 운동 가이드(2146)는 제3 방향(y)을 향하고, 제1 직선 운동 가이드(2116)는 제2 방향(z)을 향한다. LM가이드는 일방향으로 길게 연장된 레일과, 상기 레일에 결합되어 레일을 따라 움직이며 베어링을 구비한 블록을 포함한다. 여기서, "향한다"는 의미는 블록이 레일에 결합되는 방향을 의미한다. 즉, 도 7 및 도 8에서, 제2 직선 운동 가이드(2126) 내지 제4 직선 운동 가이드(2146)의 경우, 블록이 측방향에서(제3 방향(y)에서) 레일과 결합하는 반면, 제1 직선 운동 가이드(2116)의 경우, 블록이 상방향에서(제2 방향(z)에서) 레일과 결합하고 있다.
왜냐하면, 제2 직선 운동 가이드(2126) 내지 제4 직선 운동 가이드(2146)와 연결된 제2 연결부(2125) 내지 제4 연결부(2145)는, 제2 암(222) 내지 제4 암(224)과 결합하기 위해 인접한 다른 구성요소를 피해서 돌아가는 형상이어야 한다. 따라서, 이러한 형상의 제2 연결부(2125) 내지 제4 연결부(2145)와 결합이 용이할 수 있도록, 제2 직선 운동 가이드(2126) 내지 제4 직선 운동 가이드(2146)는 제3 방향(y)을 향한다.
도 2 내지 도 8을 이용하여 인덱스 로봇(200)을 설명하였으나, 본 발명의 핵심개념이 유지되는 범위에서 메인 이송 로봇(500)에도 적용될 수 있다. 또는, 기판을 이송하는 장치에는 어디에도 적용될 수 있다.
도 9 및 도 10은 도 7 및 도 8에 도시된 제1 센서부를 설명하기 위한 도면이다.
도 7 내지 도 11을 참조하면, 제1 센서부(291, 292, 293, 294)는 제1 암(221) 내지 제4 암(224)의 홈 위치에서, 제1 암(221) 내지 제4 암(224)의 핸드에 웨이퍼가 존재하는지를 확인하는 역할을 한다.
이러한 제1 센서부(291, 292, 293, 294)는 서로 이격되어 배치된 제1 센서 그룹(291)과 제2 센서 그룹(292)을 포함한다. 제1 센서 그룹(291)은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 홀수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인하고, 제2 센서 그룹(292)은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 짝수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인한다.
유사하게, 제1 센서부(291, 292, 293, 294)는 서로 이격되어 배치된 제3 센서 그룹(293)과 제4 센서 그룹(294)을 포함한다. 제3 센서 그룹(293)은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 홀수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인하고, 제4 센서 그룹(294)은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 짝수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인한다.
구체적으로 설명하면, 도시된 것과 같이, 적층된 8개의 핸드에는 8개의 기판이 적재될 수 있다. 아래에서부터 제1 기판 내지 제8 기판이 순차적으로 배치되어 있다고 하자.
제1 센서 그룹(291)은 순차적으로 배치된 제1 발광부(L11), 제1 수광부(A11), 제3 발광부(L12), 제3 수광부(A12)를 포함한다. 제1 발광부(L11), 제1 수광부(A11)는 제1 기판이 존재하는지 확인하고, 제3 발광부(L12), 제3 수광부(A12)는 제3 기판이 존재하는지 확인한다.
제2 센서 그룹(292)은 순차적으로 배치된 제2 발광부(L21), 제2 수광부(A21), 제4 발광부(L22), 제4 수광부(A22)를 포함한다. 제2 발광부(L21), 제2 수광부(A21)는 제2 기판이 존재하는지 확인하고, 제4 발광부(L22), 제4 수광부(A22)는 제4 기판이 존재하는지 확인한다.
제3 센서 그룹(293)은 순차적으로 배치된 제5 발광부(L31), 제5 수광부(A31), 제7 발광부(L32), 제7 수광부(A32)를 포함한다. 제5 발광부(L31), 제5 수광부(A31)는 제5 기판이 존재하는지 확인하고, 제7 발광부(L32), 제7 수광부(A32)는 제7 기판이 존재하는지 확인한다.
제4 센서 그룹(294)은 순차적으로 배치된 제6 발광부(L41), 제6 수광부(A41), 제8 발광부(L42), 제8 수광부(A42)를 포함한다. 제6 발광부(L41), 제6 수광부(A41)는 제6 기판이 존재하는지 확인하고, 제8 발광부(L42), 제8 수광부(A42)는 제8 기판이 존재하는지 확인한다.
도 10에 도시된 것과 같이, 제1 센서 그룹(291), 제3 센서 그룹(293)이 홀수번째 기판이 존재하는지 확인하고, 제2 센서 그룹(292), 제4 센서 그룹(294)이 짝수번째 기판이 존재하는지 확인한다. 이를 위해서, 제1 센서 그룹(291)의 제1 발광부(L11)는 제2 센서 그룹(292)의 제2 발광부(L21)는 서로 다른 높이에 배치된다. 오히려, 제1 센서 그룹(291)의 제1 수광부(A11)는 제2 센서 그룹(292)의 제2 발광부(L21)는 서로 같은 높이에 배치된다. 비슷하게, 제1 센서 그룹(291)의 제3 발광부(L12)는 제2 센서 그룹(292)의 제2 수광부(A21)는 서로 같은 높이에 배치되고, 제1 센서 그룹(291)의 제3 수광부(A12)는 제2 센서 그룹(292)의 제4 발광부(L22)는 서로 같은 높이에 배치된다.
한편, 제1 발광부(L11) 내지 제8 발광부(L42), 제1 수광부(A11) 내지 제8 수광부(A42)는 도 9에 도시된 것과 같이, 기판(또는 핸드)와 평행하게 돌출되도록 형성될 수 있다.
제6 발광부(L41)와 제6 수광부(A41)는 사이에 배치된 웨이퍼(W3)의 존재 여부를 확인하고, 다른 웨이퍼(예를 들어, W2, W4)의 존재 여부 확인에는 사용되지 않는다. 마찬가지로, 제8 발광부(L42)와 제8 수광부(A42)는 사이에 배치된 웨이퍼(W1)의 존재 여부를 확인하고, 다른 웨이퍼(예를 들어, W2)의 존재 여부 확인에는 사용되지 않는다.
도 11은 도 2에 도시된 제2 센서부를 설명하기 위한 도면이다.
도 2 및 도 11을 참조하면, 제2 센서부(295, 296)는 제1 암(221) 내지 제4 암(224)의 핸드(221a, 222a, 223a, 224a)에 기판이 정상 위치에 배치되었는지를 확인하는 역할을 한다.
즉, 제2 센서부(295, 296)는 다수의 핸드(221a, 222a, 223a, 224a) 중 가장 위쪽의 핸드보다 높은 위치에 설치된 제1 센서(295)와, 다수의 핸드 중 가장 아래쪽의 핸드보다 낮은 위치에 설치된 제2 센서(296)를 포함하여, 제1 센서(295)와 제2 센서(296) 사이의 상호 동작을 통해서 웨이퍼의 정상 위치 여부를 확인한다. 도시된 것과 같이, 도 2 및 도 6에 도시된 것과 같이, 제1 센서(295)와 제2 센서(296)는 다수 개 설치될 수 있다.
예를 들어, 제1 센서(295)에서 광을 조사하고, 제2 센서(296)에서 조사된 광을 수신한다. 만약, 제1 암(221) 내지 제4 암(224)의 핸드에 놓여진 8개의 기판 중 어느 하나라도 정상 위치에 배치되지 않으면, 제1 센서(295)에서 조사된 광은 제2 센서(296)에 도달할 수 없다. 이와 같은 방식으로, 핸드(221a, 222a, 223a, 224a)에 놓여진 모든 기판이 정상 위치에 배치되었는지 확인하게 된다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
200; 인덱스 로봇 210: 바디
220: 암 유닛 221: 제1 암
222: 제2 암 223: 제3 암
224: 제4 암 211: 제1 암 구동부
212: 제2 암 구동부 213: 제3 암 구동부
214: 제4 암 구동부

Claims (18)

  1. 순차적으로 적층되어 배치된 제1 암 내지 제4 암; 및
    상기 제1 암 내지 제4 암과 일대일로 대응되고, 상기 제1 암 내지 제4 암을 각각 구동하는 제1 암 구동부 내지 제4 암 구동부를 포함하되,
    상기 제1 암과 상기 제4 암은 각각 적층되어 배치된 k(단, k는 2 이상의 자연수)개의 핸드를 포함하고, 상기 제2 암과 상기 제3 암은 각각 1개의 핸드를 포함하며,
    제1 방향은 상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 이동 방향이고, 제2 방향은 상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 적층 방향이며, 제3 방향은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 수직 방향일 때, 상기 제1 방향을 기준으로, 일측에 상기 제1 암 구동부 내지 제4 암 구동부 중 2개의 암 구동부가 배치되고, 타측에 나머지 2개의 암 구동부가 배치되며,
    상기 제1 암 내지 제4 암은 각각, 상기 제1 방향으로 길게 연장된 제1 직선 운동 가이드 내지 제4 직선 운동 가이드와 각각 기계적으로 연결되며,
    제1 직선 운동 가이드는 상기 제2 방향을 향하고, 제2 직선 운동 가이드 내지 제4 직선 운동 가이드는 상기 제3 방향을 향하는, 기판 처리 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 일측에 배치되는 2개의 암 구동부는, 상기 제1 암 구동부와 상기 제4 암 구동부이고,
    상기 타측에 배치되는 2개의 암 구동부는, 상기 제2 암 구동부와 상기 제3 암 구동부인, 기판 처리 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 제1 직선 운동 가이드 또는 제4 직선 운동 가이드의 개수는, 상기 제2 직선 운동 가이드 또는 제3 직선 운동 가이드의 개수보다 많은, 기판 처리 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 제2 직선 운동 가이드와 상기 제3 직선 운동 가이드는, 상기 제1 직선 운동 가이드와 상기 제4 직선 운동 가이드 사이에 배치되는, 기판 처리 장치.
  6. 삭제
  7. 제 3항에 있어서,
    상기 제1 암 구동부와 상기 제4 암 구동부는 상기 제3 방향으로 인접하여 배치되고,
    상기 제1 암 구동부는 상기 제3 방향으로 상기 제4 암 구동부를 넘어가는 제1 동력 전달 벨트와 기계적으로 연결되고, 상기 제1 동력 전달 벨트는 제1 방향으로 배치된 제1 이송 벨트와 연결되고,
    상기 제4 암 구동부는 상기 제3 방향으로 상기 제1 암 구동부를 넘어가는 제4 동력 전달 벨트와 기계적으로 연결되고, 상기 제4 동력 전달 벨트는 제1 방향으로 배치된 제4 이송 벨트와 연결되는, 기판 처리 장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 홈 위치에서, 상기 제1 암 내지 제4 암의 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 제1 센서부를 더 포함하되,
    상기 제1 센서부는 서로 이격되어 배치된 제1 센서 그룹과 제2 센서 그룹을 포함하고,
    상기 제1 센서 그룹은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 홀수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인하고,
    상기 제2 센서 그룹은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 짝수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인하는 기판 처리 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 다수의 핸드는, 순차적으로 배치된 제1 핸드 내지 제4 핸드를 포함하고,
    상기 제1 센서 그룹은, 순차적으로 배치된 제1 발광부, 제1 수광부를 포함하고,
    상기 제2 센서 그룹은, 순차적으로 배치된 제2 발광부, 제2 수광부를 포함하고,
    상기 제1 발광부와 상기 제1 수광부는 상기 제1 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데 사용되고, 상기 제3 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데에는 사용되지 않고,
    상기 제2 발광부와 상기 제2 수광부는 상기 제2 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데 사용되고, 상기 제4 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데에는 사용되지 않는 기판 처리 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 제1 발광부와 상기 제2 발광부는 서로 다른 높이에 배치되는 기판 처리 장치.
  11. 제 9항 또는 제10항에 있어서,
    상기 제1 수광부와 상기 제2 발광부는 서로 같은 높이에 배치되는 기판 처리 장치.
  12. 제 1항 또는 제 8항에 있어서,
    상기 제1 암 내지 제4 암의 핸드에 기판이 정상 위치에 배치되었는지를 확인하는 제2 센서부를 더 포함하되,
    상기 제2 센서부는 상기 다수의 핸드 중 가장 위쪽의 핸드보다 높은 위치에 설치된 제1 센서와, 상기 다수의 핸드 중 가장 아래쪽의 핸드보다 낮은 위치에 설치된 제2 센서를 포함하여, 상기 제1 센서와 상기 제2 센서 사이의 상호 동작을 통해서 웨이퍼의 정상 위치 여부를 확인하는 기판 처리 장치.
  13. 다수의 기판을 수납하는 수납 부재;
    상기 기판의 처리 공정이 이루어지는 적어도 하나의 공정 챔버; 및
    상기 수납 부재로부터 상기 기판을 인출 및 적재하고, 상기 기판을 이송하는 이송부재를 포함하고,
    상기 이송부재는
    순차적으로 적층되어 배치되고, 각각 상기 기판을 적재할 수 있는 제1 암 내지 제4 암; 및
    상기 제1 암 내지 제4 암과 일대일로 대응되고, 상기 제1 암 내지 제4 암을 각각 구동하는 제1 암 구동부 내지 제4 암 구동부를 포함하되,
    상기 제1 암과 상기 제4 암은 각각 적층되어 배치된 k(단, k는 2 이상의 자연수)개의 핸드를 포함하고, 상기 제2 암과 상기 제3 암은 각각 1개의 핸드를 포함하며,
    제1 방향은 상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 이동 방향이고, 제2 방향은 상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 적층 방향이며, 제3 방향은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 수직 방향일 때, 상기 제1 방향을 기준으로, 일측에 상기 제1 암 구동부 내지 제4 암 구동부 중 2개의 암 구동부가 배치되고, 타측에 나머지 2개의 암 구동부가 배치되며,
    상기 제1 암 내지 제4 암은 각각, 상기 제1 방향으로 길게 연장된 제1 직선 운동 가이드 내지 제4 직선 운동 가이드와 각각 기계적으로 연결되며,
    제1 직선 운동 가이드는 상기 제2 방향을 향하고, 제2 직선 운동 가이드 내지 제4 직선 운동 가이드는 상기 제3 방향을 향하는, 기판 처리 장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 제1 방향을 기준으로, 일측에 상기 제1 암 구동부와 상기 제4 암 구동부가 배치되고, 타측에 상기 제2 암 구동부와 상기 제3 암 구동부가 배치되는, 기판 처리 장치.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 제1 직선 운동 가이드 또는 제4 직선 운동 가이드의 개수는, 상기 제2 직선 운동 가이드 또는 제3 직선 운동 가이드의 개수보다 많은, 기판 처리 장치.
  16. 순차적으로 적층되어 배치된 제1 암 내지 제4 암;
    상기 제1 암 내지 제4 암과 일대일로 대응되고, 상기 제1 암 내지 제4 암을 각각 구동하는 제1 암 구동부 내지 제4 암 구동부; 및
    상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 홈 위치에서, 상기 제1 암 내지 제4 암의 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 제1 센서부를 포함하되,
    상기 제1 센서부는 서로 이격되어 배치된 제1 센서 그룹과 제2 센서 그룹을 포함하고,
    상기 제1 센서 그룹은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 홀수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인하고,
    상기 제2 센서 그룹은, 적층되어 배치된 다수의 핸드 중 짝수번째 핸드 각각에 기판이 존재하는지를 확인하며,
    제1 방향은 상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 이동 방향이고, 제2 방향은 상기 제1 암 내지 상기 제4 암의 적층 방향이며, 제3 방향은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향의 수직 방향일 때, 상기 제1 방향을 기준으로, 일측에 상기 제1 암 구동부 내지 제4 암 구동부 중 2개의 암 구동부가 배치되고, 타측에 나머지 2개의 암 구동부가 배치되며,
    상기 제1 암 내지 제4 암은 각각, 상기 제1 방향으로 길게 연장된 제1 직선 운동 가이드 내지 제4 직선 운동 가이드와 각각 기계적으로 연결되며,
    제1 직선 운동 가이드는 상기 제2 방향을 향하고, 제2 직선 운동 가이드 내지 제4 직선 운동 가이드는 상기 제3 방향을 향하는, 기판 처리 장치.
  17. 제 16항에 있어서,
    다수의 핸드를 더 포함하되, 상기 제1 암 내지 제4 암은 각각 적어도 하나의 핸드를 포함하고,
    상기 다수의 핸드는, 순차적으로 배치된 제1 핸드 내지 제4 핸드를 포함하고,
    상기 제1 센서 그룹은, 순차적으로 배치된 제1 발광부, 제1 수광부를 포함하고,
    상기 제2 센서 그룹은, 순차적으로 배치된 제2 발광부, 제2 수광부를 포함하고,
    상기 제1 발광부와 상기 제1 수광부는 상기 제1 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데 사용되고, 상기 제3 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데에는 사용되지 않고,
    상기 제2 발광부와 상기 제2 수광부는 상기 제2 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데 사용되고, 상기 제4 핸드에 기판이 존재하는지를 확인하는 데에는 사용되지 않는 기판 처리 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제1 발광부와 상기 제2 발광부는 서로 다른 높이에 배치되고, 상기 제1 수광부와 상기 제2 발광부는 서로 같은 높이에 배치되는 기판 처리 장치.
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