WO2009107794A1

WO2009107794A1 - 平面表示パネル用マザー基板の分離装置及び分離方法

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Publication number: WO2009107794A1
Application number: PCT/JP2009/053725
Authority: WO
Inventors: 秀明船田; 浩昭吉村
Original assignee: 三星ダイヤモンド工業株式会社
Priority date: 2008-02-29
Filing date: 2009-02-27
Publication date: 2009-09-03
Also published as: JPWO2009107794A1; TWI419852B; KR101171875B1; CN101959813A; CN101959813B; TW200946469A; KR20100118981A; JP5178814B2

Abstract

　本発明に係る平面表示体マザー基板の分離装置は、１枚の前記平面表示体パネルを吸引して固定する複数のテーブルと、複数のテーブルの一部を、その他のテーブルに対して相対的に、平面表示体パネルの主面上の少なくとも一軸方向に移動する移動装置とからなる。ここで、平面表示体パネルには、製品サイズのパネル片に分離するためのスクライブラインが形成されている。複数のテーブルの上に１枚の平面表示体パネルを固定した状態で移動装置による少なくとも一軸方向への移動により、隣接する複数のパネル片の間の不要部材を切り離し可能である。これにより、パネル片に疵をつけることなく、パネル片の間の不要部材を確実に切り離す。

Description

平面表示パネル用マザー基板の分離装置及び分離方法

　本発明は、スクライブ（及びブレイク）済みの平面表示体パネルから製品サイズのパネル片を分離するための分離装置および分離方法に関する。

　図１は、液晶表示用パネル、ＰＤＰパネル、ＬＣＯＳパネルなどを含む平面表示体パネル（マザー基板）から製品サイズのパネル片への分断の過程を示す。図１の（Ａ）と（Ｂ）の平面図と側面図に示すように、平面表示体パネルＷでは、上下のガラス板の間に設けたシールＺで、上下のガラス板を相互に接合すると共に、このシールＺで囲まれたギャップに注入口ＰＩから液晶を注入する。こうして、平面表示体パネルＷには、６個のパネル片ｗが形成される。この平面表示体パネルＷから６個のパネル片ｗを分離するために、上下のガラス板表面においてパネル片ｗの周囲にスクライブ装置によってスクライブが施されている。

　図１中の（Ｃ）は、スクライブした個所をブレイク装置にてブレイクした様子を示す。この後、（Ｄ）に示すように、分離装置に移送し、そのテーブル上で不要部材Ｑ１～Ｑ３を除去することで最終的に６つのパネル片ｗを得る。下側のガラス板（ＴＦＴ基板）にある突出部Ｕは、ＴＦＴを含む回路のための電極が形成されるための端子となる個所である。上側のガラス板はＣＦ（カラーフイルタ）を含むＣＦ基板である。

　図１の（Ｄ）でわかるように、縁部の不要部材Ｑ１及びＱ３については、ロボットなどによって、上方から衝撃力を与えることにより簡単に除去される。しかし、中抜きの不要部材Ｑ２の場合には、下側ガラス板（ＴＦＴ基板）の端子Ｕが突き出ているため、同じような方法では除去できず、その除去には手間がかかった。

　なお、平面表示体パネルを反転させれば、中抜きの不要部材も不都合なく除去を簡単に行える。しかし、表示面側であるＣＦ基板が下側になるため、そのＣＦ基板に疵がつくといった問題が生じ、また、次工程へ移送する際に、パネルを反転させる必要があり、工程数が増えることになった。

　特開平１１－１１６２６０号公報には、高浸透用のカッターホイールやレーザ光の照射等によって板ガラスの厚さ方向に深いクラック（スクライブライン）が形成された液晶パネルのマザーガラス基板を、真空吸着が可能な１枚の除材テーブル（例として図１５の除材部Ｚ２）に載置し、搬送ロボット（反転ロボット４５）により液晶パネルのマザー基板からクラックに沿って製品サイズのパネル片を分離させる分離装置が開示されている。この分離装置では、スクライブ後に除材テーブルＺ２に載置されたマザー基板から搬送ロボットにより複数のパネル片が順次、次工程へ搬送され、その際にパネル片相互が順次分離される。しかし、全てのパネル片が搬送された後の除材テーブルに多数の不要な端材が残され、これらを新たなマザー基板の加工の度に細かいカレットと共に除材テーブル上から全て完全に除去する作業が必要であり、生産効率向上の大きな障害となっていた。

　また、ブレイクテーブルは、特定のサイズのマザーガラス基板にあわせて形成されるので、マザーガラス基板のサイズが変更されると、ブレイクテーブルの新設や改造を要求される場合があり、生産効率の向上の点で障害となっていた。

さらに、マザーガラス基板１枚あたりの製品パネル取り数が変更した場合には、搬送ロボット等の設置位置や動作プログラムを変更する必要があり、生産効率の向上の点で障害となっていた。

　本発明は、パネル片に疵をつけることなく、不要部材を容易に除去できる分離装置を提供することを目的とする。

　さらに、本発明は、平面表示体パネルの１枚あたりの製品パネル取り数が変更したり平面表示体パネルＷのサイズが変更された場合に、容易にこれらに対応して分離工程を効率化することを目的とする。

　本発明に係る平面表示体マザー基板の分離装置は、製品サイズのパネル片に分離するためのスクライブラインが形成された平面表示体パネルから前記各パネル片を分離するための分離装置である。この分離装置は、１枚の前記平面表示体パネルを吸引して固定する複数のテーブルと、前記複数のテーブルの一部を、その他の前記テーブルに対して相対的に、前記平面表示体パネルの主面上の少なくとも一軸方向に移動する移動装置とからなる。ここで、前記複数のテーブルの上に１枚の前記平面表示体パネルを固定した状態で前記移動装置による前記少なくとも一軸方向への移動により、隣接する複数の前記パネル片の間の不要部材を切り離し可能である。

　前記分離装置は、好ましくは、さらに、前記平面表示体パネルの主面上の１軸方向に延びたガイド軸と、前記ガイド軸と係合し、前記複数のテーブルの少なくとも一部をそれぞれ前記ガイド軸の軸線に沿って移動可能に支持する支持体と、前記支持体を前記ガイド軸の軸線に沿って搬送する搬送装置とを具備する。

　前記分離装置において、好ましくは、前記複数のテーブルの少なくとも一部は、それぞれ、テーブルベースと、前記テーブルベースの上に載置され、前記平面表示体パネルを吸引して固定する吸引固定テーブルとからなり、前記移動装置は、前記複数のテーブルベースの一部を、その他の前記テーブルベースに対して相対的に移動する第１装置と、前記複数の吸引固定テーブルの一部を、その他の前記吸引固定テーブルに対して相対的に移動する第２装置との少なくとも一方からなる。ここで、前記複数の吸引固定テーブルの上に１枚の前記平面表示体パネルを吸引して固定した状態における前記第１装置または第２装置による前記移動により、隣接する複数の前記パネル片の間の不要部材を切り離し可能である。

　前記分離装置において、好ましくは、さらに、前記平面表示体パネルの主面上の１軸方向に延びたガイド軸と、前記ガイド軸と係合し、前記複数のテーブルベースの少なくとも一部をそれぞれ前記ガイド軸の軸線に沿って移動可能に支持する支持体と、前記支持体を前記ガイド軸の軸線に沿って搬送する搬送装置とを具備する。

　前記分離装置において、好ましくは、前記複数のテーブルの少なくとも一部は、隣接するテーブルを相互に結合する結合機構を備える。

　前記分離装置において、好ましくは、前記複数のテーブルは、２次元的に配置される。

　本発明に係る分離方法は、製品サイズのパネル片に分離するためのスクライブラインが形成された平面表示体パネルを前記各パネル片に分離するための分離方法である。この分離方法において、前記平面表示体パネルに形成された前記複数のパネル片を複数のテーブルの上に吸引して固定し、次に、前記複数のテーブルの一部を、その他の前記テーブルに対して相対的に、前記平面表示体パネルの主面上の少なくとも一軸方向に移動する。これにより、当該方向に隣接する複数の前記パネル片の間隔が広がることにより前記複数のパネル片の間の不要部材が切り離される。

　前記分離方法において、好ましくは、前記平面表示体パネルのサイズおよび／または１枚あたりのパネル取り数に応じて、前記複数のテーブルを、前記平面表示体パネルのパネル片を吸引固定可能な位置に移動する。

　前記分離装置において、好ましくは、前記平面表示体パネルの各パネル片は、ＴＦＴ基板とその上に重ねられたＣＦ基板とからなり、前記ＴＦＴ基板を下側に、前記ＣＦ基板を上側にして分離作業を行う。

　本発明では、テーブルに平面表示体パネルを固定した状態で、固定式のテーブルに対し、可動式のテーブルを移動させてテーブル相互間を離すようにしたので、パネル片間の不要材などが自動的に切り離されて自重で落下するため、各テーブルには、製品サイズのパネル片のみが得られる。この方式であれば、表示側となるＣＦ基板を上側にした状態で（つまりＣＦ基板に疵を付けることなく）、分離作業を行える。
　本発明では、分離の対象となる平面表示体パネルのマザー基板についてサイズ（世代表示される規格サイズを含む）や１枚あたりのパネル取り数が分離工程中で変更された場合に、その段取り変えを自動化し高速化することができる。

平面表示体パネルから製品サイズパネル片への分離の過程を示した斜視図本発明の第１の実施形態の分離装置の正面図本発明の第１の実施形態の分離装置の平面図本発明の第１の実施形態の分離装置の正面図本発明の第１の実施形態における分断動作を示した斜視図本発明の第２の実施形態の分離装置とその上に載置した平面表示体パネルの図本発明の第２の実施形態の分離装置のテーブルユニットの正面図本発明の第２の実施形態の分離装置とその上に載置した平面表示体パネルの斜視図本発明の第２の実施形態の分離装置の正面図

　以下に添付の図面を参照して発明の実施の形態を説明する。図面において、同一の部材については共通の符号を付している。
　まず、本発明の分離装置の加工対象について説明する。液晶表示用パネル、ＰＤＰパネル、ＬＣＯＳパネルなどを含む平面表示体パネル（マザー基板）には、製品サイズの複数のパネル片が形成されている。図１の（Ａ）と（Ｂ）の平面図と側面図に示すように、平面表示体パネルＷでは、上下のガラス板の間に設けたシールＺで、上下のガラス板を相互に接合すると共に、このシールＺで囲まれたギャップに注入口ＰＩから液晶を注入する。図示した平面表示体パネルＷの１例では、６個のパネル片ｗが形成されている。パネル片ｗは、この例では突出部を持っている。平面表示体パネルＷから６個のパネル片ｗを分離するために、上下のガラス板表面においてパネル片ｗの周囲にスクライブ装置によってスクライブが施されている。ここで、平面表示体パネル用のマザー基板の分断工程で、垂直クラックが基板の厚みの８０％以上の深さまで形成させることが可能な高浸透性のスクライブ用ホイール刃先（以下、単に刃先と記載）を用いた場合には、簡素化されたブレイク装置によるブレイク工程が採用され、また、マザー基板の厚みが従来の主流であった０．７～０．４ミリ以下の厚みの場合には、ブレイク工程を採用せずとも高浸透性の刃先によるスクライブ工程で、基板の裏側にまで到達する垂直クラックの形成が可能である。こうした場合は、「フルボディカット」と呼ばれ、マザー基板を反転させてからスクライブラインに沿ってブレイクさせるといった大掛かりなブレイク工程は不要である。また、レーザを照射して上記同様に「フルボディカット」の垂直クラックの形成が可能である。以下の実施の形態では、上記のフルボディカットされた平面表示体パネル用のマザー基板を分離の対象として説明を行う。

〔第１の実施形態〕
　図２は、本発明の第１の実施形態の分離装置の正面図である。各テーブルは、（Ｔ１－Ｔ１'）（Ｔ２ａ－Ｔ２ａ'）（Ｔ２ｂ－Ｔ２ｂ'）（Ｔ３－Ｔ３'）のごとく、下側のテーブルベースＴ１'、Ｔ２ａ'、Ｔ２ｂ'、Ｔ３'と上側の吸着固定テーブルＴ１、Ｔ２ａ、Ｔ２ｂ、Ｔ３とからなる２層構造となっている。上側の吸着固定テーブルＴ１、Ｔ２ａ、Ｔ２ｂ、Ｔ３はそれぞれ下側のテーブルベースＴ１'、Ｔ２ａ'、Ｔ２ｂ'、Ｔ３'に対して図中左右方向（Ｘ軸方向とする）に移動自在に設けられている。また、これらの上側の吸着固定テーブルには、平面表示体パネルＷを吸引固定するための吸着固定装置が備えられる。吸着固定テーブルＴ１～Ｔ３は、吸着が必要な位置のテーブルについて吸着動作を行わせることができる。

　図２に示される３個のテーブルが一列に配置されている状態で、各々のテーブル（Ｔ１－Ｔ１'）、（Ｔ３－Ｔ３'）は、垂直方向に配置される２基の支持板１１ａ、１１ｂにより支持される。両側のテーブルベースＴ１'およびＴ３'を支持する支持板１１ａの所定部にエアシリンダ２１が固定され、エアシリンダ２１のシリンダ軸２２は“コ”の字形状をなし、その他端が吸着固定テーブルＴ１およびＴ３の側縁に結合している。この機構により、吸着固定テーブルＴ１およびＴ３は、エアシリンダ２１の駆動により、それぞれ、左側（矢印ａ方向）と右側（矢印ｂ方向）とにスライドして移動する。吸着固定テーブルＴ２ａとＴ２ｂは、互いに結合したり結合を解除したりする結合機構３０によって結合されている。

　水平方向の２本のガイド軸１３が２つの側板１４の間に配置され、テーブルベースＴ１'、Ｔ２ａ'、Ｔ２ｂ'およびＴ３'を支持する支持板１１および１１ａは、水平な２本のガイド軸１３により、ガイド軸１３に沿って移動可能に支持される。支持板１１および１１ａはブッシュ１２によりガイド軸１３に取り付けられ、ブッシュ１２に配設されたロックピンＰにより固定される。取り付け基部には、さらに、各テーブルをガイド軸１３に沿って随意の位置に移動させロックさせることができる搬送ロック機構１９がそれぞれ配設できる。この場合、搬送ロック機構１９がロック機構を有するので、前述したブッシュ１２に配設されたロックピンＰを省略できる。そして、側板１４の下端には台座２３が固定され、それらの台座２３は、ガイドレール２４に沿ってこの紙面と鉛直方向に移動可能となっている。

　図３に示す分離装置では、以上の構成からなる３つのテーブルからなるユニットＵ１の背後にこれと同じユニットＵ２が位置される。ユニットＵ２の一方の側板１４の所定部にエアシリンダ２５が取り付けられており、そのエアシリンダ２５のシリンダ軸２６の他端部がユニットＵ１側の側板１４に結合される。（ユニットＵ１のみが用いられる場合は、エアシリンダ２５は不要である。）たとえばユニットＵ２を半固定にして、エアシリンダ２５を作動させると、ユニットＵ１がガイドレール２４に沿って矢印ｃ方向（Ｙ軸方向）に移動する。

　図３は、テーブルが６個の場合を示すが、図４はテーブルを４個（紙面奥側の２個は図示を省略）にしたときの正面図を示す。この場合、図２において１つのテーブルを構成していた２つの吸着固定テーブルＴ２ａおよびＴ２ｂは、分離されて、結合機構３０によって吸着固定テーブルＴ１およびＴ３にそれぞれ結合されている。そのため、吸着固定テーブルＴ１の移動時には吸着固定テーブルＴ２ａと一体になって移動し、また、吸着固定テーブルＴ３の移動時には吸着固定テーブルＴ２ｂと一体になって移動する。

　テーブルを６個としたときの分離動作を図５を用いて説明する。ここで、平面表示体パネルのサイズおよび／または１枚あたりのパネル取り数に応じて、複数のテーブルを、平面表示体パネルのパネル片を吸引固定可能な位置に移動する。この例では、平面表示体パネルＷの１枚あたりの製品パネル取り数が４枚から６枚に変更するものとして以下に説明する。なお、平面表示体パネルＷのサイズの変更はないものとする。

　テーブルを、図４に示した４個の配列から図２および図３に示した６個の配列へ変更する動作を説明する。まず、図４に示した下部のテーブルベースＴ２ａ'およびＴ２ｂ'を支持する各支持板１１の搬送ロック機構１９を駆動して吸着固定テーブルＴ２ａとＴ２ｂを水平軸１３に沿って移動させ、図２に示したように、吸着固定テーブルＴ２ａとＴ２ｂを結合機構３０によって結合する。次いで、図３に示したエアシリンダ２５を駆動しシリンダ軸２６を介してユニットＵ１とユニットＵ２の間隔を調整する。これにより、各パネル片ｗ１～ｗ６が各テーブル上に位置するよう、各テーブルの位置が決定される。次いで、図５の（ａ）のごとく、６個のテーブル上にスクライブ済みの平面表示体パネルＷ（図１参照）を載置する。そして、各テーブルに平面表示体パネルＷを吸引固定する。この状態では、平面表示体パネルＷは、下側のＴＦＴ基板とその上に重ねられたＣＦ基板とからなり、図１に示されるようにスクライブが施された状態である。スクライブラインは、上側表面と下側表面に形成されている。

　そしてユニットＵ１およびＵ２における両側の吸着固定テーブルＴ１およびＴ３をエアシリンダ２１（図２）の駆動により、それぞれ矢印ａ、矢印ｂ方向（平面表示体パネルの主面上の一軸方向）に数ミリ程度移動させる。これにより、外側のパネル片ｗ１、ｗ２、ｗ５、ｗ６が中央の２つのパネル片ｗ３、ｗ４に対し離れる方向に移動するため、パネル片間の不要な中抜き材Ｑ２がパネル片から切り離され、自重で落下する。

　次に、図５の（ｂ）に示すように、エアシリンダ２５（図３）の駆動により、ユニットＵ１を矢印ｃ方向（平面表示体パネルの主面上の他の一軸方向）に数ミリ程度移動させる。これにより、パネル片ｗ２、ｗ４、ｗ６がパネル片ｗ１、ｗ３、ｗ５に対し離れる方向に移動するため、今度はパネル片間の不要な中抜き材Ｑ２'がパネル片から切り離され、自重で落下する。この分離方式であれば、パネル片が突出部をもっていても、表示側となるＣＦ基板を上側にした状態でＣＦ基板に疵を付けることなく、分離作業を行える。

　周縁部の切取材Ｑ１の切り離しは従来と同じように行えばよいが、上述の動作で自然に切り離されて落下するようになる。テーブルが４個の場合の動作も上述の動作と同じであり、各テーブルにはパネル片ｗのみが残る。各テーブルにおける吸引固定動作が解除されると、それらのパネル片ｗは別の搬送機などによってストックなどへ搬送される。

　このように、平面表示体パネルＷの１枚あたりの製品パネル取り数が変更した場合に、Ｘ軸およびＹ軸方向における吸着固定テーブルの分離・結合および移動を手動操作にたよることなく自動化できるようになったので、各テーブルの位置変更が高速かつ精確に行える。
　また、パネル片間の相対距離が大きくなるようにテーブルを移動させることにより、パネル片の分離のみならず、パネル片の間に位置する端材までも除材可能となる。

　本実施形態では、図３において、ユニットＵ２を固定し、ユニットＵ１を矢印ｃ方向へ移動させたが、ユニットＵ１およびユニットＵ２を互いに反対方向に移動可能な構成としてもよい。また、本実施形態では、テーブルの数が６個（結合により４個）であったが、より多くのテーブルまたは、より多くのユニット数を有するシステムにおいて適用することができる。

　本実施形態では、平面表示体パネルＷのサイズを変更することなく、平面表示体パネルＷの１枚あたりの製品パネル取り数が４枚から６枚に変更される例を説明したが、平面表示体パネルＷのマザーパネルとしてのサイズが変更された場合であっても、同様に各テーブルを移動させて適正位置に配列できるようユニットＵ１、Ｕ２の全長やｃ方向（Ｙ軸方向）における可動範囲を設定して装置の大きさを決定すれば容易に対応できることはあきらかである。

　本実施形態では、全てのテーブルベースを可動式としたが、たとえば、ユニットＵ１およびユニットＵ２におけるテーブルベースＴ１'のみを固定式として他のテーブルベースを可動式としてもよい。

　本実施形態では、ユニットＵ１およびユニットＵ２におけるテーブルベースＴ２ａ'およびＴ２ｂ'をＸ軸方向において結合および分離が可能としたが、Ｙ軸方向において結合および分離が可能としてもよい。

　ガイド軸機構は、軸線方向からみて全ての軸線が１つの傾斜面に沿って位置するように設けた２本の水平軸１３を具備するので、不要部材Ｑ２を水平軸１３に停留させることなくシュータ１５に導くことができる。さらに、水平軸１３の上位置にエアーを吹き出すための吹き出し口を設けることにより、より精確にシュータ１５に導くことができる。

〔第２の実施形態〕
　図６～図９を用いて本発明の第２の実施形態を説明する。
　第２の実施形態では、各テーブルを水平軸１３に沿って移動させる搬送ロック機構１９が省略された点および吸着固定テーブルＴ１～Ｔ３をテーブルベースＴ１'～Ｔ３'上で移動させるエアシリンダ２１が省略され、吸着固定テーブルＴ１～Ｔ３がテーブルベースＴ１'～Ｔ３'と一体になった点で第１の実施形態と異なる。第１の実施形態では、マザー基板の寸法が変更されたり、パネル片の寸法が変更されたりした場合に、各テーブルの配置位置が自動的に変更されるように構成されているが、第２の実施形態では、作業者が手動で各テーブルの位置を変更したりしなければならないが、装置を大幅に簡略にできる。

　図６の斜視図に示すように、第２の実施形態による分離装置は、たとえば、６個のテーブルからなり、各テーブルは、これらのテーブル上に載置される平面表示体パネルＷの各パネル片ｗに対応して位置決めされている。なお、中央のテーブルは２台の幅狭のテーブルＴ２ａ、Ｔ２ｂが合体したものである。各テーブルは、テーブル位置に載置されているパネル片を各テーブル上に吸引させて保持させる吸着固定テーブルＴ１～Ｔ３が前述したテーブルベースＴ１'～Ｔ３'（図示省略）と一体に形成されている。吸着固定テーブルＴ１～Ｔ３は、吸着が必要な位置のテーブルについて吸着動作を行わせることができる。

　図７は、図６中の矢印方向から見た正面図を示している。図７では手前の１ユニットを示すが、背後のユニットも同様な構造になっている。テーブルＴ１（他のテーブルについても同じ）から下方に向く支持板１１に設けられた２個のブッシュ１２に、２本の水平なガイド軸１３が貫通しており、テーブルＴは、ロックピンＰによって水平軸１３に沿って随意の位置にロックすることができる。ガイド軸１３自身は両側の側板１４に固定される。テーブルの下方には、上記切り抜き片などの端材を受け取るためのシュータ１５が設けられている。

　図８は、平面表示体パネルＷから４つのパネル片ｗを得る場合を示す。この場合は、図９で示すように、幅狭のテーブルＴ２ａ、Ｔ２ｂは分割され、それぞれ隣のテーブルＴ１、Ｔ３と合体される。なお、左端に示した側板１４からわかるように、２本の水平軸１３は上下方向だけでなく互いに左右方向にずれて位置する。各テーブル上にスクライブ工程でフルボディカットされたマザー基板が載置されると、マザー基板の周辺の脱落しやすい端材は各小テーブルの間から自重によりシュータ１５内へ落下する。

　本発明は、実施の形態により説明されたが、これは本発明を制限するものではない。他の実施形態や変形も可能であることは当業者にとって明らかである。

Claims

製品サイズのパネル片に分離するためのスクライブラインが形成された平面表示体パネルから前記各パネル片を分離するための分離装置において、
１枚の前記平面表示体パネルを吸引して固定する複数のテーブルと、
前記複数のテーブルの一部を、その他の前記テーブルに対して相対的に、前記平面表示体パネルの主面上の少なくとも一軸方向に移動する移動装置とからなり、
前記複数のテーブルの上に１枚の前記平面表示体パネルを固定した状態で前記移動装置による前記少なくとも一軸方向への移動により、隣接する複数の前記パネル片の間の不要部材を切り離し可能であることを特徴とする平面表示体マザー基板の分離装置。
さらに、前記平面表示体パネルの主面上の１軸方向に延びたガイド軸と、前記ガイド軸と係合し、前記複数のテーブルの少なくとも一部をそれぞれ前記ガイド軸の軸線に沿って移動可能に支持する支持体と、前記支持体を前記ガイド軸の軸線に沿って搬送する搬送装置とを具備する請求項１に記載の平面表示体マザー基板の分離装置。
　前記複数のテーブルの少なくとも一部は、それぞれ、テーブルベースと、前記テーブルベースの上に載置され、前記平面表示体パネルを吸引して固定する吸引固定テーブルとからなり、
　前記移動装置は、前記複数のテーブルベースの一部を、その他の前記テーブルベースに対して相対的に移動する第１装置と、前記複数の吸引固定テーブルの一部を、その他の前記吸引固定テーブルに対して相対的に移動する第２装置との少なくとも一方からなり、
前記複数の吸引固定テーブルの上に１枚の前記平面表示体パネルを吸引して固定した状態における前記第１装置または第２装置による前記移動により、隣接する複数の前記パネル片の間の不要部材を切り離し可能であることを特徴とする請求項２に記載の平面表示体マザー基板の分離装置。
　さらに、前記平面表示体パネルの主面上の１軸方向に延びたガイド軸と、前記ガイド軸と係合し、前記複数のテーブルベースの少なくとも一部をそれぞれ前記ガイド軸の軸線に沿って移動可能に支持する支持体と、前記支持体を前記ガイド軸の軸線に沿って搬送する搬送装置とを具備する請求項３に記載の平面表示体マザー基板の分離装置。
　前記複数のテーブルの少なくとも一部は、隣接するテーブルを相互に結合する結合機構を備えることを特徴とする請求項１～４のいずれかに記載の平面表示体マザー基板の分離装置。
　前記複数のテーブルは、２次元的に配置されることを特徴とする請求項１～５のいずれかに記載の平面表示体マザー基板の分離装置。
製品サイズのパネル片に分離するためのスクライブラインが形成された平面表示体パネルを前記各パネル片に分離するための分離方法において、
前記平面表示体パネルに形成された前記複数のパネル片を複数のテーブルの上に吸引して固定し、
次に、前記複数のテーブルの一部を、その他の前記テーブルに対して相対的に、前記平面表示体パネルの主面上の少なくとも一軸方向に移動して、当該方向に隣接する複数の前記パネル片の間隔が広がることにより前記複数のパネル片の間の不要部材が切り離される
平面表示体マザー基板の分離方法。
さらに、前記平面表示体パネルのサイズおよび／または１枚あたりのパネル取り数に応じて、前記複数のテーブルを、前記平面表示体パネルのパネル片を吸引固定可能な位置に移動する工程を具備する請求項７に記載の平面表示体マザー基板の分離方法。
前記平面表示体パネルの各パネル片は、ＴＦＴ基板とその上に重ねられたＣＦ基板とからなり、前記ＴＦＴ基板を下側に、前記ＣＦ基板を上側にして分離作業を行う請求項７または８に記載の平面表示体マザー基板の分離方法。