KR20200121240A - 유지구, 위치 결정 장치, 및 스크라이브 장치 - Google Patents

유지구, 위치 결정 장치, 및 스크라이브 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20200121240A
KR20200121240A KR1020200042639A KR20200042639A KR20200121240A KR 20200121240 A KR20200121240 A KR 20200121240A KR 1020200042639 A KR1020200042639 A KR 1020200042639A KR 20200042639 A KR20200042639 A KR 20200042639A KR 20200121240 A KR20200121240 A KR 20200121240A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
holding
rod
pair
positioning
Prior art date
Application number
KR1020200042639A
Other languages
English (en)
Inventor
요시타카 니시오
Original Assignee
미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 filed Critical 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20200121240A publication Critical patent/KR20200121240A/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/03—Glass cutting tables; Apparatus for transporting or handling sheet glass during the cutting or breaking operations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/22—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising
    • B28D1/225—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising for scoring or breaking, e.g. tiles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0005—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing
    • B28D5/0011—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by breaking, e.g. dicing with preliminary treatment, e.g. weakening by scoring
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/037—Controlling or regulating
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/10—Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
    • C03B33/105—Details of cutting or scoring means, e.g. tips

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

(과제) 기판이 반송 중에 손상되는 것을 억제한다.
(해결 수단) 유지구 (100) 는, 유지 부재 (101) 와, 오목부 (102) 와, 클램프 부재 (103) 를 구비한다. 유지 부재 (101) 는 기판 (S) 을 유지한다. 오목부 (102) 는, 유지 부재 (101) 에 있어서의 기판 (S) 의 위치 결정을 한다. 클램프 부재 (103) 는, 오목부 (102) 에 위치 결정된 기판 (S) 을 유지 부재 (101) 에 클램프한다.

Description

유지구, 위치 결정 장치, 및 스크라이브 장치{MAINTAINING TOOL, POSITIONING APPARATUS AND SCRIBING APPARATUS}
본 발명은, 가공 대상의 기판을 유지하는 유지구, 그 유지구를 구비하는 위치 결정 장치, 및, 당해 위치 결정 장치를 구비하는 스크라이브 장치에 관한 것이다.
종래, 유리 기판, 세라믹스 기판 등의 기판을 자르는 장치가 알려져 있다. 예를 들어, 첩합 (貼合) 한 유리 기판에 스크라이브 라인을 형성하고, 당해 유리 기판의 소편을 자르는 장치가 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 을 참조).
일본 특허공보 5280442호
종래의 기판을 가공하는 장치에서는, 가공 대상의 기판은, 반송기에 의해 그대로 당해 장치에 반송되고 있었다. 가공 대상의 기판이 매우 무른 기판 (얇은 유리 기판 등) 인 경우, 반송기에 의한 반송 중에 당해 기판이 손상을 받는 경우가 있다. 또, 종래의 장치에서는, 반송되어 온 기판을 그대로 흡인 흡착 등에 의해 스테이지에 유지하고 있었다. 그 때문에, 기판을 유지 후에 예비적인 위치 결정이 필요하게 되어 있었다.
본 발명의 목적은, 가공 대상의 기판이 반송 중에 손상되는 것을 억제하는 것에 있다.
이하에, 과제를 해결하기 위한 수단으로서 복수의 양태를 설명한다. 이들 양태는, 필요에 따라 임의로 조합할 수 있다.
본 발명의 일 견지에 관련된 유지구는, 가공 대상의 기판을 유지하기 위한 유지구이다. 유지구는, 유지 부재와, 위치 결정부와, 클램프 부재를 구비한다. 유지 부재는 기판을 유지한다. 위치 결정부는, 유지 부재에 있어서의 기판의 위치 결정을 한다. 클램프 부재는, 위치 결정부에 위치 결정된 기판을 유지 부재에 클램프한다.
상기의 유지구에 기판을 유지함으로써, 매우 무른 기판이더라도 반송 중에 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또, 위치 결정부에 위치 결정한 상태로 기판을 클램프 부재에 의해 클램프함으로써, 기판을 가공하기 전의 예비적인 위치 결정이 불필요해진다.
상기의 유지구에 있어서, 유지 부재에는 개구가 형성되어 있어도 된다. 이에 따라, 유지구에 유지된 기판의 양면을 동시에 가공할 수 있다.
본 발명의 다른 견지에 관련된 위치 결정 장치는, 고정 부재와, 유지구를 구비한다. 고정 부재는, 소정의 평면 내에서 이동 및 회전 가능하다. 유지구는, 고정 부재에 고정되어 기판을 유지하는 유지 부재와, 유지 부재에 있어서의 기판의 위치 결정을 하는 위치 결정부와, 위치 결정부에 위치 결정한 기판을 유지 부재에 클램프하는 클램프 부재를 갖는다.
이에 따라, 매우 무른 기판이더라도 반송 중에 손상되는 일 없이, 당해 기판을 위치 결정 장치까지 반송할 수 있다. 또, 위치 결정 장치에 있어서 예비적인 위치 결정이 불필요해진다. 즉, 위치 결정 장치는, 유지구 전체의 위치 결정만을 실행하면 좋아진다.
본 발명의 또 다른 견지에 관련된 스크라이브 장치는, 위치 결정 장치와, 스크라이브 기구를 구비한다. 위치 결정 장치는, 고정 부재와, 유지구를 갖는다. 고정 부재는, 소정의 평면 내에서 이동 및 회전 가능하다. 유지구는, 고정 부재에 고정되어 기판을 유지하는 유지 부재와, 유지 부재에 있어서의 기판의 위치 결정을 하는 위치 결정부와, 위치 결정부에 위치 결정한 기판을 유지 부재에 클램프하는 클램프 부재를 갖는다. 스크라이브 기구는, 유지구에 유지된 기판의 상면측 및/또는 하면측에 형성된다.
이에 따라, 매우 무른 기판이더라도 스크라이브 장치까지 반송 중에 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또, 스크라이브 장치에 있어서 예비적인 위치 결정이 불필요해진다.
상기의 유지구에 가공 대상의 기판을 유지함으로써, 기판이 반송 중에 손상되는 것을 억제할 수 있음과 함께, 가공 장치에 있어서의 기판의 예비적인 위치 결정이 불필요해진다.
도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 유지구의 상면도이다.
도 2 는, 제 1 실시형태에 관련된 유지구의 A-A' 선에 있어서의 단면도이다.
도 3 은, 제 1 실시형태에 관련된 스크라이브 장치의 개략 단면도이다.
도 4 는, 위치 결정 장치의 상면도.
도 5 는, 위치 결정 장치에 있어서의 기판의 각도 보정 동작을 나타내는 상면도이다.
도 6 은, 위치 결정 장치에 있어서의 기판의 위치 조정 동작을 나타내는 상면도이다.
1. 제 1 실시형태
(1) 유지구
이하, 도 1 및 도 2 를 사용하여, 제 1 실시형태에 관련된 유지구 (100) 를 설명한다. 도 1 은, 제 1 실시형태에 관련된 유지구의 상면도이다. 도 2 는, 제 1 실시형태에 관련된 유지구의 A-A' 선에 있어서의 단면도이다.
제 1 실시형태에 관련된 유지구 (100) 는, 스크라이브 장치 (200) (후술) 와 같은 가공 장치에, 가공 대상이 되는 기판 (S) 을 손상시키는 일 없이 공급함과 함께, 가공 장치에 있어서의 기판 (S) 의 예비적인 위치 결정을 불필요로 하는 기구이다.
유지구 (100) 는, 유지 부재 (101) 를 구비한다. 유지 부재 (101) 는, 예를 들어, 금속제 판상 부재이다. 또한, 본 실시형태의 유지 부재 (101) 는 정방형을 갖고 있지만, 그 형상은 임의로 할 수 있다.
유지 부재 (101) 에는, 가공 대상의 기판 (S) 과 평면에서 보아 동일 형상의 오목부 (102) (위치 결정부의 일례) 가 형성되어 있다. 오목부 (102) 는, 유지 부재 (101) 에 있어서의 기판 (S) 의 위치 결정을 한다. 구체적으로는, 오목부 (102) 의 바닥면에 기판 (S) 이 재치 (載置) 되고, 오목부 (102) 에 기판 (S) 이 삽입됨으로써, 기판 (S) 이 오목부 (102) 에 구속된다.
유지구 (100) 는, 클램프 부재 (103) 를 구비한다. 클램프 부재 (103) 는, 오목부 (102) 에 삽입되어 위치 결정된 기판 (S) 을 클램프하여, 기판 (S) 을 오목부 (102) 의 형성 위치에 고정시키는 부재이다. 본 실시형태에 있어서, 클램프 부재 (103) 는 4 개 형성되고, 기판 (S) 의 각 변을 클램프하고 있다. 또한, 기판 (S) 의 형상 등에 따라서는, 클램프 부재 (103) 의 수를 4 이외로 할 수도 있다.
클램프 부재 (103) 는, 예를 들어, 고무, 실리콘 수지 등의 수지, 또는 플라스틱 재료에 의해 구성된 패널 클램프이다. 클램프 부재 (103) 를 고무, 수지, 플라스틱 재료로 함으로써, 기판 (S) 이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 그 밖에, 금속제 클램프를 클램프 부재 (103) 로서 사용할 수도 있다.
본 실시형태의 유지구 (100) 는, 개구 (O1) 를 또한 구비한다. 개구 (O1) 는, 유지 부재 (101) 에 형성된 오목부 (102) 보다 내측에 형성되고, 기판 (S) 의 하면을 노출시킨다. 이에 따라, 상기의 유지구 (100) 를 구비한 스크라이브 장치 (200) 는, 기판 (S) 의 상면과 하면을 동시에 가공 (스크라이브 라인을 형성) 할 수 있다.
이하, 상기의 구성을 갖는 유지구 (100) 의 사용 형태를 간단하게 설명한다.
기판 (S) 을 스크라이브 장치 (200) 에 공급할 때에, 당해 기판 (S) 은, 유지구 (100) 로 유지된다. 구체적으로는, 유지 부재 (101) 의 오목부 (102) 에 기판 (S) 을 삽입하고, 당해 기판 (S) 을 클램프 부재 (103) 로 고정시킨다. 이에 따라, 유지구 (100) 에 있어서의 기판 (S) 의 위치 결정을 할 수 있으므로, 스크라이브 장치 (200) (위치 결정 장치 (1)) 에 있어서 예비적인 위치 결정이 불필요해진다.
그 후, 기판 (S) 을 유지한 유지구 (100) 가, 반송 장치 (도시하지 않음) 에 의해, 스크라이브 장치 (200) (위치 결정 장치 (1)) 까지 반송된다. 기판 (S) 을 유지구 (100) 로 유지한 상태로 반송함으로써, 반송 시의 기판 (S) 의 손상을 저감할 수 있다. 상기의 유지구 (100) 를 스크라이브 장치 (200) 까지 반송 후, 기판 (S) 을 유지한 유지구 (100) 를, 위치 결정 장치 (1) 의 고정 부재 (11) (후술) 의 상면에 고정시킨다.
(2) 스크라이브 장치
이하, 도 3 을 사용하여, 제 1 실시형태에 관련된 스크라이브 장치 (200) 를 설명한다. 도 3 은, 제 1 실시형태에 관련된 스크라이브 장치의 개략 단면도이다.
이하의 설명에 있어서는, 소정의 수평면 내의 이차원 축으로서 X 축과 Y 축을 정의한다. 또, 그 수평면에 수직인 방향을 나타내는 Z 축을 정의한다. 도 3 에서는, 지면 내의 왼쪽에서 우방향을 정 (正) 의 X 방향으로 하고, 지면에서 상향을 정의 Y 방향으로 한다. 또, 지면 내 아래에서 상방향을 정의 Z 방향으로 한다.
스크라이브 장치 (200) 는, 유지구 (100) 에 유지된 기판 (S) 에 스크라이브 라인을 형성하는 장치이다. 기판 (S) 은, 유리 기판 또는 세라믹스 기판 등의 취성 (脆性) 기판, 또는, 수지 기판 등이다. 스크라이브 장치 (200) 에 의해 기판에 스크라이브 라인을 형성함으로써, 스크라이브 라인을 따라 기판을 분리할 수 있다.
스크라이브 장치 (200) 는, 위치 결정 장치 (1) 와, 스크라이브 기구 (3) 를 구비한다. 위치 결정 장치 (1) 는, 유지구 (100) (에 유지된 기판 (S)) 의 위치 결정을 하는 장치이다. 위치 결정 장치 (1) 에서는, 유지구 (100) 를 고정시키는 고정 부재 (11) 에 형성된 제 1 베어링 부재 (11a) 및 제 2 베어링 부재 (11b) 의 각각이, 제 1 봉상 (棒狀) 부재 (12) 및 제 2 봉상 부재 (13) 의 표면 상을 슬라이딩함으로써, 유지구 (100) 를 수평면 내 (X-Y 평면 내) 에서 위치 결정할 수 있다. 또, 제 1 봉상 부재 (12) 및 제 2 봉상 부재 (13) 가 수평면 내에서 「경동 (傾動)」 함으로써, 유지구 (100) 의 수평면 내에서의 각도를 변경할 수 있다.
스크라이브 기구 (3) 는, 스크라이브 호일 (SW) 을 전동 (轉動) 시켜 기판을 절단하는 장치이다. 스크라이브 호일 (SW) 은, 외주 부분이 V 자형으로 형성된 원판상의 부재이다. 스크라이브 호일 (SW) 의 상기 외주 부분이, 기판 (S) 에 스크라이브 라인을 형성하는 날이 된다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 스크라이브 장치 (200) 에서는, 기판 (S) 의 상면측과 하면측에 스크라이브 기구 (3) 가 형성되어 있다. 이에 따라, 기판 (S) 의 상면과 하면에 동시에 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.
(3) 위치 결정 장치
이하, 도 3 및 도 4 를 사용하여, 스크라이브 장치 (200) 에 구비되는 제 1 실시형태에 관련된 위치 결정 장치 (1) 의 구체적 구성을 설명한다. 도 4 는, 위치 결정 장치의 상면도이다.
제 1 실시형태에 관련된 위치 결정 장치 (1) 는, 「우물정 (井) 자형」 형상으로 배치한 봉상 부재에 의해 유지구 (100) 를 고정한 고정 부재 (11) 를 지지하면서, 당해 고정 부재 (11) 를 봉상 부재에 슬라이딩시킴으로써, 유지구 (100) 를 X-Y 평면 내에서 이동하고, Z 방향의 축 둘레로 회전할 수 있다.
위치 결정 장치 (1) 는, 고정 부재 (11) 와, 제 1 베어링 부재 (11a) 와, 제 2 베어링 부재 (11b) 와, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 와, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 와, 1 쌍의 제 1 구동 기구 (14) 와, 1 쌍의 제 2 구동 기구 (15) 를 갖는다.
고정 부재 (11) 는, 그 상면에 유지구 (100) 를 고정시킨다. 구체적으로는, 고정 부재 (11) 의 상면에, 유지구 (100) 의 유지 부재 (101) 가 고정된다. 또, 고정 부재 (11) 에는, 그 상부에 유지구 (100) 의 사각형의 한 변에 평행한 방향으로 연장되는 개구가 형성된다. 제 1 베어링 부재 (11a) 는, 이 개구에 끼워맞춰진 상태로 고정 부재 (11) 의 상부에 고정되어 있다. 제 1 베어링 부재 (11a) 는, 예를 들어, 에어 베어링 등의 봉상 부재를 매끄럽게 슬라이딩할 수 있는 베어링이다.
한편, 고정 부재 (11) 의 하부에는, 제 1 베어링 부재 (11a) 가 끼워맞춰진 개구가 연장되는 방향과는 수직인 방향으로 연장되는 다른 개구가 형성된다. 제 2 베어링 부재 (11b) 는, 이 개구에 끼워맞춰진 상태로, 고정 부재 (11) 의 하부에 고정되어 있다. 제 1 베어링 부재 (11a) 는, 예를 들어, 에어 베어링 등의 봉상 부재를 매끄럽게 슬라이딩할 수 있는 베어링이다.
1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 는, 긴 기둥 형상의 부재이다. 도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 제 1 봉상 부재 (12) 는, 원기둥 형상의 부재이지만, 각기둥 등의 다각형의 단면 (斷面) 을 갖는 기둥 형상 부재여도 된다. 또한, 제 1 봉상 부재 (12) 의 길이는, 정반 (후술) 의 한 변의 길이보다 길고, 정반의 대각선의 길이보다 약간 길게 해 두는 것이 보다 바람직하다.
1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 의 각각은, 고정 부재 (11) 의 상부에 고정된 제 1 베어링 부재 (11a) 를 관통한다. 이에 따라, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 는, 상기 사각형의 한 변 (제 1 봉상 부재 (12) 의 길이 방향으로 평행한 변) 과는 수직인 방향으로, 사각형의 다른 한 변 (제 1 봉상 부재 (12) 의 길이 방향과는 수직인 변) 의 길이만큼 간격을 띄우고 배치된다.
또, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 가 제 1 베어링 부재 (11a) 를 관통함으로써, 고정 부재 (11) 에 고정된 제 1 베어링 부재 (11a) 는, 제 1 봉상 부재 (12) 의 표면 상을 슬라이딩 가능해진다. 즉, 고정 부재 (11) 가 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 의 표면 상을 슬라이딩함으로써, 유지구 (100) 는 제 1 봉상 부재 (12) 의 길이 방향으로 이동할 수 있다. 또한, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 의 일단에는, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 를 연결하도록, 제 1 낙하 방지 부재 (12a) 가 형성되어 있다.
1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 는, 긴 기둥 형상의 부재이다. 본 실시형태의 제 2 봉상 부재 (13) 는, 원기둥 형상의 부재이지만, 각기둥 등의 다각형의 단면을 갖는 기둥 형상 부재여도 된다. 또한, 제 2 봉상 부재 (13) 의 길이는, 정반 (후술) 의 한 변의 길이보다 길고, 정반의 대각선의 길이보다 약간 길게 해 두는 것이 보다 바람직하다.
1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 의 각각은, 고정 부재 (11) 의 하부에 고정된 제 2 베어링 부재 (11b) 를 관통한다. 이에 따라, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 는, 상기 사각형의 한 변 (제 2 봉상 부재 (13) 의 길이 방향으로 평행한 변) 과는 수직인 방향으로, 사각형의 다른 한 변 (제 2 봉상 부재 (13) 의 길이 방향과는 수직인 변) 의 길이만큼 간격을 띄우고 배치된다.
또, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 가 제 2 베어링 부재 (11b) 를 관통함으로써, 고정 부재 (11) 에 고정된 제 2 베어링 부재 (11b) 는, 제 2 봉상 부재 (13) 의 표면 상을 슬라이딩 가능해진다. 즉, 고정 부재 (11) 가 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 의 표면 상을 슬라이딩함으로써, 유지구 (100) 는 제 2 봉상 부재 (13) 의 길이 방향으로 이동할 수 있다. 또한, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 의 일단에는, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 를 연결하도록, 제 2 낙하 방지 부재 (13a) 가 형성되어 있다.
상기와 같이, 제 1 베어링 부재 (11a) 는 고정 부재 (11) 의 상부에 있어서 고정되고, 제 2 베어링 부재 (11b) 는 고정 부재 (11) 의 하부에 있어서 고정되어 있다. 또, 제 2 베어링 부재 (11b) 는, 제 1 베어링 부재 (11a) 가 연장되는 방향과는 수직 방향으로 연장되어 있다.
베어링 부재의 상기 배치에 의해, 제 1 베어링 부재 (11a) 를 관통하는 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 와, 제 2 베어링 부재 (11b) 를 관통하는 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 는, 고정 부재 (11) 의 배치 위치, 즉, 유지구 (100) 의 네 모퉁이에 있어서, 서로 수직으로 교차한다. 요컨대, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 와 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 는 「우물정 (井) 자형」 형상으로 배치된다. 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 및 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 는, 이 「우물정 (井) 자형」 구조에 의해, 유지구 (100) 를 안정된 상태로 지지할 수 있다.
또, 고정 부재 (11) 가 서로 수직으로 교차하는 제 1 봉상 부재 (12) 및 제 2 봉상 부재 (13) 를 슬라이딩 가능하므로, 고정 부재 (11) 에 고정된 유지구 (100) 는, 이들 2 개의 봉상 부재가 형성하는 평면 (즉, X-Y 평면) 에 있어서 임의의 위치로 이동할 수 있다.
1 쌍의 제 1 구동 기구 (14) 는, 각각, 위치 결정 장치 (1) 의 X 방향의 단부 (端部) 에 형성되고, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 의 대응하는 단부를 접속하고 있다. 보다 구체적으로는, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 의 일단부에 1 개의 제 1 구동 기구 (14) 가 접속되고, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 의 타단부에 1 개의 제 1 구동 기구 (14) 가 접속되어 있다. 각 제 1 구동 기구 (14) 는, 제 1 구동 모터 (14a) 의 구동에 의해 Y 방향으로 이동함으로써, 자신이 접속한 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 의 단부를, Y 방향 (제 1 방향의 일례) 으로 이동시킨다.
상기의 구성에 의해, 1 쌍의 제 1 구동 기구 (14) 는, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 의 2 개의 단부를 독립적으로 Y 방향으로 이동할 수 있다. 또, 1 쌍의 제 1 구동 기구 (14) 는, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 의 단부를 Y 방향으로 이동시킴으로써, 고정 부재 (11) 를 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 의 표면 상에 있어서 슬라이딩할 수 있다. 즉, 1 쌍의 제 1 구동 기구 (14) 는, 유지구 (100) 를 제 2 봉상 부재 (13) 의 길이 방향으로 이동할 수 있다.
또, 1 쌍의 제 1 구동 기구 (14) 는, 각각, 회동 기구 (14b) 를 갖는다. 회동 기구 (14b) 는, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 의 단부를 Z 축 둘레로 회동시킨다.
1 쌍의 제 2 구동 기구 (15) 는, 각각, 위치 결정 장치 (1) 의 Y 방향의 단부에 형성되고, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 의 대응하는 단부를 접속하고 있다. 보다 구체적으로는, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 의 일단부에 1 개의 제 2 구동 기구 (15) 가 접속되고, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 의 타단부에 1 개의 제 2 구동 기구 (15) 가 접속되어 있다. 각 제 2 구동 기구 (15) 는, 제 2 구동 모터 (15a) 의 구동에 의해 X 방향으로 이동함으로써, 자신이 접속한 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 의 단부를, X 방향 (제 2 방향의 일례) 으로 이동시킨다.
상기의 구성에 의해, 1 쌍의 제 2 구동 기구 (15) 는, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 의 2 개의 단부를 독립적으로 X 방향으로 이동할 수 있다. 또, 1 쌍의 제 2 구동 기구 (15) 는, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 의 단부를 X 방향으로 이동시킴으로써, 고정 부재 (11) 를 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 의 표면 상에 있어서 슬라이딩할 수 있다. 즉, 1 쌍의 제 2 구동 기구 (15) 는, 유지구 (100) 를 제 1 봉상 부재 (12) 의 길이 방향으로 이동할 수 있다.
또, 1 쌍의 제 2 구동 기구 (15) 는, 각각, 회동 기구 (15b) 를 갖는다. 회동 기구 (15b) 는, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 의 단부를 Z 축 둘레로 회동시킨다.
위치 결정 장치 (1) 는, 정반 (16) 을 갖는다. 정반 (16) 은, 1 개의 수평면 (X-Y 평면) 이 정의된 중량이 있는 부재이다. 1 쌍의 제 1 구동 기구 (14) 및 1 쌍의 제 2 구동 기구 (15) 는, 정반 (16) 이 정의하는 공통의 수평면 상에 배치된다. 구체적으로는, 1 쌍의 제 1 구동 기구 (14) 는, 각각, 공통의 수평면 상의 X 방향의 단부에 배치된다. 한편, 1 쌍의 제 2 구동 기구 (15) 는, 각각, 공통의 수평면 상의 Y 방향의 단부에 배치된다.
정반 (16) 에 구동 기구를 배치함으로써, 제 1 봉상 부재 (12) 및 제 2 봉상 부재 (13) 를, 공통의 수평면 내에서 이동할 수 있다. 그 결과, 유지구 (100) 의 X 방향 및 Y 방향에 있어서의 위치 결정 정밀도를 높게 할 수 있다.
정반 (16) 은, 예를 들어, 화강암 (그라나이트) 제 석정반이다. 그 밖에, 금속제 정반을 사용할 수도 있다.
위치 결정 장치 (1) 는, 지지 부재 (17) 를 갖는다. 지지 부재 (17) 는, 고정 부재 (11) 의 하단부에 형성되고, 정반 (16) 의 공통의 수평면에 맞닿아 고정 부재 (11) 를 지지한다. 지지 부재 (17) 는, 정반 (16) 의 수평면에 맞닿은 상태로, 고정 부재 (11) 의 이동에 따라서, 정반 (16) 의 수평면 상을 이동한다. 이에 따라, 지지 부재 (17) 는, 고정 부재 (11) (유지구 (100)) 를, 정반 (16) 의 수평면 내에서 안정적으로 이동할 수 있다. 지지 부재 (17) 는, 예를 들어, 에어 패드 등의 완충 부재이다.
상기의 구성을 갖는 위치 결정 장치 (1) 에 유지구 (100) 를 고정시키는 형태로 함으로써, 매우 무른 기판 (S) 이더라도 반송 중에 손상되는 일 없이, 당해 기판 (S) 을 위치 결정 장치 (1) 까지 반송할 수 있다. 또, 위치 결정 장치 (1) 에 있어서 예비적인 위치 결정이 불필요해지므로, 위치 결정 장치 (1) 는, 이하에 나타내는 바와 같이 하여 유지구 (100) 전체의 위치 결정만을 실행하면 좋아진다.
(4) 위치 결정 장치에 의한 기판의 위치 결정 동작
다음으로, 도 5 ∼도 6 을 사용하여, 상기의 구성을 갖는 위치 결정 장치 (1) 를 사용한 기판 (S) 의 위치 결정 동작을 간단하게 설명한다. 도 5 는, 위치 결정 장치에 있어서의 기판의 각도 보정 동작을 나타내는 상면도이다. 도 6 은, 위치 결정 장치에 있어서의 기판의 위치 조정 동작을 나타내는 상면도이다.
먼저, 기판 (S) (유지구 (100)) 을 현재 위치에서 Z 축 둘레로 회전시키는 경우의 동작에 대해서 설명한다. 기판 (S) 을 현재 위치에서 회전시키는 경우, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 1 쌍의 제 1 구동 기구 (14) 의 각각을, X 방향으로 서로 역방향으로 이동시킨다. 그것과 동시에, 1 쌍의 제 2 구동 기구 (15) 를, 각각, Y 방향으로 서로 역방향으로 이동시킨다.
예를 들어, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 정의 X 방향으로 존재하는 제 1 구동 기구 (14) 를 부 (負) 의 Y 방향으로, 부의 Y 방향으로 존재하는 제 1 구동 기구 (14) 를 정의 Y 방향으로, 서로 역방향으로 이동시키고, 정의 Y 방향으로 존재하는 제 2 구동 기구 (15) 를 정의 X 방향으로, 부의 Y 방향으로 존재하는 제 2 구동 기구 (15) 를 부의 X 방향으로, 서로 역방향으로 이동시킨다.
이에 따라, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 가 X 축에 대해 경동 (부의 Y 방향으로 경동) 하고, 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 가 Y 축에 대해 경동 (정의 X 방향으로 경동) 하는 결과, 기판 (S) (유지구 (100)) 이, 현재 위치에 있어서, Z 축 둘레로 시계방향 (도 5 의 경우) 으로 회전한다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 유지구 (100) 가 Z 축 둘레로 회전할 때에, 제 1 구동 기구 (14) 및 제 2 구동 기구 (15) 의 회동 기구 (14b, 15b) 가, 봉상 부재를 Z 축 둘레로 회동하고 있다. 이와 같이, 본 실시형태에 위치 결정 장치 (1) 에서는, 유지구 (100) 의 회전축과, 봉상 부재의 회전축이 이간되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 본 실시형태의 위치 결정 장치 (1) 는, 유지구 (100) (기판 (S)) 를 고정밀도로 회전할 수 있다. 요컨대, 위치 결정 장치 (1) 는, 기판 (S) 의 고정밀도의 각도 보정을 실행할 수 있다.
다음으로, 기판 (S) (유지구 (100)) 을 X 방향 및/또는 Y 방향으로 이동시키는 경우의 동작에 대해서 설명한다. 기판 (S) 을 X 방향의 성분을 적어도 포함하는 방향으로 이동시키는 경우, 1 쌍의 제 2 구동 기구 (15) 를, X 방향에 있어서의 동일 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 유지구 (100) 가, 적어도 X 방향의 성분을 포함하는 방향으로 연장되는 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 를 따라 이동한다.
그 한편, 기판 (S) 을 Y 방향의 성분을 적어도 포함하는 방향으로 이동시키는 경우, 1 쌍의 제 1 구동 기구 (14) 를, Y 방향에 있어서의 동일 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 유지구 (100) 가, 적어도 Y 방향의 성분을 포함하는 방향으로 연장되는 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 를 따라 이동한다.
예를 들어, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 도 5 와 같이 유지구 (100) 를 회전 후에, 또한, 1 쌍의 제 1 구동 기구 (14) 를 정의 Y 방향으로 이동시킴과 동시에, 1 쌍의 제 2 구동 기구 (15) 를 부의 X 방향으로 이동시킨다. 이에 따라, 1 쌍의 제 1 봉상 부재 (12) 및 1 쌍의 제 2 봉상 부재 (13) 가 현재의 경동 각도를 유지하면서 이동하고, 기판 (S) (유지구 (100)) 을 X-Y 평면 내의 두 방향으로 동시에 이동할 수 있다.
(5) 실시형태의 공통 사항
상기 제 1 실시형태는, 하기의 구성 및 기능을 갖고 있다.
유지구 (예를 들어, 유지구 (100)) 는, 가공 대상의 기판 (예를 들어, 기판 (S)) 을 유지하기 위한 유지구이다. 유지구는, 유지 부재 (예를 들어, 유지 부재 (101)) 와, 위치 결정부 (예를 들어, 오목부 (102)) 와, 클램프 부재 (예를 들어, 클램프 부재 (103)) 를 구비한다. 유지 부재는 기판을 유지한다. 위치 결정부는, 유지 부재에 있어서의 기판의 위치 결정을 한다. 클램프 부재는, 위치 결정부에 위치 결정된 기판을 유지 부재에 클램프한다.
상기의 유지구에 기판을 유지함으로써, 매우 무른 기판이더라도 반송 중에 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또, 위치 결정부에 위치 결정한 상태로 기판을 클램프 부재에 의해 클램프함으로써, 기판을 가공하기 전의 예비적인 위치 결정이 불필요해진다.
2. 다른 실시형태
이상, 본 발명의 일 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시형태 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합 가능하다.
제 1 실시형태에서 설명한 유지구 (100) 는, 각종 기판을 유지할 목적으로 사용할 수 있다.
본 발명은, 기판을 유지하는 유지구에 널리 적용할 수 있다.
100 : 유지구
101 : 유지 부재
102 : 오목부
103 : 클램프 부재
O1 : 개구
S : 기판
200 : 스크라이브 장치
1 : 위치 결정 장치
11 : 고정 부재
11a : 제 1 베어링 부재
11b : 제 2 베어링 부재
12 : 제 1 봉상 부재
12a : 제 1 낙하 방지 부재
13 : 제 2 봉상 부재
13a : 제 2 낙하 방지 부재
14 : 제 1 구동 기구
14a : 제 1 구동 모터
14b : 회동 기구
15 : 제 2 구동 기구
15a : 제 2 구동 모터
15b : 회동 기구
16 : 정반
17 : 지지 부재
3 : 스크라이브 기구
SW : 스크라이브 호일

Claims (4)

  1. 가공 대상의 기판을 유지하기 위한 유지구로서,
    상기 기판을 유지하는 유지 부재와,
    상기 유지 부재에 있어서의 상기 기판의 위치 결정을 하는 위치 결정부와,
    상기 위치 결정부에 위치 결정한 상기 기판을 상기 유지 부재에 클램프하는 클램프 부재를 구비하는, 유지구.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유지 부재에는 개구가 형성되는, 유지구.
  3. 소정의 평면 내에서 이동 및 회전 가능한 고정 부재와,
    상기 고정 부재에 고정되어 기판을 유지하는 유지 부재와, 상기 유지 부재에 있어서의 상기 기판의 위치 결정을 하는 위치 결정부와, 상기 위치 결정부에 위치 결정한 상기 기판을 상기 유지 부재에 클램프하는 클램프 부재를 갖는 유지구를 구비하는, 위치 결정 장치.
  4. 소정의 평면 내에서 이동 및 회전 가능한 고정 부재와, 상기 고정 부재에 고정되어 기판을 유지하는 유지 부재와, 상기 유지 부재에 있어서의 상기 기판의 위치 결정을 하는 위치 결정부와, 상기 위치 결정부에 위치 결정한 상기 기판을 상기 유지 부재에 클램프하는 클램프 부재를 갖는 유지구를 갖는 위치 결정 장치와,
    상기 유지구에 유지된 기판의 상면측 및/또는 하면측에 형성된 스크라이브 기구를 구비하는, 스크라이브 장치.
KR1020200042639A 2019-04-15 2020-04-08 유지구, 위치 결정 장치, 및 스크라이브 장치 KR20200121240A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019077178A JP2020175518A (ja) 2019-04-15 2019-04-15 保持具、位置決め装置、及びスクライブ装置
JPJP-P-2019-077178 2019-04-15

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20200121240A true KR20200121240A (ko) 2020-10-23

Family

ID=72913821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200042639A KR20200121240A (ko) 2019-04-15 2020-04-08 유지구, 위치 결정 장치, 및 스크라이브 장치

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2020175518A (ko)
KR (1) KR20200121240A (ko)
CN (1) CN111825322A (ko)
TW (1) TW202040225A (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5280442B2 (ja) 2008-06-25 2013-09-04 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブ装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5280442B2 (ja) 2008-06-25 2013-09-04 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブ装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020175518A (ja) 2020-10-29
CN111825322A (zh) 2020-10-27
TW202040225A (zh) 2020-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8220685B1 (en) System for breaking a semiconductor wafer or other workpiece along a scribe line
WO2009093619A1 (ja) スクライブ装置およびスクライブ方法
JP5399690B2 (ja) 切断装置
JP5167161B2 (ja) 脆性材料基板のブレイク装置
JP2010173902A (ja) 脆性材料基板の搬送・分断装置
KR20180022580A (ko) 판상물 반송 장치 및 가공 장치
JP2017071224A (ja) 基板加工装置
CN111696904A (zh) 搬送装置
JP4170201B2 (ja) 基板加工装置
JP2012051120A (ja) 保持装置および基板ブレーク装置
CN107151091B (zh) 划片设备
KR20200121240A (ko) 유지구, 위치 결정 장치, 및 스크라이브 장치
JP2009297882A (ja) 加工装置
KR102010756B1 (ko) 더미 제거 장치 및 이를 포함하는 스크라이브 장치
JP4854337B2 (ja) 板材の加工装置とそれを備えた加工設備
TW200300273A (en) Method of a aligning a workpiece in a cutting machine
CN216738071U (zh) 划片装置
JP4980761B2 (ja) 搬送装置及び搬送方法
CN107640887B (zh) 划片设备
CN214612189U (zh) 划片装置
KR20200121239A (ko) 위치 결정 장치, 및 스크라이브 장치
JP2009032867A (ja) 分割装置
JP5477440B2 (ja) 固定機構
KR20190018079A (ko) 스크라이빙 장치
JP6585961B2 (ja) 搬送機構及び加工装置