JP6375875B2 - ブレーク装置 - Google Patents
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Description
図1は、本実施の形態に係るブレーク装置100の要部、特に、分断対象物Wの支持に関わる要部についての斜視図である。また、図2は、図1のA−A’部を通る断面についての拡大斜視図である。図3は、ブレーク装置100の主要な構成要素を含む模式断面図である。
次に、位置ずれ規制部2によるブレーク時の位置ずれ規制について説明する。係るブレーク時の位置ずれ規制は、ブレークを開始する際に、上述したギャップg1、g2を確保することに加えて、それぞれの位置ずれ規制部2の基部F1の側面fcとこれに対向する分断対象物Wの外周端部とについても離間させて非接触とすることによって実現される。これはすなわち、位置ずれ規制部2を分断対象物Wと全く接触させることなくブレークを開始することを意味する。なお、係る場合の位置ずれ規制部2の配置位置を、分断時位置ずれ規制位置と称する。図3は係るブレーク開始時の配置状態を例示している。このような配置状態でブレークが開始されることにより、本実施の形態に係るブレーク装置100においては、分断対象物Wを側方から当接支持することなくブレークを行われるものとなっている。
続いて、ステージ1の上に分断対象物Wを載置する際の位置ずれ規制部2による位置ずれ規制について説明する。図4は、分断対象物Wがステージ1に載置されてブレーク可能な状態となるまでの様子を順次に示す図である。
1a 基台
1b 第1ガラスチャック
1c 第2ガラスチャック
1d 透明弾性体
2(2a、2b、2c、2d) 位置ずれ規制部
3 ブレーク刃
3a (ブレーク刃の)刃先
4 撮像装置
100 ブレーク装置
F 単位歯部
F1 (単位歯部の)基部
F2 (単位歯部の)延在部
H1 吸引溝
H2 (第2ガラスチャックの)吸引孔
H3 (透明弾性体の)吸引孔
SL スクライブライン
W 分断対象物
We (分断対象物の)端部
Claims (6)
- ブレーク刃を分断対象物に当接させることにより前記分断対象物をブレークするブレーク装置であって、
平面視矩形状をなしており、かつ互いに平行にかつ等間隔に複数の分断予定位置が定められてなる分断対象物が載置される載置部と、
前記載置部の四方のそれぞれに対応させて互いに独立に設けられてなる位置ずれ規制部と、
を備え、
それぞれの前記位置ずれ規制部は、それぞれが水平面内において前記載置部の側端部に向けて延在する多数の単位歯部を前記複数の分断予定位置と等しい間隔にて等間隔に配列させた櫛歯状をなしているとともに、隣り合う前記単位歯部が一の前記分断予定位置に対し等距離に配置されるようになっており、
少なくともブレークの開始時には、それぞれの前記位置ずれ規制部は、前記載置部の上に載置固定された前記分断対象物と離間する分断時位置ずれ規制位置に配置される、
ことを特徴とするブレーク装置。 - 請求項1に記載のブレーク装置であって、
前記位置ずれ規制部が前記載置部に対して進退自在に設けられてなる、
ことを特徴とするブレーク装置。 - 請求項2に記載のブレーク装置であって、
前記位置ずれ規制部は、前記分断対象物が前記載置部に載置された後、前記分断対象物に接近することによって前記分断対象物を所定の配置位置に配置するセンタリングを行い、前記センタリング後に前記分断時位置ずれ規制位置に配置される、
ことを特徴とするブレーク装置。 - 請求項3に記載のブレーク装置であって、
前記位置ずれ規制部の前記単位歯部が、前記単位歯部の長手方向に延在する基部と、前記基部の一部からさらに前記長手方向に延在する延在部とを有してなり、かつ、前記基部と前記延在部とによって、前記長手方向に沿った垂直断面おいてL字状をなしており、
前記センタリングの実行時には前記基部の先端が前記分断対象物と当接し、
前記ブレークの実行時には前記基部および前記延在部がともに前記分断対象物と非接触状態とされてなるとともに、前記延在部は前記分断対象物の外周上方に配置される、
ことを特徴とするブレーク装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のブレーク装置であって、
前記載置部が可視光を透過する透明な部材からなる、
ことを特徴とするブレーク装置。 - 請求項5に記載のブレーク装置であって、
前記載置部の最上部が透明な弾性体からなる、
ことを特徴とするブレーク装置。
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