KR20020076819A - 기판을 파지하는 장치 및 이를 갖는 핸들링 장치 - Google Patents

기판을 파지하는 장치 및 이를 갖는 핸들링 장치 Download PDF

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Abstract

기판을 면대면으로 파지하는 장치 및 핸들링하는 장치가 개시되어 있다. 파지 장치는 제1파지부와 제2파지부는 평행 방향으로 겹치도록 설치되고, 상기 평행 방향으로 슬라이딩이 가능하다. 상기 슬라이딩에 의해 제2파지부의 제3슬롯들과 제1파지부의 제2슬롯들이 겹치고, 제2파지부의 제4슬롯들과 제1파지부의 제1슬롯들이 겹칠 때에는 상기 제3슬롯들 및 제1슬롯들에 삽입되는 기판들이 파지된다. 그리고, 상기 제2파지부의 제3슬롯들과 제1파지부의 제1슬롯들이 겹치고, 상기 제2파지부의 제4슬롯들과 제1파지부의 제2슬롯들이 겹칠 때에는 상기 제3슬롯들 및 제1슬롯들에 중복해서 삽입되는 기판들만 파지된다. 따라서, 상기 파지 장치를 기판을 핸들링하는 장치에 부속시킴으로서 용이하게 면대면 정렬을 수행할 수 있다.

Description

기판을 파지하는 장치 및 이를 갖는 핸들링 장치{apparatus for seizing a substrate and apparatus for handling a substrate having the same}
본 발명은 기판을 파지하는 장치 및 이를 갖는 핸들링 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판들을 선택적으로 파지하는 장치 및 기판들을 면대면(back to back) 형태로 핸들링하는 장치에 관한 것이다.
근래에 컴퓨터와 같은 정보 매체의 급속한 보급에 따라 반도체 장치도 비약적으로 발전하고 있다. 그 기능 면에 있어서, 상기 반도체 장치는 고속으로 동작하는 동시에 대용량의 저장 능력을 가질 것이 요구된다. 이에 따라, 상기 반도체 장치는 집적도, 신뢰도 및 응답 속도 등을 향상시키는 방향으로 제조 기술이 발전되고 있다.
상기 반도체 장치는 막 형성, 패턴 형성 등을 위한 일련의 단위 공정들을 순차적으로 수행함으로서 제조된다. 그리고, 상기 순차적인 단위 공정의 수행에서는 기판 또는 카세트(cassette)에 적재되어 있는 기판들을 파지하고, 핸들링하는 작업이 빈번하게 이루어진다.
상기 단위 공정들 중에서 세정 공정에서는 기판들을 면대면으로 파지하고, 핸들링한다.
도 1은 상기 면대면으로 정렬된 기판(10)들을 나타낸다. 도 1를 참조하면, 상기 면대면은 기판(10)들을 정렬할 때 기판(10) 앞면(10a)과 앞면(10a)이 마주하게 정렬하는 정렬 방법이다. 이는, 주로 세정 공정에서 기판(10)을 정렬하는 방법으로, 기판(10) 뒷면(10b)에 흡착되어 있는 오염 물질이 기판(10) 앞면(10a)에 영향을 끼치는 것을 최소화하기 위함이다.
상기 면대면 정렬을 위하여 상기 기판들을 파지하고, 핸들링하는 방법 및 장치에 대한 예는 미합중국 특허 제4,856,957호(issued to Lau et al.) 및 대한민국 특허등록 제245,069호에 개시되어 있다.
상기 대한민국 특허등록 제245,096호에 의하면, 상기 장치는 카세트가 놓여지고, 상기 카세트를 하강시킴으로서 기판을 카세트와 분리시키는 카세트 안착 부재와, 상기 카세트에서 분리된 기판들 중에서 반전이 불필요한 특정열의 기판들을 선별하여 파지하고, 일정 높이 이상 승,하강하는 기판 파지 부재와, 상기 카세트에서 분리된 기판들 중에서 반전이 필요한 특정열의 기판들을 안착시키고, 상기 기판들을 수직 회전축을 중심으로 180° 회전시키며 상기 기판 파지 부재가 파지한 기판을 다시 안착시키는 반전 부재를 포함한다.
상기 장치 중에서 상기 기판 파지 부재는 상기 기판들을 선별적으로 파지할 뿐, 상기 카세트에 적재되어 있는 기판 전체를 파지하지는 못한다. 그리고, 상기 기판들을 파지하고, 핸들링할 때 상기 장치내에 카세트가 계속적으로 머문다. 따라서, 상기 카세트로 인한 물리적 간섭을 배제할 수 없을 뿐만 아니라 상기 카세트 안착 부재의 구동이 필요하다. 때문에, 상기 카세트로 인한 충돌 등이 엄려되고, 상기 구동을 위한 별도의 부재가 설치되어야 한다. 그리고, 상기 면대면 정렬이 수행한 다음 다시 카세트 단위의 이송이 요구된다.
도 2는 기판을 파지하는 장치(20)를 나타낸다. 도 2를 참조하면, 상기 장치는 기판(230)들이 삽입되고, 상기 삽입에 의해 파지가 가능한 슬롯(210, 220)들을 갖는다. 상기 슬롯(210, 220)들은 카세트에 적재되어 있는 기판(230) 전부를 파지하는 제1슬롯(210)들 및 기판(230) 중에서 홀수번째 또는 짝수번째 기판(230)들만 선택적으로 파지하는 제2슬롯(220)들을 포함한다. 그리고, 상기 장치(20)가 회전함으로서 기판(230)들 전부를 파지하거나, 선택적으로 파지하는 구성을 갖는다. 그러나, 상기 장치(20)는 회전을 요구하기 때문에 회전을 위한 부재 등이 설치됨으로서, 장치적 규모를 고려해햐 한다.
이와 같이, 종래의 기판을 파지하는 장치 및 핸들링하는 장치는 동작에 대한 구성 및 공간적 규모를 고려해야 한다. 때문에, 장치의 운용 효율이 저하되는 문제점이 있다.
본 발명의 제1목적은, 구성 부재를 단순화하기 위한 기판을 파지하는 장치를제공하는 데 있다.
본 발명의 제2목적은, 단순한 동작을 통하여 기판을 면대면으로 핸들링하기 위한 기판을 핸들링하는 장치를 제공하는 데 있다.
도 1은 면대면으로 정렬된 기판들을 나타내는 도면이다.
도 2는 종래의 기판을 파지하는 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 핸들링하는 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 4a 및 도 4b는 도 3에 설치되는 파지 부재를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 5는 도 3에 설치되는 파지 부재의 제1파지부를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 6은 도 3에 설치되는 파지 부재의 제2파지부를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 파지 부재를 나타내는 개략적인 정면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10, 230, 300b : 기판 200 : 파지 장치
30 : 핸들링 장치
210, 220, 400c, 550a, 550b, 560a, 560b : 슬롯
300 : 작업 부재 300a : 카세트
400 : 승강 부재 400a : 실린더
400b : 스텝핑 모터 500 : 파지 부재
550 : 제1파지부 560 : 제2파지부
570 : 제3파지부 600 ; 구동 부재
600a : 볼 스크류 600b : 커플링
600c : 서보 모터
상기 제1목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판을 파지하는 장치는, 나란하게 배치되어 있는 기판들 중에서 파지하기를 소망하는 기판들은 측면 부위가 접촉되도록 삽입되는 제1슬롯들과, 상기 제1슬롯들 사이에 형성되고, 상기 기판들 중에서 파지하기를 소망하지 않는 기판들은 측면 부위가 접촉되지 않도록 삽입되는 제2슬롯들을 포함하는 제1파지부 및 상기 기판들 중에서 파지하기를 소망하는 기판들은 측면 부위가 접촉되도록 삽입되는 제3슬롯과, 상기 제3슬롯들 사이에 형성되고, 상기 기판들 중에서 파지하기를 소망하지 않는 기판들은 측면 부위가 접촉되지 않도록 삽입되는 제4슬롯을 포함하는 제2파지부를 포함하고, 상기 제1파지부와 제2파지부는 평행 방향으로 겹치도록 설치되고, 상기 평행 방향으로 슬라이딩이 가능하고, 상기 슬라이딩에 의해 상기 제3슬롯들과 제2슬롯들이 겹치고, 상기 제4슬롯들과 제1슬롯들이 겹칠 때에는 상기 제3슬롯들 및 제1슬롯들에 삽입되는 상기 기판들이 파지되고, 상기 제3슬롯들과 제1슬롯들이 겹치고, 상기 제4슬롯들과 제2슬롯들이 겹칠 때에는 상기 제3슬롯들 및 제1슬롯들에 중복해서 삽입되는 기판들만 파지되는 것을 특징으로 한다.
이와 같이, 슬라이딩에 의한 동작을 통하여 기판 전부를 파지하거나 기판을 선별적으로 파지할 수 있다. 때문에, 구성 부재의 간단화를 도모할 수 있고, 이에따라 장치의 운용 효율을 극대화할 수 있다.
상기 제2목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판을 핸들링하는 장치는, 다수매의 기판들을 적재하는 카세트가 놓여지는 작업 부재와, 상기 카세트에 적재되어 있는 기판들을 상기 작업 부재 하측에서 상측으로 들어올리는 승강 부재와, 상기 작업 부재 상측에 설치되고, 파지하기를 소망하는 기판들은 측면 부위가 접촉되도록 삽입되는 제1슬롯들과, 파지하기를 소망하지 않는 기판들은 측면 부위가 접촉되지 않도록 삽입되는 제2슬롯들을 포함하는 제1파지부 및 파지하기를 소망하는 기판들은 측면 부위가 접촉되도록 삽입되는 제3슬롯들과, 파지하기를 소망하지 않는 기판들은 측면 부위가 접촉되지 않도록 삽입되는 제4슬롯들을 포함하는 제2파지부를 포함하고, 상기 제1파지부와 제2파지부는 평행 방향으로 겹치도록 설치되고, 상기 평행 방향으로 슬라이딩이 가능하고, 상기 슬라이딩에 의해 상기 제3슬롯들과 제2슬롯들이 겹치고, 상기 제4슬롯들과 제1슬롯들이 겹칠 때에는 상기 승강 부재에 의해 들어올려진 기판들 전부를 파지하고, 상기 제3슬롯들과 제1슬롯들이 겹치고, 상기 제4슬롯들과 제2슬롯들이 겹칠 때에는 상기 승강 부재에 의해 들어올려진 기판들 중에서 상기 제3슬롯들과 제1슬롯들에 중복해서 삽입되는 기판들만 파지하는 파지 부재를 포함한다.
이와 같이, 상기 핸들링 장치는 단순한 동작을 통하여 기판을 핸들링할 수 있을 뿐만 아니라 카세트 등에 의한 물리적 간섭을 배제할 수 있다. 따라서, 장치의 운용 효율을 극대화시킬 수 있고, 핸들링을 안정적으로 수행할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라서 더욱 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판을 핸들링하는 장치를 개략적으로 나타낸다.
도 3을 참조하면, 상기 장치(30)는 작업 부재(300)를 포함한다. 작업 부재(300)에는 다수매의 기판(300b)들을 적재하는 카세트(300a)가 놓여진다. 그리고, 작업 부재(300)에는 컨베이어와 같은 이송 부재(도시되지 않음)가 설치된다. 따라서, 상기 이송 부재가 카세트(300a)의 이송을 담당한다.
상기 장치(30)는 카세트(300a)에 적재되어 있는 기판(300b)들을 작업 부재(300) 하측에서 상측으로 들어올리는 승강 부재(400)를 포함한다. 승강 부재(400)는 기판(300b)들이 카세트(300a)에 적재되어 있는 상태에서 들어올린다. 때문에, 작업 부재(300)는 관통면을 갖고, 상기 관통면을 통하여 승강 부재(400)가 상승하고, 카세트(300a)에 적재되어 있는 기판(300b)들을 들어올리는 구성을 갖는다. 그리고, 승강 부재(400)는 기판(300b)들 각각이 삽입되는 삽입 슬롯(400c)을 갖는다. 이때, 삽입 슬롯(400c)은 0.8mm의 간격을 갖는다.
그리고, 승강 부재(400)는 실린더(400a)의 구동에 의해 기판들을 들어올린다. 때문에, 승강 부재(400)는 주로 공압에 의해 구동하는 실린더(400a)를 포함한다. 또한, 승강 부재(400)는 면대면 정렬을 위한 회전을 하기 때문에 스텝핑 모터(400b)를 포함한다. 이때, 승강 부재(400)는 스텝핑 모터(400b)에 의해 180°로 회전한다.
상기 장치(30)는 기판(300b)들의 측면 부위를 파지하는 파지 부재(500)를 포함한다. 파지 부재(500)는 승강 부재(400)에 의해 상측으로 올려지는 기판(300b)들을 파지한다. 그리고, 파지 부재(500)는 기판(300b)들을 양측 부위에서 파지할 수 있도록 한 쌍으로 설치된다.
도 4a 및 도 4b는 파지 부재(500)를 나타낸다. 구체적으로 도 4a는 기판(300b)들 전부를 파지한 상태를 나타내고, 도 4b는 기판(300b)들 중에서 파지를 소망하는 기판(300b)들을 선택적으로 파지한 상태를 나타낸다.
파지 부재(500)를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다. 도 5는 파지 부재(500)의 제1파지부(550)를 나타내고, 도 6은 파지 부재(500)의 제2파지부(560)를 나타낸다.
도 5를 참조하면, 제1파지부(550)는 제1슬롯(550a)들과 제2슬롯(550b)들을 포함한다. 제1슬롯(550a)들과 제2슬롯(550b)들은 반복하는 구성을 갖는다. 여기서, 제1슬롯(550a)들은 기판(300b)들 중에서 파지하기를 소망하는 기판(300b)들의 측면 부위가 접촉되도록 삽입되는 구성을 갖고, 제2슬롯(550b)들은 기판(300b)들 중에서 파지하기를 소망하지 않는 기판(300b)들의 측면 부위가 단순히 삽입되는 구성을 갖는다. 즉, 제2슬롯(550b)들은 기판(300b)들의 측면 부위가 접촉되지 않도록 삽입된다.
도 6을 참조하면, 제2파지부(560)는 제3슬롯(560a)들과 제4슬롯(560b)들을 포함한다. 제3슬롯들(560a)과 제4슬롯(560b)들은 반복하는 구성을 갖는다. 여기서, 제3슬롯(560a)들은 기판(300b)들 중에서 파지하기를 소망하는 기판(300b)들의 측면 부위가 접촉되도록 삽입되는 구성을 갖고, 제4슬롯(560b)들은 기판(300b)들 중에서파지하기를 소망하지 않는 기판(300b)들의 측면 부위가 단순히 삽입되는 구성을 갖는다. 즉, 제4슬롯(560b)들은 기판(300b)들의 측면 부위가 접촉되지 않도록 삽입된다.
상기 구성을 갖는 제1파지부(550) 및 제2파지부(560)는 평행 방향으로 서로 겹치도록 설치된다. 따라서, 파지 부재(500)는 제1파지부(550) 및 제2파지부(560)를 포함하고, 제1파지부(550)와 제2파지부(560)가 겹쳐지는 구성을 갖는다. 이때, 제1파지부(550)와 제2파지부(560)가 겹치는 위치는 제2파지부(560)가 제1파지부(550) 아래에 위치하는 것이 바람직하다. 그리고, 제2파지부(560)는 제1파지부(550)와 평행 방향으로 슬라이딩이 가능하다.
상기 슬라이딩에 의해 파지 부재(500)는 도 4a에 도시된 바와 같이, 슬롯들이 기판(300b)들 전부를 파지할 수 있는 상태로 배치되거나 도 4b에 도시된 바와 같이, 선택적으로 기판(300b)들을 파지할 수 있는 상태로 배치된다.
이를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다. 제2파지부(560)의 제3슬롯(560a)들과 제1파지부(550)의 제2슬롯(550b)들이 겹치고, 제2파지부(560)의 제4슬롯(560b)들과 제1파지부(550)의 제1슬롯(550a)들이 겹칠 경우 기판(300b)은 제2파지부(560)의 제3슬롯(560a)들 및 제1파지부(550)의 제1슬롯(550a)들에 파지된다. 따라서, 기판(300b) 전부를 파지할 수 있다. 그리고, 제2파지부(560)의 제3슬롯(560a)들과 제1파지부(550)의 제1슬롯(550a)들이 겹치고, 제2파지부(560)의 제4슬롯(560b)들과 제1파지부(550)의 제2슬롯(550b)들이 겹칠 경우 기판은 제3슬롯(560a)들과 제1슬롯(550a)들에 중복적으로 파지된다. 그러나, 제4슬롯(560b)들과제2슬롯(550b)들이 겹칠 경우 기판(300b)은 측면 부위가 접촉되지 않도록 삽입되기 때문에 파지되지 않는다. 따라서, 선택적으로 기판(300b)을 파지할 수 있다. 특히, 전술한 바와 같이, 제1슬롯(550a)들과 제2슬롯(550b)들이 반복해서 형성되고, 제3슬롯(560a)들과 제4슬롯(560b)들이 반복해서 형성될 경우에는 기판(300b)들 중에서 짝수번째 또는 홀수번째에 배치되어 있는 기판(300b)들만 선택적으로 파지할 수 있다.
상기 구성을 갖는 파지 부재(500)는 기판(300b) 양측에 한 쌍으로 설치되기 때문에, 기판(300b) 양측에서 기판(300b) 측면으로 구동하는 구성을 갖는다. 따라서, 파지 부재(500)는 상기 구동을 위한 부재를 포함한다. 그리고, 파지 부재(500)는 제1파지부(550)와 제2파지부(560) 뿐만 아니라 기판(300b)을 파지하였을 때 기판(300b)의 흔들림을 방지하기 위한 제3파지부를 더 포함한다.
도 7은 파지 부재(500)에 의해 기판(300b)이 파지되어 있는 상태를 나타낸다. 도 7를 참조하면, 파지 부재(500)는 기판(300b)의 양측 부위에서 구동하고, 상기 구동에 의해 기판(300b) 양측 부위를 슬롯들에 삽입시켜 파지하는 구성을 갖는다. 이때, 제1파지부(550) 및 제2파지부(560)는 기판(300b)들을 파지하는 구성을 갖고, 제3파지부(570)는 기판(300b)의 흔들림을 방지하는 구성을 갖는다. 따라서, 제3파지부(570)는 기판(300b)을 삽입하는 제5슬롯(도시되지 않음)들을 갖고, 제5슬롯에 기판(300b)을 삽입시킴으로서 기판(300b)의 흔들림을 방지한다.
상기 장치(30)는 파지 부재(500)의 일측에 설치되는 구동 부재(600)를 포함한다. 구동 부재(600)는 전술한 바와 같이, 기판(300b)들을 파지할 때 파지부재(500)를 구동시키는 구성을 갖는다. 때문에, 구동 부재(600)는 볼 스크류(600a) 및 커플링(600b)을 포함하고, 또한 서보 모터(600c)를 포함한다.
상기 구성을 갖는 핸들링 장치(30)를 사용하여 기판(300b)을 파지하고, 면대면으로 정렬을 위한 핸들링 방법을 살펴보면 다음과 같다.
기판(300b)들이 적재되어 있는 카세트(300a)를 작업 부재(300)에 올려놓은다. 이때, 카세트(300a)는 컨베이어 시스템에 의해 작업 부재(300)로 이송되고, 올려진다. 그리고, 작업 부재(300)는 2개의 카세트(300a)가 놓여지는 공간을 확보함으로서, 상기 면대면 정렬을 위한 작업은 2개의 카세트(300a)를 대상으로 한다. 따라서, 기판(300b)은 50매가 된다.
이어서, 승강 부재(400)를 구동시킨다. 상기 구동은 실리던(400a)에 의한다. 승강 부재(400)가 구동함에 따라 승강 부재(400)는 작업 부재(300) 및 카세트(300a) 하부를 통하여 상승한다. 그리고, 상기 상승에 의해 카세트(300a)에 적재되어 있는 기판(300b)들이 삽입 슬롯(400c)에 삽입된다. 따라서, 삽입 슬롯(400c)에 삽입된 상태로 기판(300b)들은 계속적으로 상승한다.
그리고, 상기 상승에 의해 기판(300b)들은 파지 부재(500)에 위치한다. 이때, 파지 부재(500)는 기판(300b)들 전부를 파지하기 위한 상태로 슬라이딩된다. 즉, 제3슬롯(560a)들과 제2슬롯(550b)들이 겹치고, 제4슬롯(560b)들과 제1슬롯(550a)들이 겹치는 상태로 슬라이딩된다. 따라서, 구동 부재(600)의 구동에 의해 파지 부재(500)는 기판(300b) 양측 부위를 가압하는 형태로 구동하고, 제3슬롯(560a)들 및 제1슬롯(550a)들에 기판(300b) 양측 부위를 삽입시킨다. 때문에, 기판(300b) 양측이 접촉하여 파지가 이루어진다.
이어서, 승강 부재(400)는 작업 부재(300) 하측으로 하강한다. 그리고, 카세트(300a)는 상기 컨베이어 시스템에 의해 작업 부재(300) 외부로 이송된다. 따라서, 카세트(300a)가 없는 상태에서 기판(300b)들을 파지하고, 핸들링할 수 있다.
그리고, 승강 부재(400)는 파지 부재(500) 위치까지 상승하여 파지 부재(500)에 파지되어 있는 기판(300b)들을 다시 인수받고, 파지 부재(500) 하측으로 하강한다.
이어서, 파지 부재(500)는 제3슬롯(560a)들과 제1슬롯(550a)들이 겹치고, 제4슬롯(560b)들과 제2슬롯(560a)들이 겹치는 상태로 슬라이딩한다.
그리고, 승강 부재(400)는 상승하고, 파지 부재(500)는 기판(300b)들을 파지한다. 이때, 기판(300b)들은 짝수번째 또는 홀수번째 기판(300b)들만 파지된다. 이는, 제4슬롯(560b)들과 제2슬롯(550b)들이 겹치는 부분에서는 기판(300b)들의 파지가 이루어지지 않기 때문이다.
이어서, 승강 부재(400)는 승강 부재(400)에 잔류하는 기판(300b)들이 파지 부재(500)에 의해 짝수번째 기판(300b)들이 파지될 경우에는 승강 부재(400)에 홀수번째 기판(300b)들이 잔류하고, 파지 부재(500)에 홀수번째 기판(300b)들이 파지될 경우에는 승강 부재(400)에 짝수번째 기판(300b)들이 잔류한다.
계속해서, 승강 부재(400)는 잔류하는 기판(300b)들을 가지고, 파지 부재(500) 하측으로 하강한다. 그리고, 승강 부재(400)는 스텝핑 모터(400b)에 의해 180° 회전한다. 때문에, 기판들의 면대면 정렬이 가능하다. 즉, 파지부재(500)에 파지되어 있는 기판(300b)들과 승강 부재(400)의 회전에 의한 기판(300b)들의 정렬 상태가 면대면으로 구성을 갖는다.
그리고, 승강 부재(400)는 파지 부재(500)로 다시 상승한다. 이때, 승강 부재(400)에 잔류하고, 정렬 방향이 반전된 기판(300b)들은 제2슬롯(550b)들 및 제4슬롯(560b)들로 상승되기 때문에 슬롯(550b, 560b)들에 의한 간섭은 발생하지 않는다.
이어서, 파지 부재(500)는 파지하고 있는 기판(300b)들을 다시 승강 부재(400)로 인수한다. 그리고, 기판(300b)들을 인수받은 승강 부재(400)는 파지 부재(500) 하측으로 하강한다. 이때, 승강 부재(400)에 놓여있는 기판(300b)들을 면대면으로 정렬된 상태를 유지한다. 이에 따라, 기판(300b)들은 면대면 상태로 정렬된다.
계속해서, 파지 부재(500)에 의한 이송 또는 후속 공정을 위한 메인 로봇(도시되지 않음) 등에 의해 이송이 이루어짐으로서, 면대면 정렬을 유지하는 상태로 이송이 가능하다.
상기 구성을 갖는 면대면 정렬을 살펴보면, 상기 장치를 구성하는 부재 중에서 승강 부재만이 상,하로 구동한다. 때문에, 상기 장치를 구성하는 부재들의 간편화 및 단순화를 꾀할 수 있다. 그리고, 기판 전부를 파지할 수 있기 때문에 카세트를 상기 장치 외부로 완전히 이송할 수 있다. 따라서, 기판을 면대면으로 정렬할 때 카세트로 인한 간섭을 배제할 수 있다. 이는, 승강 부재의 구동 거리를 축소시킬 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 의하면 장치의 간편화를 꾀할 수 있기 때문에 장치의 설치적 측면에서 공간적 제약성을 최소화할 수 있는 효과를 기대할 수 있다. 그리고, 장치의 단순화를 꾀할 수 있기 때문에 장치의 운용측 측면 및 유지 보수의 측면에서 효율성이 상승하는 효과를 기대할 수 있다.
또한, 카세트와 같은 부재의 간섭을 배제함으로서 기판의 파지 및 핸들링에서 발생하는 불량을 최소화할 수 있다. 그리고, 구동 부재의 구동 거리의 축소에 따라 정렬을 위한 시간이 축소됨으로서 기판의 파지 및 핸들링에 따른 생산 효율이 상승되는 효과를 기대할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (5)

  1. 나란하게 배치되어 있는 기판들 중에서 파지하기를 소망하는 기판들은 측면 부위가 접촉되도록 삽입되는 제1슬롯들과, 상기 제1슬롯들 사이에 형성되고, 상기 기판들 중에서 파지하기를 소망하지 않는 기판들은 측면 부위가 접촉되지 않도록 삽입되는 제2슬롯들을 포함하는 제1파지부; 및
    상기 기판들 중에서 파지하기를 소망하는 기판들은 측면 부위가 접촉되도록 삽입되는 제3슬롯과, 상기 제3슬롯들 사이에 형성되고, 상기 기판들 중에서 파지하기를 소망하지 않는 기판들은 측면 부위가 접촉되지 않도록 삽입되는 제4슬롯을 포함하는 제2파지부를 포함하고,
    상기 제1파지부와 제2파지부는 평행 방향으로 겹치도록 설치되고, 상기 평행 방향으로 슬라이딩이 가능하고, 상기 슬라이딩에 의해 상기 제3슬롯들과 제2슬롯들이 겹치고, 상기 제4슬롯들과 제1슬롯들이 겹칠 때에는 상기 제3슬롯들 및 제1슬롯들에 삽입되는 상기 기판들이 파지되고, 상기 제3슬롯들과 제1슬롯들이 겹치고, 상기 제4슬롯들과 제2슬롯들이 겹칠 때에는 상기 제3슬롯들 및 제1슬롯들에 중복해서 삽입되는 기판들만 파지되는 것을 특징으로 하는 기판을 파지하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1파지부 및 제2파지부는 상기 기판들을 양측 부위에서 파지할 수 있도록 상기 기판들 양측 부위에 한 쌍으로 설치되는 것을 특징으로 하는 기판을 파지하는 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1파지부의 제1슬롯들과 제2슬롯들 및 제2파지부의 상기 제3슬롯들과 제4슬롯들은 반복해서 설치되고, 상기 슬라이딩에 의해 상기 제3슬롯들과 제2슬롯들이 겹치고, 상기 제4슬롯들과 제1슬롯들이 겹칠 때에는 상기 기판들 전부를 파지하고, 상기 제3슬롯들과 제1슬롯들이 겹치고, 상기 제4슬롯들과 제2슬롯들이 겹칠 때에는 상기 기판들 중에서 짝수번째에 배치된 기판들 또는 홀수번째 배치된 기판들만 선택적으로 파지하는 것을 특징으로 하는 기판을 파지하는 장치.
  4. 다수매의 기판들을 적재하는 카세트가 놓여지는 작업 부재;
    상기 카세트에 적재되어 있는 기판들을 상기 작업 부재 하측에서 상측으로 들어올리는 승강 부재; 및
    상기 작업 부재 상측에 설치되고, 파지하기를 소망하는 기판들은 측면 부위가 접촉되도록 삽입되는 제1슬롯들과, 파지하기를 소망하지 않는 기판들은 측면 부위가 접촉되지 않도록 삽입되는 제2슬롯들을 포함하는 제1파지부 및 파지하기를 소망하는 기판들은 측면 부위가 접촉되도록 삽입되는 제3슬롯들과, 파지하기를 소망하지 않는 기판들은 측면 부위가 접촉되지 않도록 삽입되는 제4슬롯들을 포함하는 제2파지부를 포함하고, 상기 제1파지부와 제2파지부는 평행 방향으로 겹치도록 설치되고, 상기 평행 방향으로 슬라이딩이 가능하고, 상기 슬라이딩에 의해 상기 제3슬롯들과 제2슬롯들이 겹치고, 상기 제4슬롯들과 제1슬롯들이 겹칠 때에는 상기 승강 부재에 의해 들어올려진 기판들 전부를 파지하고, 상기 제3슬롯들과 제1슬롯들이 겹치고, 상기 제4슬롯들과 제2슬롯들이 겹칠 때에는 상기 승강 부재에 의해 들어올려진 기판들 중에서 상기 제3슬롯들과 제1슬롯들에 중복해서 삽입되는 기판들만 파지하는 파지 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판을 핸들링하는 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 승강 부재는 180° 회전이 가능하고, 상기 파지 부재에 의해 파지되지 않는 기판들을 180° 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판을 핸들링하는 장치.
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