TWI778113B - 脆性材料基板之傾斜型分斷裝置及分斷方法 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種脆性材料基板之傾斜型分斷裝置及分斷方法，其於脆性材料基板之分斷步驟時，可藉由分斷台以3軸同時動作來分斷脆性材料基板，而防止由分斷之脆性材料基板之切割面上可能產生之破裂或波紋現象所引起之不良。本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置包括：上部單元（100），其具有旋轉部（110）；中間單元（200），其具有升降支持部（210）、及與上述升降支持部（210）之側部結合之升降部（220）；以及下部單元（300），其具有平板片（320）、及於上述平板片（320）之下部於長邊方向移動之長邊方向移動部（310）。

Description

脆性材料基板之傾斜型分斷裝置及分斷方法
本發明係關於一種脆性材料基板之傾斜型分斷裝置及分斷方法者，更詳細而言，係關於一種於脆性材料基板之分斷步驟時，分斷台以3軸同時動作而將脆性材料基板分斷之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置及分斷方法。
通常，於玻璃基板等脆性材料基板中，為了對基板進行分斷加工，於基板上沿著分斷預定線而形成刻劃線後，通過分斷（breaking）步驟而將基板分斷。
於基板上形成刻劃線之方法中，有藉由絞刀輪等之機械性加工或藉由雷射束之照射之非接觸式加工方法。
另外，於基板上沿著分斷預定線而形成刻劃線後，為了將基板完全分斷而進行分斷步驟，基板之分斷方法中有：使用輥（roller）或推動器（pusher）等，對基板施加衝擊之接觸式方法；以及使用雷射或蒸汽（steam）等，將基板加熱後使其冷卻之非接觸式方法。
但，於將如OLED（organic light emitting diode，有機發光二極體）玻璃或者薄板玻璃之類之脆性材料基板分斷時，產生由切割面之破裂或波紋現象所引起之不良，存在脆性材料基板之生產良率下降，生產品質下降之問題。 [現有技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]韓國公開公報第2014-0018504號
[發明所欲解決之問題]
因此，本發明係為了消除如上所述之要求而提出者，其目的為提供一種脆性材料基板之傾斜型分斷裝置及分斷方法，其於脆性材料基板之分斷步驟時，可藉由分斷台以3軸同時動作來分斷脆性材料基板，而防止由分斷之脆性材料基板之切割面上可能產生之破裂或波紋現象所引起之不良。 [解決問題之手段]
為達成上述目的，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置包括：上部單元（100），其具有旋轉部（110）；中間單元（200），其具有升降支持部（210）、及與上述升降支持部（210）之側部結合之升降部（220）；以及下部單元（300），其具有平板片（320）、及於上述平板片（320）之下部於長邊方向移動之長邊方向移動部（310）。
另外，於本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中，上述旋轉部（110）進一步包括：具有複數個台之分離台（111）、使上述分離台（111）旋轉之旋轉驅動構件（113）、以及將上述分離台（111）與上述旋轉驅動構件（113）連結之連結托架（112）。
另外，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中，上述分離台（111）進一步包括吸附空氣之複數個貫通孔。
另外，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中，上述升降部（220）進一步包含：複數個傾斜板（222）；傾斜軌道（223），其位於上述傾斜板（222）之傾斜面上；複數個傾斜軌道移動構件（224），其沿著上述傾斜軌道（223）而移動；升降驅動構件（221），其位於上述傾斜板（222）之間且驅動上述傾斜軌道移動構件（224）；以及升降蓋（225），其與上述傾斜軌道移動構件（224）連結；並且於上述升降驅動構件（221）之驅動時，上述升降蓋（225）藉由上述傾斜軌道移動構件（224）而上升下降。
另外，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中，上述長邊方向移動部（310）進一步包含：複數個軌道移動構件（313），其與上述平板片（320）之下部連結；複數個軌道（312），其為使上述軌道移動構件（313）移動，而沿著長邊方向坐落；長邊方向驅動構件（311），其沿著長邊方向而位於上述軌道（312）之間且驅動上述軌道移動構件（313）；以及棒型托架（314），其兩端相互向相反方向彎曲，一端與上述長邊方向驅動構件（311）連結，另一端與上述平板片（320）連結；並且於上述長邊方向驅動構件（311）驅動時，與上述軌道移動構件（313）及上述棒型托架（314）之另一端連結之上述平板片（320）可沿著長邊方向而移動。
另外，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中，進一步包含按壓單元（400），其具有：支持部（410），其具有隔開預先決定之間隔而坐落之複數個高度方向支持台（411）、及將上述高度方向支持台（411）連結之水平方向支持台（412）；以及按壓部（420），其具有位於上述水平方向支持台（412）之預先決定之區域之按壓軸構件（421）、及與上述按壓軸構件（421）之一側連結而上升下降之按壓棒構件（422）；並且依序結合之上述上部單元（100）、上述中間單元（200）、及上述下部單元（300）係隔開預先決定之間隔而隔離，位於上述按壓單元（400）之下部。
另外，為達成上述目的，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法包括：第1階段，使分離台（111）、以及隔開預先決定之間隔而與上述分離台（111）相向之固定台（600）維持水平；第2階段，於維持水平之上述分離台（111）及上述固定台（600）上安置脆性材料基板（500）；第3階段，使旋轉部（110）之旋轉軸（θ）之中心位於第1脆性材料基板（510）與第2脆性材料基板（520）之間之刻劃線之中心下表面；以及第4階段，按壓構件（400）之按壓棒構件（422）下降而按壓上述第2脆性材料基板（520）之上部面，將上述第2脆性材料基板（520）固定於上述固定台（600）上。
另外，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法進一步包括第5階段，藉由以上述旋轉軸（θ）為中心而旋轉之旋轉部（110）、於高度方向上升下降之升降部（220）、及沿著長邊方向而移動之長邊方向移動部（310）同時動作，將上述分離台（111）從上述固定台（600）上分離，從而使上述第1脆性材料基板（510）與上述第2脆性材料基板（520）之間之刻劃線完全分斷。
另外，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法進一步包含第5階段，藉由以上述旋轉軸（θ）為中心而旋轉之旋轉部（110）、於高度方向上升下降之升降部（220）、及沿著長邊方向而移動之長邊方向移動部（310）中之一個以上進行動作，將上述分離台（111）從上述固定台（600）上分離，從而使上述第1脆性材料基板（510）與上述第2脆性材料基板（520）之間之刻劃線完全分斷。
另外，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法於上述第2階段中，於上述分離台（111）及上述固定台（600）上安置上述脆性材料基板（500）時，從上述分離台（111）之複數個貫通孔及上述固定台（600）之複數個貫通孔中吸附空氣，從而於上述分離台（111）及上述固定台（600）上固定上述脆性材料基板（500）。 [發明之效果]
依據本發明，於脆性材料基板之分斷步驟時，藉由分斷台以3軸同時動作來分斷脆性材料基板，從而具有可防止由所分斷之脆性材料基板之切割面上可能產生之破裂或波紋現象所引起之不良的效果。
本發明可加以多樣之變換，可具有多種實施例，於圖式中例示出特定之實施例，欲藉由詳細之說明而詳細說明。但是，其並非針對特定之實施方式來限定本發明，應理解為具有本發明之思想及技術範圍中所含之全部變換、均等物或代替物者。
第1、第2等用語可用於對多樣之構成要素進行說明，但上述構成要素不受上述用語所限定。上述用語僅出於將1個構成要素與其他構成要素加以區別之目的而使用。
本說明書中使用之用語僅用於對特定之實施例進行說明，並未意圖限定本發明。單數之表述只要於文脈上並非明顯不同之含義，則包含複數個之表述。本說明書中，「包含」或「具有」等用語欲指定說明書中所記載之特徵、數字、階段、動作、構成要素、組件或者將該等組合而成者之存在，應理解為未預先排除一個或其以上之其他特徵或數字、階段、動作、構成要素、組件或將該等組合而成者之存在或者附加可能性者。
另外，對本發明進行說明時，於針對相關之公知技術之具體說明被判斷為可能會不必要地模糊本發明之要旨之情形時，省略其詳細說明。
以下，參照相關圖式，對本發明之實施例進行詳細說明。
圖1之（a）及圖1之（b）係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置之整體構成的立體圖，圖2係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置之分解狀態的分解立體圖。
參照從正面看之圖1之（a）以及從後面看之圖1之（b）、及圖2，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置（1000）包括上部單元（100）、中間單元（200）、及下部單元（300）。
即，上部單元（100）、中間單元（200）、及下部單元（300）依序連結而形成脆性材料基板之傾斜型分斷裝置（1000）。
此處，上部單元（100）具有旋轉部（110）。
另外，中間單元（200）具有升降支持部（210）、及與該升降支持部（210）側部結合之升降部（220）。
另一方面，下部單元（300）具有平板片（320）、及於該平板片（320）之下部於長邊方向移動之長邊方向移動部（310）。
如上所述之上部單元（100）、中間單元（200）、及下部單元（300）係參照圖（圖3～圖5），進而詳細地說明。
繼而，圖3係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中的上部單元之分解狀態的分解立體圖。
參照圖3，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置（1000）之旋轉部（110）進一步具有：具有複數個台之分離台（111）、使分離台（111）旋轉之旋轉驅動構件（113）、以及將分離台（111）與旋轉驅動構件（113）連結之連結托架（112）。
例如，本實施例中，考慮到脆性材料基板（500）之大小，而使用3個台來形成分離台（111），但並不限定於此，根據脆性材料基板（500）之大小而形成適當之分離台（111）。
另外，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置（1000）中，分離台（111）進一步具有吸附空氣之複數個貫通孔（未圖示）。
即，分離台（111）視需要通過複數個貫通孔而進行空氣之吸附。藉此，安置於分離台（111）上之脆性材料基板（500）固定於分離台（111）上。
另一方面，分離台（111）於內部形成有可執行空氣之吸附的空壓部（圖示省略），或者可利用嘴等，與位於外部之空壓部連結來執行空氣之吸附。
此種分離台（111）係藉由連結托架（112）而與旋轉驅動構件（113）連結，旋轉驅動構件（113）之驅動時之分離台（111）係於旋轉軸（θ）方向旋轉。
繼而，圖4係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中的中間單元之分解狀態的分解立體圖。
參照圖4，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置（1000）之升降部（220）具有傾斜板（222）、傾斜軌道（223）、傾斜軌道移動構件（224）、升降驅動構件（221）、及升降蓋（225）。
此處，傾斜板（222）具有複數個，相互隔開既定之間隔而形成於底板（圖示省略）上。
傾斜軌道（223）係沿著傾斜板（222）之傾斜面而坐落。
此時，複數個傾斜軌道移動構件（224）係沿著傾斜軌道（223）而移動，此種傾斜軌道移動構件（224）係由升降驅動構件（221）所驅動。
此種升降驅動構件（221）位於複數個傾斜板（222）之間。
升降蓋（225）係與傾斜軌道移動構件（224）連結，於升降驅動構件（221）之驅動時，升降蓋（225）藉由傾斜軌道移動構件（224）而上升下降。
即，藉由此種升降部（220）之上升下降動作，分離台（111）執行上升下降動作。
繼而，圖5係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中的下部單元之分解狀態的分解立體圖。
參照圖5，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置（1000）之長邊方向移動部（310）具有軌道移動構件（313）、軌道（312）、長邊方向驅動構件（311）、及棒型托架（314）。
此處，軌道移動構件（313）具有複數個，此種軌道移動構件（313）之上表面係與平板片（320）之下部連結。
軌道（312）係為了使軌道移動構件（313）移動，而沿著長邊方向坐落。此時，複數個軌道（312）係相互隔開預先決定之間隔而隔離。其係取決於分離台（111）之大小者，於分離台（111）之大小較大之情形時，複數根軌道（312）之間之預先決定之間隔大，於分離台（111）之大小較小之情形時，複數根軌道（312）之間之預先決定之間隔小。
同樣，平板片（320）之大小亦根據分離台（111）之大小而形成為預先決定之大小。
長邊方向驅動構件（311）係驅動軌道移動構件（313），且位於軌道（312）之間。
棒型托架（314）係兩端向相互相反方向彎曲而形成，此種棒型托架（314）之一端係與長邊方向驅動構件（311）連結，棒型托架（314）之另一端係與平板片（320）連結。棒型托架（314）係將平板片（320）與長邊方向驅動構件（311）連結之托架，此種棒型托架（314）係由長邊方向驅動構件（311）所驅動。
若更詳細說明，則下部單元（300）之長邊方向移動部（310）係為了使上部單元（100）之分離台（111）於長邊方向移動而動作。為此，平板片（320）係與軌道移動構件（313）之上表面、及棒型托架（314）之另一端分別連結。
因此，於長邊方向驅動構件（311）進行驅動時，與軌道移動構件（313）及棒型托架（314）之另一端連結之上述平板片（320）可沿著長邊方向而移動。
長邊方向驅動構件（311）係位於複數個軌道（312）之間，包括使軌道移動構件（313）前進及後退之伺服馬達。
如上所述，棒型托架（314）係由長邊方向之驅動構件（311）所驅動。此時，與棒型托架（314）之另一面連結之平板片（320）係於長邊方向驅動構件（311）之驅動時，與棒型托架（314）一併驅動。
另外，長邊方向驅動構件（311）之驅動時之軌道移動構件（313）係沿著軌道（312）而於長邊方向移動。此時，與軌道移動構件（313）之上表面連結之平板片（320）係與長邊方向驅動構件（311）之驅動時之軌道移動構件（313）一併驅動。
另一方面，於棒型托架（314）之另一面及軌道移動構件（313）之上表面，連結有平板片（320）。
藉由此種構造，長邊方向驅動構件（311）進行驅動時之平板片（320）係沿著長邊方向而執行前進及後退動作。
另外，與平板片（320）連結之上部構件（100）之分離台（111）亦可沿著長邊方向而執行前進及後退動作。
如上所述，分離台（111）係藉由長邊方向移動部（310）而沿著長邊方向來執行前進或後退動作。另外，分離台（111）係藉由升降部（220）而沿著高度方向來執行升降或下降動作。
繼而，圖6係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中的按壓單元之分解狀態的分解立體圖。
參照圖6，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置（1000）進一步具有按壓單元（400）。
此種按壓單元（400）具有支持部（410）、及按壓部（420）。
此處，支持部（410）具有高度方向支持台（411）、及水平方向支持台（412）。
高度方向支持台（411）為複數個，係隔開預先決定之間隔而隔離來坐落。
水平方向支持台（412）將如上所述隔離而坐落之複數個高度方向支持台（411）於水平方向連結。
另一方面，按壓部（420）具有按壓軸構件（421）、及按壓棒構件（422）。
此處，按壓軸構件（421）係位於水平方向支持台（412）之預先決定之區域。
按壓棒構件（422）係與按壓軸構件（421）之一側連結而上升下降。
即，按壓軸構件（421）係執行使按壓棒構件（422）可上升下降之軸台的作用。
如上所述，依序結合之上部單元（100）、中間單元（200）、及下部單元（300）係隔開預先決定之間隔而隔離，位於按壓單元（400）之下部。
繼而，參照圖7至圖10，對本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法進行說明。
首先，圖7係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法之第1階段的圖。
參照圖7，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法係於使分離台（111）、及隔開預先決定之間隔而與分離台（111）相向之固定台（600）維持水平之狀態下，於維持水平之分離台（111）及固定台（600）上安置脆性材料基板（500）。
此處，脆性材料基板（500）係基板間（例如第1脆性基板（510）與第2脆性基板（520）之間）之裂紋（crack）形成約80%左右之狀態之脆性材料。於執行分斷步驟之前，脆性材料基板（500）向分斷台（111）搬送時，可能產生基板間之完全分斷。此時，可能產生脆性材料之剖面被刮擦之碎屑（chipping）不良，故而於脆性材料基板（500）向分斷台（111）之搬送時不產生完全分斷。
另外，脆性材料基板（500）為了安置於分離台（111）、及固定台（600）上，必須成為利用分離台（111）之複數個貫通孔及固定台（600）之複數個貫通孔來分別吸附空氣而固定之狀態。
繼而，圖8係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法之第2階段的圖。
參照圖8，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法係使旋轉部（110）之旋轉軸（θ）之中心位於第1脆性材料基板（510）與第2脆性材料基板（520）之間之刻劃線之中心下表面。
例如，使旋轉軸（θ）之中心位於作為前方（front）脆性材料基板之第1脆性材料基板（510）、與作為後方（rear）脆性材料基板之第2脆性材料基板（520）的切割面即刻劃線之中心，即中心之下表面。
繼而，圖9係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法之第3階段的圖。
參照圖3，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法為：按壓構件（400）之按壓棒構件（422）下降而按壓第2脆性材料基板（520）之上部面，將第2脆性材料基板（520）固定於固定台（600）上。
如上所述，按壓棒構件（422）下降而按壓第2脆性材料基板（520）之上部面之原因在於，當將第1脆性材料基板（510）從第2脆性材料基板（520）上完全分斷時，防止第2脆性材料基板（520）往上部浮起之現象。即，藉由按壓棒構件（422）按壓第2脆性材料基板（520），第2脆性材料基板（520）完全固定於固定台（600）上。藉此，於第2脆性材料基板（520）不往上部浮起之狀態下，第1脆性材料基板（510）從第2脆性材料基板（520）上完全分斷。
最後，圖10係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法之第4階段的圖。
參照圖4，本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法係藉由以旋轉軸（θ）為中心而旋轉之旋轉部（110）、於高度方向上升下降之升降部（220）、及沿著長邊方向而移動之長邊方向移動部（310）同時動作，將分離台（111）從固定台（600）上分離，從而使第1脆性材料基板（510）與第2脆性材料基板（520）之間之刻劃線完全分斷。
即，藉由長邊方向移動部（310）而沿著長邊方向移動之動作、藉由升降部（220）而上升下降之動作、及藉由旋轉部（110）而旋轉之動作同時執行，藉此，第1脆性材料基板（510）可從第2脆性材料基板（520）上完全分斷。
當然，根據脆性材料基板（500）之特性，以旋轉軸（θ）為中心而旋轉之旋轉部（110）、於高度方向上升下降之升降部（220）、及沿著長邊方向而移動之長邊方向移動部（310）中之一個以上進行動作，第1脆性材料基板（510）亦可從第2脆性材料基板（520）上完全分斷。
如上所述，依據本實施例，於脆性材料基板之分斷步驟時，藉由分斷台以3軸同時動作而將脆性材料基板分斷，可防止由分斷之脆性材料基板之切割面上可產生之破裂或波紋現象所引起之不良。
以上說明僅為對本發明之技術思想進行例示性說明者，若為於本發明所屬之技術領域中具有通常知識之人員，則可於不脫離本發明之本質性特性之範圍內進行多種修正及變形。因此，本發明所揭示之實施例並非用以限定本發明之技術思想者，而是用以說明者，並不藉由上述實施例來限定本發明之技術思想之範圍。本發明之保護範圍應根據以下之申請範圍來解釋，處於其同等之範圍內之所有技術思想應解釋為包含於本發明之權利範圍中者。
100‧‧‧上部單元110‧‧‧旋轉部111‧‧‧分離台112‧‧‧連結托架113‧‧‧旋轉驅動構件200‧‧‧中間單元210‧‧‧升降支持部220‧‧‧升降部221‧‧‧升降驅動構件222‧‧‧傾斜板223‧‧‧傾斜軌道224‧‧‧傾斜軌道移動構件225‧‧‧升降蓋300‧‧‧下部單元310‧‧‧長邊方向移動部311‧‧‧長邊方向驅動構件312‧‧‧軌道313‧‧‧軌道移動構件314‧‧‧棒型托架320‧‧‧平板片400‧‧‧按壓單元410‧‧‧支持部411‧‧‧方向支持台412‧‧‧水平方向支持台420‧‧‧按壓部421‧‧‧按壓軸構件422‧‧‧按壓棒構件500‧‧‧脆性材料基板1000‧‧‧脆性材料基板之傾斜型分斷裝置
圖1（a）及（b）係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置之整體構成的立體圖。 圖2係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置之分解狀態的分解立體圖。 圖3係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中的上部單元之分解狀態的分解立體圖。 圖4係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中的中間單元之分解狀態的分解立體圖。 圖5係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中的下部單元之分解狀態的分解立體圖。 圖6係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置中的按壓單元之分解狀態的分解立體圖。 圖7係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法之第1階段的圖。 圖8係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法之第2階段的圖。 圖9係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法之第3階段的圖。 圖10係表示本發明之一實施例之脆性材料基板之傾斜型分斷方法之第4階段的圖。
1000‧‧‧脆性材料基板之傾斜型分斷裝置
100‧‧‧上部單元
200‧‧‧中間單元
300‧‧‧下部單元
400‧‧‧按壓單元

Claims (9)

  1. 一種脆性材料基板之傾斜型分斷裝置，其包括：上部單元(100)，其具有旋轉部(110)；中間單元(200)，其具有升降支持部(210)、及與上述升降支持部(210)之側部結合之升降部(220)；以及下部單元(300)，其具有平板片(320)、及於上述平板片(320)之下部於長邊方向移動之長邊方向移動部(310)；上述升降部(220)進一步包含：複數個傾斜板(222)；傾斜軌道(223)，其位於上述傾斜板(222)之傾斜面上；複數個傾斜軌道移動構件(224)，其沿著上述傾斜軌道(223)而移動；升降驅動構件(221)，其位於上述傾斜板(222)之間，且驅動上述傾斜軌道移動構件(224)；以及升降蓋(225)，其與上述傾斜軌道移動構件(224)連結；並且於上述升降驅動構件(221)之驅動時，上述升降蓋(225)係藉由上述傾斜軌道移動構件(224)而上升下降。
  2. 如申請專利範圍第1項之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置，其中上述旋轉部(110)進一步包括：分離台(111)，其具有複數個台；旋轉驅動構件(113)，其使上述分離台(111)旋轉；以及連結托架(112)，其將上述分離台(111)、與上述旋轉驅動構件(113)連結。
  3. 如申請專利範圍第2項之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置，其中上述分離台(111)進一步包含吸附空氣之複數個貫通孔。
  4. 如申請專利範圍第1項之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置，其中於上述長邊方向，移動部(310)進一步包含：複數個軌道移動構件(313)，其與上述平板片(320)之下部連結；複數個軌道(312)，其係為使上述軌道移動構件(313)移動而沿著長邊方向坐落；長邊方向驅動構件(311)，其沿著長邊方向而位於上述軌道(312)之間，來驅動上述軌道移動構件(313)；以及棒型托架(314)，其一端與上述長邊方向驅動構件(311)連結，另一端與上述平板片(320)連結；並且於上述長邊方向驅動構件(311)驅動時，與上述軌道移動構件(313)及上述棒型托架(314)之另一端連結之上述平板片(320)可沿著長邊方向而移動。
  5. 如申請專利範圍第1項之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置，其中進一步包含按壓單元(400)，其具有：支持部(410)，其具有隔開預先決定之間隔而坐落之複數個高度方向支持台(411)、及將上述高度方向支持台(411)連結之水平方向支持台(412)；以及按壓部(420)，其具有位於上述水平方向支持台(412)之預先決定之區域之按壓軸構件(421)、及與上述按壓軸構件(421)之一側連結而上升下降之按壓棒構件(422)；並且依序結合之上述上部單元(100)、上述中間單元(200)、及上述下部單元(300)係隔開預先決定之間隔而隔離，位於上述按壓單元(400)之下部。
  6. 一種脆性材料基板之傾斜型分斷方法，其使用請求項1之脆性材料基板之傾斜型分斷裝置，包括： 第1階段，使分離台(111)、及與上述分離台(111)隔開預先決定之間隔而相向之固定台(600)維持水平；第2階段，於維持水平之上述分離台(111)及上述固定台(600)上安置脆性材料基板(500)；第3階段，使上述旋轉部(110)之旋轉軸(θ)之中心位於第1脆性材料基板(510)與第2脆性材料基板(520)之間之刻劃線之中心下表面；以及第4階段，按壓構件(400)之按壓棒構件(422)下降，按壓上述第2脆性材料基板(520)之上部面，將上述第2脆性材料基板(520)固定於上述固定台(600)上。
  7. 如申請專利範圍第6項之脆性材料基板之傾斜型分斷方法，其中進一步包含第5階段，藉由上述旋轉部(110)、上述升降部(220)、及上述長邊方向移動部(310)同時動作，將上述分離台(111)從上述固定台(600)上分離，從而使上述第1脆性材料基板(510)與上述第2脆性材料基板(520)之間之刻劃線完全分斷。
  8. 如申請專利範圍第6項之脆性材料基板之傾斜型分斷方法，其中進一步包含第5階段，藉由上述旋轉部(110)、上述升降部(220)、及上述長邊方向移動部(310)之一個以上進行動作，將上述分離台(111)從上述固定台(600)上分離，從而使上述第1脆性材料基板(510)與上述第2脆性材料基板(520)之間之刻劃線完全分斷。
  9. 如申請專利範圍第6項之脆性材料基板之傾斜型分斷方法，其中於上述第2階段中，於上述分離台(111)及上述固定台(600)上安置上述脆性材料基板(500)時，利用上述分離台(111)之複數個貫通孔及上述固定台(600)之複數個貫通孔而吸附空氣，於上述分離台(111)及上述固定台(600)上固定 上述脆性材料基板(500)。
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