JP2014096486A - ウエハ剥離装置およびウエハ剥離方法 - Google Patents

Abstract

【課題】スライスベースからのウエハの剥離を容易にすること。
【解決手段】 スライスベースに接着剤で接着された複数枚のウエハを、前記スライスベースから剥離するウエハ剥離装置であって：水を貯留する水槽と、前記ウエハが接着している前記スライスベースを、前記ウエハの少なくとも一部が、前記水槽の水に浸漬するように保持する保持部と、前記水槽の水に浸漬されたウエハの側面に向かって水を噴流させる第１ノズルと、前記水槽内に配置され、前記スライスベースから剥離されたウエハを収容するトレイとを有するウエハ剥離装置。
【選択図】図３

Description

本発明は、スライスベースに接着剤で接着されたウエハを剥離するウエハ剥離装置、およびウエハ剥離方法に関する。

シリコンウエハなどのウエハは、インゴットと称される塊状物をスライスして、枚葉化することで得られる。ウエハを得るには、まずインゴットをスライスベースと称される保持体に接着剤を介して固定する。スライスベースに固定されたインゴットを、ワイヤソーでスライスしてウエハとする。そして、スライスベースからウエハを剥離することでウエハを得る。

図１Ａに示されるように、スライスベース５０からウエハ６０を剥離するために、ウエハ６０が接着したスライスベース５０を、熱水または薬液を含む水１５に浸漬させて、ウエハ６０をスライスベース５０に固定している接着剤６３を軟化させていた。それにより、ウエハ６０がスライスベース５０から剥離する。剥離したウエハ６０は、トレイ４０に落下して回収される。

また、スライスベースからウエハを剥離する他の手法として、ウエハをスライスベースに接着させる接着剤に、熱風を噴射させて接着剤を溶解させ、吸着保持手段を有する保持アームでウエハをスライスベースから剥離する手法が報告されている（特許文献１）。

実用新案登録第３１４９７１２号

図１Ｂに示されるように、スライスベース５０から剥離されたウエハ６０がトレイ４０に落下すると、落下したウエハ６０同士が衝突したり、ランダムに重なりあうことで、ウエハ６０が割れてしまったり（符号Ｘ参照）、かけてしまったりする（符合Ｙ参照）ことがある。また、接着剤の残渣６３’が水中に混入する。そのため、図１Ｃに示されるように、トレイ４０に収容されたウエハ６０を、洗浄液または水１５’で洗浄する必要があった。さらには、落下したウエハ６０は、トレイ４０内にランダムに収容されるので、図１Ｄに示されるように、ウエハ６０を整列させる工程が必要であった。このように、割れたウエハおよびウエハのかけらや、接着剤残渣をマニュアル作業で除去したり、ランダムに収容されたウエハを整列させたりする必要があった。

また、特許文献１に記載のように、接着剤に熱風を噴射して接着剤を溶解させると、ウエハに汚れが固着して、それを除去するのが困難であった。

そこで本発明は、スライスベースからのウエハの剥離を容易にしつつ、その後の工程までマニュアル作業を排して、自動化可能にすることを目的とする。

すなわち本発明は、以下に示すウエハ剥離装置およびウエハ剥離方法に関する。

本発明のウエハ剥離装置は、スライスベースに接着剤で接着された複数枚のウエハを、前記スライスベースから剥離するウエハ剥離装置であって、
水を貯留する水槽と、前記ウエハが接着している前記スライスベースを、前記ウエハの少なくとも一部が、前記水槽の水に浸漬するように保持する保持部と、前記水槽の水に浸漬されたウエハの側面に向かって水を噴流させる第１ノズルと、前記水槽内に配置され、前記スライスベースから剥離されたウエハを収容するトレイとを有する。

本発明のウエハ剥離方法は、スライスベースに接着剤で接着された複数枚のウエハを、前記スライスベースから剥離するウエハ剥離方法であって、
複数枚のウエハを接着剤で接着されたスライスベースを用意する工程と、前記スライスベースの前記ウエハの少なくとも一部を、水槽に貯留した水に浸漬する工程と、前記水槽の水に浸漬されたウエハの側面に向かって、水を噴流させる工程と、前記スライスベースから剥離されたウエハを前記水槽内に配置されたトレイに収容する工程とを有する。

本発明のウエハ剥離装置を用いることで、スライスベースからウエハを容易に剥離することができ、かつ剥離されたウエハをトレイに整列させることができる。そのため、剥離後の工程まで、マニュアル作業を介することなく、自動化することができる。

従来のウエハ剥離装置の概要を示す図である。 複数枚のウエハが接着されたスライスベースを得る工程を示す図である。 図３Ａは、実施の形態１のウエハ剥離装置の概要を示す図であり、図３Ｂは、実施の形態２のウエハ剥離装置の概要を示す図である。 スライスベースと、第１ノズルと、第１補助ノズルと、トレイと、第２ノズルと、スチームノズルとの位置関係を示す模式図である。 図５Ａはトレイの斜視図であり、図５Ｂはトレイの分解図である。 実施の形態１のウエハ剥離方法のフローを示す図である。 実施の形態２のウエハ剥離方法のフローを示す図である。 トレイに収容されたウエハを１枚ず取り出す様子を示す図である。

１．ウエハ製造方法について
本発明のウエハ剥離方法は、ウエハ製造方法の一工程でありうる。ウエハ製造方法の典型的なフローが図２に示される。

インゴット６５と称される半導体塊状物を接着剤６３でスライスベースに貼り付け（図２Ａ参照）、接着剤６３で貼り付けられたインゴットをスライスして複数枚のウエハとし（図２Ｂ）、スライスされたウエハをスライスベースに貼り付けたまま洗浄する（図２Ｃ）ことで、複数枚のウエハ６０が接着されたスライスベース５０を得ることができる。

ここで、インゴット６５をスライスベース５０に貼り付ける接着剤６３は、一液型接着剤もしくは二液型接着剤であることが好ましく、例えばエポキシ接着剤でありうる。スライスベース５０の材質は特に制限されず、カーボン材料などの導電性材料であっても、ガラスなどの絶縁無機材料であっても、エポキシ樹脂などの有機材料であってもよい。また、スライスベース５０は多孔質体であってもよい。多孔質体を構成する材料の例には、カーボン材料などが含まれる。多孔質体からなるスライスベース５０の接着面には、アンカー効果によってインゴットを強固に接着させることができる。そのため、インゴット６５と接着剤６３との接着強度よりも、スライスベース５０と接着剤６３との接着強度の方が強くなる。その結果、インゴット６５をスライスして得たウエハ６０を剥離したときに、接着剤６３がスライスベース５０に残り、ウエハ６０に転写しにくくなり、好ましい。

図２Ｂに示されるように、スライスベース５０に貼り付けられたインゴット６５は、一対のメインローラ２１０と、一対のメインローラ２１０とに巻き取られたワイヤ２２０とを具備するワイヤソー２００などの切断装置によって、スライス状に切断されて複数枚のウエハ６０とされる。インゴット６５はスライス状に切断されるが、一方で、スライスベース５０はスライス状には切断されない（ただし、厚み方向の溝が形成されてもよい）。切断装置であるワイヤソーの例には、マルチワイヤソー、ワイヤ放電加工機などが含まれる。

図２Ｃに示されるように、スライスベース５０に固定された複数枚のウエハ６０を、水槽３００中の水で洗浄する。スライスベース５０とともにウエハ６０を水中に浸漬させ、ウエハ６０に超音波を照射したり（超音波ユニット３１０）、ウエハ６０に水の噴流（噴流ノズル３２０）をあてたりしてもよい。

次に、図２Ｄに示されるように、本発明のウエハ剥離方法を用いて、複数枚のウエハ６０が接着されたスライスベース５０から、ウエハ６０を剥離する。

本発明のウエハ剥離方法の詳細は後述するが、ウエハ剥離装置（図３Ａの符号１００および図３Ｂの符号１００’参照）を用いて行うことができる。ウエハ剥離装置は、水を貯留する水槽１０と；複数枚のウエハ６０が接着剤６３を介して接着しているスライスベース５０を、前記ウエハの少なくとも一部が、前記水槽の水に浸漬するように保持する保持部２０と；前記水槽の水に浸漬されたウエハの側面に向かって水を噴流させる第１ノズル３０と；前記水槽内に配置され、前記スライスベースから剥離されたウエハを受け取るトレイ４０とを具備する。本発明のウエハ剥離方法により、スライスベース５０から剥離された複数枚のウエハ６０が収容されたトレイ４０を得る。

次に、図２Ｅに示されるように、トレイ４０に収容されたウエハ６５は、カセット４００に格納される。トレイ４０に収容されたウエハ６０をカセット４００に格納するには、トレイ４０からウエハ６０を１枚ずつ取出して、枚葉装置（セパレータ）４５０でカセットに搬送する。本発明のウエハ剥離方法によれば、複数のウエハがトレイ中に整列して収容されるので、剥離工程から、カセットへの格納まで、マニュアル作業（作業員によるウエハの整列作業）が必要なくなる。ウエハ６０をトレイ４０から取り出す工程の詳細については後述する。

さらに、図２Ｆに示されるように、カセット４００に収容されたウエハ６０は、カセット４００とともに純水５００中で洗浄され、その後、温風乾燥機５１０などで乾燥される。純水中でウエハ６０に超音波を照射してもよい。その後、図２Ｇに示されるように、各ウエハ６０は検査される。検査の内容には、ＩＲ測定、外観検査、厚み検査などが含まれる。

２．ウエハ剥離方法について
前述のウエハ剥離方法は、スライスベースに固定された複数枚のウエハを、ウエハ剥離装置を用いて、スライスベースから剥離する方法である（図２Ｄ参照）。ウエハ剥離方法は、複数枚のウエハを接着剤で接着されたスライスベースの前記ウエハの少なくとも一部を、水槽に貯留した水に浸漬する工程１と、前記水槽の水に浸漬されたウエハの側面に向かって水を噴流させる工程２と、前記スライスベースから剥離されたウエハを前記水槽内に配置されたトレイに収容する工程３とを有する。

ウエハ剥離方法には、工程１において、スライスベースにウエハを接着する接着剤は水槽中の水に浸漬させずに、ウエハのみを浸漬する実施の形態１（図３Ａ参照）と、ウエハとともに、スライスベースにウエハを接着する接着剤を水槽中の水に浸漬する実施の形態２（図３Ｂ参照）とが含まれる。以下、各実施の形態について述べる。

実施の形態１の剥離方法について
実施の形態１の剥離方法では、スライスベース５０にウエハ６０を接着する接着剤６３は水槽１０中の水に浸漬させずに、ウエハ６０のみを浸漬する（図３Ａ）。実施の形態１の剥離方法は、ウエハ剥離装置１００を用いて行うことができる。

ウエハ剥離装置１００は、水を貯留する水槽１０と、複数枚のウエハ６０が接着剤６３を介して接着しているスライスベース５０を、前記ウエハの一部を、前記水槽の水に浸漬するように保持する保持部２０と、前記水槽の水に浸漬されたウエハの側面に向かって、前記水槽に貯留された水を噴流させる第１ノズル３０と、前記水槽内に配置され、前記スライスベースから剥離されたウエハを受け取るトレイ４０と、スライスベース５０にウエハ６０を接着している接着剤６３にスチームを噴きつけるスチームノズル８０とを有する。

水槽１０には、水または薬液を含有する水（水溶液）を貯留することができるが、実施の形態１においては、水槽１０は水を貯留していることが好ましい。

保持部２０は、複数枚のウエハ６０が接着されたスライスベース５０を保持する。保持部２０に保持されるスライスベース５０とは、剥離されるべき複数枚のウエハ６０を固定するための板状部材である。

スライスベース５０に接着した複数枚のウエハ６０は、通常は半導体ウエハであり、好ましくはシリコンウエハである。複数枚のウエハ６０は、スライスベース５０の接着面に接着剤を介して接着されている。また、スライスベース５０に固定された複数枚のウエハ６０は、その主面を互いに平行にして配列している。

保持部２０は、図３Ａに示されるように、スライスベース５０に接着された複数枚のウエハ６０の少なくとも一部を水槽１０中の水に浸漬させることができるが、実施の形態１ではウエハを水槽中の水に浸漬させつつ、当該ウエハをスライスベース５０に接着する接着剤６３を水に浸漬させない。

また保持部２０は、複数枚のウエハ６０の配列方向に沿って、水槽１０中の水の液面に対して、スライスベース５０の接着面５５を傾けてスライスベース５０を保持することが好ましい。具体的に、保持部２０は、最初に剥離しようとするウエハが接着している部分を下げて、スライスベース５０を傾けて保持することが好ましい（図３Ａおよび図４参照）。スライスベースの傾き角度５３は５°〜４５°であることが好ましく、例えば２５°である。

第１ノズル３０は、保持部２０に保持されたスライスベース５０に接着され、かつ水に浸漬されたウエハ６０の側面に向かって水を噴流させる。噴流させる水は、水槽１０に貯留した水でありうる。それにより、スライスベース５０に接着されたウエハ６０同士の間に隙間を生じさせる（あるいは、隙間を拡大させる）。第１ノズル３０による水の噴流方向は、スライスベース５０のウエハ接着面５５と平行もしくは水槽１０中の水の液面と平行とすることが好ましい。第１ノズル３０による水の噴流方向を、スライスベース５０のウエハ接着面５３に対して垂直とすると、ウエハ同士の間に隙間を生じさせることはできるものの、その隙間が安定せず、剥離しようとするウエハの向きを制御しにくい。

第１ノズル３０は、最初に剥離しようとするウエハ、つまり整列している複数枚のウエハ６０のうちの端部に配置しているウエハの側面に、水を噴流させることが好ましい。端部に配置しているウエハから順番に、スライスベース５０から剥離するためである。

ウエハ剥離装置１００は、第１ノズル３０とともに、ウエハ６０の側面に水を噴流させる第１補助ノズル３３を有していてもよい。第１補助ノズル３３による水の噴流は、端部に配置しているウエハではなく、その近傍に位置するウエハ６０の側面に向けられる。第１ノズル３０による噴流と第１補助ノズル３３による水の噴流とで、より効率的に剥離しようとするウエハ同士の間に隙間を生じさせる（または拡大させる）。

トレイ４０は、水槽１０の水中に配置されている。スライスベース５０から剥離されたウエハ６０は、順番にトレイ４０に収容される。

図５ＡＢに示されるように、トレイ４０は開口部を有していてもよい。図５Ａは、トレイ４０の斜視図であり、図５Ｂは、トレイ４０の分解図である。トレイ４０は、第１ノズル３０が生じさせる水の噴流が通り抜けるための開口部４３を有していることが好ましい。それにより噴流の流体抵抗が低減される。

図３Ａに示されるように、トレイ４０の収容面４７（トレイの収容部の底面）は、スライスベース５０のウエハ接着面５５と平行にして配置されることが好ましい。つまり、スライスベース５０が、水槽１０中の水の液面に対して傾けて保持されている場合には、トレイ４０も傾けられて配置されることが好ましい。

さらにウエハ剥離装置１００は、スライスベース５０から剥離されたウエハ６０の主面に向かって水を噴流させる第２ノズル７０を、水槽１０の内部に有していてもよい。第２ノズル７０による噴流は、剥離されたウエハ６０をトレイ４０内に導くとともに、トレイ４０に一端収容されたウエハをトレイ４０内に保持する。

また、剥離装置１００（図２Ａ参照）は、スチームノズル８０を有する。スチームノズル８０は、スライスベース５０にウエハ６０を接着している接着剤６３にスチームを噴きつけることで、接着剤６３を軟化させる。接着剤６３を軟化させるとともに、第１ノズル３０による噴流によって、スライスベース５０に接着されたウエハ６０同士の間に間隔を生じさせることで、スライスベース５０からウエハ６０を剥離させる。また、噴きつけるガスを高温乾燥ガスではなく、スチームガスとすることで、ウエハの乾燥を抑え、ウエハに汚れが固着するのを防止する。

つまりスチームノズル８０は、第１ノズル３０による噴流があてられるウエハを接着している接着剤６３にスチームを噴きつける。スチームノズル８０は、接着剤６３に、図３Ａに示される矢印８１の方向に沿ってスチームを噴きつけるが、さらに図３Ａの紙面に対して上下方向に沿ってスチームを接着剤６３に噴きつけてもよい。

図４には、スライスベース５０と、第１ノズル３０と、第１補助ノズル３３と、トレイ４０と、第２ノズル７０と、スチームノズル８０と、第３ノズル３５（図３Ａに不図示）の位置関係の例が示される。

図４に示されるように、スライスベース５０は、水の液面に対して、接着面５５を傾けて配置されている。スライスベース５０のウエハ接着面５５と、トレイ４０の収容面４７とが平行になるように、トレイ４０が配置されている。スチームノズル８０は、スライスベース５０に接着されているウエハのうち、端部のウエハを接着している接着剤に向けて、スチームを噴きつけることができる。さらに、第２ノズル７０は、トレイ４０の収容面４７の面方向と平行の噴流を生じさせるように構成されている。

スライスベース５０に接着されている、端部のウエハ６０の側面に噴流を生じさせるように、第１ノズル３０が配置されている。また、第１補助ノズル３３は、その近傍であって、他のウエハの側面に噴流を生じさせるように配置されている。端部のウエハ６０が鉛直方向に傾いてウエハ６０’となったときに、ウエハ６０’の側面に水を噴流する第３ノズル３５が配置されている。第３ノズル３５の噴流により、ウエハ６０’の向きを維持する。

図６Ａ〜Ｄには、実施の形態１のウエハ剥離方法のフローが示される。図６Ａに示されるように、図３Ａと同様に、保持部２０でスライスベース５０を保持して、ウエハ６０の一部を水槽１０の水に浸漬させる。

図６Ｂに示されるように、スチームノズル８０が、ウエハ６０（配列端部に位置するウエハ６０）を接着する接着剤６３にスチームを噴きつけるとともに、第１ノズル３０が水を噴流させて、ウエハ６０の側面に水の噴流をあてる。同様に、第１補助ノズル３３も水を噴流させて、別のウエハ６０の側面に水の噴流をあてる。これらの噴流によって、ウエハ６０同士の間に隙間が生じる。このとき、もっとも端部に位置するウエハ６０が鉛直方向に向くことが好ましい。

第１ノズル３０および第１補助ノズル３３からの水の噴出量は特に限定されないものの、例えばそれぞれ１．４〜１．６Ｌ/分である。

スチームノズル８０が接着剤６３にスチームを照射し、かつ第１ノズル３０がウエハ６０の側面に水を噴流させることで、図６Ｃに示されるように、端部に位置するウエハ６０がスライスベース５０から剥離して水中を落下する。落下したウエハ６０の主面に、第２ノズル７０の噴流があてられ、トレイ４０に導かれて収容される（図６Ｄ参照）。

さらに図６Ｄに示されるように、スライスベース５０に残っているウエハ６０のうち、端部に位置するウエハ６０から順番に、スライスベース５０から剥離させて落下させる。落下したウエハ６０は、第２ノズル７０の噴流でトレイ４０に導かれ、整列させられる。この作業を繰り返して、全てのウエハ６０を、トレイ４０に整列して収納する。

端部に位置するウエハ６０から順番にスライスベース５０から剥離させながら、スライスベース５０を移動させてもよい。具体的には、剥離させようとするウエハ６０の側面の近傍に、第１ノズル３０の噴流があたるように、スライスベース５０を移動させることが好ましい。つまり、ウエハ６０の配列方向に沿って、スライスベース５０を徐々に水中に沈みこませることが好ましい。

さらに、端部に位置するウエハから順番に、スライスベース５０からウエハ６０を剥離させながら、トレイ４０を移動させてもよい。具体的には、スライスベース５０の移動と同期させて（スライスベース５０の移動方向と同方向に）、トレイ４０を移動させることが好ましい。剥離されるウエハ６０と、トレイ４０の収容位置との相対位置を一定にするためである。ただし、スライスベース５０の移動量よりも、トレイ４０の移動量を少なくすることが好ましい。スライスベース５０に配置されたウエハ同士には隙間があるのに対して、トレイ４０にはウエハ６０が隙間なく整列して収容されるからである。

実施の形態２の剥離方法について
実施の形態２の剥離方法では、ウエハ６０とともに、当該ウエハ６０をスライスベース５０に接着する接着剤６３を、水槽１０の水に浸漬させる（図３Ｂ）。実施の形態２の剥離方法は、ウエハ剥離装置１００’を用いて行うことができる。

ウエハ剥離装置１００’は、ウエハ剥離装置１００（図３Ａ参照）と同様に、水を貯留する水槽１０と、複数枚のウエハ６０が接着剤６３を介して接着しているスライスベース５０を、前記ウエハの一部を、前記水槽の水に浸漬するように保持する保持部２０と、前記水槽の水に浸漬されたウエハの側面に向かって、前記水槽に貯留された水を噴流させる第１ノズル３０と、前記水槽内に配置され、前記スライスベースから剥離されたウエハを受け取るトレイ４０とを有するが、一方でスチームノズル８０を有しなくてもよい。

また、ウエハ剥離装置１００’の水槽１０の水には、接着剤６３を溶解させる薬液が添加されていることが好ましい。接着剤を溶解可能な薬液の例には、乳酸などが含まれる。また、ウエハ剥離装置１００’の水槽１０の水を温水としてもよい。

このように、ウエハ剥離装置１００’は、１）保持部２０が、ウエハ６０とともに、当該ウエハ６０をスライスベース５０に接着する接着剤６３を、水槽１０の水に浸漬させる点、２）スチームノズル８０を有さなくてもよい点、３）水槽１０の水に薬液が添加されているか、または温水である点、においてウエハ剥離装置１００と異なるが、その他の構成については同一の構成とすることができる。

図７Ａ〜Ｄには、実施の形態２のウエハ剥離方法のフローが示される。図７Ａに示されるように、保持部２０でスライスベース５０を保持して、ウエハ６０とそれを接着する接着部６３を水槽１０の水に浸漬させる。薬液を含む水または温水が、接着剤６３を溶解させて、スライスベース５０へのウエハ６０の接着力を低下させる。

そして、図７Ｂに示されるように、実施の形態１（図６Ｂ参照）と同様に、第１ノズル３０の噴流および必要に応じて第１補助ノズル３３の噴流によって、ウエハ６０同士の間に隙間が生じさせる。第１ノズル３０および第１補助ノズル３３からの水の噴出量は特に限定されないものの、例えばそれぞれ１．４〜１．６Ｌ/分である。

その結果、図７Ｃに示されるように、接着剤６３が溶解するとともに、ウエハ６０同士の隙間を生じさせることで、端部に位置するウエハ６０がスライスベース５０から剥離して水中を落下する。

図７Ｄに示されるように、落下したウエハ６０の主面に、第２ノズル７０の水の噴流があてられ、トレイ４０に導かれて収容される。さらに、実施の形態１と同様にして、全てのウエハ６０を、トレイ４０に整列して収納する。実施の形態１と同様に、スライスベース５０やトレイ４０を移動させてもよい。

カセット格納方法について
トレイ４０に整列して収納された複数枚のウエハ６０は、カセット４００に格納される（図２Ｅ参照）。図８には、トレイ４０に収納された複数枚のウエハ６０を、１枚ずつ取出す（枚葉化する）様子の一例が示される。つまり、コンベア４７０は、ウエハ６０を送り出す。背板４６０（コンベア４７０に固定されているか、コンベア４７０と同期して駆動される）はウエハを保持して、ウエハが倒れないようにする。噴流ノズル４８０は、水を噴出させることで、ウエハ６０同士の間に隙間を空ける。吸着パッド４９０は、互いの間に隙間を設けられたウエハを１枚ずつ吸着する。このようにして、ウエハ６０を１枚ずつ取り出すことができ、カセット４００に格納することができる。

このように本発明によれば、ウエハ製造方法における、ウエハ剥離から次の工程（例えばカセットへの格納）までを、マニュアル作業を排して自動化することができる。

本発明のウエハ剥離装置によれば、複数枚のウエハが接着されたスライスベースから容易にウエハを剥離し、かつトレイに整列して収容することができる。そのため、剥離後の工程（例えば、カセットに収容する工程）まで、マニュアル作業を介することなく自動化することができる。そのため、本発明のウエハ剥離装置は、例えば太陽電池などのウエハの製造に好適に用いられる。

１０ 水槽
１５，１５’ 水
２０ 保持部
３０ 第１ノズル
３３ 第１補助ノズル
３５ 第３ノズル
４０ トレイ
４３ 開口部
４７ トレイの収容面
５０ スライスベース
５３ 傾き角度
５５ 接着面
６０，６０’ ウエハ
６３ 接着剤
６５ インゴット
６３’ 接着剤残渣
７０ 第２ノズル
８０ スチームノズル
１００、１００’ ウエハ剥離装置
２００ ワイヤソー
２２０ ワイヤ
２１０ メインローラ
３００ 水槽
３１０ 超音波ユニット
３２０ 噴流ノズル
４００ カセット
４５０ 枚葉装置
４６０ 背板
４７０ コンベア
４８０ 噴流ノズル
４９０ 吸着パッド
５００ 純水
５１０ 温風乾燥機

Claims (7)

1. スライスベースに接着剤で接着された複数枚のウエハを、前記スライスベースから剥離するウエハ剥離装置であって、
   水を貯留する水槽と、
   前記ウエハが接着している前記スライスベースを、前記ウエハの少なくとも一部が、前記水槽の水に浸漬するように保持する保持部と、
   前記水槽の水に浸漬されたウエハの側面に向かって水を噴流させる第１ノズルと、
   前記水槽内に配置され、前記スライスベースから剥離されたウエハを収容するトレイと、
   を有するウエハ剥離装置。
2. 前記水に浸漬されたウエハを前記スライスベースに接着している接着剤に、水蒸気をふきつけるように構成されたスチームノズルをさらに有する、請求項１に記載のウエハ剥離装置。
3. 前記スライスベースから剥離されたウエハの主面に向かって、水を噴流させる第２ノズルをさらに有する、請求項１または２に記載のウエハ剥離装置。
4. 前記水槽に貯留された水には乳酸が添加されており、
   前記保持部は、前記ウエハを前記スライスベースに接着させている接着剤が前記水槽の水につかるように、前記スライスベースを保持する、請求項１に記載のウエハ剥離装置。
5. 前記保持部は、前記複数枚のウエハの配列方向に沿って、前記水槽に収容された水の液面に対して、前記スライスベースのウエハ接着面を傾けて前記スライスベースを保持する、請求項１に記載のウエハ剥離装置。
6. 前記スライスベースは多孔質体である、請求項１に記載のウエハ剥離装置。
7. スライスベースに接着剤で接着された複数枚のウエハを、前記スライスベースから剥離するウエハ剥離方法であって、
   複数枚のウエハを接着剤で接着されたスライスベースを用意する工程と、
   前記スライスベースの前記ウエハの少なくとも一部を、水槽に貯留した水に浸漬する工程と、
   前記水槽の水に浸漬されたウエハの側面に向かって水を噴流させる工程と、
   前記スライスベースから剥離されたウエハを前記水槽内に配置されたトレイに収容する工程と、
   を有するウエハ剥離方法。
   

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