JP5158156B2 - 搬送システム - Google Patents
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Description
図1および図2は、それぞれ本発明の実施の形態における基板ブレーク装置1の構成の一例を示す正面図および背面図である。図3は、ワーク3の構成の一例を示す正面図である。基板ブレーク装置1は、スクライブライン8が形成されている脆性材料基板7(図3参照)を、スクライブライン8に沿ってブレークする(切断する)装置である。
図4および図5は、それぞれ姿勢変更ユニット10の構成の一例を示す側面図および平面図である。ここで、姿勢変更ユニット10は、上述のように、ワーク3の姿勢を変更する動作、およびワーク3を搬送ユニット50に受け渡す動作、を実行する。
図6および図7は、搬送ユニット50の構成の一例を示す正面図および背面図である。図8は、可動クランプ部61(61a〜61c)の構成の一例を示す正面図である。図9は、図8のV−V線から見たガイド爪69(69a)付近の断面図である。図10は、図7のW−W線から見たガイド爪69(69d)付近の断面図である。
固定機構60は、平板状のワーク3を起立姿勢で固定する。図6および図7に示すように、固定機構60は、主として、複数のクランプ部61(61a〜61c)、62と、複数の押さえ部71と、を有している。
図11ないし図13は、固定機構60によるワーク3の固定手順および固定解除手順を説明するための背面図である。ここでは、起立姿勢とされたワーク3を固定機構60に固定する手順について説明する。
ここでは、図11ないし図13を参照しつつ、固定機構60により起立姿勢で固定されたワーク3について、このワーク3の固定状態を解除する手順について説明する。
図14は、非接触保持ユニット80の構成の一例を示す正面図である。ここで、非接触保持ユニット80は、上述のように搬送ユニット50に接触保持されたワーク3の第1主面3aを、補助的に非接触保持する。図14に示すように、非接触保持ユニット80は、主として、取付台81と、複数の第1吸引部83と、複数の第2吸引部84と、を有している。
図15は、ブレークユニット85の構成の一例を示す平面図である。ここで、ブレークユニット85は、搬送ユニット50および非接触保持ユニット80により保持状態とされた脆性材料基板7を、スクライブライン8に沿ってブレークする。図15に示すように、ブレークユニット85は、主として、第1ブレークバー86と、複数の第2ブレークバー87と、を有している。
以上のように、本実施の形態の基板ブレーク装置1において、搬送ユニット50(保持ユニット)に脆性材料基板7が保持された場合、第1および第2ブレークバー86、87は、起立姿勢で保持された脆性材料基板7の両主面3a、3b側に配置される。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく様々な変形が可能である。
3 ワーク
4 ダイシングリング
4b 開口
5 ダイシングシート
7 脆性材料基板
8 スクライブライン
9 電子部品
10 姿勢変更ユニット
20 受渡部
21 昇降台
23(23a〜23d) 把持爪
25(25a〜25d) 吸着部
27 受渡用シリンダ
30 揺動部
33 揺動用シリンダ
35 押圧部
37(37a〜37d) 押圧用シリンダ
39(39a〜39d) ローラ
40 本体ユニット
42(42a〜42c) レバー
43、44 ガイド
50 搬送ユニット
51 固定台
51a 貫通孔
52 回転台
60 固定機構
60a、68a 切欠
60b 段差面
60d 対向面
61 クランプ部
61a〜61c 可動クランプ部
66、73(73a〜73d) 付勢部材
67(67a〜67c) 可動ガイド
68 固定ガイド
69(69a〜69d) ガイド爪
71 押さえ部
72 押さえ枠
75(75a〜75d) 間隙
80 非接触保持ユニット
81 取付台
81a 挿入孔
83 第1吸引部
84 第2吸引部
85 ブレークユニット
86 第1ブレークバー
86a 第1進退駆動部
87 第2ブレークバー
87a 第2進退駆動部
90 制御ユニット
D1、D2 間隔(第1および第2間隔)
P10 受渡位置
P11 解除位置
P12 固定位置
P20 ブレーク位置
Claims (2)
- 搬送システムであって、
(a) 固定側ユニットと、
(b) 平板状のワークを起立姿勢で固定する固定機構、を有するとともに、前記固定機構により固定された前記ワークを前記固定側ユニットに対して相対的に移動させる搬送ユニットと、
(c) 前記固定側ユニットおよび前記搬送ユニットの動作を制御する制御ユニットと、
を備え、
前記搬送ユニットの前記固定機構は、
前記ワークの外縁部を一方主面側から押さえる押さえ枠と、
各々が、前記ワークの前記外縁部に突き当たることによって前記ワークの前記外縁部を前記押さえ枠との間で挟み込む複数のクランプ部と、
前記押さえ枠に付勢力を付与することによって、前記ワークの前記外縁部を前記押さえ枠と各クランプ部との間に固定する付勢部材と、
を有し、
前記複数のクランプ部は、
前記押さえ枠の側方から前記押さえ枠に向かう方向において進退移動することで、前記押さえ枠に対して近接または離隔する複数の可動クランプ部と、
前記押さえ枠付近に固定された固定クランプ部と、
を含み、
前記固定側ユニットは、
(a-1) 前記可動クランプ部を、前記押さえ枠に対して近接または離隔する方向に進退させる第1駆動部と、
(a-2) 前記付勢部材に対し、前記付勢部材が前記押さえ枠に対して前記付勢力を付与する付勢方向と逆方向に圧縮力を付与し、または、前記付勢部材に対する前記圧縮力の付与を解除する第2駆動部と、
(a-3) 水平姿勢とされた前記ワークを保持するとともに、起立姿勢とされた前記ワークを前記搬送ユニットに受け渡す受渡部と、
を有し、
前記第2駆動部は、
前記付勢方向に沿って進退するロッドと、
前記ロッドの先端に設けられており、前記付勢部材に対し前記圧縮力を付与した状態で前記搬送ユニットの搬送方向に沿って転がる回転体と、
を有し、
前記制御ユニットが、
(i) 前記受渡部を移動させることによって、前記受渡部に保持された前記ワークを、起立姿勢としつつ前記搬送ユニットの前記固定機構付近に移動させ、
(ii) 前記第1駆動部を動作させることにより、各可動クランプ部を前記押さえ枠から離隔する方向に移動させ、
(iii) 前記第2駆動部を動作させて前記付勢部材に前記圧縮力を付与することにより、前記付勢方向と逆方向に前記押さえ枠を移動させ、
(iv) 前記受渡部に保持された前記ワークに対して前記固定クランプ部を相対的に移動させることで、前記ワークの前記外縁部を前記固定クランプ部に突き当て、
(v) 前記固定クランプ部に前記ワークの前記外縁部が突き当てられた状態で、前記第1駆動部を動作させることにより、各可動クランプ部を前記押さえ枠に近接する方向に移動させるとともに、前記ワークの前記外縁部を各可動クランプ部に突き当て、
(vi) 前記複数の可動クランプ部および前記固定クランプ部に前記ワークの前記外縁部が突き当てられた状態で、前記第2駆動部を動作させて前記付勢部材に対する前記圧縮力の付与を解除することで、前記付勢部材から前記押さえ枠に前記付勢力を付与させて起立姿勢の前記ワークを前記固定機構により固定させ、
(vii) 前記ワークが前記固定機構により固定された状態で、前記受渡部による前記ワークの保持状態を解除させる、
ことによって、起立姿勢とされた前記ワークを前記固定機構に固定することを特徴とする搬送システム。 - 搬送システムであって、
(a) 固定側ユニットと、
(b) 平板状のワークを起立姿勢で固定する固定機構、を有するとともに、前記固定機構により固定された前記ワークを前記固定側ユニットに対して相対的に移動させる搬送ユニットと、
(c) 前記固定側ユニットおよび前記搬送ユニットの動作を制御する制御ユニットと、
を備え、
前記搬送ユニットの前記固定機構は、
前記ワークの外縁部を一方主面側から押さえる環状の押さえ枠と、
各々が、前記ワークの前記外縁部に突き当たることによって前記ワークの前記外縁部を前記押さえ枠との間で挟み込む複数のクランプ部と、
前記押さえ枠に付勢力を付与することによって、前記ワークの前記外縁部を前記押さえ枠と各クランプ部との間に固定する付勢部材と、
を有し、
前記複数のクランプ部は、
前記押さえ枠の側方から前記押さえ枠に向かう方向において進退移動することで、前記押さえ枠に対して近接または離隔する複数の可動クランプ部と、
前記押さえ枠付近に固定された固定クランプ部と、
を含み、
前記固定側ユニットは、
(a-1) 前記可動クランプ部を、前記押さえ枠に対して近接または離隔する方向に進退させる第1駆動部と、
(a-2) 前記付勢部材に対し、前記付勢部材が前記押さえ枠に対して前記付勢力を付与する付勢方向と逆方向に圧縮力を付与し、または、前記付勢部材に対する前記圧縮力の付与を解除する第2駆動部と、
(a-3) 水平姿勢とされた前記ワークを保持するとともに、起立姿勢とされた前記ワークを前記搬送ユニットに受け渡す受渡部と、
を有し、
前記第2駆動部は、
前記付勢方向に沿って進退するロッドと、
前記ロッドの先端に設けられており、前記付勢部材に対し前記圧縮力を付与した状態で前記搬送ユニットの搬送方向に沿って転がる回転体と、
を有し、
前記制御ユニットが、
(i) 前記固定機構により固定されている前記ワークを、前記受渡部に保持させ、
(ii) 前記複数の可動クランプ部および前記固定クランプ部に前記ワークの前記外縁部が突き当てられた状態で、前記第2駆動部を動作させて前記付勢部材に前記圧縮力を付与することで、前記付勢方向と逆方向に前記押さえ枠を移動させて前記固定機構による前記ワークの固定を解除し、
(iii) 前記複数の可動クランプ部および前記固定クランプ部に前記ワークの前記外縁部が突き当てられた状態で、前記第1駆動部を動作させることにより、各可動クランプ部を前記押さえ枠から離隔する方向に移動させ、
(iv) 前記受渡部に保持された前記ワークに対して前記固定クランプ部を相対的に移動させることで、前記ワークの前記外縁部を前記固定クランプ部から離隔させ、
(v) 前記受渡部を移動させることにより、前記受渡部に保持された前記ワークを前記搬送ユニットの前記固定機構から離隔させる、
ことによって、前記固定機構により起立姿勢で固定された前記ワークの固定状態を解除することを特徴とする搬送システム。
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