JP2001311819A - カラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法と、スクライブ装置およびブレイク装置 - Google Patents
カラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法と、スクライブ装置およびブレイク装置Info
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C03B33/00—Severing cooled glass
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- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
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- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Auxiliary Devices For Machine Tools (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラーフィルタ表面に微小な異物が付着する
のを防止方法と、微小な異物の付着を防止する部材を備
えたスクライブ装置およびブレイク装置とを提供する。 【解決手段】 カラーフィルタパネル８４の表面８４ｂ
上に溝８５を刻設する場合にあっては、切削具１１を摺
動させて刻設するとともに切刃１２に向けてエアーを吹
き掛け、当該エアーによって吹き上げられたパネルの破
片が飛散するのを吸引口１４で遮って、当該破片を吸引
手段１５によって吸引し、除去する。
のを防止方法と、微小な異物の付着を防止する部材を備
えたスクライブ装置およびブレイク装置とを提供する。 【解決手段】 カラーフィルタパネル８４の表面８４ｂ
上に溝８５を刻設する場合にあっては、切削具１１を摺
動させて刻設するとともに切刃１２に向けてエアーを吹
き掛け、当該エアーによって吹き上げられたパネルの破
片が飛散するのを吸引口１４で遮って、当該破片を吸引
手段１５によって吸引し、除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のカラーフィ
ルタが形成された基板から個々のカラーフィルタや端部
を切断、分割する工程において、カラーフィルタの表面
に誤って破片が付着してしまうのを防止したカラーフィ
ルタの製造方法と、破片の付着を防止する部材を備えた
スクライブ装置およびブレイク装置に関する。
ルタが形成された基板から個々のカラーフィルタや端部
を切断、分割する工程において、カラーフィルタの表面
に誤って破片が付着してしまうのを防止したカラーフィ
ルタの製造方法と、破片の付着を防止する部材を備えた
スクライブ装置およびブレイク装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラーフィルタは、液晶表示装置（ＬＣ
Ｄ）等のカラー表示を実現するとともに、光学特性（コ
ントラスト）や色特性（明るさ、色再現）を左右する重
要な部材であって、例えば図６に示すように、パターン
化された赤（Ｒ）、緑（Ｇ）および青（Ｂ）の着色フィ
ルタ層７３（厚さ各１．５μｍ程度）と、各着色フィル
タ層７３の境界にあって隣合う着色フィルタの混色を遮
る厚さ０．２μｍ程度のブラックマトリックス（ＢＭ）
７２とを、厚さ１ｍｍ程度のガラス製透明基板７１上に
規則的に配列し、さらにその表面にオーバーコート層
（保護膜）７４や透明電極（ＩＴＯ膜）７５等を設けた
ものである。なお、ＬＣＤにおけるカラーフィルタは、
前記透明電極（ＩＴＯ膜）７５の表面に、さらに配向膜
（ポリイミド）７６、液晶層７７、配向膜（ポリイミ
ド）７８、画素電極（ＩＴＯ膜）７９、ガラス基板８０
および偏光板８１をこの順で形成し、さらに透明基板７
１のブラックマトリックス８２が形成されていない側の
表面に偏光板８２を形成することによって、液晶パネル
８３として用いられる。
Ｄ）等のカラー表示を実現するとともに、光学特性（コ
ントラスト）や色特性（明るさ、色再現）を左右する重
要な部材であって、例えば図６に示すように、パターン
化された赤（Ｒ）、緑（Ｇ）および青（Ｂ）の着色フィ
ルタ層７３（厚さ各１．５μｍ程度）と、各着色フィル
タ層７３の境界にあって隣合う着色フィルタの混色を遮
る厚さ０．２μｍ程度のブラックマトリックス（ＢＭ）
７２とを、厚さ１ｍｍ程度のガラス製透明基板７１上に
規則的に配列し、さらにその表面にオーバーコート層
（保護膜）７４や透明電極（ＩＴＯ膜）７５等を設けた
ものである。なお、ＬＣＤにおけるカラーフィルタは、
前記透明電極（ＩＴＯ膜）７５の表面に、さらに配向膜
（ポリイミド）７６、液晶層７７、配向膜（ポリイミ
ド）７８、画素電極（ＩＴＯ膜）７９、ガラス基板８０
および偏光板８１をこの順で形成し、さらに透明基板７
１のブラックマトリックス８２が形成されていない側の
表面に偏光板８２を形成することによって、液晶パネル
８３として用いられる。
【０００３】上記カラーフィルタは、一般に、パーソナ
ルコンピュータ等のディスプレイのサイズに応じて成形
される部材であるが、その製造工程においては、一旦７
２０ｍｍ×６００ｍｍ程度の大判のパネル（カラーフィ
ルタの透明基板）上に複数のカラーフィルタを形成して
おき、その後、複数のカラーフィルタが形成された大判
パネル（以下、「カラーフィルタ基板」という。）を個
々のカラーフィルタに切断、分割し、かつ、余分な端部
を切断、除去する手法が採られている。また、カラーフ
ィルタ基板の切断処理は、切断位置に溝を刻設するいわ
ゆるスクライブ処理と、当該溝に沿ってカラーフィルタ
基板を折り曲げ、切断するいわゆるブレイク処理とから
なっている。
ルコンピュータ等のディスプレイのサイズに応じて成形
される部材であるが、その製造工程においては、一旦７
２０ｍｍ×６００ｍｍ程度の大判のパネル（カラーフィ
ルタの透明基板）上に複数のカラーフィルタを形成して
おき、その後、複数のカラーフィルタが形成された大判
パネル（以下、「カラーフィルタ基板」という。）を個
々のカラーフィルタに切断、分割し、かつ、余分な端部
を切断、除去する手法が採られている。また、カラーフ
ィルタ基板の切断処理は、切断位置に溝を刻設するいわ
ゆるスクライブ処理と、当該溝に沿ってカラーフィルタ
基板を折り曲げ、切断するいわゆるブレイク処理とから
なっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記スクライブ処理や
ブレイク処理の際には、例えば図４(a) に示すように、
スクライブ処理によって生じたカラーフィルタ基板８４
の破片８６が溝８５の周辺に付着する問題がある。特に
ブレイク処理の際には、破片８６が溝８５近傍よりも遠
くへ飛散して、例えば図５に示すように、カラーフィル
タ７０の画素８７上にまで達する場合があるが、このよ
うな場合には微小破片が異物となって画素の正常な発色
を阻害したり、当該画素８７上への液晶層７７の形成に
支障を来たして、液晶ディスプレイに欠陥を生じさせる
原因となってしまう。
ブレイク処理の際には、例えば図４(a) に示すように、
スクライブ処理によって生じたカラーフィルタ基板８４
の破片８６が溝８５の周辺に付着する問題がある。特に
ブレイク処理の際には、破片８６が溝８５近傍よりも遠
くへ飛散して、例えば図５に示すように、カラーフィル
タ７０の画素８７上にまで達する場合があるが、このよ
うな場合には微小破片が異物となって画素の正常な発色
を阻害したり、当該画素８７上への液晶層７７の形成に
支障を来たして、液晶ディスプレイに欠陥を生じさせる
原因となってしまう。
【０００５】そこで、一般に、スクライブ処理やブレイ
ク処理によってカラーフィルタ基板の表面に付着した破
片は、カラーフィルタの製造工程の最終段階などに行わ
れる表面の洗浄処理によって除去されている。しかしな
がら、スクライブ処理やブレイク処理によって生じる破
片には、長さが数μｍから数１００μｍの極めて小さな
破片を含んでおり、しかも平板状のものが多い。このた
め、かかる破片がカラーフィルタの表面に付着すると、
例えば図４(b) に示すように破片８６の表面とカラーフ
ィルタ基板８４の表面とが接触して、互いに密着する現
象が生じる。特に、破片が上記のように極めて小さなも
のであり、なお表面が平坦なものであれば、カラーフィ
ルタ基板８４の表面に強固に付着することから、これを
除去するのは極めて困難であった。
ク処理によってカラーフィルタ基板の表面に付着した破
片は、カラーフィルタの製造工程の最終段階などに行わ
れる表面の洗浄処理によって除去されている。しかしな
がら、スクライブ処理やブレイク処理によって生じる破
片には、長さが数μｍから数１００μｍの極めて小さな
破片を含んでおり、しかも平板状のものが多い。このた
め、かかる破片がカラーフィルタの表面に付着すると、
例えば図４(b) に示すように破片８６の表面とカラーフ
ィルタ基板８４の表面とが接触して、互いに密着する現
象が生じる。特に、破片が上記のように極めて小さなも
のであり、なお表面が平坦なものであれば、カラーフィ
ルタ基板８４の表面に強固に付着することから、これを
除去するのは極めて困難であった。
【０００６】そこで本発明の目的は、カラーフィルタ表
面に微小な異物が付着するのを防止方法と、微小な異物
の付着を防止する部材を備えたスクライブ装置およびブ
レイク装置とを提供することである。
面に微小な異物が付着するのを防止方法と、微小な異物
の付着を防止する部材を備えたスクライブ装置およびブ
レイク装置とを提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段および発明の効果】本発明
に係るカラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法
は、カラーフィルタ基板へのスクライブ処理またはブレ
イク処理を行う際に、カラーフィルタの表面に前記基板
の破片が付着するのを防止する方法であって、本発明に
係る第１の微小異物の付着防止方法は、カラーフィルタ
基板の表面上に切削具を摺動させて溝を刻設しつつ、前
記切削具の切刃に向けてエアーを吹き掛けた後、当該エ
アーによって吹き上げられた前記基板の破片が飛散する
のを遮って、当該破片を吸引し、除去することを特徴と
する。
に係るカラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法
は、カラーフィルタ基板へのスクライブ処理またはブレ
イク処理を行う際に、カラーフィルタの表面に前記基板
の破片が付着するのを防止する方法であって、本発明に
係る第１の微小異物の付着防止方法は、カラーフィルタ
基板の表面上に切削具を摺動させて溝を刻設しつつ、前
記切削具の切刃に向けてエアーを吹き掛けた後、当該エ
アーによって吹き上げられた前記基板の破片が飛散する
のを遮って、当該破片を吸引し、除去することを特徴と
する。
【０００８】一方、本発明に係る第２の微小異物の付着
防止方法は、カラーフィルタ基板の表面に設けられた溝
を外側にしてかつ当該溝に沿って折り曲げることにより
前記基板を切断するとともに、当該基板の切断の際に生
じる破片が飛散するのを、前記溝の上方にて当該溝に近
接しかつ溝全体を覆うように配置されたカバー部材によ
って遮り、さらに、前記カバー部材に連設された吸引手
段によって前記基板の破片を吸い込み、除去することを
特徴とする。
防止方法は、カラーフィルタ基板の表面に設けられた溝
を外側にしてかつ当該溝に沿って折り曲げることにより
前記基板を切断するとともに、当該基板の切断の際に生
じる破片が飛散するのを、前記溝の上方にて当該溝に近
接しかつ溝全体を覆うように配置されたカバー部材によ
って遮り、さらに、前記カバー部材に連設された吸引手
段によって前記基板の破片を吸い込み、除去することを
特徴とする。
【０００９】上記本発明に係る微小異物の付着防止方法
によれば、カラーフィルタ基板のスクライブ処理または
ブレイク処理の際に飛散する基板の破片を効率よくしか
も確実に吸引、除去することができ、カラーフィルタの
表面に異物が形成されるのを確実に防止することができ
る。従って、上記本発明の方法によれば、カラーフィル
タの不良品が発生する割合を著しく低下させることがで
き、カラーフィルタの歩留まりや品質、信頼性を向上さ
せることができる。
によれば、カラーフィルタ基板のスクライブ処理または
ブレイク処理の際に飛散する基板の破片を効率よくしか
も確実に吸引、除去することができ、カラーフィルタの
表面に異物が形成されるのを確実に防止することができ
る。従って、上記本発明の方法によれば、カラーフィル
タの不良品が発生する割合を著しく低下させることがで
き、カラーフィルタの歩留まりや品質、信頼性を向上さ
せることができる。
【００１０】カラーフィルタ基板の破片が洗浄処理等に
よっては容易に除去できないほど強固に付着してしま
い、カラーフィルタの異物として残存するという現象
は、特にカラーフィルタの表面にオーバーコート層を設
けた場合に顕著である。しかしながら、かかる場合にあ
っても、上記本発明に係る微小異物の付着防止方法によ
れば破片の飛散と、カラーフィルタ表面への付着自体を
防止することができるため、カラーフィルタの異物の発
声も確実に防止することができる。カラーフィルタの歩
留まりや品質、信頼性を向上させるという効果は、この
ような場合に顕著に現れる。
よっては容易に除去できないほど強固に付着してしま
い、カラーフィルタの異物として残存するという現象
は、特にカラーフィルタの表面にオーバーコート層を設
けた場合に顕著である。しかしながら、かかる場合にあ
っても、上記本発明に係る微小異物の付着防止方法によ
れば破片の飛散と、カラーフィルタ表面への付着自体を
防止することができるため、カラーフィルタの異物の発
声も確実に防止することができる。カラーフィルタの歩
留まりや品質、信頼性を向上させるという効果は、この
ような場合に顕著に現れる。
【００１１】本発明に係るスクライブ装置は、上記本発
明に係るカラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法
を実施するのに際して好適に用いられるものである。す
なわち、本発明のスクライブ装置は、カラーフィルタ基
板の表面に溝を刻設する切削具と、切削具の切刃に向け
てエアーを吹き掛ける送風手段と、前記切削具の切刃に
近接して配置されて、前記基板の破片が飛散するのを遮
る吸引口と、当該吸引口に連設された吸引手段と、を備
えたものである。
明に係るカラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法
を実施するのに際して好適に用いられるものである。す
なわち、本発明のスクライブ装置は、カラーフィルタ基
板の表面に溝を刻設する切削具と、切削具の切刃に向け
てエアーを吹き掛ける送風手段と、前記切削具の切刃に
近接して配置されて、前記基板の破片が飛散するのを遮
る吸引口と、当該吸引口に連設された吸引手段と、を備
えたものである。
【００１２】上記本発明のスクライブ装置では、切削具
をカラーフィルタ基板の表面に圧接し、当該表面上に摺
動させることによって、カラーフィルタ基板上に溝を刻
設することができる。このようにして溝を刻設する場合
には、切削具による破砕で生じたカラーフィルタ基板の
破片が飛散し、溝の周囲に散乱するおそれがある。しか
しながら、上記本発明のスクライブ装置では、送風手段
から切削具の切刃に向けて吹き掛けられたエアーによっ
て前記破片が吹き上げられ、こうして吹き上げられた破
片は、切削具の切刃に近接して配置された吸引口によっ
て捕捉され、さらに前記吸引口に連設された吸引手段に
よって吸引、除去されることから、破片が溝の周囲に付
着してカラーフィルタ表面に異物を生じさせるといった
問題が生じるおそれがない。
をカラーフィルタ基板の表面に圧接し、当該表面上に摺
動させることによって、カラーフィルタ基板上に溝を刻
設することができる。このようにして溝を刻設する場合
には、切削具による破砕で生じたカラーフィルタ基板の
破片が飛散し、溝の周囲に散乱するおそれがある。しか
しながら、上記本発明のスクライブ装置では、送風手段
から切削具の切刃に向けて吹き掛けられたエアーによっ
て前記破片が吹き上げられ、こうして吹き上げられた破
片は、切削具の切刃に近接して配置された吸引口によっ
て捕捉され、さらに前記吸引口に連設された吸引手段に
よって吸引、除去されることから、破片が溝の周囲に付
着してカラーフィルタ表面に異物を生じさせるといった
問題が生じるおそれがない。
【００１３】すなわち、本発明のスクライブ装置によれ
ば、カラーフィルタ基板のスクライブ処理時に飛散する
前記基板の破片を効率よくしかも確実に吸引、除去する
ことができ、カラーフィルタの表面に異物が形成される
のを確実に防止することができる。従って、上記本発明
のスクライブ装置によれば、カラーフィルタの不良品が
発生する割合を著しく低下させることができ、カラーフ
ィルタの歩留まりや品質、信頼性を向上させることがで
きる。
ば、カラーフィルタ基板のスクライブ処理時に飛散する
前記基板の破片を効率よくしかも確実に吸引、除去する
ことができ、カラーフィルタの表面に異物が形成される
のを確実に防止することができる。従って、上記本発明
のスクライブ装置によれば、カラーフィルタの不良品が
発生する割合を著しく低下させることができ、カラーフ
ィルタの歩留まりや品質、信頼性を向上させることがで
きる。
【００１４】上記本発明のスクライブ装置は、前記切削
具に対してその切削方向より後方に配置されて、カラー
フィルタ基板表面に刻設された溝に向けてエアーを吹き
掛ける第２の送風手段と、前記第２の送風手段からのエ
アーによって前記基板の破片が飛散するのを遮る第２の
吸引口と、当該第２の吸引口に連設された第２の吸引手
段と、をさらに備えたものであるのが好ましい。
具に対してその切削方向より後方に配置されて、カラー
フィルタ基板表面に刻設された溝に向けてエアーを吹き
掛ける第２の送風手段と、前記第２の送風手段からのエ
アーによって前記基板の破片が飛散するのを遮る第２の
吸引口と、当該第２の吸引口に連設された第２の吸引手
段と、をさらに備えたものであるのが好ましい。
【００１５】上記本発明のスクライブ装置の好適態様に
よれば、溝の刻設時に生じた破片を前記吸引手段で吸い
込むことにより除去してもなお溝内や溝の周囲に残存す
るカラーフィルタ基板の破片をも、除去することができ
る。本発明に係るブレイク装置は、カラーフィルタ基板
の端部を切断、除去する際に、または、カラーフィルタ
基板から個々のカラーフィルタを切断、分割する際に用
いられるものである。
よれば、溝の刻設時に生じた破片を前記吸引手段で吸い
込むことにより除去してもなお溝内や溝の周囲に残存す
るカラーフィルタ基板の破片をも、除去することができ
る。本発明に係るブレイク装置は、カラーフィルタ基板
の端部を切断、除去する際に、または、カラーフィルタ
基板から個々のカラーフィルタを切断、分割する際に用
いられるものである。
【００１６】すなわち、本発明に係る第１のブレイク装
置は、カラーフィルタ基板を載置する２つの面からな
り、カラーフィルタ基板の載置面を表側として折り曲げ
可能でかつ前記載置面毎にカラーフィルタ基板を固定可
能なブレイクステージと、当該ブレイクステージの折り
曲げ線に沿って、当該ステージ上に載置されたカラーフ
ィルタ基板の表面を圧接する押え部材と、前記折り曲げ
線に沿って配置されて、当該折り曲げ線を介して前記押
さえ部材と相対する側から前記ステージ上に載置された
カラーフィルタ基板の溝に向けてエアーを吹き掛ける送
風手段と、前記折り曲げ線の上方にてブレイクステージ
上に載置されたカラーフィルタ基板に近接しかつ当該基
板全体を覆うようにして配置されたカバー部材と、当該
カバー部材に連設された吸引手段と、を備え、カラーフ
ィルタ基板表面の溝を前記ブレイクステージの折り曲げ
線に合わせて当該ステージ上に固定し、さらに前記溝を
外側にしてかつ当該溝に沿ってカラーフィルタ基板を前
記ブレイクステージとともに折り曲げることによって、
前記基板から端部を切断するものである。
置は、カラーフィルタ基板を載置する２つの面からな
り、カラーフィルタ基板の載置面を表側として折り曲げ
可能でかつ前記載置面毎にカラーフィルタ基板を固定可
能なブレイクステージと、当該ブレイクステージの折り
曲げ線に沿って、当該ステージ上に載置されたカラーフ
ィルタ基板の表面を圧接する押え部材と、前記折り曲げ
線に沿って配置されて、当該折り曲げ線を介して前記押
さえ部材と相対する側から前記ステージ上に載置された
カラーフィルタ基板の溝に向けてエアーを吹き掛ける送
風手段と、前記折り曲げ線の上方にてブレイクステージ
上に載置されたカラーフィルタ基板に近接しかつ当該基
板全体を覆うようにして配置されたカバー部材と、当該
カバー部材に連設された吸引手段と、を備え、カラーフ
ィルタ基板表面の溝を前記ブレイクステージの折り曲げ
線に合わせて当該ステージ上に固定し、さらに前記溝を
外側にしてかつ当該溝に沿ってカラーフィルタ基板を前
記ブレイクステージとともに折り曲げることによって、
前記基板から端部を切断するものである。
【００１７】また、本発明の第２のブレイク装置は、カ
ラーフィルタ基板を載置する２つの面からなり、カラー
フィルタ基板の載置面を表側として折り曲げ可能でかつ
前記載置面毎にカラーフィルタ基板を固定可能なブレイ
クステージと、当該ブレイクステージの折り曲げ線の上
方にて当該ステージ上に載置されたカラーフィルタ基板
に近接しかつ当該基板全体を覆うようにして配置された
カバー部材と、当該カバー部材に連設された吸引手段
と、前記折り曲げ線に沿って前記カバー部材の少なくと
も一方の側面に配置され、前記ステージ上に載置された
カラーフィルタ基板の溝に向けてエアーを吹き掛ける送
風手段と、を備え、カラーフィルタ基板表面の溝を前記
ブレイクステージの折り曲げ線に合わせて当該ステージ
上に固定し、さらに前記溝を外側にしてかつ当該溝に沿
ってカラーフィルタ基板を前記ブレイクステージととも
に折り曲げることによって、前記基板を分割するもので
ある。
ラーフィルタ基板を載置する２つの面からなり、カラー
フィルタ基板の載置面を表側として折り曲げ可能でかつ
前記載置面毎にカラーフィルタ基板を固定可能なブレイ
クステージと、当該ブレイクステージの折り曲げ線の上
方にて当該ステージ上に載置されたカラーフィルタ基板
に近接しかつ当該基板全体を覆うようにして配置された
カバー部材と、当該カバー部材に連設された吸引手段
と、前記折り曲げ線に沿って前記カバー部材の少なくと
も一方の側面に配置され、前記ステージ上に載置された
カラーフィルタ基板の溝に向けてエアーを吹き掛ける送
風手段と、を備え、カラーフィルタ基板表面の溝を前記
ブレイクステージの折り曲げ線に合わせて当該ステージ
上に固定し、さらに前記溝を外側にしてかつ当該溝に沿
ってカラーフィルタ基板を前記ブレイクステージととも
に折り曲げることによって、前記基板を分割するもので
ある。
【００１８】上記本発明に係るブレイク装置では、カラ
ーフィルタ基板を、その表面の溝をブレイクステージの
折り曲げ線に合わせて当該ステージ上に固定し、次い
で、カラーフィルタ基板の溝を上に向けて（すなわち、
外側にして）かつ当該溝に沿って、カラーフィルタ基板
をブレイクステージとともに折り曲げることによって、
第１のブレイク装置ではカラーフィルタ基板からその端
部を切断、除去することができ、第２のブレイク装置で
はカラーフィルタ基板を切断、分割することができる。
ーフィルタ基板を、その表面の溝をブレイクステージの
折り曲げ線に合わせて当該ステージ上に固定し、次い
で、カラーフィルタ基板の溝を上に向けて（すなわち、
外側にして）かつ当該溝に沿って、カラーフィルタ基板
をブレイクステージとともに折り曲げることによって、
第１のブレイク装置ではカラーフィルタ基板からその端
部を切断、除去することができ、第２のブレイク装置で
はカラーフィルタ基板を切断、分割することができる。
【００１９】このようにしてカラーフィルタ基板を切断
する場合には、折り曲げに伴う負荷が溝にかかって前記
基板の破片が生じ、この破片が溝の周囲に散乱するおそ
れがある。しかしながら、上記本発明に係る第１および
第２のブレイク装置では、送風手段から溝に向けて吹き
掛けられたエアーによって前記破片が吹き上げられ、こ
うして吹き上げられた破片は、前記溝の上方にて当該溝
に近接し、しかも溝全体を覆うようにして配置されたカ
バー部材によって捕捉され、さらに前記カバー部材に連
設された吸引手段によって吸引、除去されることから、
破片が溝の周囲に付着してカラーフィルタ表面に異物を
生じさせるといった問題が生じるおそれがない。
する場合には、折り曲げに伴う負荷が溝にかかって前記
基板の破片が生じ、この破片が溝の周囲に散乱するおそ
れがある。しかしながら、上記本発明に係る第１および
第２のブレイク装置では、送風手段から溝に向けて吹き
掛けられたエアーによって前記破片が吹き上げられ、こ
うして吹き上げられた破片は、前記溝の上方にて当該溝
に近接し、しかも溝全体を覆うようにして配置されたカ
バー部材によって捕捉され、さらに前記カバー部材に連
設された吸引手段によって吸引、除去されることから、
破片が溝の周囲に付着してカラーフィルタ表面に異物を
生じさせるといった問題が生じるおそれがない。
【００２０】すなわち、本発明の第１および第２のブレ
イク装置によれば、カラーフィルタ基板のブレイク処理
時に飛散する前記基板の破片を効率よくしかも確実に吸
引、除去することができ、カラーフィルタの表面に異物
が形成されるのを確実に防止することができる。従っ
て、上記本発明のブレイク装置によれば、カラーフィル
タの不良品が発生する割合を著しく低下させることがで
き、カラーフィルタの歩留まりや品質、信頼性を向上さ
せることができる。
イク装置によれば、カラーフィルタ基板のブレイク処理
時に飛散する前記基板の破片を効率よくしかも確実に吸
引、除去することができ、カラーフィルタの表面に異物
が形成されるのを確実に防止することができる。従っ
て、上記本発明のブレイク装置によれば、カラーフィル
タの不良品が発生する割合を著しく低下させることがで
き、カラーフィルタの歩留まりや品質、信頼性を向上さ
せることができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】次に、本発明について詳細に説明
する。 〔スクライブ処理時の微小異物付着方法およびスクライ
ブ装置〕図１は、本発明に係るスクライブ装置の一実施
形態を示す図であって、(a) はその側面図を、(b) はそ
の平面図を示す。本発明に係るカラーフィルタ表面の微
小異物の付着防止方法のうち、スクライブ処理時におけ
る微小異物の付着防止方法は、例えば図１に示すスクラ
イブ装置１０を用いて実施される。
する。 〔スクライブ処理時の微小異物付着方法およびスクライ
ブ装置〕図１は、本発明に係るスクライブ装置の一実施
形態を示す図であって、(a) はその側面図を、(b) はそ
の平面図を示す。本発明に係るカラーフィルタ表面の微
小異物の付着防止方法のうち、スクライブ処理時におけ
る微小異物の付着防止方法は、例えば図１に示すスクラ
イブ装置１０を用いて実施される。
【００２２】かかるスクライブ装置による溝８５の刻設
は、例えば図１に示すように、まず、カラーフィルタ基
板８４を作業ステージ１９上に載置し、固定した後、次
いで、カラーフィルタ基板８４の表面８４ｂにダイヤモ
ンドバイト（ダイヤモンドカッター）等の切削具１１を
摺動させて溝８５を刻設しつつ、同時に、切削具１１の
切刃１２（ダイヤモンドバイトの場合は、先端のダイヤ
モンド）に向けて送風手段１３からエアーを吹き掛け
る。
は、例えば図１に示すように、まず、カラーフィルタ基
板８４を作業ステージ１９上に載置し、固定した後、次
いで、カラーフィルタ基板８４の表面８４ｂにダイヤモ
ンドバイト（ダイヤモンドカッター）等の切削具１１を
摺動させて溝８５を刻設しつつ、同時に、切削具１１の
切刃１２（ダイヤモンドバイトの場合は、先端のダイヤ
モンド）に向けて送風手段１３からエアーを吹き掛け
る。
【００２３】溝８５を刻設する際に生じるカラーフィル
タ基板８４の破片８６は、送風手段１３から吹き掛けら
れたエアーによって吹き上げられ、かつ、切削具１１の
切刃１２に近接して配置された吸引口１４によって捕捉
されて、さらに吸引口１４に連設された吸引手段１５に
よって吸引、除去される。切削具１１の切刃１２に向け
てエアーを吹き掛ける送風手段１３としては、通常ブロ
ーノズルが用いられる。
タ基板８４の破片８６は、送風手段１３から吹き掛けら
れたエアーによって吹き上げられ、かつ、切削具１１の
切刃１２に近接して配置された吸引口１４によって捕捉
されて、さらに吸引口１４に連設された吸引手段１５に
よって吸引、除去される。切削具１１の切刃１２に向け
てエアーを吹き掛ける送風手段１３としては、通常ブロ
ーノズルが用いられる。
【００２４】送風手段１３は、一般に図１に示すよう
に、切削具１１によるカラーフィルタ基板８４の切削方
向ｘに対して前方に配置されるが、送風手段の配置位置
やその数は特に限定されるものではなく、例えば切削方
向ｘに対して斜め前方や側方に設けてもよく、図１に示
すように２ヶ所設けてもよい。吸引口１４および吸引手
段１５の配置位置も、図１に示す位置に限定されるもの
ではなく、送風手段１３によって吹き上げられた破片８
６を効率よく捕捉し得る位置であればいずれの場所に配
置されていてもよい。但し、吹き上げられた破片８６を
確実に捕捉するためにも、吸引口１４の底辺１４ａはカ
ラーフィルタ基板８４の表面に近接して設けるのが好ま
しく、吸引口１４の開口部１４ｂは、十分な吸引力が得
られる限度においてできるだけ大きくするのが好まし
い。
に、切削具１１によるカラーフィルタ基板８４の切削方
向ｘに対して前方に配置されるが、送風手段の配置位置
やその数は特に限定されるものではなく、例えば切削方
向ｘに対して斜め前方や側方に設けてもよく、図１に示
すように２ヶ所設けてもよい。吸引口１４および吸引手
段１５の配置位置も、図１に示す位置に限定されるもの
ではなく、送風手段１３によって吹き上げられた破片８
６を効率よく捕捉し得る位置であればいずれの場所に配
置されていてもよい。但し、吹き上げられた破片８６を
確実に捕捉するためにも、吸引口１４の底辺１４ａはカ
ラーフィルタ基板８４の表面に近接して設けるのが好ま
しく、吸引口１４の開口部１４ｂは、十分な吸引力が得
られる限度においてできるだけ大きくするのが好まし
い。
【００２５】なお、上記装置１０を用いたスクライブ処
理において、送風手段１３によるエアーの吹き掛けと、
吸引手段１５による吸引とは並行して行われる。エアー
を吹き掛けずに吸引のみを行った場合には、発生した破
片を吸い込み、捕捉する前にカラーフィルタ基板上に吸
着されてしまい、当該破片を除去できなくなるおそれが
ある。本発明のスクライブ装置においては、さらに図１
に示すように、切削具１１に対してその切削方向ｘより
後方に配置されて、カラーフィルタ基板表８４の表面に
刻設された溝８５に向けてエアーを吹き掛ける第２の送
風手段１６と、第２の送風手段１６からのエアーによっ
て前記基板の破片８６が飛散するのを遮る第２の吸引口
１７と、第２の吸引口１７に連設された第２の吸引手段
１８とをさらに設けたものであるのが好ましい。
理において、送風手段１３によるエアーの吹き掛けと、
吸引手段１５による吸引とは並行して行われる。エアー
を吹き掛けずに吸引のみを行った場合には、発生した破
片を吸い込み、捕捉する前にカラーフィルタ基板上に吸
着されてしまい、当該破片を除去できなくなるおそれが
ある。本発明のスクライブ装置においては、さらに図１
に示すように、切削具１１に対してその切削方向ｘより
後方に配置されて、カラーフィルタ基板表８４の表面に
刻設された溝８５に向けてエアーを吹き掛ける第２の送
風手段１６と、第２の送風手段１６からのエアーによっ
て前記基板の破片８６が飛散するのを遮る第２の吸引口
１７と、第２の吸引口１７に連設された第２の吸引手段
１８とをさらに設けたものであるのが好ましい。
【００２６】上記の態様によれば、カラーフィルタ基板
８４の表面に溝８５を刻設する際に生じた破片８６を、
前記吸引手段１５で吸い込むことにより除去してもなお
溝８５内や溝８５の周囲に残存する破片８６をも、除去
することができる。それゆえ、後述するカラーフィルタ
基板８４のブレイク時において、溝８５内や溝８５の周
囲に残存していた破片８６が飛散してカラーフィルタ７
０上に付着してしまうといったおそれを除去することが
できる。
８４の表面に溝８５を刻設する際に生じた破片８６を、
前記吸引手段１５で吸い込むことにより除去してもなお
溝８５内や溝８５の周囲に残存する破片８６をも、除去
することができる。それゆえ、後述するカラーフィルタ
基板８４のブレイク時において、溝８５内や溝８５の周
囲に残存していた破片８６が飛散してカラーフィルタ７
０上に付着してしまうといったおそれを除去することが
できる。
【００２７】〔ブレイク処理時の微小異物付着方法およ
びブレイク装置〕図２は、本発明に係る第１のブレイク
装置の一実施形態を示す図であって、(a) はその側面図
を、(b) はその平面図を示す。図３は、本発明に係る第
２のブレイク装置の一実施形態を示す図であって、(a)
はその側面図を、(b) はその平面図を示す。本発明に係
るカラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法のう
ち、ブレイク処理時おける微小異物の付着防止方法は、
例えば図２または図３に示すブレイク装置３０，５０を
用いて実施される。
びブレイク装置〕図２は、本発明に係る第１のブレイク
装置の一実施形態を示す図であって、(a) はその側面図
を、(b) はその平面図を示す。図３は、本発明に係る第
２のブレイク装置の一実施形態を示す図であって、(a)
はその側面図を、(b) はその平面図を示す。本発明に係
るカラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法のう
ち、ブレイク処理時おける微小異物の付着防止方法は、
例えば図２または図３に示すブレイク装置３０，５０を
用いて実施される。
【００２８】かかるブレイク装置のうち、第１のブレイ
ク装置３０はカラーフィルタ基板８４の端部を切断、除
去する場合に用いられる装置であって、第２のブレイク
装置５０はカラーフィルタ基板８４を個々のカラーフィ
ルタ７０等に切断、分割する場合に用いられる装置であ
る。第１のブレイク装置３０は、例えば図２に示すよう
に、 i) カラーフィルタ基板８４の載置面３１ａ，３１ｂを
備えたブレイクステージ３１と、 ii) ２つの載置面３１ａ，３１ｂを区画するブレイクス
テージ３１の折り曲げ線３２に沿って、ブレイクステー
ジ３１上に載置されたカラーフィルタ基板８４の表面８
４ｂを圧接する押え部材３３と、 iii) 折り曲げ線３２に沿って配置されて、折り曲げ線
３２を介して前記押さえ部材３３と相対する側からブレ
イクステージ３１上に載置されたカラーフィルタ基板８
４の溝８５に向けてエアーを吹き掛ける送風手段３４
と、 iv) 折り曲げ線３２の上方にてブレイクステージ３１上
に載置されたカラーフィルタ基板８４に近接し、かつ、
当該基板８４全体を覆うようにして配置されたカバー部
材３５と、 v) カバー部材３５に連設された吸引手段３６と、 を備えたものであって、カラーフィルタ基板８４の表面
８４ｂに形成された溝８５をブレイクステージ３１の折
り曲げ線３２に合わせて当該ステージ３１上に固定し、
さらにカラーフィルタ基板８４の溝８５を外側にしてか
つ当該溝８５に沿ってカラーフィルタ基板をブレイクス
テージ３１とともに折り曲げることによって、カラーフ
ィルタ基板８４からその端部８４ａを切断することので
きる装置である。
ク装置３０はカラーフィルタ基板８４の端部を切断、除
去する場合に用いられる装置であって、第２のブレイク
装置５０はカラーフィルタ基板８４を個々のカラーフィ
ルタ７０等に切断、分割する場合に用いられる装置であ
る。第１のブレイク装置３０は、例えば図２に示すよう
に、 i) カラーフィルタ基板８４の載置面３１ａ，３１ｂを
備えたブレイクステージ３１と、 ii) ２つの載置面３１ａ，３１ｂを区画するブレイクス
テージ３１の折り曲げ線３２に沿って、ブレイクステー
ジ３１上に載置されたカラーフィルタ基板８４の表面８
４ｂを圧接する押え部材３３と、 iii) 折り曲げ線３２に沿って配置されて、折り曲げ線
３２を介して前記押さえ部材３３と相対する側からブレ
イクステージ３１上に載置されたカラーフィルタ基板８
４の溝８５に向けてエアーを吹き掛ける送風手段３４
と、 iv) 折り曲げ線３２の上方にてブレイクステージ３１上
に載置されたカラーフィルタ基板８４に近接し、かつ、
当該基板８４全体を覆うようにして配置されたカバー部
材３５と、 v) カバー部材３５に連設された吸引手段３６と、 を備えたものであって、カラーフィルタ基板８４の表面
８４ｂに形成された溝８５をブレイクステージ３１の折
り曲げ線３２に合わせて当該ステージ３１上に固定し、
さらにカラーフィルタ基板８４の溝８５を外側にしてか
つ当該溝８５に沿ってカラーフィルタ基板をブレイクス
テージ３１とともに折り曲げることによって、カラーフ
ィルタ基板８４からその端部８４ａを切断することので
きる装置である。
【００２９】第１のブレイク装置３０では、まず、ブレ
イクステージ３１の折り曲げ線３２に合わせてカラーフ
ィルタ基板８４を載置し、２つの載置面３１ａ，３１ｂ
のそれぞれにカラーフィルタ基板を固定する。この際、
ブレイクステージ３１の折り曲げ線３２とカラーフィル
タ基板８４の表面８４ｂに設けられた溝８５とを合わせ
ておく。載置面３１ａ，３１ｂのうち、カラーフィルタ
基板８４の端部８４ａを載置する側にあっては、押え部
材３３によってカラーフィルタ基板８４を固定すること
ができるため、載置面自体にカラーフィルタ基板８４の
固定手段を設ける必要はない。カラーフィルタ基板８４
の固定手段としては、例えばカラーフィルタ基板８４と
載置面３１ａ，３１ｂとの間に切欠部を設け、当該切欠
部内を真空にしてカラーフィルタ基板を吸引固定する方
法等、従来公知の種々の方法を採用することができる。
イクステージ３１の折り曲げ線３２に合わせてカラーフ
ィルタ基板８４を載置し、２つの載置面３１ａ，３１ｂ
のそれぞれにカラーフィルタ基板を固定する。この際、
ブレイクステージ３１の折り曲げ線３２とカラーフィル
タ基板８４の表面８４ｂに設けられた溝８５とを合わせ
ておく。載置面３１ａ，３１ｂのうち、カラーフィルタ
基板８４の端部８４ａを載置する側にあっては、押え部
材３３によってカラーフィルタ基板８４を固定すること
ができるため、載置面自体にカラーフィルタ基板８４の
固定手段を設ける必要はない。カラーフィルタ基板８４
の固定手段としては、例えばカラーフィルタ基板８４と
載置面３１ａ，３１ｂとの間に切欠部を設け、当該切欠
部内を真空にしてカラーフィルタ基板を吸引固定する方
法等、従来公知の種々の方法を採用することができる。
【００３０】次いで、カラーフィルタ基板８４の表面に
設けられた溝８５に沿って、カラーフィルタ基板の端部
８４ａを押え部材３３で固定して、ブレイクステージ３
１の２つの載置面３１ａ，３１ｂを、当該載置面３１
ａ，３１ｂを表側として、カラーフィルタ基板８４とと
もに折り曲げる。載置面３１ａ，３１ｂは、その双方が
移動できるものである必要はなく、例えば図１に示すよ
うに、カラーフィルタ基板８４の端部８４ａ側を固定し
ている載置面３１ｂが下方に移動し、他方の載置面３１
ａは固定されたままであってもよい。
設けられた溝８５に沿って、カラーフィルタ基板の端部
８４ａを押え部材３３で固定して、ブレイクステージ３
１の２つの載置面３１ａ，３１ｂを、当該載置面３１
ａ，３１ｂを表側として、カラーフィルタ基板８４とと
もに折り曲げる。載置面３１ａ，３１ｂは、その双方が
移動できるものである必要はなく、例えば図１に示すよ
うに、カラーフィルタ基板８４の端部８４ａ側を固定し
ている載置面３１ｂが下方に移動し、他方の載置面３１
ａは固定されたままであってもよい。
【００３１】載置面３１ａ，３１ｂを表側として、カラ
ーフィルタ基板８４とともに折り曲げる際には、同時
に、送風手段３４からカラーフィルタ基板８４の溝８５
に向けてエアーを吹き掛ける。カラーフィルタ基板８４
を折り曲げる際に生じる破片８６は、送風手段３４から
のエアーによって吹き上げられるとともに、カバー部材
３５によって捕捉され、さらに吸引手段３６によって吸
引、除去される。カバー部材３５および吸引手段３６は
特に限定されるものではないが、いずれもカラーフィル
タ基板８４の溝８５全体に亘って設けられる部材であっ
て、ブレイクステージ３１の二つ折り線３２上におい
て、その両端部分から架設される。
ーフィルタ基板８４とともに折り曲げる際には、同時
に、送風手段３４からカラーフィルタ基板８４の溝８５
に向けてエアーを吹き掛ける。カラーフィルタ基板８４
を折り曲げる際に生じる破片８６は、送風手段３４から
のエアーによって吹き上げられるとともに、カバー部材
３５によって捕捉され、さらに吸引手段３６によって吸
引、除去される。カバー部材３５および吸引手段３６は
特に限定されるものではないが、いずれもカラーフィル
タ基板８４の溝８５全体に亘って設けられる部材であっ
て、ブレイクステージ３１の二つ折り線３２上におい
て、その両端部分から架設される。
【００３２】第２のブレイク装置５０は、例えば図３に
示すように、 I) カラーフィルタ基板８４の載置面５１ａ，５１ｂを
備えたブレイクステージ５１と、 II) ２つの載置面５１ａ，５１ｂを区画するブレイクス
テージ５１の折り曲げ線５２に沿って、ブレイクステー
ジ５１上に載置されたカラーフィルタ基板８４に近接
し、かつ、カラーフィルタ基板８４全体を覆うようにし
て配置されたカバー部材５３と、 III) カバー部材５３に連設された吸引手段５４と、 IV) 折り曲げ線５２に沿ってカバー部材５３の少なくと
も一方の側面に配置され、ブレイクステージ５１上に載
置されたカラーフィルタ基板８４の溝８５に向けてエア
ーを吹き掛ける送風手段５５と、 を備えたものであって、カラーフィルタ基板８４の表面
８４ｂに形成された溝８５をブレイクステージ５１の折
り曲げ線５２に合わせて当該ステージ５１上に固定し、
さらにカラーフィルタ基板８４の溝８５を外側にしてか
つ当該溝８５に沿ってカラーフィルタ基板をブレイクス
テージ５１とともに折り曲げることによって、カラーフ
ィルタ基板８４を２つに分割することのできる装置であ
る。
示すように、 I) カラーフィルタ基板８４の載置面５１ａ，５１ｂを
備えたブレイクステージ５１と、 II) ２つの載置面５１ａ，５１ｂを区画するブレイクス
テージ５１の折り曲げ線５２に沿って、ブレイクステー
ジ５１上に載置されたカラーフィルタ基板８４に近接
し、かつ、カラーフィルタ基板８４全体を覆うようにし
て配置されたカバー部材５３と、 III) カバー部材５３に連設された吸引手段５４と、 IV) 折り曲げ線５２に沿ってカバー部材５３の少なくと
も一方の側面に配置され、ブレイクステージ５１上に載
置されたカラーフィルタ基板８４の溝８５に向けてエア
ーを吹き掛ける送風手段５５と、 を備えたものであって、カラーフィルタ基板８４の表面
８４ｂに形成された溝８５をブレイクステージ５１の折
り曲げ線５２に合わせて当該ステージ５１上に固定し、
さらにカラーフィルタ基板８４の溝８５を外側にしてか
つ当該溝８５に沿ってカラーフィルタ基板をブレイクス
テージ５１とともに折り曲げることによって、カラーフ
ィルタ基板８４を２つに分割することのできる装置であ
る。
【００３３】第２のブレイク装置５０では、まず、ブレ
イクステージ５１の折り曲げ線５２に合わせてカラーフ
ィルタ基板８４を載置し、２つの載置面５１ａ，５１ｂ
のそれぞれにカラーフィルタ基板を固定する。この際、
ブレイクステージ５１の折り曲げ線５２とカラーフィル
タ基板８４の表面８４ｂに設けられた溝８５とを合わせ
ておく。カラーフィルタ基板８４の固定手段としては、
前記第１のブレイク装置３０と同様に、従来公知の種々
の方法を採用することができる。
イクステージ５１の折り曲げ線５２に合わせてカラーフ
ィルタ基板８４を載置し、２つの載置面５１ａ，５１ｂ
のそれぞれにカラーフィルタ基板を固定する。この際、
ブレイクステージ５１の折り曲げ線５２とカラーフィル
タ基板８４の表面８４ｂに設けられた溝８５とを合わせ
ておく。カラーフィルタ基板８４の固定手段としては、
前記第１のブレイク装置３０と同様に、従来公知の種々
の方法を採用することができる。
【００３４】次いで、ブレイクステージ３１の２つの載
置面５１ａ，５１ｂを、当該載置面５１ａ，５１ｂを表
側として、カラーフィルタ基板８４とともに折り曲げ
る。載置面５１ａ，５１ｂは、その双方が移動できるも
のである必要はなく、例えば図３に示すように、カラー
フィルタ基板８４の端部８４ａ側を固定している載置面
５１ｂが下方に移動し、他方の載置面５１ａが固定され
たものであってもよい。載置面５１ａ，５１ｂを表側と
して、カラーフィルタ基板８４とともに折り曲げる際に
は、同時に、カバー部材５３の少なくとも一方の側面に
配置された送風手段５５からカラーフィルタ基板８４の
溝８５に向けてエアーを吹き掛ける。カラーフィルタ基
板８４を折り曲げる際に生じる破片８６は、送風手段５
５からのエアーによって吹き上げられるとともに、カバ
ー部材５３によって捕捉され、さらに吸引手段５４によ
って吸引、除去される。
置面５１ａ，５１ｂを、当該載置面５１ａ，５１ｂを表
側として、カラーフィルタ基板８４とともに折り曲げ
る。載置面５１ａ，５１ｂは、その双方が移動できるも
のである必要はなく、例えば図３に示すように、カラー
フィルタ基板８４の端部８４ａ側を固定している載置面
５１ｂが下方に移動し、他方の載置面５１ａが固定され
たものであってもよい。載置面５１ａ，５１ｂを表側と
して、カラーフィルタ基板８４とともに折り曲げる際に
は、同時に、カバー部材５３の少なくとも一方の側面に
配置された送風手段５５からカラーフィルタ基板８４の
溝８５に向けてエアーを吹き掛ける。カラーフィルタ基
板８４を折り曲げる際に生じる破片８６は、送風手段５
５からのエアーによって吹き上げられるとともに、カバ
ー部材５３によって捕捉され、さらに吸引手段５４によ
って吸引、除去される。
【００３５】カバー部材５３および吸引手段５４は特に
限定されるものではないが、いずれもカラーフィルタ基
板８４の溝８５全体に亘って設けられる部材であって、
ブレイクステージ５１の二つ折り線５２上にて、その両
端部分から架設される。なお、上記装置３０，５０を用
いたブレイク処理において、送風手段３４，５５による
エアーの吹き掛けと、吸引手段３６，５４による吸引と
は並行して行われる。エアーを吹き掛けずに吸引のみを
行った場合には、発生した破片を吸い込み、捕捉する前
にカラーフィルタ基板上に吸着されてしまい、当該破片
を除去できなくなるおそれがある。また、ブレイク時に
カラーフィルタをチャック上に保持できなくなって、カ
ラーフィルタ基板がカバー部材３５，５３に吸い込まれ
てしまい、その結果、カラーフィルタの表面に傷がつい
てしまうおそれもある。
限定されるものではないが、いずれもカラーフィルタ基
板８４の溝８５全体に亘って設けられる部材であって、
ブレイクステージ５１の二つ折り線５２上にて、その両
端部分から架設される。なお、上記装置３０，５０を用
いたブレイク処理において、送風手段３４，５５による
エアーの吹き掛けと、吸引手段３６，５４による吸引と
は並行して行われる。エアーを吹き掛けずに吸引のみを
行った場合には、発生した破片を吸い込み、捕捉する前
にカラーフィルタ基板上に吸着されてしまい、当該破片
を除去できなくなるおそれがある。また、ブレイク時に
カラーフィルタをチャック上に保持できなくなって、カ
ラーフィルタ基板がカバー部材３５，５３に吸い込まれ
てしまい、その結果、カラーフィルタの表面に傷がつい
てしまうおそれもある。
【図１】(a) は本発明に係るスクライブ装置の一実施形
態を示す側面図であって、(b)はその平面図である。
態を示す側面図であって、(b)はその平面図である。
【図２】(a) は本発明に係る第１のブレイク装置の一実
施形態を示す側面図であって、(b) はその平面図であ
る。
施形態を示す側面図であって、(b) はその平面図であ
る。
【図３】(a) は本発明に係る第２のブレイク装置の一実
施形態を示す側面図であって、(b) はその平面図であ
る。
施形態を示す側面図であって、(b) はその平面図であ
る。
【図４】カラーフィルタ基板の表面に刻設された溝と、
カラーフィルタ基板表面の前記溝周辺に破片が付着した
状態を示す図であって、(a) はその平面図、(b) はその
Ａ−Ａ拡大断面図である。
カラーフィルタ基板表面の前記溝周辺に破片が付着した
状態を示す図であって、(a) はその平面図、(b) はその
Ａ−Ａ拡大断面図である。
【図５】カラーフィルタの画素部分に破片が付着した状
態を示す図である。
態を示す図である。
【図６】液晶パネルの一例を示す断面図である。
１０ スクライブ装置， １１ 切削具， １２ 切
刃， １３ 送風手段，１４ 吸引口， １５ 吸引手
段， １６ 第２の送風手段， １７ 第２の吸引口，
１８ 第２の吸引手段， ｘ 切削方向，３０ （第
１の）ブレイク装置， ３１ ブレイクステージ， ３
１ａ 載置面， ３１ｂ 載置面， ３２ 折り曲げ
線， ３３ 押え部材， ３４ 送風手段， ３５ カ
バー部材， ３６ 吸引手段，５０ （第２の）ブレイ
ク装置， ５１ ブレイクステージ， ５１ａ 載置
面， ５１ｂ 載置面， ５２ 折り曲げ線， ５３
カバー部材， ５４ 吸引手段， ５５ 送風手段，７
０ カラーフィルタ， ８４ カラーフィルタ基板，
８４ａ 端部， ８４ｂ 表面， ８５ 溝， ８６
破片
刃， １３ 送風手段，１４ 吸引口， １５ 吸引手
段， １６ 第２の送風手段， １７ 第２の吸引口，
１８ 第２の吸引手段， ｘ 切削方向，３０ （第
１の）ブレイク装置， ３１ ブレイクステージ， ３
１ａ 載置面， ３１ｂ 載置面， ３２ 折り曲げ
線， ３３ 押え部材， ３４ 送風手段， ３５ カ
バー部材， ３６ 吸引手段，５０ （第２の）ブレイ
ク装置， ５１ ブレイクステージ， ５１ａ 載置
面， ５１ｂ 載置面， ５２ 折り曲げ線， ５３
カバー部材， ５４ 吸引手段， ５５ 送風手段，７
０ カラーフィルタ， ８４ カラーフィルタ基板，
８４ａ 端部， ８４ｂ 表面， ８５ 溝， ８６
破片
Claims (5)
- 【請求項１】カラーフィルタ基板の表面上に切削具を摺
動させて溝を刻設しつつ、前記切削具の切刃に向けてエ
アーを吹き掛けた後、当該エアーによって吹き上げられ
た前記基板の破片が飛散するのを遮って、当該破片を吸
引し、除去することを特徴とする、カラーフィルタ表面
の微小異物の付着防止方法。 - 【請求項２】カラーフィルタ基板の表面に溝を刻設する
切削具と、 切削具の切刃に向けてエアーを吹き掛ける送風手段と、 前記切削具の切刃に近接して配置されて、前記基板の破
片が飛散するのを遮る吸引口と、 当該吸引口に連設された吸引手段と、を備えたスクライ
ブ装置。 - 【請求項３】カラーフィルタ基板の表面に設けられた溝
を外側にしてかつ当該溝に沿って折り曲げることにより
前記基板を切断するとともに、 当該基板の切断の際に生じる破片が飛散するのを、前記
溝の上方にて当該溝に近接しかつ溝全体を覆うように配
置されたカバー部材によって遮り、さらに、 前記カバー部材に連設された吸引手段によって前記基板
の破片を吸い込み、除去することを特徴とする、カラー
フィルタ表面の微小異物の付着防止方法。 - 【請求項４】カラーフィルタ基板を載置する２つの面か
らなり、カラーフィルタ基板の載置面を表側として折り
曲げ可能でかつ前記載置面毎にカラーフィルタ基板を固
定可能なブレイクステージと、 当該ブレイクステージの折り曲げ線に沿って、当該ステ
ージ上に載置されたカラーフィルタ基板の表面を圧接す
る押え部材と、 前記折り曲げ線に沿って配置されて、当該折り曲げ線を
介して前記押さえ部材と相対する側から前記ステージ上
に載置されたカラーフィルタ基板の溝に向けてエアーを
吹き掛ける送風手段と、 前記折り曲げ線の上方にてブレイクステージ上に載置さ
れたカラーフィルタ基板に近接しかつ当該基板全体を覆
うようにして配置されたカバー部材と、 当該カバー部材に連設された吸引手段と、を備え、 カラーフィルタ基板表面の溝を前記ブレイクステージの
折り曲げ線に合わせて当該ステージ上に固定し、さらに
前記溝を外側にしてかつ当該溝に沿ってカラーフィルタ
基板を前記ブレイクステージとともに折り曲げることに
よって、前記基板から端部を切断するブレイク装置。 - 【請求項５】カラーフィルタ基板を載置する２つの面か
らなり、カラーフィルタ基板の載置面を表側として折り
曲げ可能でかつ前記載置面毎にカラーフィルタ基板を固
定可能なブレイクステージと、 当該ブレイクステージの折り曲げ線の上方にて当該ステ
ージ上に載置されたカラーフィルタ基板に近接しかつ当
該基板全体を覆うようにして配置されたカバー部材と、 当該カバー部材に連設された吸引手段と、 前記折り曲げ線に沿って前記カバー部材の少なくとも一
方の側面に配置され、前記ステージ上に載置されたカラ
ーフィルタ基板の溝に向けてエアーを吹き掛ける送風手
段と、を備え、 カラーフィルタ基板表面の溝を前記ブレイクステージの
折り曲げ線に合わせて当該ステージ上に固定し、さらに
前記溝を外側にしてかつ当該溝に沿ってカラーフィルタ
基板を前記ブレイクステージとともに折り曲げることに
よって、前記基板を分割するブレイク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000131051A JP2001311819A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | カラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法と、スクライブ装置およびブレイク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000131051A JP2001311819A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | カラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法と、スクライブ装置およびブレイク装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001311819A true JP2001311819A (ja) | 2001-11-09 |
Family
ID=18640025
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000131051A Pending JP2001311819A (ja) | 2000-04-28 | 2000-04-28 | カラーフィルタ表面の微小異物の付着防止方法と、スクライブ装置およびブレイク装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001311819A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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- 2000-04-28 JP JP2000131051A patent/JP2001311819A/ja active Pending
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