JPH11204612A - ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動によってウエハカセットからウエハが突
出し、落下によりウエハの割れが発生するのを防止す
る。 【解決手段】 昇降可能なカセットステージ上に載置さ
れ複数のウエハ１７が搬入、搬出される複数の溝を有す
るウエハカセット１６と、ウエハカセット１６から突出
したウエハの位置ずれを検出して信号を出す検出手段２
１と、検出手段２１からの信号で待機位置から駆動され
突出したウエハ１７の端面を押圧してウエハカセット１
６の正規の位置に戻すウエハ位置補正手段２６を備え
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ウエハ割れを発
生することなく、ウエハカセットに搬入、搬出を可能に
したウエハ搬送装置およびその方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】図１０は、特開平４−７５３６２号公報
に示された従来のウエハ搬送装置を示す正面図である。
図において、１はウエハ収容室、２は側方に形成されウ
エハを搬入・搬出する開口、３はウエハ収容室１に立設
された昇降装置を有する支持台、４は支持台３上に配置
されたカセットステージ、５は両側に複数の溝が形成さ
れ各溝で後述のウエハ６の両端を支持するウエハカセッ
トで、各溝が開口２と直角になるようにカセットステー
ジ４上に配置されている。

【０００３】６は両端が各溝に挿入されウエハカセット
５内に収容されたウエハ、７はウエハカセット５の搬
入、搬出側の上部に配置された発光素子、８は駆動によ
り発光素子より出される信号、９は信号８を受光可能に
配置された受光素子、１０はウエハ収容室１と間隔をあ
けて対向して配置されたプロセス実行室、１１は側方に
形成され開口２と対向しウエハ６を搬入・搬出する開
口、１２はウエハ収容室１とプロセス実行室１０とを連
結した載置台、１３は載置台１２上に配置され駆動装置
を有する台、１４は台１３上に各開口２、８に向って移
動可能に配置された可動台、１５は可動台１４と連結さ
れウエハ６を保持する保持腕である。

【０００４】次に動作について説明する。図１０におい
て、例えば、ウエハカセット５に収容されたウエハ６を
最上段から順にプロセス実行室１０に搬送する場合、ウ
エハ６間に保持腕１５を挿入可能な位置までカセットス
テージ４を降下させる。次に、保持腕１５を開口２を介
してウエハカセット５内に移動させ、保持腕１５の先端
部をウエハ６間に挿入し、保持腕１５でウエハ６を支持
できるようにカセットステージ４を下降させ、保持腕１
５でウエハ６を保持させる。次に、保持腕１５をプロセ
ス実行室１０側に移動させ、プロセス実行室１０にウエ
ハ６を搬送する。

【０００５】ここで、半導体製造装置においては、搬送
動作中やプロセス実行中に振動が発生し、この振動がウ
エハカセット５に伝わると、ウエハカセット５内のウエ
ハ６が振動により移動し、溝に沿って図１０中に示すよ
うに、ウエハカセット５から突出する位置ずれが発生す
ることがあるので、発光素子７を駆動して信号８を出
し、この信号８を受光素子９が受けるときは、各ウエハ
６は正常な位置にあり、突出したウエハ６によって信号
８が遮断され、受光素子９が信号なしになると、ウエハ
カセット５内のウエハ位置異常と判定される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来のウエハ搬送装置
は以上のように構成されているので、半導体製造装置や
プロセス実行時の振動がウエハカセット５に伝わり、そ
の振動によってウエハ６がウエハカセット５から前方に
飛び出し、図１０中に示すようにウエハ６の突出が検出
されると、警報を発して装置を停止させたのち、人手に
よって突出したウエハ６の位置修正を行うなど手間がか
かるという問題点があった。また、ウエハ６がウエハカ
セット５から突出せずに、内部で平行状態がくずれるよ
うな位置ずれが発生していると、発光素子７と受光素子
９では検出することができないので、保持腕１５の動作
が継続され、ウエハ割れを起こす可能性があるという問
題点があった。

【０００７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、ウエハの位置ずれによるウエハ
の割れ発生を防止することが可能なウエハ搬送装置およ
びその方法を得ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に係
わるウエハ搬送装置は、昇降可能なカセットステージ上
に載置され複数のウエハが搬入、搬出される複数の溝を
有するウエハカセットと、ウエハカセットから突出した
ウエハの位置ずれを検出して信号を出す検出手段と、検
出手段からの信号で待機位置から駆動され突出したウエ
ハの端面を押圧してウエハカセットの正規の位置に戻す
ウエハ位置補正手段を備えたものである。

【０００９】また、この発明の請求項２に係わるウエハ
搬送装置は、請求項１において、ウエハ位置補正手段は
そのまま動作位置で保持される。

【００１０】また、この発明の請求項３に係わるウエハ
搬送装置は、請求項１または請求項２において、ウエハ
位置補正手段はウエハと接触する面にウエハと同一の間
隔で複数のＶ字溝が形成されたものである。

【００１１】また、この発明の請求項４に係わるウエハ
搬送装置は、昇降可能なカセットステージ上に載置され
複数のウエハが搬入、搬出される複数の溝を有するウエ
ハカセットと、ウエハカセットから突出したウエハの位
置ずれを検出して信号を出す検出手段と、検出手段から
の信号でカセットステージをウエハカセットの搬入、搬
出側を上方に所定の角度傾斜させる傾斜駆動手段を備え
たものである。

【００１２】また、この発明の請求項５に係わるウエハ
搬送装置は、昇降可能なカセットステージ上に載置され
複数のウエハが搬入、搬出される複数の溝を有するウエ
ハカセットと、先端に支点を中心にして上下に傾動する
ように形成され上面にウエハを保持するウエハ保持部材
を有し、溝内にウエハをウエハ保持部材を介して搬入、
搬出する搬送手段と、ウエハ保持部材の傾動を検出して
信号を送出する傾動検出手段と、傾動検出手段の信号に
より搬送手段を停止させる停止手段を備えたものであ
る。

【００１３】また、この発明の請求項６に係わるウエハ
搬送装置は、請求項５において、ウエハ保持部材は複数
のおもりでほぼ水平状態を維持するように形成されたも
のである。

【００１４】また、この発明の請求項７に係わるウエハ
搬送装置は、請求項５において、ウエハ保持部材はばね
でほぼ水平状態を維持するように形成されたものであ
る。

【００１５】また、この発明の請求項８に係わるウエハ
搬送装置は、請求項６または７において、ウエハ保持部
材の傾動を緩衝するようにダンパを備えたものである。

【００１６】また、この発明の請求項９に係わるウエハ
搬送方法は、複数のウエハをウエハカセット内に搬入す
る工程と、ウエハがウエハカセットから突出しているの
を検出する工程と、突出したウエハをウエハカセットの
正規の位置に押し戻す工程とを含有するものである。

【００１７】

【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、この発明の
実施の形態を図について説明する。図１はこの発明の実
施の形態１によるウエハ搬送装置の構成を示す斜視図、
図２は動作を示す図である。各図において、１６は両側
に複数の溝が形成されたウエハカセット、１７はウエハ
カセット１６に収容され溝で支持された複数のウエハ、
１８は駆動によって信号１９を出す発光素子、２０は発
光素子１８の信号１９を受け、信号１９がなくなると所
定の信号を出すようにされた受光素子である。そして、
上記１８〜２０で検出手段２１が形成される。

【００１８】２２は検出手段２１からの信号で所定の角
度回動されるモータ、２３はモータ２２の回転軸と連結
された軸、２４は間隔をあけてそれぞれ一端が軸２３と
連結され所定の長さを有する一対の腕金、２５は両端が
各腕金２４の他端と連結されウエハ１７の端部を押圧可
能な板状の補正板である。そして、上記２１〜２４でウ
エハ位置補正手段２５が形成され、ウエハカセット１６
の近傍にウエハ１７の搬入、搬出を阻害しない位置に配
置されている。

【００１９】次に動作について説明する。図１におい
て、複数のウエハ１７が正規の位置に収容されたウエハ
カセット１６を、図示しないカセットステージに配置し
た状態で、検出手段２１、ウエハ位置補正手段２６をそ
れぞれ稼働可能な状態にされると、発光素子１８から受
光素子２０に向けて信号１９を出し、受光素子２０はこ
の信号１９を受けることにより、各ウエハ１７がウエハ
カセット１６内に正常に収容されていることが検出され
ている。

【００２０】ここで、半導体製造装置の搬送動作及びプ
ロセス実行時の振動等により、図１に示すように、ウエ
ハカセット１６の搬入、搬出側に突出するウエハ１７の
位置ずれが発生すると、発光素子１８が出す信号１９は
ウエハ１７によって遮断され、受光素子２０は受ける信
号がなくなり、所定の信号が出される。

【００２１】この受光素子２０の受信信号なしで出され
る信号によって、モータ２２が図１に矢印で示すように
反時計方向に駆動され、回動される補正板２５によっ
て、突出したウエハ１７を図２に示すようにウエハカセ
ット１６内に押し込み、正常な位置に戻される。なお、
ウエハ位置補正手段２６によって突出したウエハ１７の
位置補正が終了すると、ウエハ位置補正手段２６は図１
に示す待機位置に補正板２５を復帰させる。

【００２２】以上のように実施の形態１によれば、ウエ
ハカセット１６内のウエハ１７に位置ずれが発生する
と、検出手段２１がウエハ１７の位置ずれを検出して信
号を出し、この信号でウエハ位置補正手段２６を駆動し
てウエハずれを補正するので、ウエハ１７の落下を防止
し、ひいてはウエハの割れを防止することが可能とな
る。

【００２３】実施の形態２．実施の形態１においては、
ウエハ位置補正手段２６は、ウエハ１７をウエハカセッ
ト１６内に押し込み動作後に、待機位置に復帰させるよ
うにしたが、ウエハ１７をウエハカセット１６に押し込
み後も動作位置を保持させるようにすると、実施の形態
１と同様の効果を得ることは勿論、待機中に振動が加わ
っても、ウエハ１７がウエハカセット１６から突出する
のを防止することが可能となる。

【００２４】実施の形態３．図３はこの発明の実施の形
態３によるウエハ搬送装置のウエハ位置補正手段におけ
る補正板の構成の一部を示す斜視図である。この実施の
形態３におけるウエハ位置補正手段は、実施の形態１を
示す図１のものとは、補正板２７のみが異なる。図３に
おいて、２７は突出したウエハ１７を押圧する補正板、
２８はウエハ１７を押圧する面に形成された複数のＶ字
溝で、その間隔はウエハカセット１６内のウエハ１７の
間隔と同一に形成されている。

【００２５】以上のように実施の形態３によれば、ウエ
ハ１７の突出を検出した検出手段２１から送出される信
号で、モータ２２が駆動され、補正板２７がウエハ１７
を押圧するとき、Ｖ字溝２８がウエハ１７の端面の角部
がＶ字溝２８で位置決めされるようにしたので、ウエハ
１７のこすれを防止し、ウエハのこすれくずが発生する
のを防止することが可能となる。

【００２６】実施の形態４．図４はこの発明の実施の形
態４によるウエハ搬送装置の構成を示す正面図、図５は
動作を示す図である。各図において、３１は両側に複数
の溝が形成されたウエハカセット、３２は両端が溝に挿
入されウエハカセット３１に収容された複数のウエハ、
３３はウエハカセット３１が載置されるカセットステー
ジで、図示しない駆動装置によって図において右側を支
点として傾動可能に形成されている。

【００２７】３４はウエハカセット３１の上搬入、搬出
側に配置され駆動によって信号３５を出す発光素子、３
６はカセットステージ３３の端部に配置され発光素子３
４の信号を受け、信号３５がなくなると所定の信号を出
す受光素子である。そして、上記３４〜３６で検出手段
３７が形成される。３８はウエハ３２間に挿脱可能に形
成されウエハ３２を保持する保持部材である。

【００２８】次に動作について説明する。図４に示すよ
うに、複数のウエハ３２が正規の位置に収容されたウエ
ハカセット３１を、カセットステージ３３上に配置した
状態で、検出手段３７を図示しない駆動装置でそれぞれ
稼働可能な状態にすると、発光素子３４から受光素子３
６に向けて信号３５を出し、受光素子３６がこの信号を
受けることにより、各ウエハ３２がウエハカセット３１
内に正常に収容されていることが検出されている。

【００２９】ここで、半導体製造装置の搬送動作及びプ
ロセス実行時の振動等により、図４に示すように、ウエ
ハカセット３１の搬入、搬出側に突出するウエハ３２の
位置ずれが発生すると、発光素子３４が出す信号３５は
ウエハ３２によって遮断され、受光素子３６は受ける信
号がなくなる。

【００３０】この受光素子３５の受ける信号なしによっ
て所定の信号が出され、図示しない駆動装置が駆動さ
れ、図５に示すように、カセットステージ３３はウエハ
３２が搬入、搬出される側が上方に、ウエハカセット３
１中の突出したウエハ３２が自重により正規の位置に戻
り得る角度に傾動される。ウエハ３２がウエハカセット
３１の正規の位置に戻されると、受光素子３６は発光素
子３４の信号３５を受けるので、この信号３５受信によ
りカセットステージ３３は水平な正常の位置に戻され
る。

【００３１】以上のように実施の形態４によれば、ウエ
ハカセット３１内のウエハ３２が突出する位置ずれが発
生すると、検出手段３７がウエハ３２の位置ずれを検出
し、カセットステージ３３を傾斜させてウエハ３２の位
置ずれを補正するので、ウエハ３２の落下を防止するこ
とができ、ひいてはウエハ３２の割れ発生を防止するこ
とが可能となる。

【００３２】実施の形態５．図６はこの発明の実施の形
態５によるウエハ搬送装置における搬送手段の構成を示
す正面図、図７は上面図である。各図において、３９は
図示しない駆動装置で駆動される保持腕、４０は端部上
方に形成された軸受部、４１は端部下方に形成された突
起、４２は軸受部４０の両側の所定の位置に形成された
当接部、４３は一端が軸受部４０と枢着可能に形成され
た第１の錘部、４４は一端が第１の錘部４３の一端と接
続され他端が下方に延在し、突起４１と当接部４２間に
配置された第２の錘部、４５は一端が第２の錘部４４の
一端と接続され他端が板状に形成された保持部である。
そして、上記４３〜４５でウエハ保持部材４６が形成さ
れ、上記３９と４６で搬送手段４７が形成される。

【００３３】４８はウエハ保持部材４６を軸受４０に傾
動可能に支持する軸、４９は第１の錘部４３に配置され
た複数の第１の錘、５０は第２の錘部４４の下方に配置
された複数の第２の錘、５１は第２の錘部４４と当接部
４２との間に配置された第１のマイクロスイッチ、５２
は第２の錘部４４と突起４１との間に配置された第２の
マイクロスイッチである。そして、上記５１と５２でウ
エハ保持部材４６の傾動を検出する傾動検出手段５３が
形成される。なお、この傾動検出手段５３が送出する信
号によって、図示しない停止手段を動作させ搬送手段４
７を停止させるようにしている。５４はウエハ保持部４
６上に保持されたウエハである。

【００３４】次に動作について説明する。図７に示すよ
うに、保持手段４７の先端部に傾動可能に枢着されたウ
エハ支持部材４６は、軸４８を支点として第１の錘部４
３、第１の錘４８と保持部４５は水平に平衡状態を保
ち、軸４８から下方に延在した第２の錘部４４と第２の
錘４９によって、保持部４５でウエハ５３を保持した状
態でもほぼ水平状態を維持するように調整されている。
したがって、図示しないウエハカセット内に、正常に支
持されたウエハの搬送を支障なく行うことが可能であ
る。

【００３５】ここで、ウエハカセット内のウエハに、配
置間隔の平行が崩れるような位置ずれが発生した状態
で、搬送手段４７を駆動しウエハの搬送動作が行われる
とき、例えば、保持部４５の上面がウエハ５４と接触
し、保持部４５の先端がウエハ５４によって固渋し、ウ
エハ保持部材４６が時計方向に傾動すると、第２の錘部
４４の傾動で第１のマイクロスイッチ５１が動作し、傾
動検出信号が出され、この信号の送出によって図示しな
い停止手段が動作して搬送手段４７を停止させる。ま
た、保持部４５の下面がウエハと接触した場合は、ウエ
ハ保持部材４６が反時計方向に傾動し、第２のマイクロ
スイッチ５２が動作して、搬送手段４７が停止される。

【００３６】以上のように実施の形態５によれば、先端
に支点としての軸４８を中心として上下に傾動しウエハ
５４を保持するウエハ保持部材４６を有し、ウエハカセ
ット内にウエハ５４をウエハ保持部材４６を介して搬
入、搬出する搬送手段４７と、搬送手段４７の傾動を検
出して信号を送出する傾動検出手段５３を備えた構成と
したので、ウエハカセット内に各ウエハの平行が崩れる
ような位置ずれが発生しても、傾動検出手段５３から出
される信号によって搬送手段４７が停止されるので、ウ
エハの割れ発生を防止するとともに、搬送手段４７側の
損傷を防止することも可能となる。

【００３７】実施の形態６．図８はこの発明の実施の形
態６によるウエハ搬送装置における搬送手段の構成を示
す正面図である。図において、実施の形態５と同様な部
分は同一符号を付して説明を省略する。５５は両端が保
持腕３９の先端部と第２の錘部４４とにそれぞれ連結さ
れたばねである。そして、このばね５５は、図示のよう
にウエハ保持部材４６が平衡状態にあるときは、圧縮、
引張力は加わらず、傾動が発生したときには傾動角度に
応じて圧縮力または引張力が加わるように形成されてい
る。

【００３８】以上のように実施の形態６によれば、ウエ
ハ保持部材４６の平衡をばね５５によって維持するよう
にしたので、錘４９、５０などの部品数を削減すること
ができ、実施の形態５と同様の効果を得ることが可能と
なる。

【００３９】実施の形態７．図９はこの発明の実施の形
態７によるウエハ搬送装置における搬送装置の構成を示
す正面図である。実施の形態５を示す図６及び図７、及
び実施の形態６を示す図８のものとは、ウエハ支持部材
４６を平衡に保つ手段のみが異なるので、他の部分の説
明は省略する。図において、実施の形態５と同様な部分
は同一符号を付して説明を省略する。５６は両端が保持
腕３９の先端部と第２の錘部４４とにそれぞれ連結され
たばね、５７は両端が保持腕３９の先端部と第２の錘部
４４とにそれぞれ連結されたダンパである。そして、こ
のばね５６は、図示のようにウエハ保持部材４６が平衡
状態にあるときは、それぞれに圧縮、引っ張り力は加わ
らず、傾動が発生したときには傾動角度に応じて圧縮力
または引張力が加わるように形成され、ダンパ５７は傾
動が発生したときの動きを緩衝する。

【００４０】以上のように実施の形態７によれば、ウエ
ハ保持部材４６の傾動を緩衝するダンパ５７を備えた構
成としたので、実施の形態５及び６と同様の効果を得る
ことが可能となることは勿論のこと、誤動作を防止する
ことが可能となる。

【００４１】

【発明の効果】以上のようにこの発明の請求項１によれ
ば、昇降可能なカセットステージ上に載置され複数のウ
エハが搬入、搬出される複数の溝を有するウエハカセッ
トと、ウエハカセットから突出したウエハの位置ずれを
検出して信号を出す検出手段と、検出手段からの信号で
待機位置から駆動され突出したウエハの端面を押圧して
ウエハカセットの正規の位置に戻すウエハ位置補正手段
を備えた構成としたので、ウエハの落下を防止し、ひい
てはウエハの割れを防止することが可能なウエハ搬送装
置を提供することができる。

【００４２】また、この発明の請求項２によれば、請求
項１において、ウエハ位置補正手段はそのまま動作位置
で保持される構成としたので、待機中に振動が加わって
もウエハの突出を防止することが可能なウエハ搬送装置
を提供することができる。

【００４３】また、この発明の請求項３によれば、請求
項１または請求項２において、ウエハ位置補正手段はウ
エハと接触する面にウエハと同一の間隔で複数のＶ字溝
が形成された構成としたので、ウエハの位置補正動作時
に、ウエハのこすれを防止することが可能なウエハ搬送
装置を提供することができる。

【００４４】また、この発明の請求項４によれば、昇降
可能なカセットステージ上に載置され複数のウエハが搬
入、搬出される複数の溝を有するウエハカセットと、ウ
エハカセットから突出したウエハの位置ずれを検出して
信号を出す検出手段と、検出手段からの信号でカセット
ステージをウエハカセットの搬入、搬出側を上方に所定
の角度傾斜させる傾斜駆動手段を備えた構成としたの
で、ウエハの落下を防止し、ひいてはウエハの割れを防
止することが可能なウエハ搬送装置を提供することがで
きる。

【００４５】また、この発明の請求項５によれば、昇降
可能なカセットステージ上に載置され複数のウエハが搬
入、搬出される複数の溝を有するウエハカセットと、先
端に支点を中心にして上下に傾動するように形成され上
面にウエハを保持するウエハ保持部材を有し、溝内にウ
エハをウエハ保持部材を介して搬入、搬出する搬送手段
と、ウエハ保持部材の傾動を検出して信号を送出する傾
動検出手段と、傾動検出手段の信号により搬送手段を停
止させる停止手段を備えた構成としたので、ウエハの割
れ発生を防止するとともに、搬送手段側の損傷を防止す
ることも可能なウエハ搬送装置を提供することができ
る。

【００４６】また、この発明の請求項６によれば、請求
項５において、ウエハ保持部材は複数のおもりでほぼ水
平状態を維持するように形成された構成としたので、ウ
エハの割れ発生を防止するとともに、搬送手段側の損傷
を防止することも可能なウエハ搬送装置を提供すること
ができる。

【００４７】また、この発明の請求項７によれば、請求
項５において、ウエハ保持部材はばねでほぼ水平状態を
維持するように形成された構成としたので、ウエハの割
れを防止するとともに、搬送手段の損傷を防止すること
も可能なウエハ搬送装置を提供することができる。

【００４８】また、この発明の請求項８によれば、請求
項６または７において、ウエハ保持部材の傾動を緩衝す
るようにダンパを備えた構成としたので、ウエハの割れ
を防止するとともに、搬送手段の損傷を防止することも
可能なことは勿論のこと、誤動作を防止することが可能
なウエハ搬送装置を提供することができる。

【００４９】また、この発明の請求項９によれば、複数
のウエハをウエハカセット内に搬入する工程と、ウエハ
がウエハカセットから突出しているのを検出する工程
と、突出したウエハをウエハカセットの正規の位置に押
し戻す工程とを含有したので、ウエハの落下を防止し、
ひいてはウエハの割れを防止することが可能なウエハ搬
送方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１によるウエハ搬送装
置の構成を示す斜視図である。

【図２】 ウエハ搬送装置の動作、及びこの発明の実施
の形態２によるウエハ搬送装置を示す斜視図である。

【図３】 この発明の実施の形態３によるウエハ搬送装
置のウエハ位置補正要素における補正板の構成の一部を
示す斜視図である。

【図４】 この発明の実施の形態４によるウエハ搬送装
置の構成を示す正面図である。

【図５】 動作を示す正面図である。

【図６】 この発明の実施の形態５によるウエハ搬送装
置における搬送手段の構成を示す正面図である。

【図７】 搬送手段の上面図である。

【図８】 この発明の実施の形態６によるウエハ搬送装
置における搬送手段の構成を示す正面図である。

【図９】 この発明の実施の形態７によるウエハ搬送装
置における搬送手段の構成を示す正面図である。

【図１０】 従来のウエハ搬送装置を示す正面図であ
る。

【符号の説明】

１６ ウエハカセット、１７ ウエハ、２１ 検出手
段、２６ ウエハ位置補正手段、２７ 補正板、２８
Ｖ字溝、３１ ウエハカセット、３２ ウエハ、３３
カセットステージ、３７ 検出手段、４６ ウエハ保持
部材、４７ 搬送手段、４９，５０ 錘、５３ 傾動検
出手段、５５，５６ ばね、５７ ダンパ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 十川 政雄 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 庄 靖史 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 井内 敬彰 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 庄司 啓太 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 赤井 博之 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内 (72)発明者 西村 恒幸 兵庫県伊丹市瑞原四丁目１番地 菱電セミ コンダクタシステムエンジニアリング株式 会社内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 昇降可能なカセットステージ上に載置さ
   れ複数のウエハが搬入、搬出される複数の溝を有するウ
   エハカセットと、上記ウエハカセットから突出した上記
   ウエハの位置ずれを検出して信号を出す検出手段と、上
   記検出手段からの信号で待機位置から駆動され上記突出
   したウエハの端面を押圧して上記ウエハカセットの正規
   の位置に戻すウエハ位置補正手段を備えたことを特徴と
   するウエハ搬送装置。
2. 【請求項２】 ウエハ位置補正手段はそのまま動作位置
   で保持されることを特徴とする請求項１に記載のウエハ
   搬送装置。
3. 【請求項３】 ウエハ位置補正手段はウエハと接触する
   面に上記ウエハと同一の間隔で複数のＶ字溝が形成され
   ていることを特徴とする請求項１または２に記載のウエ
   ハ搬送装置。
4. 【請求項４】 昇降可能なカセットステージ上に載置さ
   れ複数のウエハが搬入、搬出される複数の溝を有するウ
   エハカセットと、上記ウエハカセットから突出した上記
   ウエハの位置ずれを検出して信号を出す検出手段と、上
   記検出手段からの信号で上記カセットステージを上記ウ
   エハカセットの搬入、搬出側を上方に所定の角度傾斜さ
   せる傾斜駆動手段を備えたことを特徴とするウエハ搬送
   装置。
5. 【請求項５】 昇降可能なカセットステージ上に載置さ
   れ複数のウエハが搬入、搬出される複数の溝を有するウ
   エハカセットと、先端に支点を中心にして上下に傾動す
   るように形成され上面に上記ウエハを保持するウエハ保
   持部材を有し上記溝内に上記ウエハを上記ウエハ保持部
   材を介して搬入、搬出する搬送手段と、上記ウエハ保持
   部材の傾動を検出して信号を送出する傾動検出手段と、
   上記傾動検出手段の信号により上記搬送手段を停止させ
   る停止手段を備えたことを特徴とするウエハ搬送装置。
6. 【請求項６】 ウエハ保持部材は複数のおもりでほぼ水
   平状態を維持するように形成されていることを特徴とす
   る請求項５記載のウエハ搬送装置。
7. 【請求項７】 ウエハ保持部材はばねでほぼ水平状態を
   維持するように形成されていることを特徴とする請求項
   ５記載のウエハ搬送装置。
8. 【請求項８】 ウエハ保持部材の傾動を緩衝するように
   ダンパを備えていることを特徴とする請求項６または７
   記載のウエハ搬送装置。
9. 【請求項９】 複数のウエハをウエハカセット内に搬入
   する工程と、上記ウエハが上記ウエハカセットから突出
   しているのを検出する工程と、上記突出したウエハを上
   記ウエハカセットの正規の位置に押し戻す工程とを含有
   することを特徴とするウエハ搬送方法。