JP2012011756A - 分断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表面にスクライブラインSが形成された脆性材料基板1を載置するテーブル10と、スクライブラインSの上方でその左右近傍に跨がるように配置され、脆性材料基板1の表面を押さえる左右一対の上部ブレイクバー4と、スクライブラインSの直下に配置され、基板1をスクライブラインSの直下から突き上げて分断するための下部ブレイクバー5と、スクライブラインSの直上に配置され、基板1が分断された際に分断端縁部分を弾力的に押圧して上方への跳ね上がりを阻止する弾性押さえ部材6と、弾性押さえ部材6の近傍に配置され、基板1が分断された際に発生するカレットを吸引する吸引口20を備えたカレット吸引手段とを備える。
【選択図】 図5
Description
図12は板状のブレイクバーを用いた一般的な3点曲げ方式によるブレイク方式を示すものである。基板31の分断すべきスクライブラインSを跨いでその左右位置に一対の上部ブレイクバー35,35を配置し、スクライブラインSを設けた面とは反対側の面でスクライブラインSの直下に下部ブレイクバー36を配置し、上下ブレイクバーの何れか一方を基板31に押圧することによって、曲げモーメントを生じさせて分断している。
このブレイクバーによる3点曲げ方式で分断する方法は、例えば特許文献2でも開示されている。なお、ブレイクバーに代えて、ローラを用いた押圧による3点曲げ方式で分断する手段も特許文献1の図3に開示されている。
また、上記の欠けによる破片や、分断時に生じる微細なカレット(破片屑)が基板31の表面に付着、残存して不良品の大きな要因となる。そのため、後処理でカレットを除去する工程が必要となって作業が煩雑となるといった問題点があった。
そこで本発明は、3点曲げ方式によって脆性材料基板を分断するものでありながら、分断の際に欠けや破損が生じにくくきれいな分断面を得ることができるとともに、微細なカレットが発生しても分断と同時に除去することのできる分断装置を提供することを目的とする。
本発明において、カレット吸引手段の吸引口が、弾性押さえ部材と上部ブレイクバーとの間に形成されている構成とするのがよい。
これにより、上部ブレイクバーの左右間の限られた狭い間隔で、スクライブラインに近接した箇所に吸引口を設けることが可能となり、これにより、カレットを効果的に吸引除去することができる。
これにより、分断すべきスクライブラインの直上部分を覆い体で確実に覆うことができて、カレットの吸引除去を効果的に行うことができる。
これにより、分断の際に分断端縁を余裕をもって弾接し、上方への跳ね上がりを確実になくすことができる。
これにより、構成の簡略化とコストの低減化を図ることができる。
ブレイク機構Bは、分断すべきLTCC基板1の上方に配置された左右一対の上部ブレイクバー4と、LTCC基板1の下方に配置された下部ブレイクバー5と、LTCC基板1の上方で上部ブレイクバー4の間の中心に配置された弾性押さえ部材6とから構成される。
上部ブレイクバー4、下部ブレイクバー5並びに弾性押さえ部材6は何れもX方向に延びる帯状の板材で形成され、先端部を細くしてある。また、その材質は金属で作られている。
なお、上記下部ブレイクバー5の昇降、並びに上部ブレイクバー4と弾性押さえ部材6を保持するホルダー部材7の昇降は、駆動機構(図示外)により行われる。
この分断の際、スクライブラインSの上面部分は弾性押さえ部材6によって弾力的に押さえられているので、LTCC基板1の分断端縁が上方に弾かれることがなく、分断端縁角部に欠けや破損が生じることを未然に防止することができる。
なお、上記実施例で示したカレット吸引手段の吸引口20が、弾性押さえ部材6と上部ブレイクバー4との間に形成されているので、上部ブレイクバー4,4間の限られた狭い間隔内で、スクライブラインに近接した箇所に吸引口20を設けることが可能となり、これによりカレットを効果的に吸引除去することができる。
この実施例では、分断すべきスクライブラインの直上部分を覆い体26で確実に覆うことができるので、カレットの吸引除去を効果的に行うことができる。
その他本発明では、その目的を達成し、請求の範囲を逸脱しない範囲内で適宜修正、変更することが可能である。
B ブレイク機構
S スクライブライン
1 LTCC基板(脆性材料基板)
2 粘着フイルム
3 ダイシングフレーム
4 上部ブレイクバー
5 下部ブレイクバー
6 弾性押さえ部材
6a 弾性押さえ部材の先端部
6b 弾性押さえ部材の先端面
7 ホルダー部材
8 スプリング
9 開口部
10 テーブル
20 カレット吸引手段の吸引口
26 覆い体
27 覆い体の内部空間
Claims (6)
- 表面にスクライブラインが形成された脆性材料基板を載置するテーブルと、
スクライブラインの上方でその左右近傍に跨がるように配置され、脆性材料基板の表面を押さえる左右一対の上部ブレイクバーと、
スクライブラインの直下に配置され、脆性材料基板をスクライブラインの直下から突き上げて脆性材料基板を分断するための下部ブレイクバーと、
スクライブラインの直上に配置され、脆性材料基板が分断された際に分断端縁部分を弾力的に押圧して上方への跳ね上がりを阻止する弾性押さえ部材と、
弾性押さえ部材の近傍に配置され、脆性材料基板が分断された際に発生するカレットを吸引する吸引口を備えたカレット吸引手段とからなる分断装置。 - カレット吸引手段の吸引口が弾性押さえ部材と上部ブレイクバーとの間に形成されている請求項1に記載の分断装置。
- カレット吸引手段の吸引口を形成する覆い体が弾性押さえ部材に取り付けられ、覆い体の内部空間が吸引手段の吸引ポンプに連通されている請求項1に記載の分断装置。
- 弾性押さえ部材の先端を幅をもたせた平面に形成して、スクライブラインの上面近傍を面接触で接するようにした請求項1〜3に記載の分断装置。
- 前記弾性押さえ部材は硬質材で形成され、スプリングにより脆性材料基板に向かって付勢されている構成とした請求項1〜4に記載の分断装置。
- 前記弾性押さえ部材は、少なくともその一部が弾力性を有する材料で形成されている請求項1〜4に記載の分断装置。
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