JP6585961B2 - 搬送機構及び加工装置 - Google Patents
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Description
(1)
DO=DA/(1+cos(θ/2))
1 切削装置(加工装置)
2 チャックテーブル
3 切削手段(加工手段)
4 搬送機構
42 固定爪
43 移動爪
48 爪移動手段
49 スケール
5 算出部
Claims (2)
- 円板状ワークの外周を挟持してチャックテーブルに円板状ワークを搬送する搬送機構であって、
円板状ワークの外周に接触する少なくとも2つの固定爪と、
該2つの固定爪を結ぶ線の垂線方向に移動する1つの移動爪と、
該垂線方向に該移動爪を移動させる爪移動手段と、を備え、
該固定爪は、円板状ワークの接線方向に延びる長尺体で形成され、円板状ワークの外周に接触して円板状ワークの径方向の移動を規制する平坦面を有し、
平面視でハの字状に配置され該平坦面を向い合わせた該2つの固定爪と、該平坦面間が狭まる方向に移動する該1つの移動爪とで円板状ワークの外周を挟持する搬送機構。 - 請求項1に記載の搬送機構と、円板状ワークを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持される円板状ワークを加工する加工手段と、を備える加工装置であって、
該搬送機構は、該爪移動手段により移動した該移動爪の位置を計測するスケールを備え、
該スケールが計測した値から円板状ワーク径違いによる円板状ワークの中心の変化量(D O )を、該移動爪が移動した距離(D A )と該2つの固定爪の該平坦面に対する円板状ワークの接触位置と円板状ワークの中心位置が成す角(θ)とを用い、
D O =D A /(1+cos(θ/2))
の式で算出する算出部を更に備え、
該算出部が算出した該変化量を用いて該チャックテーブルと該搬送機構とを相対的に位置調節させ該チャックテーブルの中心に円板状ワークを搬入する加工装置。
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JP (1) | JP6585961B2 (ja) |
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JP5193813B2 (ja) * | 2008-11-11 | 2013-05-08 | 株式会社アルバック | 搬送装置及び真空装置 |
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2015
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