CN214612189U - 划片装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种划片装置，能够包括：划片轮，其构成为以能够旋转的方式安装于划片轮保持器，且在基板上形成划片线；划片轮旋转部件，其构成为配置于划片轮能够接近的位置，且与划片轮接触而使划片轮旋转；以及抽吸口，其构成为配置成邻近划片轮旋转部件，且抽吸划片轮旋转部件周围的空气。

Description

划片装置

技术领域

本实用新型涉及一种构成为为了切割基板而将划片线形成于基板的划片装置(SCRIBING APPARATUS)。

背景技术

一般来讲，在平板显示器上使用液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射式投影仪基板、反射式投影仪基板。平板显示器使用从诸如玻璃之类的脆性母玻璃面板(基板)切割成规定的大小的单位玻璃面板(单位基板)。

切割基板的工序包括划片工序。划片工序在基板上沿着假想的预定线一边对划片轮进行加压一边使划片轮移动而形成划片线。

在基板上形成划片线的工序中，划片轮或基板在划片轮与基板的表面接触的状态下移动。此时，划片轮一边旋转(滚动)一边将划片线形成于基板。

但是，由于各种原因，尤其是在划片轮在划片线的起始点并不适宜地旋转的情况下，存在不能在基板上准确地形成划片线的问题。

实用新型内容

(所要解决的问题)

本实用新型的目的在于提供一种划片装置，其在划片工序之前使划片轮预先旋转，从而能够使划片轮在划片工序中更可靠地旋转。

(解决问题的方案)

旨在达到上述目的的根据本实用新型的实施例的划片装置能够包括：划片轮，其构成为以能够旋转的方式安装于划片轮保持器且在基板形成划片线；划片轮旋转部件，其构成为配置于划片轮能够接近的位置且与划片轮接触而使划片轮旋转；以及抽吸口，其构成为配置成邻近划片轮旋转部件且抽吸划片轮旋转部件周围的空气。

另外，根据本实用新型的实施例的划片装置进一步包括：气体供给器，其构成为供给气体；气动马达，其与划片轮旋转部件连接，且通过从气体供给器供给的气体的压力而产生使划片轮旋转部件旋转的旋转力；以及负压发生器，其与抽吸口连接，且通过从气体供给器供给的气体的压力而在抽吸口产生负压。

抽吸口的内径可以大于划片轮旋转部件的外径。

抽吸口的内径可以大于划片轮的外径与划片轮旋转部件的外径之和。

划片轮旋转部件的旋转中心轴与划片轮的旋转中心轴可以彼此隔开。

划片轮旋转部件的旋转所引起的划片轮的旋转速度可以大于在基板形成划片线时的划片轮的旋转速度。

划片轮的一部分可以从划片轮保持器突出，且在划片轮旋转部件的外周可以形成供划片轮的突出的一部分插入的插入槽。

(实用新型效果)

利用根据本实用新型的实施例的划片装置，则在划片工序之前使划片轮预先旋转，从而能够使划片轮在划片工序中更可靠地旋转。因此，能够在基板更准确地形成划片线。因此，能够提高沿着划片线分割的基板的切割面的质量。

附图说明

图1是示意性地图示了根据本实用新型第一实施例的划片装置的俯视图。

图2和图3是示意性地图示了根据本实用新型第一实施例的划片装置的一部分的侧视图。

图4是根据本实用新型第一实施例的具备于划片装置的划片轮旋转单元的气动回路图。

图5是示意性地图示了根据本实用新型第一实施例的具备于划片装置的划片轮和划片轮旋转单元的图。

图6是示意性地图示了根据本实用新型第二实施例的具备于划片装置的划片轮和划片轮旋转单元的图。

图7是示意性地图示了根据本实用新型第三实施例的具备于划片装置的划片轮和划片轮旋转部件的图。

图8和图9是示意性地图示了根据本实用新型第四实施例的具备于划片装置的划片轮和划片轮旋转部件的图。

(附图标记的说明)

32：划片头；33：划片轮；34：划片轮保持器；70：划片轮旋转单元；

71：划片轮旋转部件；72：抽吸口；73：气体供给器；74：气动马达；

75：负压发生器；76：调节器。

具体实施方式

以下，参照附图对根据本实用新型的实施例的划片装置进行说明。

以下，将要形成划片线的基板的传送方向定义为Y轴方向。将与基板的传送方向(Y轴方向)垂直的方向定义为X轴方向。而且，将与置放基板的X-Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。另外，所谓划片线的用语是指在基板S的表面沿着规定方向延伸地形成的槽和/或裂纹(crack)。

如图1至图3中所图示，根据本实用新型的第一实施例的划片装置能够包括划片单元30、第一传送单元20、第二传送单元40以及划片轮旋转单元70。

第一传送单元20构成为向划片单元30传送基板。第一传送单元20能够包括第一载物台21、夹持部件22、支撑杆23以及导轨24。

第一载物台21发挥支撑基板的作用。作为一个例子，第一载物台21能够由在X轴方向上彼此隔开的多个带(belt)构成。作为另一个例子，虽然未图示，但第一载物台21具备与气体供给源连接而喷射气体的多个气体喷射孔，且能够由朝向基板的下表面喷射气体而使基板漂浮的漂浮工作台(table)构成。作为又一个例子，虽然未图示，但第一载物台21能够由一个带构成。

夹持部件22构成为夹持支撑于第一载物台21上的基板的尾端。

支撑杆23与夹持部件22连接且沿X轴方向延伸。

导轨24与支撑杆23连接且沿Y轴方向延伸。

在支撑杆23与导轨24之间能够具备通过气压或液压而工作的执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠(ball screw)单元之类的直线移动单元。因此，支撑杆23在夹持部件22夹持了基板的状态下通过直线移动单元来沿Y轴方向移动，由此，能够沿Y轴方向传送基板。此时，第一载物台21(例如，带)能够随着夹持部件22的移动而旋转并稳定地支撑基板。

夹持部件22可以是将基板加压而保持的夹具。作为另一个例子，夹持部件22能够构成为具备与真空源连接的真空孔而吸附基板。

另一方面，在本实用新型的第一实施例中对于如下构成进行了说明：在基板装载于第一载物台21的状态下，夹持部件22夹持基板的尾端而沿Y轴方向移动，由此基板沿Y轴方向移动。

但是，本实用新型并不限定于这种构成。例如，划片装置能够包括X轴驱动单元、Y轴驱动单元以及旋转单元。X轴驱动单元能够构成为使第一载物台21沿X轴方向移动。Y轴驱动单元能够构成为使第一载物台21沿Y轴方向移动。旋转单元能够构成为使第一载物台21以Z轴为中心旋转。

根据这种构成，X轴驱动单元使第一载物台21沿X轴方向移动，由此，装载于第一载物台21的基板能够沿X轴方向移动。另外，Y轴驱动单元使第一载物台21沿Y轴方向移动，由此，装载于第一载物台21的基板能够沿Y轴方向移动。另外，旋转单元使第一载物台21以Z轴为中心旋转，由此，装载于第一载物台21的基板能够以Z轴为中心旋转。因此，基板沿X轴方向移动，由此，能够调节基板的相对于划片轮33的位置。另外，基板沿Y轴方向移动，由此，能够调节基板的相对于划片轮33的位置。另外，基板以Z轴为中心旋转，由此，能够调节基板的相对于划片轮33的位置。由此，通过划片轮33来能够在基板上的适当的位置形成划片线。

第二传送单元40构成为将基板从划片单元30向后续工序传送。第二传送单元40能够包括支撑并传送基板的第二载物台41。

作为一个例子，第二载物台41能够由在X轴方向上彼此隔开的多个带构成。作为另一个例子，虽然未图示，但第二载物台41能够由一个带构成。

划片单元30构成为在基板上形成划片线。划片单元30能够包括框架31、划片头32。框架31沿X轴方向延伸。划片头32以能够沿X轴方向移动的方式设置于框架31。

在框架31与划片头32之间具备通过气压或液压而工作的执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠单元之类的直线移动单元。划片头32通过这种直线移动单元来能够沿着框架31在X轴方向上移动。

划片头32能够包括划片轮模块321和划片轮移动模块322。划片轮模块321具备保持划片轮33的划片轮保持器34。划片轮移动模块322构成为使划片轮模块321沿Z轴方向移动。

划片轮模块321通过划片轮移动模块322来朝向基板移动，由此，划片轮33能够对装载于第一载物台21的基板进行加压。根据划片轮33对基板进行加压的程度而能够调节划片轮33对于基板的切削深度。这里，切削深度是指划片轮33插入基板的表面的深度即沿着划片线形成的槽的深度。

划片轮移动模块322能够由通过气压或液压而工作的执行器、通过电磁相互作用而工作的线性马达、或诸如滚珠丝杠单元之类的直线移动单元构成。

划片轮保持器34能够以能够拆装的方式安装于划片轮模块321。

划片轮33能够以能够自如地滚动的方式设置于划片轮保持器34。因此，若划片头32在划片轮33与基板的表面接触的状态下沿水平方向移动或者基板沿水平方向移动，则划片轮33能够以与划片头32的移动方向垂直的轴为中心旋转。即、在划片头32沿X轴方向移动的情况下，划片轮33能够以Y轴为中心旋转。而且，在划片头32沿Y轴方向移动的情况下，划片轮33能够以X轴为中心旋转。

划片轮旋转单元70构成为使划片轮33旋转。如图2至图5中所图示，划片轮旋转单元70能够包括划片轮旋转部件71和抽吸口72。

划片轮旋转部件71配置于划片轮33能够接近的位置。例如，划片轮旋转部件71构成为以与Y轴平行的轴为中心旋转。划片轮旋转部件71与划片轮33接触而旋转，从而使划片轮33旋转。

划片轮旋转部件71能够沿正向或反向旋转。另外，划片轮旋转部件71能够沿正向和反向重复地旋转。划片轮33通过划片轮旋转部件71的正向和/或反向旋转而能够沿正向和/或反向旋转。

在基板上形成划片线的过程之前或之后执行使用划片轮旋转部件71而使划片轮33旋转的过程。由此，能够在形成划片线的过程之前或之后确认划片轮33是否正常旋转、或划片轮33是否在规定的时间内以规定的转数旋转。

因此，能够防止划片轮33在划片工序中不正常旋转的问题。另外，能够防止在划片工序中划片轮33在规定的时间内不以规定的转数旋转的问题。

划片轮旋转部件71和抽吸口72能够一体地安装于一个支撑板77。支撑板77能够配置于框架31的X轴方向一侧。

划片轮旋转部件71能够由刷子、海绵、辊子等具有比划片轮33的刚度低的刚度的材料形成。因此，划片轮旋转部件71能够包围划片轮33的整个外周。因此，增加划片轮旋转部件71与划片轮33之间的接触面积，从而能够使划片轮33更顺利地旋转。

抽吸口72配置成邻近划片轮旋转部件71。抽吸口72构成为抽吸划片轮旋转部件71周围的空气。可以在划片轮旋转部件71的两侧配置一对抽吸口72。但是，本实用新型并不限定于抽吸口72的数量。例如，可以在划片轮旋转部件71的周围配置三个以上的抽吸口72。

如图5中所图示，与划片轮旋转部件71相邻的抽吸口72的一部分形成为向远离划片轮旋转部件71的方向凹陷。因此，形成容纳划片轮旋转部件71的容纳部721。因此，容纳部721具有规定的容纳划片轮旋转部件71的容纳空间。而且，划片轮旋转部件71的至少一部分容纳于抽吸口72内。由于形成有容纳部721，因而划片轮旋转部件71能够最大程度地邻近抽吸口72。

因此，在划片轮33通过划片轮旋转部件71来旋转的过程中产生的热通过抽吸口72来能够顺利地排放到外部。因此，能够防止划片轮33由于热而变形。

另外，如图5中所图示，抽吸口72的内径Ds优选大于划片轮旋转部件71的外径Dc。因此，划片轮旋转部件71能够包括在由抽吸口72的内径Ds所定义的区域内。因此，在划片轮33通过划片轮旋转部件71来旋转的过程中产生的热通过抽吸口72而能够顺利地排放到外部。

另外，抽吸口72的内径Ds优选大于划片轮33的外径Dw与划片轮旋转部件71的外径Dc之和。因此，在划片轮33与划片轮旋转部件71接触的状态下，划片轮33和划片轮旋转部件71能够包括在由抽吸口72的内径Ds所定义的区域内。因此，在划片轮33通过划片轮旋转部件71来旋转的过程中产生的热通过抽吸口72而能够顺利地排放到外部。

另一方面，划片轮旋转部件71的旋转所引起的划片轮33的旋转速度有可能大于在基板上形成划片线时的划片轮33的旋转速度。在使划片轮33在基板上形成划片线之前预先旋转的过程中，划片轮33以更大的速度旋转，因此，能够更可靠地保障划片轮33在划片工序中的旋转。

划片轮旋转单元70能够包括气体供给器73、气动马达74以及负压发生器75。

例如，气体供给器73、气动马达74以及负压发生器75能够一体地安装于支撑板77。

气体供给器73构成为供给气体。例如，气体供给器73能够由气动泵或压缩单元构成。从气体供给器73供给的气体可以是空气或惰性气体。

在气体供给器73上可以连接调节器76。调节器76发挥调节从气体供给器73供给至气动马达74和负压发生器75的气体的压力的作用。

气动马达74构成为通过从气体供给器73供给的气体的压力来产生旋转力。气动马达74通过压力管线P1来与气体供给器73连接。气动马达74通过旋转轴741来与划片轮旋转部件71连接。气动马达74构成为使用从气体供给器73供给的气体的压力而产生使划片轮旋转部件71旋转的旋转力。

负压发生器75构成为通过从气体供给器73供给的气体的压力来产生负压。负压发生器75通过压力管线P2来与抽吸口72连接。负压发生器75构成为使用从气体供给器73供给的气体的压力而在抽吸口72产生负压。例如，负压发生器75能够由具有与大气连通的出口751的文丘里管构成。因此，从气体供给器73供给的气体通过负压发生器75的出口751排放到大气中，由此能够在压力管线P2形成负压。而且，能够在与压力管线P2连接的抽吸口72形成负压。

因此，能够通过从一个气体供给器73供给的气体的压力来划片轮旋转部件71旋转且在抽吸口72形成负压。因此，与另行具备用于使划片轮旋转部件71旋转的构成和用于在抽吸口72形成负压的构成的情况相比，能够简化划片装置的构成和控制方法。

如图2中所图示，划片头32沿着框架31在X轴方向上移动，由此，划片轮33能够位于邻近划片轮旋转部件71的位置。而且，如图3中所图示，划片轮模块321通过划片轮移动模块322来沿Z轴方向移动，由此，划片轮33与划片轮旋转部件71接触。

在这样的状态下，从气体供给器73供给气体，由此，气动马达74进行工作而使划片轮旋转部件71旋转，与此同时，通过负压发生器75来在抽吸口72产生负压。因此，划片轮33能够通过划片轮旋转部件71来旋转。而且，在划片轮33旋转的过程中产生的热能够通过抽吸口72而顺利地排放到外部。

使这样的划片轮33旋转的过程可以在最初在一个基板上形成划片线之前执行，或者以预先设定的周期执行，或者在形成规定长度的划片线之后执行。

以下，参照图6对根据本实用新型的第二实施例的划片装置进行说明。对于与在本实用新型的第一实施例中所说明的部分相同的部分附注相同的附图标记，并省略对其的详细说明。

如图6中所图示，利用根据本实用新型的第二实施例的划片装置，则可以在与划片轮旋转部件71相邻的抽吸口72的端部具备缓冲部722。

缓冲部722可以由具有弹性的挠性材料制成。例如，缓冲部722可以由诸如硅之类的合成树脂形成。

在划片轮33接近划片轮旋转部件71的过程中划片轮33与抽吸口72的端部接触(碰撞)的情况下，缓冲部722吸收划片轮33的冲击。因此，即使划片轮33与抽吸口72的端部接触(碰撞)也能够防止划片轮33损坏。

这样，在抽吸口72的端部具备缓冲部722，由此，防止划片轮33由于与抽吸口72碰撞而损坏。另外，在抽吸口72的端部具备缓冲部722，由此，划片轮33可以接近划片轮旋转部件71而不必担心碰撞。因此，可以不必精密地设计划片轮旋转部件71的设置位置和/或划片轮33向划片轮旋转部件71的接近方向。

另外，在抽吸口72的端部具备缓冲部722，由此，能够最大限度地减小多个抽吸口72之间的间隔，由此，在划片轮33旋转的过程中产生的热能够更顺利地排放到外部。

以下，参照图7对根据本实用新型的第三实施例的划片装置进行说明。对于与在本实用新型的第一和第二实施例中所说明的部分相同的部分附注相同的附图标记，并省略对其的详细说明。

如图7中所图示，利用根据本实用新型的第三实施例的划片装置，则划片轮旋转部件71的旋转中心轴Cc与划片轮33的旋转中心轴Cw能够以竖直轴(Z轴)为基准彼此隔开。

在划片轮33的旋转方向被定在一个方向上的情况下(例如，在划片轮33以图为基准只能沿逆时针方向旋转的情况下)，划片轮旋转部件71的旋转中心轴Cc与划片轮33的旋转中心轴Cw配置成以Z轴为基准彼此隔开。因此，能够增大划片轮旋转部件71的旋转力中在划片轮33的旋转方向上作用的分力的大小。因此，使得划片轮旋转部件71的旋转力更有效地传递至划片轮33，从而使划片轮33能够更顺利地旋转。

以下，参照图8和图9对根据本实用新型的第四实施例的划片装置进行说明。对于与在本实用新型的第一至第三实施例中所说明的部分相同的部分附注相同的附图标记，并省略对其的详细说明。

如图8和图9中所图示，利用根据本实用新型的第四实施例的划片装置，则划片轮33的一部分可以从划片轮保持器34突出。另外，在划片轮旋转部件71的外周可以形成供划片轮33的突出的一部分插入的插入槽711。

如图9中所图示，若划片轮33插入到划片轮旋转部件71的插入槽711中，则划片轮旋转部件71的一部分会插入到划片轮33的侧表面与划片轮保持器34的内表面之间。在划片轮旋转部件71为刷子的情况下，刷子毛会插入到划片轮33的侧表面与划片轮保持器34的内表面之间。

因此，会增加划片轮33的侧表面与划片轮旋转部件71之间的接触面积。由此，能够增加划片轮33的侧表面与划片轮旋转部件71之间的摩擦。因此，划片轮旋转部件71的旋转力能够更有效地传递至划片轮33。因此，划片轮33能够更顺利地旋转，且能够更可靠地保障划片轮33在划片工序中旋转。

虽然例示性地说明了本实用新型的优选实施例，但本实用新型的范围并不限定于这样的特定实施例，可以在权利要求书中所记载的范畴内适当地进行变更。

Claims (7)

1.一种划片装置，其特征在于，包括：

划片轮，其构成为以能够旋转的方式安装于划片轮保持器且将划片线形成于基板；

划片轮旋转部件，其构成为配置于上述划片轮能够接近的位置且与上述划片轮接触而使上述划片轮旋转；以及

抽吸口，其构成为配置成邻近上述划片轮旋转部件且抽吸上述划片轮旋转部件周围的空气。

2.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

进一步包括：

气体供给器，其构成为供给气体；

气动马达，其与上述划片轮旋转部件连接，且通过从上述气体供给器供给的气体的压力来产生使上述划片轮旋转部件旋转的旋转力；以及

负压发生器，其与上述抽吸口连接，且通过从上述气体供给器供给的气体的压力来在上述抽吸口产生负压。

3.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

上述抽吸口的内径大于上述划片轮旋转部件的外径。

4.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

上述抽吸口的内径大于上述划片轮的外径与上述划片轮旋转部件的外径之和。

5.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

上述划片轮旋转部件的旋转中心轴与上述划片轮的旋转中心轴彼此隔开。

6.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

上述划片轮旋转部件的旋转所引起的上述划片轮的旋转速度大于将上述划片线形成于上述基板时的上述划片轮的旋转速度。

7.根据权利要求1所述的划片装置，其特征在于，

上述划片轮的一部分从上述划片轮保持器突出，且在上述划片轮旋转部件的外周形成有供上述划片轮的突出的一部分插入的插入槽。

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