TWI641566B - 脆性基板劃線器用粉塵除去裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題係除去劃線時所產生之粉塵。 本發明之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置設置有：粉塵揚起部(51)，其具備使劃線輪向下通過之頭通路(51d)，噴出空氣而形成包圍劃線輪之氣簾，且使劃線時所產生之粉塵自基板(A)揚起；空氣供給機構，其對粉塵揚起部(51)供給空氣；流速調節部，其控制對粉塵揚起部(51)供給之空氣之流動量，而調節自粉塵揚起部(51)噴出之空氣之流速；及排出機構，其將藉由粉塵揚起部(51)之作用而揚起之粉塵與空氣一同自氣簾之內側區域排出至外部。

Description

脆性基板劃線器用粉塵除去裝置
本發明係關於用以切斷具有脆性之各種基板所使用之劃線器，更詳細言之，係關於可除去劃線時產生之粉塵之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置。
作為用以將包含玻璃基板之各種脆性基板切斷成所需尺寸之工具，使用具備劃線輪之劃線器。劃線器使切斷輪以壓接於基板之表面之狀態一面施加負荷一面行走，從而於基板表面形成劃線。於形成劃線後，進行以劃線為中心對基板施加彎曲力而將之切斷之分斷過程。 劃線輪以支撐於劃線頭之下端部之狀態相對於基板滾動運動而形成劃線，但此時會產生大量粉塵。粉塵例如為玻璃粉，自基板分離之細微之基板粒子飛散。 此種粉塵污染劃線頭本身自不必說，亦污染頭周邊，成為使作業精度下降之原因，再者，有時亦會進入到作業者之呼吸器中而引起產業災害。 為了解決此種問題，提案有使用真空吸附裝置吸取粉塵，或噴射空氣使粉塵飛散，或進行涮洗等方法，但滿意地除去一面不規則地飛散一面產生之粉塵存在界限。 例如，於專利文獻1中，揭示有由噴嘴底座、罩及安裝部組裝構成之噴嘴，但無法使用該噴嘴完美地除去粉塵。其理由係排出噴出之空氣並不順利。 於上述先前之除塵器中，空氣之排出通路為半軌道狀槽與貫通孔，但由於半軌道狀槽僅覆蓋貫通孔之一半，故上升至貫通孔上部之空氣與粉塵之一部分無法進入半軌道狀槽，而直接排出至大氣中。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]韓國登録專利公報第10-1256092號
[發明所欲解決之問題] 本發明係欲解決上述問題點而研究成者，可提供一種脆性基板劃線器用粉塵除去裝置，其形成包圍劃線輪周邊之氣簾而不使粉塵流失，且使用形成氣簾之空氣之運動能量而使粉塵自基板揚起並同時排出，故粉塵除去迅速且除去效率優良。 又，本發明由於可根據需要而調節形成氣簾之空氣之流速，故藉由配合粉塵微粒之重量將流速調節成最佳，可無關基板種類或劃線作業特性而均完美地除去粉塵。 [解決問題之技術手段] 本發明之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置之特徵在於包含：粉塵揚起部，其具備使劃線輪向下通過之頭通路，使空氣噴出而形成包圍上述劃線輪之氣簾，且使劃線時所產生之粉塵自基板揚起；空氣供給機構，其對上述粉塵揚起部供給空氣；流速調節部，其控制對上述粉塵揚起部供給之空氣之流動量，而調節自上述粉塵揚起部噴出之空氣之流速；及排出機構，其將藉由上述粉塵揚起部之作用而揚起之粉塵與空氣一同自上述氣簾之內側區域排出至外部。 又，亦可為上述粉塵揚起部採取相對於基板呈水平之板之形態，且包含底板，該底板具有：空氣室，其接收通過上述空氣供給機構供給之空氣；及空氣噴出部，其將上述空氣室內之空氣向基板噴出。 又，亦可為上述空氣噴出部包含多個噴射孔或噴射狹縫，上述噴射孔或噴射狹縫形成於上述頭通路之周邊，將上述空氣室內之空氣以偏向於上述劃線輪側之方式噴出。 又，亦可為上述空氣室為以包圍上述頭通路之方式延伸、且於上部開放之溝形槽，於上述粉塵揚起部進而具備罩板，該罩板藉由固定於上述底板之上表面而密閉上述空氣室，且具有將通過上述空氣供給機構而供給之空氣引導至上述空氣室之多個供氣路徑。 又，亦可為於上述罩板設置有使揚起之粉塵與空氣通過且引導至上述排出機構之主排出口及排出引導路徑。 [發明之效果] 如上述構成之本發明之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置形成包圍劃線輪周邊之氣簾而不使粉塵流失，且使用形成氣簾之空氣之運動能量而使粉塵自基板揚起並同時排出，故粉塵除去迅速且除去效率優良。 又，本發明之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置可根據需要而調節形成氣簾之空氣之流速，故通過配合粉塵微粒之重量將流速調節成最佳，藉此可無關基板種類或劃線作業特性而均完整地除去粉塵。
以下，參照附加圖式對本發明之一實施例更詳細地進行說明。 圖1係顯示應用本發明之一實施例之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置之劃線器之整體樣態之立體圖。圖2係用以說明圖1所示之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置之作動原理之側視圖，圖3係用以說明圖1所示之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置之粉塵揚起部之構造之圖。 本實施例之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置係設置於構成劃線器11之頭部47之下部、吸入劃線時產生之粉塵而排出至外部者，且具有如下特徵：可形成包圍劃線輪之氣簾，尤其可調節形成氣簾之空氣之噴出壓力、即運動能量。 如圖示，本實施例之粉塵除去裝置包含：粉塵揚起部51，其固定於具有一定厚度之垂直之框架13之下端部；空氣供給機構，其對粉塵揚起部51供給空氣；流速調節開關17，其調節通過空氣供給機構供給之空氣之流速；及排出機構，其將藉由粉塵揚起部51揚起之粉塵與空氣一同排出。 首先，框架13採取具有一定厚度之平板的形態，且係固定於構成劃線裝置(未圖示)之主體(未圖示)之構件，相對於基板A呈垂直而提供支撐力。 又，於框架13之圖式上之前表面，左右配置有2組頭部47。頭部47具有相同構成，且進行相同動作，於各自之下部具有粉塵除去裝置。當然亦有可能增加或減少頭部47之應用個數，視情況而定。 而且，於頭部47之上部具備第1歧管塊15。第1歧管塊15係於其內部形成有多個獨立之空氣通路之構件，且固定於框架13。 基本而言，原則上第1歧管塊15與1個頭部47為一對一匹配，但於圖1中應用一體型歧管塊。 於第1歧管塊15之一側上部具備入口埠19、流速調節開關17、2個追加出口埠31、及1個主出口埠29，且於其下部配置有2個第2排出埠43、1個上部連接埠41、及4個第1中間埠(圖5之21)。 入口埠19與4個第1中間埠21連通，追加出口埠31連通於第2排出埠43，且主出口埠29與上部連接埠41連通。 因此，注入至入口埠19之空氣於第1歧管塊15之內部分支而分散至4個第1中間埠21後，通過供氣管23而供給至下部。 尤其，自入口埠19移動至第1中間埠21之空氣之流量由流速調節開關17調節。流速調節開關17發揮如下作用，即，調節入口埠19內部之流動剖面積，而增減噴出至粉塵揚起部51下部之空氣之速度。 當然，當空氣之噴出速度變快時運動能量變大，當噴出速度變慢時運動能量減少。由於通過此種噴出空氣之速度調節，可噴出最佳對應於粉塵重量之運動能量之空氣，而可將粉塵除去效率維持於最佳。 流速調節開關17為手動式開關，由作業者掌握劃線作業中粉塵之量與粉塵微粒之重量等狀態而適當地操作。根據情形，當然亦可應用自動式之流速調節開關17。 又，各追加出口埠31分別與第2排出埠43連通，主出口埠29與上部連接埠41一對一連結。對主出口埠29與追加出口埠31自外部之真空泵施加真空力。 於第1歧管塊15之另一側部亦具備入口埠19、流速調節開關17、2個追加出口埠31、主出口埠29、第2排出埠43、上部連接埠41、及第1中間埠21。具有此種構成之埠係與形成於第1歧管塊15之一側部之埠相同者，省略對其之說明。 於頭部47之下部具備粉塵揚起部51。粉塵揚起部51發揮將通過供氣管23供給之空氣朝箭頭a方向噴出之作用。尤其朝箭頭a方向噴出之空氣之流線係偏向於劃線輪(未圖示)側者，相對於垂直線具有特定之傾斜角。流線相對於垂直線之傾斜角為15度以上。 另，雖圖式中予以省略，但與一般情形相同，劃線輪配置於頭部47之下端部，以向下通過頭通路51d之狀態與基板A相接。 由於噴出流如上述偏向於內側，故噴出之空氣衝撞到基板A後聚集於內側，經過頭通路51d，並通過主排出口51f及排出引導路徑51m而排出至外部。此時，當然劃線輪周邊之粉塵亦與空氣一同排出。 自粉塵揚起部51噴出之空氣發揮防止粉塵洩漏至外部之氣簾之作用。 通過圖6及圖7說明粉塵揚起部51之構造，如以下所述。圖6及圖7係顯示粉塵揚起部51之部分切除立體圖。 如圖所示，粉塵揚起部51包含：底板51a，其採取四方板之形態，相對於基板A維持水平；罩板51e，其密接固定於底板51a之上表面；及引導板51h，其於罩板51e之端部形成一體。 底板51a與罩板51e以重疊之狀態提供頭通路51d。頭通路51d係使劃線輪所具備之頭部47之下端部向下通過之通路。 於圖6中，頭通路51d與引導板51h形成於兩個部位之理由，如圖1所示，乃由於應用了兩個頭部47之故。頭部47為一個之情形時，頭通路51d與引導板51h僅應用一個。 於底板51a之上表面設置有空氣室51b。空氣室51b係於上部開放之溝形槽，沿頭通路51d之緣部延長。空氣室51b可構成兩端部相互抵接之所謂閉迴路，亦可以兩端部不抵接之開迴路類型形成。 於空氣室51b之底部形成有多個噴射孔51c。噴射孔51c係以相對於垂直線具有傾斜角θ之方式偏向於內側之噴出孔，將收容於空氣室51b之空氣朝圖2之箭頭a方向噴出。 如圖7所示，噴射孔51c沿空氣室51b之長度方向密集配置，且，通過噴射孔51c之空氣於噴出之瞬間會因壓力變化而擴散，故通過各噴射孔51c同時地向下噴射之空氣彼此相連而形成四方壁。即形成四方氣簾。 罩板51e藉由密接固定於底板51a之上表面而密閉空氣室51b。 又，於罩板51e之一側形成有多個供氣路51g。供氣路51g係供嵌入第2中間埠25之孔，將通過供氣管23供給之空氣引導至空氣室51b。 而且，主排出口51f位於罩板51e。主排出口51f係供嵌入下部連接埠33之孔，於底板51a之下部開放。主排出口51f係使自基板A浮起之粉塵向上通過，而通過下部連接埠33排出至上部之通路。 引導板51h係垂直立於罩板51e之一側之部分，與第2歧管塊27結合。第2歧管塊27係於其內部形成有空氣流道之構件，具有各為兩個之第1排出埠37與第2中間埠25。 第1排出埠37發揮將自基板A揚起之粉塵與空氣之一部分引導至排出管39之作用。又，第2中間埠25係將通過供氣管23供給之空氣導入至第2歧管塊27內部之埠。結果，於第2歧管塊27同時具備排出通路與供給通路。 如圖7所示，於第2歧管塊27之內部形成有兩個供氣路徑51k、與四個排出引導路徑51m。 排出引導路徑51m係垂直延伸之通路，其下端部位於頭通路51d之內側。此係指可將自粉塵揚起部51之下部揚起之粉塵與空氣吸引至排出引導路徑51m之內部。 排出引導路徑51m通過形成於第2歧管塊27內部之內部流道(未圖示)而與兩個第1排出埠37連結。當通過第1排出埠37施加真空壓力時，自底板51a之下部揚起之粉塵通過排出引導路徑51m被吸引後，經過第2歧管塊27脫出至第1排出埠37之上部。 又，供氣路徑51k之下端部連通於空氣室51b。因此，通過第2中間埠25注入之空氣經由第2歧管塊27內部之供氣路徑51k而到達空氣室51b。 圖8係顯示粉塵揚起部之其他例之圖。 若參照圖式，則可知於底板51a之底面形成有噴射狹縫51p。噴射狹縫51p係連通於空氣室51b之通路，且係將注入至空氣室51b之空氣朝圖2之箭頭a方向噴出之通路。噴射狹縫51p之作用與噴射孔51c之作用相同。 圖4及圖5係用以說明本發明之一實施例之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置中之空氣之流動路徑而顯示一部分之圖。 若參照圖式，則可知於下部連接埠33固定有垂直管35。垂直管35係延伸至粉塵揚起部51之上部之管，其上端部通過連結管45而與上部連接埠41連結。 因此，例如，若通過主出口埠29吸引空氣，則底板51a下部之空氣依序通過下部連接埠33、垂直管35、連結管45、及第1歧管塊15而排出至上部。 又，第1排出埠37與第2排出埠43通過排出管39而相互連通。因此，當通過各追加出口埠31施加真空力時，底板51a下部之空氣通過排出引導路徑51m、第2歧管塊27、排出管39、及第1歧管塊15而排出。 另一方面，位於第1歧管塊15之下部之第1中間埠21通過供氣管23而連結於各個第2中間埠25。因此，注入至入口埠19之空氣可於通過四個第1中間埠21並經過供氣管23而到達空氣室51b後，向下噴出。 具有上述構成之本實施例之粉塵除去裝置之作動如以下所述般進行。 首先，調節框架13之位置，使劃線輪位於所準備之基板A之上表面。於該狀態下，通過入口埠19注入空氣，且對主出口埠29與追加出口埠31施加真空壓而於粉塵揚起部51之下部形成氣簾。 如上述，氣簾係藉由噴出至底板51a下部之空氣而形成，採取包圍劃線輪之四方壁之形態。 當氣簾穩定化後，使劃線輪相對於基板A行走而形成劃線。劃線形成中所產生之粉塵接受形成氣簾之空氣之流動能量而自基板A揚起，與空氣一同通過主排出口51f及排出引導路徑51m而被排出處理。尤其，由於氣簾之流線偏向於內側方向，故不擔心產生之粉塵洩漏至氣簾之外側。 又，於劃線中產生之粉塵量變多或粉塵微粒之重量變重之情形時，操作流速調節開關17，使朝箭頭a方向噴出之空氣之流速增加。由於噴出空氣之流速變快係指空氣之運動能量變大，故可有效處理增大之負載。 作為參考，劃線過程時所產生之粉塵採取微細微粒之形態，微粒之尺寸根據劃線輪相對於基板之加壓及行走條件與基板之物理性質而變化。由於微粒之尺寸變大時重量增加，尺寸變小時重量變輕，故結果，揚起之粉塵之總重量根據作業條件而不同。用以使粉塵自基板揚起所需之運動能量之量變化。 產生之粉塵之產生量較小之情形時，操作流速調節開關17使自粉塵揚起部51噴出之空氣之流速減小，而減少能量之消耗。 以上，通過具體之實施例而詳細說明本發明，但本發明並未限於上述實施例，可由具有通常知識之人員於本發明之技術性思想之範圍內進行各種變化。
11‧‧‧劃線器
13‧‧‧框架
15‧‧‧第1歧管塊
17‧‧‧流速調節開關
19‧‧‧入口埠
21‧‧‧第1中間埠
23‧‧‧供氣管
25‧‧‧第2中間埠
27‧‧‧第2歧管塊
29‧‧‧主出口埠
31‧‧‧追加出口埠
33‧‧‧下部連接埠
35‧‧‧垂直管
37‧‧‧第1排出埠
39‧‧‧排出管
41‧‧‧上部連接埠
43‧‧‧第2排出埠
45‧‧‧連結管
47‧‧‧頭部
51‧‧‧粉塵揚起部
51a‧‧‧底板
51b‧‧‧空氣室
51c‧‧‧噴射孔
51d‧‧‧頭通路
51e‧‧‧罩板
51f‧‧‧主排出口
51g‧‧‧供氣路徑
51h‧‧‧引導板
51k‧‧‧供氣路徑
51m‧‧‧排出引導路徑
51p‧‧‧噴射狹縫
A‧‧‧基板
a‧‧‧方向
θ‧‧‧傾斜角
圖1係顯示應用本發明之一實施例之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置之劃線器之整體樣態之立體圖。 圖2係用以說明本發明之一實施例之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置之作動原理之側視圖。 圖3係用以說明圖1所示之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置之粉塵揚起部之構造之圖。 圖4係用以說明本發明之一實施例之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置之空氣流動路徑之圖。 圖5係用以說明本發明之一實施例之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置之空氣流動路徑之圖。 圖6係用以說明圖3所示之粉塵揚起部之構造而顯示之部分切除立體圖。 圖7係用以說明圖3所示之粉塵揚起部之構造而顯示之部分切除立體圖。 圖8係顯示圖3所示之粉塵揚起部之其他例之圖。

Claims (5)

  1. 一種脆性基板劃線器用粉塵除去裝置，其特徵在於包含：粉塵揚起部(51)，其具備使劃線輪向下通過之頭通路(51d)，使空氣噴出而形成包圍上述劃線輪之氣簾，且使劃線時所產生之粉塵自基板(A)揚起；空氣供給機構，其對上述粉塵揚起部(51)供給空氣；手動式的流速調節部，其控制對上述粉塵揚起部(51)供給之空氣之流動量，而調節自上述粉塵揚起部(51)噴出之空氣之流速；及排出機構，其將藉由上述粉塵揚起部(51)之作用而揚起之粉塵與空氣一同自上述氣簾之內側區域通過施加真空力的排出埠排出至外部。
  2. 如請求項1之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置，其中上述粉塵揚起部(51)：採取相對於基板(A)呈水平之板之形態，且包含底板(51a)，該底板具有：空氣室(51b)，其接收通過上述空氣供給機構供給之空氣；及空氣噴出部，其將上述空氣室(51b)內之空氣向基板(A)噴出。
  3. 如請求項2之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置，其中上述空氣噴出部包含多個噴射孔(51c)或噴射狹縫(51p)，其等形成於上述頭通路(51d)之周邊，將上述空氣室(51b)內之空氣以偏向於上述劃線輪側之方式噴出。
  4. 如請求項2或3之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置，其中上述空氣室(51b)係以包圍上述頭通路(51d)之方式延伸、且於上部開放之溝形槽；且於上述粉塵揚起部(51)進而具備罩板(51e)，該罩板(51e)藉由固定於上述底板(51a)之上表面而密閉上述空氣室(51b)，且具有將通過上述空氣供給機構而供給之空氣引導至上述空氣室(51b)之多個供氣路徑(51g、51k)。
  5. 如請求項4之脆性基板劃線器用粉塵除去裝置，其中於上述罩板(51e)設置有使揚起之粉塵與空氣通過且引導至上述排出機構之主排出口(51f)及排出引導路徑(51m)。
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