JP2018058353A - 折割分断方法及び折割分断装置 - Google Patents

Abstract

【課題】スクライブ後の分断時に発生してガラス表面に飛び散り、ガラス板に付着する微細片カレットの当該飛び散りを防止する折割分断方法及び折割分断装置を提供すること。【解決手段】折割分断装置１は、ガラス板３の折割分断予定のスクライブ線２域に、超音波ミスト発生装置１７により発生したミストを噴霧、吹き付けるミスト噴出口１５と、スクライブ線２域に噴霧、吹き付けた噴霧ミストを吸引回収する噴霧ミスト吸引口１８とを備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス板、ガラス基板、炭化珪素基板及びシリコン基板等の脆性材料板の折割分断方法及び折割分断装置に関する。

本発明は、また、前工程においてスクライブ線が形成されたガラス板、ガラス基板、炭化珪素基板及びシリコン基板等の脆性材料板の搬入を受け、スクライブ線に沿って脆性材料板を折割分断する方法及び折割分断装置に係る。

脆性材料板からなる製品を生産する方法においては、スクライブ線が形成された脆性材料板を、スクライブ線の下方で支点支持した状態で、スクライブ線外域を上部から押下げて、スクライブ線に沿って折割、分離する方法が一般的である。

特許第４４４９０８４号公報

ところで、斯かる従来の折割、分断方法においては、曲げ割り時に微細片カレットが発生し、発生した微細片カレットが飛散し、この飛散した微細片カレットは、脆性材料板の表面に付着し、この付着した微細片カレットは、後工程に不具合をもたらす虞が有る。

本発明は、斯かる観点に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、スクライブ後の分断時に発生してガラス表面に飛び散り、ガラス板に付着する微細片カレットの当該飛び散りを防止する折割分断方法及び折割分断装置を提供することにある。

本発明の折割分断方法は、超音波発生機により発生させたミスト（微細液滴）を脆性材料板のスクライブ線域に噴霧して、当該ミストをスクライブ線域に吹き付けながら、スクライブ線において脆性材料板の折割分断を行う。

また、本発明の折割分断方法は、超音波発生機により発生させたミスト（微細液滴）を脆性材料板のスクライブ線域に噴霧して吹き付けると共に噴霧、吹き付けられたミストを吸引回収しながらスクライブ線において脆性材料板の折割分断を行う。

本発明の折割分断装置は、脆性材料板の折割分断予定のスクライブ線域に、超音波発生装置により発生したミスト（微細液滴）を噴霧、吹き付けるミスト噴出口と、スクライブ線域に噴霧、吹き付けた噴霧ミストを吸引回収する噴霧ミスト吸引口とを備えている。

本発明によれば、折割分断予定のスクライブ線域を、超音波発生装置により発生噴出の噴霧ミストによりウェット（湿潤）状態とし、かつ覆うため、折割分割において発生する微細片カレットの飛散が防止され、発生した微細片カレットがミストと共に回収されるため脆性材料板の表面への付着が防止される。

図１は、本発明に係るガラス板の折割分断方法及び折割分断装置の一実施例の説明図であり、図２のＩ−Ｉ線矢視断面説明図である。 図２は、図１に示す一実施例の平面図である。

図１及び図２において、本発明に係る一実施例の折割分断装置１は、上面にスクライブ線２が形成された脆性材料板としてのガラス板３を水平に支持し、搬送方向Ａに直線搬送を行うコンベア装置４と、ガラス板３の搬送方向Ａに平行に設けられた折割装置５とを備えている。

本例では、スクライブ線２は、搬送方向Ａにおけるガラス板３の一縁から搬送方向Ａにおけるガラス板３の他縁まで直線的に伸びてガラス板３の上面に形成されている。

ガラス板３を水平に支持して搬送方向Ａに直線搬送するようになっているコンベア装置４は、ガラス板３を水平に支持して回走により搬送方向Ａに当該ガラス板３を直線搬送する複数本の無端ベルト６と、無端ベルト６を回走させる駆動装置７とを具備しており、各無端ベルト６は、複数の支持体８の夫々に水平に回走自在に架設支持されている。

コンベア装置４の一方の側域９においてコンベア装置４に沿って設けられている折割装置５は、搬送方向Ａにおけるガラス板３の一縁から搬送方向Ａにおけるガラス板３の他縁までのガラス板３のスクライブ線２を下から支持する支持バー１０と、支持バー１０の上方において支持バー１０に平行して設けられたミスト噴霧装置１１と、ミスト噴霧装置１１に隣設されてミスト噴霧装置１１に平行して設けられた噴霧ミスト吸引装置１２と、支持バー１０に平行して設けられていると共に支持バー１０の外側域１３において支持バー１０及びガラス板３に対して上方域に設けられた折割バー１４とを備える。

ミスト噴霧装置１１は、ミスト（微細液滴）を下方に噴出させるミスト噴出口１５を下端に備え設けたミスト噴出口体１６と、ミスト噴出口体１６に接続された複数の超音波ミスト発生装置１７とを備える。

ミスト噴霧装置１１は、ミスト噴出口体１６において架設フレーム３１にブラケット３２を介して取付けられている。

ガラス板３の上方の必要高さ位置において配されていると共に搬送方向Ａにおけるスクライブ線２の全長に渡って開口しているミスト噴出口１５は、支持バー１０に向ってかつ支持バー１０に沿って開口している。

噴霧ミスト吸引装置１２は、搬送方向Ａにおけるスクライブ線２の全長に渡って開口している噴霧ミスト吸引口１８を下端に備えているミスト吸引口体１９と、ミスト吸引口体１９に複数のダクト２０を介して接続された集じん装置２１とを備えており、噴霧ミスト吸引口１８は、ミスト噴出口１５に平行して並設されている。

噴霧ミスト吸引口１８もまた、ガラス板３の上面に向ってかつ支持バー１０の全長に渡って、換言すれば、スクライブ線２の全長に渡って開口している。

噴霧ミスト吸引装置１２は、ミスト吸引口体１９において架設フレーム３１にブラケット３２を介して取付けられている。

支持バー１０は、昇降装置２２を介して基台フレーム２３に取付けられており、昇降装置２２の作動で昇降動作を行う。搬送されてきたガラス板３が折割域に達し、位置決め停止されると、支持バー１０は、昇降装置２２の作動で上昇して、ガラス板３の折割予定のスクライブ線２の位置を下から支持する。

折割バー１４もまた、昇降装置２４を介してコンベア装置４の上方に架設のフレーム２５に取付けられており、昇降装置２４の作動で昇降動作を行う。搬送されてきたガラス板３が折割域に達し、位置決め停止されると、折割バー１４は、昇降装置２４の作動で下降して、この降下によってガラス板３を下向に押し、支持バー１０を支点として、ガラス板３を押し曲げしてガラス板３をスクライブ線２から折割分断する。

折割装置５の下方には、折割分断されたカレット２６を受け、カレット２６の斜め滑り落下を案内する斜受け台２８と、斜受け台２８のカレット２６を受けるポッパー２７とが設けられている。

折割分断装置１では、折割分断予定のスクライブ線２が予め上面に形成されたガラス板３を、当該スクライブ線２をコンベア装置４の側域に位置させて搬送方向Ａに平行とし、かつ折割装置５の支持バー１０に合せた姿勢でコンベア装置４に搬入し、コンベア装置４の作動で斯かる姿勢のガラス板３を搬送方向Ａに搬送し、搬送後、ガラス板３を折割装置５域で位置決め停止させる。ガラス板３が位置決め停止されると、支持バー１０が上昇、停止され、上昇、停止された支持バー１０は、ガラス板３のスクライブ線２の下をスクライブ線２に沿って支持する。と同時に、超音波ミスト発生装置１７により発生されたミストがミスト噴出口１５を介してスクライブ線２域のガラス板３に上から噴霧当てされる。

スクライブ線２域のガラス板３は、噴霧ミストによってウェット状態となり、かつスクライブ線２域は、噴霧ミストで覆われた状態になり、この状態において、折割バー１４が降下され、降下された折割バー１４は、スクライブ線２下を支持している支持バー１０を支点としてガラス板３を押圧曲げし、スクライブ線２において折割分断する。

折割分断により発生するカレット２６と共に発生する微細片カレットは、ウェット膜と噴霧ミストの覆いとにより周囲への飛散が抑えられ、噴霧ミスト中につつまれ混った微細片カレットは、その噴霧ミストと共に噴霧ミスト吸引口１８に吸引され、ミスト吸引口体１９、ダクト２０を通って集じん装置２１に回収、除去される結果、折割済後の製品となるガラス板３への微細片カレットの付着が防止される。

１ 折割分断装置
２ スクライブ線
３ ガラス板
４ コンベア装置
５ 折割装置

Claims (3)

1. 超音波発生機により発生させたミスト（微細液滴）を脆性材料板のスクライブ線域に噴霧して、当該ミストをスクライブ線域に吹き付けながら、スクライブ線において脆性材料板の折割分断を行う折割分断方法。
2. 超音波発生機により発生させたミスト（微細液滴）を脆性材料板のスクライブ線域に噴霧して吹き付けると共に噴霧、吹き付けられたミストを吸引回収しながらスクライブ線域において脆性材料板の折割分断を行う折割分断方法。
3. 脆性材料板の折割分断予定のスクライブ線域に、超音波ミスト発生装置により発生したミスト（微細液滴）を噴霧、吹き付けるミスト噴出口と、スクライブ線域に噴霧、吹き付けた噴霧ミストを吸引回収する噴霧ミスト吸引口とを備えた折割分断装置。
   

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