JP6868888B2 - 脆性基板スクライバー用粉塵除去装置 - Google Patents
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Description
前記従来の集塵機において、空気の排出通路は、半トラック状溝と貫通孔であるが、半トラック状溝は、貫通孔の半分だけカバーするため、貫通孔の上部に上がってきた空気と粉塵の一部分は、半トラック状溝に入ることができず、大気中にそのまま排出されてしまう。
図1は、本発明の一実施例に係る脆性基板スクライバー用粉塵除去装置が適用されたスクライバーの全体的な様態を示した斜視図である。図2は、図1に示した脆性基板スクライバー用粉塵除去装置の作動原理を説明するための側面図であり、図3は、図1に示した脆性基板スクライバー用粉塵除去装置の粉塵リフティング部の構造を説明するための図である。
図示したように、粉塵リフティング部51は、四角プレートの形態を取り、基板Aに対して水平を維持するベースプレート51aと、ベースプレート51aの上面に密着固定されるカバープレート51eと、カバープレート51eの端部に一体をなす誘導プレート51hを含む。
また、カバープレート51eの一側には、多数の給気路51gが形成されている。給気路51gは、第2の中間ポート25が嵌められる孔であって、給気チューブ23を通じて供給された空気をエアチャンバー51bに誘導する。
排出誘導路51mは、垂直に延長された通路であって、その下端部がヘッド通路51dの内側に位置する。粉塵リフティング部51の下部からリフティングされた粉塵と空気が排出誘導路51mの内部に吸引されることができることを意味する。
図面を参照すると、ベースプレート51aの底面に噴射スリット51pが形成されていることが分かる。噴射スリット51pは、エアチャンバー51bに連通する通路であって、エアチャンバー51bに注入される空気を、図2の矢印a方向に噴出する通路である。噴射スリット51pの役割は、噴射孔51cの役割と同一である。
図面を参照すると、下部コネクティングポート33に垂直チューブ35が固定されていることが分かる。垂直チューブ35は、粉塵リフティング部51の上部に延長されたパイプであって、その上端部は連結チューブ45を通じて上部コネクティングポート41と連結される。
まず、フレーム13の位置を調節して、用意された基板Aの上面にスクライビングホイールを位置させる。この状態で、入口ポート19を通じて空気を注入すると共に、メイン出口ポート29と追加出口ポート31に真空圧を印加して粉塵リフティング部51の下部にエアカーテンを形成する。
13 フレーム
15 第1のマニホールドブロック
17 流速調節スイッチ
19 入口ポート
21 第1の中間ポート
23 給気チューブ
25 第2の中間ポート
27 第2のマニホールドブロック
29 メイン出口ポート
31 追加出口ポート
33 下部コネクティングポート
35 垂直チューブ
37 第1の排出ポート
39 排出チューブ
41 上部コネクティングポート
43 第2の排出ポート
45 連結チューブ
47 ヘッド部
51 粉塵リフティング部
51a ベースプレート
51b エアチャンバー
51c 噴射孔
51d ヘッド通路
51e カバープレート
51f メイン排出口
51g 給気路
51h 誘導プレート
51k 給気路
51m 排出誘導路
51p 噴射スリット
Claims (5)
- スクライビングホイールを下向通過させるヘッド通路(51d)を備え、空気を噴出させて前記スクライビングホイールを囲むエアカーテンを形成すると共に、スクライブ時に発生する粉塵を基板(A)からリフティングさせる粉塵リフティング部(51)と、
前記粉塵リフティング部(51)に空気を供給する空気供給手段と、
前記粉塵リフティング部(51)に供給される空気の流動量を制御して、前記粉塵リフティング部(51)から噴出する空気の流速を調節する流速調節部と、
前記粉塵リフティング部(51)の作用によってリフティングされた粉塵を空気と共に前記エアカーテンの内側領域から真空力が印加される出口ポートを通過して外部に排出する排出手段と、
を含むことを特徴とする脆性基板スクライバー用粉塵除去装置。 - 前記粉塵リフティング部(51)は、
基板(A)に対して水平をなすプレートの形態を取り、
前記空気供給手段を通じて供給された空気を受け入れるエアチャンバー(51b)と、前記エアチャンバー(51b)内の空気を基板(A)に向けて吐出する空気噴出部と、を有するベースプレート(51a)を含むことを特徴とする請求項1に記載の脆性基板スクライバー用粉塵除去装置。 - 前記空気噴出部は、
前記ヘッド通路(51d)の周辺に形成され、前記エアチャンバー(51b)内の空気を前記スクライビングホイール側に偏向するように噴出する多数の噴射孔(51c)または噴射スリット(51p)を含むことを特徴とする請求項2に記載の脆性基板スクライバー用粉塵除去装置。 - 前記エアチャンバー(51b)は、前記ヘッド通路(51d)を囲むように延びて、上部に開放されるトレンチ型溝であり、
前記粉塵リフティング部(51)には、
前記ベースプレート(51a)の上面に固定されることによって前記エアチャンバー(51b)を密閉するとともに、前記空気供給手段を通じて供給された空気を前記エアチャンバー(51b)に誘導する多数の給気路(51g、51k)を有するカバープレート(51e)がさらに備えられることを特徴とする請求項2又は3に記載の脆性基板スクライバー用粉塵除去装置。 - 前記カバープレート(51e)には、
リフティングされた粉塵と空気を通過させて前記排出手段に誘導するメイン排出口(51f)及び排出誘導路(51m)が設けられていることを特徴とする請求項4に記載の脆性基板スクライバー用粉塵除去装置。
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