CN102057314B - 基板加工系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板加工系统，其能够取出按照预定的布局在母板上配置的单位显示面板，而且端子区域不会出现损伤。基板加工系统具有：划线装置控制部，其进行如下控制，在对包括端子区域的特定边界进行划线加工时，调整形成于特定边界的三个划线槽的深度，使与端子区域相对的位置的边角料区域留在特定位置；面板搬出装置控制部，在从母板取出单位显示面板时，按照预定的优先顺序来取出单位显示面板，以使边角料区域留在特定位置；和辅助切断装置，其对附着在特定位置的边角料区域沿特定方向施加弯曲力矩而将其分割，由此在端子宽度窄时也能够可靠地分离。

Description

基板加工系统
技术领域
本发明涉及对形成有多个单位显示面板的母板(mother board，也称为粘贴基板、粘贴母板)进行分割，逐个取出单位显示面板的基板加工系统。具体地讲，本发明的基板加工系统用于液晶显示面板等制造工序中。 
背景技术
制造液晶显示面板用的母板是将图案形成有多个彩色滤光片(color filter)的一侧的第一基板(也称为CF侧基板)、和图案形成有多个TFT及端子区域的一侧的第二基板(也称为TFT侧基板)，隔着封入了液晶的密封部件进行粘贴而形成的。此时，第二基板被粘贴成为使其形成有TFT及端子区域的基板面成为与第一基板的接合面。 
第二基板的端子区域由于是在TFT和外部设备之间连接信号线的区域，所以需要露出。因此，在将母板分割为每个单位显示面板时，把与端子区域相对的第一基板(CF侧基板)的部位作为边角料去除。具体地讲，沿着与连接有TFT的一侧为相反侧的端子区域的外侧端分割第二基板侧，在从端子区域的外侧端向内侧进去安装信号线所需要的宽度(端子宽度)的位置处分割第一基板。由此，把与端子区域相对的第一基板的部位作为边角料去除。 
通常在将母板分割为每个单位显示面板的工序中，采用使用切刀轮的分割方法。在这种情况下，分别针对构成母板的两张基板(CF侧基板和TFT侧基板)，将切刀轮压靠在各基板的预定分割位置上，由此在各个基板上刻出划线槽。然后，沿着划线槽施力进行切断(机械切断)或者施加加热蒸汽进行切断(蒸汽切断)，由此将母板彻底分割为每个单位显示面板。并且，利用搬出机器人(基板搬出装置)将分割后的一个一个的单位显示面板输送到后续工序。 
已经公开了对母板的上下两面同时进行这些一系列的基板加工，不需将基板翻转即可进行加工的基板加工系统(基板分割系统)和基板加工方法(参照专利文献1、专利文献2)。根据这些文献，利用上下一对的切刀轮从上下方向同时对母板的两面 进行划线。然后，利用蒸汽切断装置或者滚轮切断装置同时对两面进行切断，分割为每个单位显示面板。将这样形成的单位显示面板逐个取出并输送到后续工序。 
另外还公开了如下内容(参照专利文献3)，在从母板取出液晶显示面板的搬运臂(基板搬出装置)的缘部设置蒸汽发生器和推压装置，由此进行二次切断。根据该文献还公开了如下内容，在针对上下两面的划线以及一次切断(蒸汽切断)之后，在通过搬运臂将液晶显示面板取出之前，使搬运臂的蒸汽发生器和推压装置进行动作，使周边的虚设(dummy)玻璃同时从液晶显示面板在上下两面完全分离。 
另一方面，在该文献中没有提及这种二次切断是否能够适用于端面不齐的端子区域。 
在液晶显示面板中，近年来越来越要求大画面化，为此也要求单位显示面板的大面积化。并且，在将一个母板分割来形成多个单位显示面板时，基板的一部分作为边角料被废弃，所以也要求减少被废弃的边角料的量，有效利用母板。因此，当在母板上形成彩色滤光片(CF)、TFT、端子区域时，需要考虑基板布局使形成于邻接的单位显示面板之间的边角料区域达到最小。 
图18、图19是表示抑制了边角料产生量的液晶显示面板用母板的基板布局示例的图(平面图、主视图、右视图)。母板采用将第一基板G1(CF侧基板)和第一基板G2(TFT侧基板)粘贴的构造。在这些示例中，在母板上配置有合计8个单位显示面板U。其中，图18(a)中的母板被配置为在邻接的两条边的周缘形成有端子区域T的二端子面板。图18(b)中的母板被配置为在三条边的周缘形成有端子区域T的三端子面板。图18(c)中的母板被配置为在一条边的周缘形成有端子区域T的单端子面板。并且，图19中的母板被配置为在四条边的周缘形成有端子区域T的四端子面板。形成有端子区域T的边的数量根据单位显示面板U中包含的像素数而选择。 
在上述的基板布局中，第二基板G2(TFT侧基板)被配置为使各个单位显示面板U相互直接相接，以便与邻接的单位显示面板U之间不会产生边角料。因此，针对第二基板G2，只有母板的外周部分产生边角料。另一方面，第一基板(CF侧基板)在母板U的外周部分和与第二基板G2的端子区域T相对的区域都产生边角料。在图18、图19中利用阴影线表示成为边角料的部分。 
在此，分析图18所示的单端子面板、二端子面板、以及三端子面板。图20是 表示邻接的单位显示面板的局部截面的示意图。在这些基板布局中将单位显示面板U1、U2配置成为，在至少一对邻接的单位显示面板U1、U2之间，使一个单位显示面板U1中的端子区域T的外侧端面L1(只是第二基板G2的端面)、与另一个单位显示面板U2中未设置端子区域T的非端子面L2(第一基板G1和第二基板G2是同一端面)相接。另外，在图18中利用标记“○”表示处于这种关系的单位显示面板的边界的具体示例(具体情况将在后面叙述，在本说明书中称为特定边界)。 
在分割母板时，在上述的单位显示面板U1与单位显示面板U2的边界(特定边界)处加工三个划线槽，由此形成两个切割面。即，沿着单位显示面板U2侧的非端子面L2，针对第二基板G2和第一基板G1，以使各个基板的端面对齐的方式形成划线槽(第二划线槽、第三划线槽)。把通过该划线槽而形成的一个切割面称为全切割面Ca。全切割面Ca是将单位显示面板U1和单位显示面板U2完全分离的面。在距离全切割面Ca为端子宽度Wa(图18)的位置(第一基板G1中与单位显示面板U1的端子区域T的内侧端相对的位置)，只在第一基板G1侧形成有划线槽(第一划线槽)。把通过该划线槽而形成的切割面称为端子切割面Cb。端子切割面Cb是为了露出端子区域T的端子面而被分割的切割面。并且，在全切割面Ca与端子切割面Cb之间的第一基板G1产生边角料E。 
图21是表示对图20所示的单位显示面板U1、单位显示面板U2、边角料E进行划线加工和切断处理后的三种分离状态的图。 
在图21(a)中，表示边角料E从单位显示面板U1、U2完全分离，单位显示面板U1、U2都直接成为合格品的分离状态。被分离成为这种状态的单位显示面板U1、U2被直接输送到后续工序中。 
图21(b)表示边角料E只从单位显示面板U1完全分离，而未从单位显示面板U2分离而附着在全切割面Ca侧的状态。此时，单位显示面板U1作为合格品被直接输送到后续工序中，而单位显示面板U2在进行将边角料E分离的追加切断处理使其成为合格品后被输送到后续工序中。 
图21(c)表示边角料E只从单位显示面板U2完全分离，而未从单位显示面板U1分离而附着在端子切割面Cb侧的状态。此时，单位显示面板U2作为合格品被直接输送到后续工序中，而单位显示面板U1在进行将边角料E分离的追加切断处理使其成为合格品后被输送到后续工序中。 
在实际的制造工序中，虽然调整基板加工系统使其尽可能地加工成为边角料E完全分离的状态(图21(a))，但是依旧会不定期地产生边角料E附着在全切割面Ca上的状态(图21(b))、或者边角料E附着在端子切割面Cb上的状态(图21(c))的情况。因此，无论是边角料E附着在全切割面Ca上的状态还是附着在端子切割面Cb上的状态，都需要进行追加切断处理使其成为合格品。 
关于这种情况时的切断处理(二次切断)，可以考虑适用利用蒸汽发生器和推压装置同时在两面将端面完全分离的方法(参照专利文献3)。但是，由于是适用于形成有台阶的端子区域，所以很难直接采用。例如，在针对边角料E附着在端子切割面Cb上的状态(图21(c))适用该方法时，不能利用推压装置按压边角料E，也不能直接向边角料E喷雾加热蒸汽，所以很难完全分离。 
因此，另外需要准备对应各个附着状态的两种切断机构，判定属于两种附着状态的哪种状态，并根据边角料E的附着状态来选择切断机构，进行追加的切断处理。 
另外还公开了如下的分割方法(参照专利文献4)，使边角料E始终附着在全切割面Ca上(图21(b))、或者使边角料E始终附着在端子切割Cb面上(图21(c))，在后面的工序中，使用单一种类的切断机构将边角料E可靠地分离。 
根据该文献记载的分割方法，在利用切刀轮(或者激光)进行划线加工时，首先对第一基板G1(CF侧基板)进行加工，然后进行上下翻转，对第二基板G2(TFT侧基板)进行加工。此时，例如如图22所示，以较强的按压力P1进行对第一基板G1的端子切割面Cb的划线。并且，以比P1弱的按压力P2进行针对第一基板G1的全切割面Ca的划线。再以较强的按压力P1进行针对第二基板G2的全切割面Ca的划线。通过这样区分强弱进行划线，能够调整划线槽的深度，在边角料E始终附着在全切割面Ca侧的状态下进行切断。其结果，只需准备一种切断机构，即可高效地去除边角料E。 
同样，当在使边角料E始终附着在端子切割面Cb侧的状态下进行切断的情况下，例如如图23所示，以较强的按压力P1进行针对第一基板G1的全切割面Ca的划线，另一方面以比P1弱的按压力P2进行针对第一基板G1的端子切割面Cb的划线加工。并且，以较强的按压力P1进行针对第二基板G2的全切割面Ca的划线。在这种情况下同样，只需准备一种切断机构，即可高效地去除边角料E。 
专利文献1：WO2005/087458号公报 
专利文献2：WO2002/057192号公报 
专利文献3：日本特开2007-183550号公报 
专利文献4：日本特开2008-56507号公报 
伴随母板的大面积化，在划线加工的中途很难将母板上下翻转。尤其是在各个基板的板厚Wt(参照图18)薄至1mm以下时(例如0.05～0.7mm)，基板容易开裂，所以期望避免基板翻转。因此，专利文献4记载的在加工中途将第一基板(CF侧基板)和第二基板(TFT侧基板)翻转来加工两侧基板的方法很难实现。由此，需要采用如不需要将基板翻转的专利文献1～专利文献3记载的、从上下方向进行基板加工的上下基板加工系统。 
在采用上下基板加工系统的情况下，在从母板取出单位显示面板时，由于基板支承装置和输送装置位于母板的下侧，所以通常单位显示面板是利用吸附垫朝母板上侧拉开而取出的(参照专利文献1～专利文献3)。 
可是，伴随单位显示面板的大面积化，要求相比以往进一步缩小作为端子区域露出的部分的宽度即端子宽度Wa(参照图18)。具体地讲，以前端子宽度Wa约是10mm，现在要求缩小到1mm～3mm左右。在变成这种基板布局的情况下，为了可靠地分离边角料，可以考虑采用专利文献4记载的在调整了划线槽的深度的状态下进行分割的分割方法(图22、图23)，之后再去除不需要的边角料。但是，在端子宽度Wa变小时，存在采用这种分割方法也不能成为合格品的情况。 
即，在边角料E附着在端子切割面Cb侧的状态下(参照图23)，边角料E与单位显示面板成为一体，以整体呈长方体的状态被切取，用于只把持边角料E的突出部分消失。并且，在端子宽度Wa变为1mm～3mm时，很难利用吸附垫只将边角料E拉开(参照专利文献2)。因此，一旦边角料E附着在端子切割面Cb侧，就很难将边角料E从端子切割面Cb分离，不得不作为不合格品废弃。 
另一方面，在边角料E附着在全切割面Ca侧的状态下(图22)，在端子宽度Wa变小的情况下，边角料E的一部分虽然仅有1mm也还是突出的，所以能够只把持该部分。并且，由于只针对边角料E施加进行分离所需要的剪切力或弯曲力矩，所以通过之后进行的追加的切断处理，能够将边角料E从全切割面Ca分离。 
根据以上所述，如果由大面积的母板加工缩小了端子区域的端子宽度Wa的单位显示面板，则期望使用不需要将基板翻转的上下基板加工系统，同时期望采用使边 角料E不会始终附着在端子切割面Cb侧(即使附着时也是附着在全切割面Ca侧)的基板加工方法(图22)。 
可是，在采用这种方法时会产生其他的问题。在边角料E附着在全切割面Ca侧的状态下，如图22(中间的图)所示，边角料E向全切割面Ca的外侧突出。此时，如果相比右侧的单位显示面板U2(图中利用阴影线表示的单位显示面板)，先将左侧的单位显示面板U1(图中利用单点划线表示的单位显示面板)取出，在想要将单位显示面板U1向第一基板G1侧拉开时，单位显示面板U1的端子区域与边角料E冲突而按压边角料E。此时，如果边角料E牢牢地附着在单位显示面板U2侧的全切割面Ca上，则有可能损伤端子区域。 
如前面所述，在上下基板加工系统中，通常单位显示面板是通过吸附垫向母板上侧拉开而被取出的，所以产生这种问题。 
发明内容
本发明的第一目的在于，提供一种能够稳定且可靠地取出在翻转困难的大面积母板上形成的单位显示面板的基板加工系统。 
并且，本发明的第二目的在于，提供一种基板加工系统，即使单位显示面板的端子区域的端子宽度窄时，也完全不会产生覆盖端子区域的部分的边角料附着在端子切割面侧的不合格品，使边角料完全分离，或者在万一未能完全分离的情况下，也能够事后可靠的去除边角料使其成为合格品。 
并且，本发明的第三目的在于，提供一种能够取出配置于母板上的单位显示面板而且不会损伤端子区域的基板加工系统。 
本发明的基板加工系统在对母板进行分割而取出单位显示面板时，假设即使不能将边角料区域从单位显示面板完全分离，也能够通过追加的切断处理将边角料区域可靠地分离。 
在本发明中，加工对象的母板具有第一基板和第二基板粘贴而成的构造。并且，形状分别相同而且呈方形的多个单位显示面板相互邻接地并排形成于母板上。 
方形的各个单位显示面板通过在四条边的周缘中的一条边的周缘、或者相邻的两条边的周缘或者三条边的周缘处，形成第二基板侧比第一基板侧突出的台阶，来设置端子区域。并且，在没有设置端子区域的其余的周缘处，形成有第一基板和第二基 板为同一端面的非端子面。并且，在第一基板的与端子区域相对的部位设有将从单位显示面板切除的边角料区域。 
另外，各个单位显示面板被配置为在与邻接的单位显示面板的至少一个的边界处，一个单位显示面板的端子区域和另一个单位显示面板的非端子面对接。把这种边界称为“特定边界”，以便与其他形式的边界区分。 
本发明的基板加工系统在将按照上述布局配置了单位显示面板的母板支承为使第二基板在上侧、第一基板在下侧的状态下，按照每个单位显示面板来分割母板并逐个取出单位显示面板，该基板加工系统包括以下所示的(a)～(e)的构成部分： 
(a)划线装置，其具有朝向第一基板的第一切刀轮和支承辊、及朝向第二基板的第二切刀轮，将第一切刀轮和第二切刀轮进行组合，或者将支承辊和第二切刀轮进行组合，从两侧压靠第一基板和第二基板而进行划线加工； 
(b)划线装置控制部，其对划线装置进行如下控制，在对特定边界(一个单位显示面板的端子区域和另一个单位显示面板的非端子面对接的边界)进行划线加工时，在端子区域对接侧的单位显示面板的第一基板与端子区域相对的部位的内侧端形成第一划线槽，在非端子面对接侧的单位显示面板的第二基板侧的非端子面上形成第二划线槽，在第一基板侧的非端子面上形成比所述第一划线槽及所述第二划线槽浅的第三划线槽； 
(c)面板搬出装置，其具有吸附部件，吸附经划线加工的单位显示面板的第二基板，将该单位显示面板从母板上取出； 
(d)面板搬出装置控制部，在取出隔着所述特定边界对接的一对单位显示面板时，相比于非端子面对接侧的单位显示面板，优先取出端子区域对接侧的单位显示面板；以及 
(e)辅助切断装置，其安装在面板搬出装置上，并具有钩部和推压装置，在边角料区域隔着第三划线槽附着在从母板取出的单位显示面板的第一基板侧的端部的情况下，将所述钩部挂在边角料区域上，同时按压所述推压装置，施加使第三划线槽扩展的方向的弯曲力矩，由此将边角料区域分割下来。 
根据本发明，首先划线装置控制部控制划线装置，由此进行母板的划线加工。在该划线加工中，在对一个单位显示面板的端子区域与另一个单位显示面板的非端子面对接的边界(特定边界)进行划线加工时，在端子区域对接侧的单位显示面板的第 一基板与端子区域相对的部位的内侧端形成第一划线槽。并且，在非端子面对接侧的单位显示面板的第二基板侧的非端子面形成第二划线槽。并且，在第一基板侧的非端子面形成比第一划线槽及第二划线槽浅的第三划线槽。这样，通过对加工的划线槽的深度设置差异，在边角料区域未能完全分离时，也能够使边角料区域附着在全切割面侧(第三划线槽的位置)，并在之后的切断处理中容易且可靠地分离边角料区域。即，在边角料区域未能完全分离的情况下，边角料区域也绝对不会附着在即使通过追加进行的切断处理也难以分离的端子切割面侧(第一划线槽的位置)。 
接着，面板搬出装置控制部控制面板搬出装置，由此使吸附部件吸附经划线加工的单位显示面板的第二基板，将该单位显示面板从母板上取出。此时，在取出隔着特定边界对接的一对单位显示面板时，使端子区域对接侧的单位显示面板比非端子面对接侧的单位显示面板优先取出。该优先顺序适用于形成在母板上的全部单位显示面板。由于配置为包含端子区域的第二基板侧位于上面，所以通过先将端子区域对接侧的单位显示面板向上方拉开，能够避免与边角料区域撞击，可以没有问题地取出单位显示面板。 
此时，边角料区域附着在邻接的单位显示面板的全切割面侧(第三划线槽的位置)，或者通过分离时的振动/冲击而从两侧的单位显示面板完全分离。 
然后，使安装在面板搬出装置上的辅助切断装置的钩部和推压装置进行动作。在从母板取出单位显示面板时，在边角料区域附着在单位显示面板的第一基板侧的端部(第三划线槽的位置)的情况下，将钩部挂在该边角料区域上，同时按压推压装置，施加使第三划线槽扩展的弯曲力矩，由此将边角料区域从单位显示面板分割下来。由此，将边角料区域完全切除。 
根据本发明的基板加工系统，即使是面积较大的母板，也能够稳定而且可靠地取出单位显示面板，而不需要使基板翻转。 
另外，即使在单位显示面板的端子区域的端子宽度变窄时，覆盖端子区域的部分的边角料区域也不会附着在端子切割面侧，能够从单位显示面板可靠地去除边角料区域。 
另外，在进行取出时能够使配置在母板上的全部单位显示面板不与边角料区域冲突，不会损伤端子区域。 
(用于解决课题的其他方案及效果) 
在上述发明中也可以是，划线装置控制部进行如下的划线控制：通过第一切刀轮与第二切刀轮的组合，先形成第一划线槽和第二划线槽，接着通过支承辊与第二切刀轮的组合，形成第三划线槽。 
即，在第一次的划线加工中先形成需要强力划线的第一划线槽(第一基板的端子切割面)和第二划线槽(第二基板的全切割面)。在第一次的划线加工中，不会在基板上产生应力，所以上述划线槽都形成得比较深。另外，在这种情况下，一对切刀轮不是以上下直线相对的状态进行压靠，而是在离开相当于端子宽度的长度的位置处进行压靠，因为端子宽度比较短，所以几乎没有影响。 
接着，在第二次的划线加工中，进行第三划线槽(第一基板的全切割面)的划线。在单位显示面板的情况下，用于粘贴上下基板的密封部件位于形成划线槽的位置的附近。当通过第一次划线在基板上形成了划线槽时，由于该密封部件的存在，在夹在该划线槽和密封部件之间的区域中产生压缩应力。并且，第二次的划线加工是在产生了该压缩应力的区域形成第三划线槽。因此，第三划线槽是在受到了压缩应力的状态下进行划线的，很难形成较深的划线槽，但是由于第三划线槽原本就是预定为比第一、第二划线槽较浅划线的划线槽，所以能够实现使第一、第二、第三划线槽成为理想槽深的加工。 
在上述发明中也可以是，在形成第三划线槽时，支承辊压靠于之前形成的第二划线槽的邻接位置。 
由此，不会损伤之前形成的第二划线槽，能够利用支承辊支承第二基板侧来形成第三划线槽。 
在上述发明中也可以是，还具有被设于划线装置和面板搬出装置之间的主切断装置，其在由辅助切断装置进行切断处理之前，预先对经划线加工的母板进行切断处理。 
能够利用主切断装置预先使划线槽深深地伸展，通过与辅助切断装置一起使用，能够更可靠地将边角料区域完全分割下来。 
在上述发明中也可以是，主切断装置由蒸汽切断装置和滚轮切断装置构成。 
利用这些装置，能够使针对正交的两个方向的划线槽进行切断的装置形成为紧凑式结构。 
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式的基板加工系统的整体结构的立体图。 
图2是图1所示的基板加工系统的A向立体图。 
图3是图1所示的基板加工系统的俯视图。 
图4是图3的B-B’剖面图。 
图5是图3的C-C’剖面图。 
图6是图3的D-D’剖面图。 
图7是图3的E-E’剖面图。 
图8是图3的F-F’剖面图。 
图9是表示图1所示的基板加工系统的控制系统的框图。 
图10是表示划线加工的基本步骤的流程图。 
图11是表示划线加工的加工工序的示意图。 
图12是表示沿Y方向对母板进行划线时的加工步骤的图。 
图13是表示沿X方向对母板进行划线时的加工步骤的图。 
图14是表示沿Y方向对母板进行划线时的加工步骤的流程图。 
图15是表示搬出机器人从母板中取出单位显示面板的顺序的图。 
图16是表示在从母板中取出的单位显示面板上附着的边角料的状态的图。 
图17是表示辅助切断装置的切断动作的图。 
图18是表示母板的基板布局的图(单端子面板、二端子面板、三端子面板)。 
图19是表示母板的基板布局的图(四端子面板)。 
图20是表示邻接的单位显示面板之间的局部截面的图。 
图21是表示邻接的单位显示面板之间的三种分离状态的图。 
图22是表示以往的母板的端子加工的图。 
图23是表示以往的母板的端子加工的图。 
标号说明 
1基板加工系统；20基板支承装置；30划线装置；50卡紧装置；60上部划线机构；70下部划线机构；80搬出机器人；85辅助切断装置；87钩部；88推压装置；90母板；100蒸汽切断装置；110滚轮切断装置；120基板搬出装置；Ca全切割面；Cb端子切割面；G1第一基板(CF侧基板)；G2第二基板(TFT侧基板)；E边角料 区域；T端子区域；U1单位显示面板(端子切割面面对边界)；U2单位显示面板(全切割面面对边界)；W1第一切刀轮；W2第二切刀轮；W3支承轮。 
具体实施方式
根据附图来说明本发明的一个实施方式的基板加工系统。该基板加工系统在液晶显示面板的制造工序中使用，用于将从前面工序搬运来的母板分割为每个单位显示面板，将分割后的单位显示面板逐个取出并输送到后面工序中。 
(基板加工系统) 
首先，说明基板加工系统的整体结构。 
图1是表示本发明的一个实施方式的基板加工系统1的整体结构的立体图。图2是图1所示的A向立体图(后面叙述的台架10除外)。图3是基板加工系统1的俯视图(后面叙述的框架11、支柱14除外)。图4是图3中的B-B’剖面图，图5是图3的C-C’剖面图，图6是图3的D-D’剖面图，图7是图3的E-E’剖面图，图8是图3的F-F’剖面图。 
在此，说明对沿X方向排列2列、沿Y方向排列4列单位显示面板而构成的母板90进行加工的情况。另外，在图中示出了在说明中使用的XYZ方向。 
首先，说明系统的整体构造。 
基板加工系统1从基板搬入侧1L朝向基板搬出侧1R沿Y方向输送母板90，并在输送途中进行划线加工和切断处理。 
母板90(粘贴基板)被放置为第二基板G2(TFT侧基板)在上侧，第一基板G1(CF侧基板)在下侧。 
基板加工系统1利用中空的台架10、主框架11、支柱14构成骨架结构。在台架10的上方配置有用于支承母板90的基板支承装置20。基板支承装置20由第一基板支承部20A和第二基板支承部20B构成。在第一基板支承部20A与第二基板支承部20B的中间位置配置有划线装置30。 
如图4(图3的B-B’截面)所示，第一基板支承部20A由沿X方向排列的5台支承单元21构成。第二基板支承部20B也是相同的结构。各个支承单元21分别在接近划线装置30的一侧被固定在台架10上。同步带在各个支承单元21的上表面循环移动，并与后面叙述的卡紧装置50联动来输送母板90。 
划线装置30设有上部导轨31和下部导轨32，在上部导轨31安装有被安装为能够沿X方向移动的上部划线机构60，在下部导轨32安装有被安装为能够沿X方向移动的下部划线机构70。 
如图5(a)(图3中的C-C’截面)所示，上部划线机构60由升降机构61、旋转机构62、和X轴驱动机构63构成。在升降机构61上沿Y方向并排安装有第二切刀轮W2和支承辊W3(参照图5(b))，第二切刀轮W2和支承辊W3独立升降。旋转机构62将第二切刀轮W2的刀口方向以及支承辊W3的按压方向在Y方向和X方向间切换。X轴驱动机构63调整第二切刀轮W2及支承辊W3的X方向的位置。并且，在进行X方向的划线加工时，X轴驱动机构63驱动第二切刀轮W2和支承辊W3。 
升降机构61及旋转机构62能够选择将第二切刀轮W2或者支承辊W3中的任意一方压靠在基板上，并且能够使移动方向朝向Y方向或者X方向。支承辊W3与后面叙述的第一切刀轮W1是成对使用的，在利用第一切刀轮W1只对下侧基板(第一基板)进行划线时，支承辊W3被用来按压上侧基板(第二基板)面。 
下部划线机构70由升降机构71、旋转机构72、和X轴驱动机构73构成。在升降机构71上安装有第一切刀轮W1，并使第一切刀轮W1升降。旋转机构72将第一切刀轮W1刀口方向在Y方向和X方向间切换。X轴驱动机构73调整第一切刀轮W1在X方向上的位置。并且，在进行X方向的划线加工时，X轴驱动机构73驱动第一切刀轮W1。 
关于划线加工的具体步骤将在后面进行说明。 
在基板支承装置20的基板搬入侧1L侧，按照图1或图2所示配置有卡紧母板90的基板搬入侧的端部(母板90的后端)的卡紧装置50。卡紧装置50由一对卡具51(51L、51R)、使卡具51升降的升降机构55(55L、55R)、和移动基座57构成，在将母板90卡紧的状态下沿Y方向移动。该卡紧装置50由线性电机机构58驱动。并且，该卡紧装置50在支承单元21的间隙中及下方移动，能够在将母板90卡紧的状态下使母板90的后端通过划线装置30。卡具51L和卡具51R将分别形成于母板90的左列的单位显示面板和右列的单位显示面板卡紧，在沿Y方向将基板中央分割后，卡具51L和卡具51R也能够按照各列来支承被左右分割的母板90并沿Y方向输送。 
在基板支承装置20的基板搬出侧1R，按照图6(图3中的D-D’截面)所示配置有蒸汽切断装置100，蒸汽切断装置100具有从上方向被输送过来的母板90吹送加热蒸汽的上部蒸汽单元101、和从下方向母板90吹送加热蒸汽的下部蒸汽单元102。实施划线加工后的母板90从蒸汽切断装置100吹送的加热蒸汽之间通过，由此母板90膨胀，并实施主要是针对母板的X方向的主动切断处理。蒸汽切断装置100能够借助线性电机机构130向Y方向移动。 
在蒸汽切断装置100的基板搬出侧1R的位置，按照图7(图3中的E-E’截面)所示配置有滚轮切断装置110，滚轮切断装置110使切断滚轮111～113沿着形成于基板上的Y方向的划线槽的邻接位置按压被输送过来的母板90，施加针对基板的Y方向的切断压力(弯曲力矩)来主动进行切断处理。滚轮切断装置110能够借助线性电机130向Y方向移动。使切断滚轮111～113的按压位置偏离划线槽的正上方，这是为了不对切割面造成损伤。另外，在X方向和Y方向都能够形成蒸汽切断装置，但是在这种情况下，需要另外安装沿着Y方向的蒸汽单元，所以与在Y方向使用滚轮切断装置时相比，系统的设置空间增大。 
蒸汽切断装置100及滚轮切断装置110是按照每个单位显示面板，将通过划线装置30对每个单位显示面板进行划线加工后的母板完全分割的装置，在通过这些装置的阶段，单位显示面板通常是在被完全分离为一个一个的单位显示面板，并且边角料区域也被完全分离的状态下被送出。但是，实际上一部分的单位显示面板有可能在边角料区域未被分离的状态下被送出。因此，为了防备这种情况，在后面的基板搬出装置中设置追加的切断装置(辅助切断装置)。 
在滚轮切断装置110的基板搬出侧1R的位置，按照图8(图3中的F-F’截面)所示配置有基板搬出装置120，用于从母板90逐个取出单位显示面板并输送到后续工序中。在基板搬出装置120设有上部导轨121，在上部导轨121上安装有能够沿X方向移动的搬出机器人80。基板搬出装置120能够借助线性电机130(图1)向Y方向移动。 
搬出机器人80具有：安装了吸附垫82的平板83；使平板83在XY面上旋转的旋转机构84；使平板83沿Z方向升降的升降机构85；和X轴驱动机构86。并且，搬出机器人80吸附从母板90分割形成的一个单位显示面板向上方拉开。然后，搬出机器人80进行以下动作，使向上方拉开的单位显示面板旋转并沿X轴方向移动，再 借助线性电机130向Y方向移动并逐个搬出。关于逐个取出母板90中包含的多个单位显示面板时的具体步骤，将在后面进行说明。搬出的单位显示面板被转交给后续工序(未图示)，进行后面的加工。 
在搬出机器人80的平板83上还设置有作为辅助切断装置140的钩部87和推压装置88，以便在正搬出的单位显示面板上附着有边角料E时，去除该边角料E。钩部87能够以被固定在平板83上的支承轴为中心进行转动，在通过吸附垫82将单位显示面板拉离母板时，钩部87绕到单位显示面板的下表面侧，与附着在单位显示面板端部的边角料接触。在钩部87与边角料接触时，推压装置88从上向下进行按压。关于由钩部87和推压装置88进行的边角料E的切断处理的具体步骤，将在后面进行说明。 
(控制系统) 
下面说明基板加工系统的控制系统。图9是表示基板加工系统1的控制系统的概略结构的框图。控制部150由具有CPU、存储器、输入装置、输出装置的硬件和用于实现各种处理的程序(软件)构成的计算机装置构成。 
在按照控制对象对控制部150进行分类时，控制部150包括输送控制部151、划线装置控制部152、切断装置控制部153、以及面板搬出装置控制部154。 
输送控制部151进行如下控制，通过控制基板支承装置20和卡紧装置50，使母板90从基板搬入侧1L向基板搬出侧1R移动。 
具体地讲，进行将卡紧装置50的卡具51安装在搬入的母板90上，从母板90的后方进行推压而输送的控制。此时，通过使位于基板支承装置20的各个支承单元21上表面的同步带联动，由此进行能够稳定地输送面积较大的基板的控制。 
并且，在沿Y方向加工多个划线槽时，通过使母板90前进、后退，进行使反复多次Y方向的划线加工的控制。 
划线装置控制部152进行如下控制，使上部划线机构60和下部划线机构70同时动作，在两面同时对基板进行划线、或者只在一面对基板进行划线。尤其在对特定边界(图18中利用标记“○”示出的边界)进行划线加工时，进行如下所述的划线加工的控制，使在端子区域对接侧的单位显示面板的第一基板的与端子区域相对的部位的内侧端形成第一划线槽，在非端子面对接侧的单位显示面板的第二基板侧的非端子面形成第二划线槽，在第一基板侧的非端子面形成比所述第一划线槽及所述第二划 线槽浅的第三划线槽。 
关于这样对槽深度区别深浅的控制的具体方法有以下方法，通过控制针对各个划线槽的划线次数来调整槽深度(较深的槽需要增加划线次数)，或者通过控制划线的压靠力来调整槽深度。 
在此，作为调整槽深度的不同的控制方法，进行规定划线顺序的控制。具体地讲是进行下述的划线控制，通过第一切刀轮与第二切刀轮的组合，先形成第一划线槽和第二划线槽，然后通过支承辊与第二切刀轮的组合，形成第三划线槽。即，在压缩应力未作用于基板的第一次的划线加工中，先将第一划线槽和第二划线槽加工成为较深的划线槽。然后，在由于形成划线槽而产生了压缩应力的状态下进行第二次的划线加工，形成比第一次的划线槽浅的第三划线槽。如此进行使第三划线槽的深度比第一、第二划线槽浅的控制。 
切断装置控制部153进行如下控制，使蒸汽切断装置100及滚轮切断装置110进行动作，对形成于母板90的X方向及Y方向的划线槽进行切断处理。 
面板搬出装置控制部154首先进行如下控制，使面板搬出装置120的搬出机器人80进行动作，使吸附垫82吸附实施划线加工后的单位显示面板的第二基板，将该单位显示面板从母板上取出。此时，在取出隔着特定边界对接的一对单位显示面板时，控制从母板取出单位显示面板的顺序，使端子区域对接侧的单位显示面板比非端子面对接侧的单位显示面板优先取出。具体地讲，根据配置于母板90的单位显示面板的布局来规定优先顺序，并据此预先输入设定取出的顺序，由此搬出机器人80按照设定顺序来取出单位显示面板。 
并且，面板搬出装置控制部154其次进行如下控制，使设于搬出机器人80的辅助切断装置140(钩部87、推压装置88)进行动作，在边角料附着在单位显示面板端部时，去除该边角料。 
下面说明由基板加工系统1进行的处理。在本发明中是进行划线加工、切断处理、基板取出、辅助切断处理的各个处理。下面依次说明这些处理。 
(划线加工) 
对使用基板加工系统1进行的针对母板90的划线加工的动作进行说明。划线加工是在划线装置30(图5)中进行的。 
在从母板90取出单位显示面板的工序中，当在母板中包含的特定边界(图18 中利用标记“○”示出的边界)处边角料未能完全分离的情况下，使边角料附着在全切割面Ca侧，而不是端子切割面Cb侧。为此，在进行划线加工时，期望附着边角料的第一基板的全切割面Ca侧形成为比不期望附着边角料的端子切割面Cb侧浅的划线槽。 
图10是表示进行这种划线加工时的基本加工步骤的流程图，图11是表示加工工序的示意图。 
如图11(a)所示，在母板90上的邻接的两个单位显示面板U1、U2的边界部分，形成有夹在全切割面Ca和端子切割面Cb之间的端子区域T。端子区域T的宽度约是1mm～3mm。利用切刀轮上下同时对该部分进行划线加工，进行露出端子区域T的粘贴面(第一基板G1与第二基板G2的接合面)的加工。 
在从母板90取出单位显示面板U1时，搬运机器人80吸附上侧的基板面，所以将第二基板G2(TFT侧基板)配置在上侧，将第一基板G1(CF侧基板)配置在下侧。这是为了在吸附单位显示面板U1并从单位显示面板U2拉开时，使端子区域T(第二基板G2侧)来到边角料区域E(第一基板G1侧)的上侧，使边角料区域E留在单位显示面板U2的全切割面Ca上，而不会附着在端子切割面Cb上。 
如图11(b)所示，首先将上部划线机构60的第二切刀轮W2对准第二基板G2的全切割面Ca。并且，将划线机构70的第一切刀轮W1对准第一基板G1的端子切割面Cb。并且，以压靠力P1同时对双方进行第一次划线，在第一基板G1的端子切割面Cb形成第一划线槽M1，在第二基板G2的全切割面Ca形成第二划线槽M2(S101)。此时，在进行加工的区域附近没有产生应力，所以能够使第一、第二划线槽M1、M2深度伸展。 
在通过第一次划线形成划线槽M1、M2后，在之后的划线槽M1、M2的附近区域中，其两侧被密封部件S1、S2固定，同时划线槽M1、M2扩展，其结果在附近产生压缩应力。 
然后，如图11(c)所示，将划线机构70的第一切刀轮W1对准全切割面Ca的位置。并且，将划线机构60的支承辊W3对准第二基板G2。此时，支承辊W3以离开之前形成了划线槽M2的全切割面Ca的位置的方式横向移动，以免划线槽M2出现损伤。然后，以与第一次的压靠力P1相同或者比其弱的压靠力P2进行第二次的划线加工，在第一基板G1的全切割面Ca形成第三划线槽M3(S102)。 
此时，在第一基板G1的全切割面Ca中，在克服压缩应力的同时进行划线加工，所以划线槽的伸展受到阻碍，划线槽M3形成得比较浅。由于原本就预定为划线槽M3比端子切割面Cb的划线槽M1浅，所以能够形成理想深度的划线槽。 
然后，在后面工序中进行蒸汽切断(图6)及滚轮切断(图7)的切断处理，如图11(d)所示，边角料区域E不是附着在第一基板的端子切割面Cb侧，而是以附着在第一基板G1的全切割面Ca侧的状态下被分离。另外，边角料区域E当然也可以被完全分离。 
另外，在边角料区域E附着在全切割面Ca上的情况下，在后面的工序中，通过利用钩部87及推压装置88进行追加的切断处理，边角料区域E能够从全切割面Ca可靠地分离。 
以上说明了对一个端子区域(特定边界)独立进行划线加工的情况。实际上在母板90中纵横排列了多个单位显示面板。在各个单位显示面板的周围不仅包括具有夹在端子切割面Cb和全切割面Ca之间的端子区域T的特定边界，也包括其他形状的边界。 
在这种情况下，也可以不针对一个边界来进行加工，而是在多个边界之间交替地进行加工，实现均衡的加工。 
图12是针对沿X方向排列2列、沿Y方向排列4列作为二端子面板的单位显示面板的母板90，沿Y方向进行划线的示例。另外，图13是沿X方向进行划线的示例。 
首先，针对先加工的Y方向的划线进行说明。在Y方向的划线中，母板90的后端被卡紧装置50卡紧，由此在划线加工后不会沿X方向分离。 
针对Y方向，如图12所示，针对母板90的包括沿着中央部分的端子区域T的边界、包括左端附近的端子区域TL的边界、和包括右端附近的全切割面TR的边界这三个边界进行划线加工。其中，中央的边界是特定边界。因此，针对中央的特定边界的端子切割面和全切割面，需要考虑加工顺序。 
图14是表示Y方向的加工顺序的流程图。 
在这种情况下，针对中央的端子区域T(特定边界)进行第一次划线(设为Y1)。即，对第一基板G1的端子切割面和第二基板G2的全切割面进行划线(S201)。结果，形成了第一划线槽M1、第二划线槽M2。然后，针对左端附近的端子区域TL进行第 
二次划线(设为Y2)(S202)。然后，针对右端附近的全切割面TR进行第三次划线(设为Y3)(S203)。另外，S202和S203也可以调换。并且，最后针对中央的端子区域T(特定边界)的第一基板G1的全切割面，进行第四次划线(设为Y4)。此时，利用支承辊W3按压第二基板G2的全切割面的旁边(在图中取代箭头利用十字标记来表示位置)，同时进行划线。结果，形成了第三划线槽M3。如前面所述，第三划线槽M3是在被施加了压缩应力的状态下形成的，所以比第一划线槽M1、第二划线槽M2浅。 
这样，在针对中央的端子区域T(特定边界)的划线加工之后，先进行左端附近的端子区域TL和右端附近的全切割面TR的划线，然后再次进行针对中央的端子区域T(特定边界)的划线加工，如此交替地进行加工。由此，能够实现均衡的加工。 
在通过以上的步骤结束Y方向的划线后，接着进行X方向的划线。 
针对X方向，如图13所示，母板90的包括位于前端附近的全切割面TF的边界、包括位于基板中央的端子区域T的三个特定边界、以及包括位于后端附近的端子区域TB的边界，被实施划线加工。 
在这种情况下，针对X方向的三个端子区域T，与前面的处理相同，先对第一基板G1的端子切割面和第二基板G2的全切割面进行较强的划线，然后对第一基板G1的全切割面进行比较轻微的划线，就能够可靠地取出单位显示面板。具体地讲，如图13所示，按照X2(第一基板G1的端子切割面和第二基板G2的全切割面)、X3(第一基板G1的全切割面)、X4(第一基板G1的端子切割面和第二基板G2的全切割面)、X5(第一基板G1的全切割面)、X6(第一基板G1的端子切割面和第二基板G2的全切割面)、X7(第一基板G1的全切割面)的顺序进行加工。另外，在进行X3、X5、X7的加工时，利用支承辊按压第二基板G2的全切割面的旁边来进行划线。 
(切断处理) 
下面说明母板90的切断处理。利用划线装置30进行划线加工的结果是，母板90沿着各个单位显示面板的周缘形成了划线槽。在基板的板厚比较薄的情况下，只通过划线加工即可将各个单位显示面板完全分割，在不属于这种情况时，需要施加切断处理，使划线槽伸展。并且，在板厚比较薄的情况下，为了能够可靠地完全分割，也优选施加切断处理。在本实施方式中，为了将各个单位显示面板可靠地分割，通过 蒸汽切断装置100进行X方向的切断，通过滚轮切断装置110进行Y方向的切断。 
具体地讲，首先使实施划线加工后的母板90通过蒸汽切断装置100的上部蒸汽单元101与下部蒸汽单元102的间隙，并吹送加热蒸汽。其结果，主要是X方向的划线槽得到伸展。然后，母板90被输送到滚轮切断装置110，利用切断滚轮111～113按压Y方向的三个划线槽的邻接位置。由此来施加弯曲力矩，使Y方向的划线槽得到伸展。 
(单位显示面板的取出) 
下面，针对从母板90取出单位显示面板的动作进行说明。单位显示面板的取出是通过基板搬出装置120的搬出机器人80进行的。 
如前面所述，搬出机器人80吸附从母板90分割的一个单位显示面板并向上方拉出，使单位显示面板旋转，同时向X轴方向移动，再向Y方向移动并将单位显示面板搬出，被搬出的单位显示面板的取出顺序非常重要。 
针对图11所示的从具有特定边界的母板90取出单位显示面板时的取出顺序进行说明。 
在从具有特定边界的母板90逐个取出单位显示面板时，在隔着特定边界而邻接的两个单位显示面板中必须相比于全切割面Ca为边界的单位显示面板U2，先取出端子切割面Cb为边界的单位显示面板U1。这种优先顺序需要在母板90中包含的全部单位显示面板之间满足。如果没有遵守这种取出顺序，则边角料区域E有可能附着在端子切割面Cb侧。 
图15是表示针对沿X方向排列2列、沿Y方向排列4列单位显示面板的母板的、单位显示面板的取出顺序的图，图15(a)表示二端子面板的情况，图15(b)表示三端子面板的情况，图15(c)表示单端子面板的情况。 
针对图15(a)所示的二端子面板进行说明。单位显示面板(1)在与邻接的单位显示面板(2)、(3)的特定边界处(在图中利用标记○示出)，单位显示面板(1)的端子切割面Cb成为边界。因此，首先需要取出单位显示面板(1)。 
在单位显示面板(1)被取出的状态下，单位显示面板(2)在与邻接的单位显示面板(4)的特定边界处，端子切割面Cb成为边界。并且，单位显示面板(3)在与邻接的单位显示面板(4)、(5)的特定边界处，端子切割面Cb成为边界。此时，只要取出单位显示面板(2)、(3)的任意一方即可，但由于从接近母板的前端的一侧取出时能够以单向输送完成，所以先取出单位显示面板(2)。 
在单位显示面板(1)、(2)被取出的状态下，单位显示面板(3)在与邻接的单位显示面板(4)、(5)的特定边界处，端子切割面Cb成为边界。因此，接着取出单位显示面板(3)。以后与此相同，按照图15中赋予给各个单位显示面板的序号从小到大的顺序(1)、(2)…(8)取出单位显示面板，就可以针对全部特定边界，优先取出端子切割面Cb侧的单位显示面板。 
图16是表示边角料在取出的各个单位显示面板(1)～(8)中的附着方式的图(主视图、俯视图、右视图)。在图中，边角料区域有可能附着在利用阴影线示出的区域中。 
无论哪个单位显示面板，虽然边角料有可能附着在全切割面Ca上，但是都能够以在端子切割面Cb上没有附着边角料的状态被取出。因此，即使边角料附着在单位显示面板上，也能够通过之后的使用钩部87和推压装置88进行的辅助切断处理，将边角料可靠地去除。 
以上虽然是针对二端子面板的说明，但对于三端子面板(图15(b))和单端子面板(图15(c))也同样适用。在这些情况下，成为问题的特定边界(标记○)只是邻接的一对单位显示面板的边界，所以如果不考虑基板的输送，则可以在两个单位显示面板之间确定优先顺序进行取出。具体地讲，相比各个相对的单位显示面板(2)，先取出单位显示面板(1)。在从接近母板的前端的一侧单方向地进行输送并加工的情况下，期望前端侧优先，所以与图15(a)相同地，按照赋予给各个单位显示面板的序号从小到大的顺序(1)、(2)…、(8)取出单位显示面板。 
以上是把沿X方向排列2列、沿Y方向排列4列单位显示面板的母板作为对象，但对于除此之外的其他布局也相同，只要遵守针对隔着特定边界的两侧的单位显示面板的取出顺序的优先顺序即可。 
另外，在四端子面板(图19)中不存在特定边界。因此，这种情况时的取出顺序不成为问题。因而可以从前端侧开始顺序取出。 
(辅助切断处理) 
下面说明辅助切断处理。 
图17是表示辅助切断装置140(钩部87及推压装置88)的切断处理动作的图。辅助切断处理与搬出机器人80的基板搬出同时进行。 
如图17(a)所示，在使钩部87及推压装置88退避到上方的状态下，利用吸附垫82吸附单位显示面板的第二基板G2(TFT侧基板)。 
然后，如图17(b)所示，使钩部87进行动作，使其与位于吸附面相反侧即第一基板G1端部的边角料E接触，并利用下方的端面支承边角料E。 
然后，如图17(c)所示，使推压装置88进行动作，从上方按压附着在第二基板G2端部的边角料E。 
这样，通过施加使形成于边角料E和第一基板G1之间的第三划线槽M3(参照图10)扩展的弯曲力矩，能够将边角料E可靠地分割。 
另外，关于辅助切断处理不限于上述方法，也能够采用其他方法。 
例如，在上述实施方式中，在搬出机器人80上设置了由钩部87和推压装置88构成的辅助切断装置140，但也可以取而代之，在搬出机器人80的移动范围内的合适位置另外设置用于抵接边角料E的下端面的倾斜板，使搬出机器人移动到该位置，同时使边角料E所附着的单位显示面板从倾斜板的下方下降而与边角料E的部分抵接，由此能够可靠地实现分割。 
并且，还可以在搬出机器人80的附近另外设置机械手，利用该机械手把持边角料E的部分来进行分割。 
产业上的可利用性 
本发明的基板加工方法能够用于液晶面板用的母板的划线加工。 

Claims (5)

1.一种基板加工系统，
作为加工对象的母板具有第一基板和第二基板粘贴而成的构造，
各自形状相同且呈方形的多个单位显示面板相互邻接地排列形成于所述母板上，
各个单位显示面板通过在四边的周缘中的一边的周缘、或者相邻的两边的周缘、或者三边的周缘处，形成第二基板侧比第一基板侧突出的台阶，而设置端子区域，
在没有设置端子区域的其余的周缘处，形成有第一基板和第二基板为同一端面的非端子面，在第一基板的与所述端子区域相对的部位设有要从单位显示面板切除的边角料区域，
各个单位显示面板还被配置为，在其与邻接的单位显示面板中的至少一个单位显示面板的边界处，一个单位显示面板的端子区域和另一个单位显示面板的非端子面对接，
在将所述母板支承为第二基板在上侧、第一基板在下侧的状态下，按照每个单位显示面板来分割所述母板并逐个取出，
其特征在于，所述基板加工系统具有：
划线装置，其具有朝向第一基板的第一切刀轮和支承辊、以及朝向第二基板的第二切刀轮，将第一切刀轮和第二切刀轮进行组合或者将支承辊和第二切刀轮进行组合，从第一基板和第二基板的两侧进行压靠而进行划线加工；
划线装置控制部，其对所述划线装置进行如下控制：在对所述边界进行划线加工时，在端子区域对接侧的单位显示面板的第一基板与端子区域相对的部位的内侧端形成第一划线槽，在非端子面对接侧的单位显示面板的第二基板侧的非端子面上形成第二划线槽，在第一基板侧的非端子面上形成比所述第一划线槽及所述第二划线槽浅的第三划线槽；
面板搬出装置，其具有吸附部件，吸附经划线加工的单位显示面板的第二基板，而将该单位显示面板从母板上取出；
面板搬出装置控制部，在取出隔着所述边界对接的一对单位显示面板时，相比于在非端子面对接侧的单位显示面板，优先取出端子区域对接侧的单位显示面板；以及
辅助切断装置，其安装在所述面板搬出装置上，并具有钩部和推压装置，在边角料区域隔着第三划线槽附着在从母板取出的单位显示面板的第一基板侧的端部上的情况下，将所述钩部挂在所述边角料区域上，同时按压所述推压装置，施加使第三划线槽扩展的方向的弯曲力矩，由此分割所述边角料区域。
2.根据权利要求1所述的基板加工系统，其中，划线装置控制部进行如下的划线控制：通过第一切刀轮与第二切刀轮的组合，先形成第一划线槽和第二划线槽，接着通过支承辊与第二切刀轮的组合，形成第三划线槽。
3.根据权利要求2所述的基板加工系统，其中，在形成第三划线槽时，支承辊压靠在之前形成的第二划线槽的邻接位置。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的基板加工系统，其中，该基板加工系统还具有设于划线装置和面板搬出装置之间的主切断装置，该主切断装置在由划线装置进行划线加工之后且在由安装于面板搬出装置上的辅助切断装置进行切断处理之前，预先进行切断处理。
5.根据权利要求4所述的基板加工系统，其中，主切断装置由蒸汽切断装置和滚轮切断装置构成。
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