JP3088327B2 - ガラス基板分断方法 - Google Patents
ガラス基板分断方法Info
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- Japan
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- elastic body
- suction
- porous elastic
- scribe
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B33/00—Severing cooled glass
- C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/03—Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
- C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
-
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板分断方
法に関し、特に液晶表示素子のガラス基板分断方法に関
する。
法に関し、特に液晶表示素子のガラス基板分断方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示素子の製造においては、一対の
ガラス基板に液晶表示素子を複数個形成しておき、この
ガラス基板を重ね合わせてシール材により接合後、分断
して個々の液晶表示素子とする方法が採られる。
ガラス基板に液晶表示素子を複数個形成しておき、この
ガラス基板を重ね合わせてシール材により接合後、分断
して個々の液晶表示素子とする方法が採られる。
【０００３】従来のガラス基板分断方法について図４を
用いて説明する。まず図４（Ａ）に示すように、ガラス
基板を分断する際は、重ね合わされたガラス基板３にス
クライブカッターによってスクライブライン１０ａ、１
０ｂ、１０ｃ、１０ｄを入れ、このスクライブラインが
下になるようにブレークテーブルに置き位置決めガイド
１５により位置決めを行う。この時ブレークテーブル構
造は、定盤１上に３ｍｍ程度の弾性体１４を敷いた構造
になっている。更にガラス基板３を置いた後、位置決め
ガイド１５で位置決めを行うが、この時ガラス基板３と
位置決めガイド１５にはブレーク時にガラス基板３が反
る為に、必要な位置決めガイド〜基板間クリアランス１
６が０．５ｍｍ程度必要である。
用いて説明する。まず図４（Ａ）に示すように、ガラス
基板を分断する際は、重ね合わされたガラス基板３にス
クライブカッターによってスクライブライン１０ａ、１
０ｂ、１０ｃ、１０ｄを入れ、このスクライブラインが
下になるようにブレークテーブルに置き位置決めガイド
１５により位置決めを行う。この時ブレークテーブル構
造は、定盤１上に３ｍｍ程度の弾性体１４を敷いた構造
になっている。更にガラス基板３を置いた後、位置決め
ガイド１５で位置決めを行うが、この時ガラス基板３と
位置決めガイド１５にはブレーク時にガラス基板３が反
る為に、必要な位置決めガイド〜基板間クリアランス１
６が０．５ｍｍ程度必要である。
【０００４】次に図４（Ｂ）に示すように、スクライブ
ライン１０ｄを狙ってブレークスキージ１２を一定加圧
で降ろして、ガラス基板３を弾性体１４の弾性で歪ませ
て、スクライブライン１０ｄの左右方向に引っ張り応力
を発生させて分断する。この時図４（Ｃ）のように分断
する箇所が２箇所以上ある場合は、位置決めガイド〜基
板間クリアランス１６の為にスクライブライン〜ブレー
ク位置ずれ１７が生じてしまい分断性が安定しなかった
り、または分断できないという不具合があった。
ライン１０ｄを狙ってブレークスキージ１２を一定加圧
で降ろして、ガラス基板３を弾性体１４の弾性で歪ませ
て、スクライブライン１０ｄの左右方向に引っ張り応力
を発生させて分断する。この時図４（Ｃ）のように分断
する箇所が２箇所以上ある場合は、位置決めガイド〜基
板間クリアランス１６の為にスクライブライン〜ブレー
ク位置ずれ１７が生じてしまい分断性が安定しなかった
り、または分断できないという不具合があった。
【０００５】この問題を解決する手段としては、まずガ
ラス基板を横方向からがっちり押さえてしまう方法があ
るが、これではブレークする時ガラス基板が横方向に逃
げられなくなり、引っ張り応力が十分に得られず分断性
が悪くなる。またガラス基板を吸着によってがっちり固
定する方法があるが、これでもブレークする時ガラス基
板が横方向に広がらない為分断性が悪くなる。
ラス基板を横方向からがっちり押さえてしまう方法があ
るが、これではブレークする時ガラス基板が横方向に逃
げられなくなり、引っ張り応力が十分に得られず分断性
が悪くなる。またガラス基板を吸着によってがっちり固
定する方法があるが、これでもブレークする時ガラス基
板が横方向に広がらない為分断性が悪くなる。
【０００６】この種の問題における改善策として特開平
４−２４６６１８では、図５に示すように２枚を張り合
わせたガラス基板５６をゴムローラ５１で挟み込んでガ
ラス基板５６を固定させ、スクライブライン５８を挟ん
で対向する液晶表示素子に対応したガラス基板の部位を
吸着ホルダ５３によって吸着し、スクライブライン５８
を開く方向に曲げるように動作させることで引っ張り応
力５９を加え、応力センサ５４でスクライブライン５８
に加えられる引っ張り応力を調整しながら、液晶表示素
子５７毎に分断する方法が開示されている。
４−２４６６１８では、図５に示すように２枚を張り合
わせたガラス基板５６をゴムローラ５１で挟み込んでガ
ラス基板５６を固定させ、スクライブライン５８を挟ん
で対向する液晶表示素子に対応したガラス基板の部位を
吸着ホルダ５３によって吸着し、スクライブライン５８
を開く方向に曲げるように動作させることで引っ張り応
力５９を加え、応力センサ５４でスクライブライン５８
に加えられる引っ張り応力を調整しながら、液晶表示素
子５７毎に分断する方法が開示されている。
【０００７】また、特開平３−２７２０では、図６
（Ａ），（Ｂ）に示すように、すでにスクライブ傷６５
の入った張り合わせ済みのガラス基板６１を、スクライ
ブ傷６５と対応する箇所に支持突起のある支持部材６２
に乗せ、加圧部材６３と空気の給排気口６４とダイヤフ
ラムゴム６６からなる加圧部に、空気の給排気口６４か
ら空気をいれダイヤフラムゴム６６を膨張させ、その押
圧力によってガラス基板６１を下向きに押圧する。こう
することによって支持突起によりガラス基板６１が変形
し、スクライブ傷６５に引っ張り応力を発生させ分断す
る方法が開示されている。
（Ａ），（Ｂ）に示すように、すでにスクライブ傷６５
の入った張り合わせ済みのガラス基板６１を、スクライ
ブ傷６５と対応する箇所に支持突起のある支持部材６２
に乗せ、加圧部材６３と空気の給排気口６４とダイヤフ
ラムゴム６６からなる加圧部に、空気の給排気口６４か
ら空気をいれダイヤフラムゴム６６を膨張させ、その押
圧力によってガラス基板６１を下向きに押圧する。こう
することによって支持突起によりガラス基板６１が変形
し、スクライブ傷６５に引っ張り応力を発生させ分断す
る方法が開示されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】特開平４−２４６６１
８に開示された方法では、分断ラインが多くなってくる
と対処しにくいという欠点がある。その理由はスクライ
ブラインが多くなってくると、分断される幅が狭くなっ
てくる為、狭い部分を分断する為には、その部分を保持
吸着できるその部分に見合った大きさの吸着ホルダーが
必要であり、その大きさを小さくしていくのには限界が
ある為である。
８に開示された方法では、分断ラインが多くなってくる
と対処しにくいという欠点がある。その理由はスクライ
ブラインが多くなってくると、分断される幅が狭くなっ
てくる為、狭い部分を分断する為には、その部分を保持
吸着できるその部分に見合った大きさの吸着ホルダーが
必要であり、その大きさを小さくしていくのには限界が
ある為である。
【０００９】特開平３−２７２０で開示された方法で
は、多品種に対応しにくいという欠点がある。その理由
はスクライブ傷の位置に支持突起を対応させる必要があ
る為、品種交換等でスクライブ傷が変更になったとき、
支持突起の位置も変更する必要がある為である。
は、多品種に対応しにくいという欠点がある。その理由
はスクライブ傷の位置に支持突起を対応させる必要があ
る為、品種交換等でスクライブ傷が変更になったとき、
支持突起の位置も変更する必要がある為である。
【００１０】本発明の目的は、ガラス基板分断の分断面
形状の向上、または分断歩留まりアップといった分断性
の向上のできるガラス基板分断方法を提供することであ
る。
形状の向上、または分断歩留まりアップといった分断性
の向上のできるガラス基板分断方法を提供することであ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、シール材で接
合して重ね合わせた２枚のガラス基板を液晶表示素子単
位で分断するガラス基板分断方法において、中央部より
も周辺部の密度が大となるように吸着孔が配設され、か
つ吸着機構が設けられている定盤上に多孔質弾性体を置
き、その上に前記ガラス基板をあらかじめスクライブカ
ッタでスクライブした面を下側になるように置き吸着し
て固定した後、前記スクライブした面の反対面上からブ
レークスキージを押圧することにより前記ガラス基板を
分断する際、ガラス基板を吸着している多孔質弾性体
が、スクライブされた部分を開く方向でスクライブライ
ンと直角方向に吸着を保ったまま僅かに伸長し、ガラス
基板表面のスクライブ部分に引っ張り応力をかけ、ブレ
ークスキージによってブレークする際の引っ張り応力を
増大させるものである。
合して重ね合わせた２枚のガラス基板を液晶表示素子単
位で分断するガラス基板分断方法において、中央部より
も周辺部の密度が大となるように吸着孔が配設され、か
つ吸着機構が設けられている定盤上に多孔質弾性体を置
き、その上に前記ガラス基板をあらかじめスクライブカ
ッタでスクライブした面を下側になるように置き吸着し
て固定した後、前記スクライブした面の反対面上からブ
レークスキージを押圧することにより前記ガラス基板を
分断する際、ガラス基板を吸着している多孔質弾性体
が、スクライブされた部分を開く方向でスクライブライ
ンと直角方向に吸着を保ったまま僅かに伸長し、ガラス
基板表面のスクライブ部分に引っ張り応力をかけ、ブレ
ークスキージによってブレークする際の引っ張り応力を
増大させるものである。
【００１２】本発明では、まず、ガラス基板を吸着する
ことで分断時のガラス基板の位置ずれが発生しなくな
る。但し、単に吸着するだけでは先に述べたように分断
時にガラス基板の引っ張り応力を弱めてしまうので、吸
着を行わせているマットを弾性体の多孔質としガラス基
板全面を吸着し、分断時にスクライブを広げる方向へ僅
かに伸長する。これによってガラス基板表面にテンショ
ンがかかり、引っ張り応力を増大させスムーズな分断が
実現される。
ことで分断時のガラス基板の位置ずれが発生しなくな
る。但し、単に吸着するだけでは先に述べたように分断
時にガラス基板の引っ張り応力を弱めてしまうので、吸
着を行わせているマットを弾性体の多孔質としガラス基
板全面を吸着し、分断時にスクライブを広げる方向へ僅
かに伸長する。これによってガラス基板表面にテンショ
ンがかかり、引っ張り応力を増大させスムーズな分断が
実現される。
【００１３】
【発明の実施の形態】次ぎに本発明について図面を参照
して詳細に説明する。図１（Ａ）は本発明の第１の実施
の形態の断面図であり、図１（Ｂ）は平面図である。ま
ず、定盤１に排気機構４が設けてある。排気機構４は排
気管８につながっており、定盤中に４〜５ｃｍの高さで
ガラス基板３と同程度の面積で空洞状に設けてある。定
盤１には吸着孔７が設けてあり、排気機構４とつながっ
ている。その上に多孔質弾性体２を配置し、金属製の多
孔質弾性体伸長ガイド５で多孔質弾性体２の端を挟みこ
み多孔質弾性体固定部９によって固定されている。多孔
質伸長ガイドには、その両端に多孔質弾性体伸長機構６
が設けてあり、スライド方式により多孔質弾性体２を最
大５ｍｍ程度伸長させることができる。ここで多孔質弾
性体２は、孔径１０μｍ程度で、厚み２〜３ｍｍ、スプ
リング式硬度計で硬度５０度程度のものである。
して詳細に説明する。図１（Ａ）は本発明の第１の実施
の形態の断面図であり、図１（Ｂ）は平面図である。ま
ず、定盤１に排気機構４が設けてある。排気機構４は排
気管８につながっており、定盤中に４〜５ｃｍの高さで
ガラス基板３と同程度の面積で空洞状に設けてある。定
盤１には吸着孔７が設けてあり、排気機構４とつながっ
ている。その上に多孔質弾性体２を配置し、金属製の多
孔質弾性体伸長ガイド５で多孔質弾性体２の端を挟みこ
み多孔質弾性体固定部９によって固定されている。多孔
質伸長ガイドには、その両端に多孔質弾性体伸長機構６
が設けてあり、スライド方式により多孔質弾性体２を最
大５ｍｍ程度伸長させることができる。ここで多孔質弾
性体２は、孔径１０μｍ程度で、厚み２〜３ｍｍ、スプ
リング式硬度計で硬度５０度程度のものである。
【００１４】定盤１上にある吸着孔７について図１
（Ｂ）の平面図で説明する。吸着孔７は、周辺部が中央
部に比べてその密度が大となるように配置されている。
これによって、ガラス基板３を吸着する際も周辺部の方
が吸着力は強く、中央部はそれに比べると弱い。これに
よって多孔質弾性体２が多孔質弾性体伸長ガイドのスラ
イドによる伸長に対しても、ガラス基板３を有効に固定
することができ、多孔質弾性体２と接しているガラス表
面に対して十分な引っ張り応力をかけることができる。
（Ｂ）の平面図で説明する。吸着孔７は、周辺部が中央
部に比べてその密度が大となるように配置されている。
これによって、ガラス基板３を吸着する際も周辺部の方
が吸着力は強く、中央部はそれに比べると弱い。これに
よって多孔質弾性体２が多孔質弾性体伸長ガイドのスラ
イドによる伸長に対しても、ガラス基板３を有効に固定
することができ、多孔質弾性体２と接しているガラス表
面に対して十分な引っ張り応力をかけることができる。
【００１５】また、多孔質弾性体を適用することで弾性
体を伸長させたときにも、伸長した分だけ内側の多孔質
弾性体内部の吸着孔が使用されるだけであり、ガラス基
板３に対する吸着箇所は吸着孔７の位置から変化しな
い。従って、多孔質弾性体２の伸長に際するエアーリー
ク等の影響等を押さえられる効果がある。
体を伸長させたときにも、伸長した分だけ内側の多孔質
弾性体内部の吸着孔が使用されるだけであり、ガラス基
板３に対する吸着箇所は吸着孔７の位置から変化しな
い。従って、多孔質弾性体２の伸長に際するエアーリー
ク等の影響等を押さえられる効果がある。
【００１６】次ぎに本発明の第１の実施の形態の動作に
ついて図２（Ａ）、図２（Ｂ）の断面図を参照して説明
する。図２（Ａ）に示すように、ガラス基板３はスクラ
イブカッタによって既にスクライブライン１０ａ、１０
ｂ、１０ｃ、１０ｄ、が入っている。このスクライブラ
インの入っている面を下側、すなわち多孔質弾性体２に
接するようにガラス基板３を定盤１上に置く。ガラス基
板３がおかれると、排気管８より排気機構４内の空気の
排気をはじめる。それによって吸着孔７から多孔質弾性
体２を通じガラス基板が吸着される。
ついて図２（Ａ）、図２（Ｂ）の断面図を参照して説明
する。図２（Ａ）に示すように、ガラス基板３はスクラ
イブカッタによって既にスクライブライン１０ａ、１０
ｂ、１０ｃ、１０ｄ、が入っている。このスクライブラ
インの入っている面を下側、すなわち多孔質弾性体２に
接するようにガラス基板３を定盤１上に置く。ガラス基
板３がおかれると、排気管８より排気機構４内の空気の
排気をはじめる。それによって吸着孔７から多孔質弾性
体２を通じガラス基板が吸着される。
【００１７】ガラス基板３の吸着が完了すると、図２
（Ｂ）のように多孔質弾性体伸長機構６により多孔質弾
性体伸長ガイド５が２〜３ｍｍ水平方向に外側にスライ
ドすることによって、多孔質弾性体２がガラス基板３を
吸着したまま同様に伸長する。これによって、ガラス基
板３の吸着面にテンションがかかり、スクライブライン
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを開く方向でそれぞれ
引っ張り応力１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが発生す
る。その状態でブレークスキージ１２をそれぞれのスク
ライブラインを狙って降ろし、一定圧力をスクライブラ
イン部にかけると、多孔質弾性体２の弾性によるガラス
基板の反りと、引っ張り応力１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、
１１ｄの相乗効果によってスムーズな分断が可能とな
る。
（Ｂ）のように多孔質弾性体伸長機構６により多孔質弾
性体伸長ガイド５が２〜３ｍｍ水平方向に外側にスライ
ドすることによって、多孔質弾性体２がガラス基板３を
吸着したまま同様に伸長する。これによって、ガラス基
板３の吸着面にテンションがかかり、スクライブライン
１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄを開く方向でそれぞれ
引っ張り応力１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが発生す
る。その状態でブレークスキージ１２をそれぞれのスク
ライブラインを狙って降ろし、一定圧力をスクライブラ
イン部にかけると、多孔質弾性体２の弾性によるガラス
基板の反りと、引っ張り応力１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、
１１ｄの相乗効果によってスムーズな分断が可能とな
る。
【００１８】次ぎに本発明の第２の実施の形態について
図３の断面図を用いて説明する。図３において、定盤１
の排気機構４の上部に金属でできた多孔質吸着ステージ
１３を設ける。この多孔質吸着ステージ１３は多孔質弾
性体２同様、孔径１０μｍ程度とし第１の実施の形態の
図１（Ａ），（Ｂ）の吸着孔７と同様に、中心部と周辺
部で密度差を設け、周辺部が密度大になるようにし、第
１の実施の形態と同様の効果が得られるようにしてあ
る。この実施の形態の場合は、多孔質吸着ステージの吸
着孔径を極微小化することにより、多孔質弾性体が吸着
孔の影響を受けないので、多孔質弾性体が変形せずガラ
ス基板３を分断する際、分断面形状に凹凸等の不具合が
発生しにくいという効果がある。
図３の断面図を用いて説明する。図３において、定盤１
の排気機構４の上部に金属でできた多孔質吸着ステージ
１３を設ける。この多孔質吸着ステージ１３は多孔質弾
性体２同様、孔径１０μｍ程度とし第１の実施の形態の
図１（Ａ），（Ｂ）の吸着孔７と同様に、中心部と周辺
部で密度差を設け、周辺部が密度大になるようにし、第
１の実施の形態と同様の効果が得られるようにしてあ
る。この実施の形態の場合は、多孔質吸着ステージの吸
着孔径を極微小化することにより、多孔質弾性体が吸着
孔の影響を受けないので、多孔質弾性体が変形せずガラ
ス基板３を分断する際、分断面形状に凹凸等の不具合が
発生しにくいという効果がある。
【００１９】
【発明の効果】本発明の第１の効果は分断時、スクライ
ブラインとブレーク位置のずれがなくなる。これによ
り、分断面形状の安定化かつ分断歩留まりの向上が見込
める。その理由は、ガラス基板を吸着したままブレーク
できるからであることが一つと、それを実施する為に、
多孔質弾性体でガラス基板を吸着したまま外側に伸長で
きるようにしたので、ガラス基板の吸着面に引っ張り応
力を効果的にかけることができるためである。
ブラインとブレーク位置のずれがなくなる。これによ
り、分断面形状の安定化かつ分断歩留まりの向上が見込
める。その理由は、ガラス基板を吸着したままブレーク
できるからであることが一つと、それを実施する為に、
多孔質弾性体でガラス基板を吸着したまま外側に伸長で
きるようにしたので、ガラス基板の吸着面に引っ張り応
力を効果的にかけることができるためである。
【図１】（Ａ），（Ｂ）は本発明の第１の実施の形態を
示す断面図及び平面図である。
示す断面図及び平面図である。
【図２】（Ａ），（Ｂ）は本発明の第１の実施の形態の
動作を説明するための断面図である。
動作を説明するための断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す断面図であ
る。
る。
【図４】（Ａ）〜（Ｃ）は従来の技術を示す断面図であ
る。
る。
【図５】（Ａ）〜（Ｃ）は従来の他の技術を示す断面図
である。
である。
【図６】（Ａ），（Ｂ）は従来の他の技術を示す断面図
である。
である。
１ 定盤 ２ 多孔質弾性体 ３ ガラス基板 ４ 排気機構 ５ 多孔質弾性体伸長ガイド ６ 多孔質弾性体伸長機構 ７ 吸着孔 ８ 排気管 ９ 多孔質弾性体固定部 １０ａ、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ スクライブライン １１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ 引っ張り応力 １２ ブレークスキージ １３ 多孔質吸着ステージ １４ 弾性体 １５ 位置決めガイド １６ 位置決めガイド〜基板クリアランス １７ スクライブライン〜ブレーク位置ずれ
Claims (1)
- 【請求項１】 シール材で接合して重ね合わせた２枚の
ガラス基板を液晶表示素子単位で分断するガラス基板分
断方法において、中央部よりも周辺部の密度が大となる
ように吸着孔が配設され、かつ吸着機構が設けられてい
る定盤上に多孔質弾性体を置き、その上に前記ガラス基
板をあらかじめスクライブカッタでスクライブした面を
下側になるように置き吸着して固定した後、前記スクラ
イブした面の反対面上からブレークスキージを押圧する
ことにより前記ガラス基板を分断する際に、 前記多孔質弾性体が、スクライブされた部分を開く方向
でスクライブラインと直角方向に吸着を保ったまま僅か
に伸長し、ガラス基板表面のスクライブ部分に引っ張り
応力をかけ、ブレークスキージによってブレークする際
の引っ張り応力を増大させることを 特徴とするガラス基
板分断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09069729A JP3088327B2 (ja) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | ガラス基板分断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09069729A JP3088327B2 (ja) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | ガラス基板分断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10268275A JPH10268275A (ja) | 1998-10-09 |
| JP3088327B2 true JP3088327B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=13411220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09069729A Expired - Fee Related JP3088327B2 (ja) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | ガラス基板分断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3088327B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013022217A1 (ko) * | 2011-08-05 | 2013-02-14 | 주식회사 엘지화학 | 부착 장치 |
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