TWM613446U - 劃片裝置 - Google Patents

Abstract

根據本新型的實施例的劃片裝置，可包括：劃片輪，其構成為以能夠旋轉的方式安裝於劃片輪保持器，且在基板上形成劃片線；劃片輪旋轉部件，其構成為配置於劃片輪能夠接近的位置，且與劃片輪接觸而使劃片輪旋轉；以及抽吸口，其構成為配置成鄰近劃片輪旋轉部件，且抽吸劃片輪旋轉部件周圍的空氣。

Description

劃片裝置

本新型涉及一種構成為為了切割基板而將劃片線形成於基板的劃片裝置。

一般來講，在平板顯示器上使用液晶顯示面板、有機電致發光顯示面板、無機電致發光顯示面板、透射式投影儀基板、反射式投影儀基板。平板顯示器使用從諸如玻璃之類的脆性母玻璃面板（基板）切割成規定的大小的單位玻璃面板（單位基板）。

切割基板的工序包括劃片工序。劃片工序在基板上沿著虛擬的預定線一邊對劃片輪進行加壓一邊使劃片輪移動而形成劃片線。

在基板上形成劃片線的工序中，劃片輪或基板在劃片輪與基板的表面接觸的狀態下移動。此時，劃片輪一邊旋轉（滾動）一邊將劃片線形成於基板。

但是，由於各種原因，尤其是在劃片輪在劃片線的起始點並不適宜地旋轉的情況下，存在不能在基板上準確地形成劃片線的問題。

（所要解決的問題）

本新型的目的在於提供一種劃片裝置，其在劃片工序之前使劃片輪預先旋轉，從而能夠使劃片輪在劃片工序中更可靠地旋轉。

（解決問題的方案）

旨在達到上述目的之根據本新型的實施例的劃片裝置可包括：劃片輪，其構成為以能夠旋轉的方式安裝於劃片輪保持器且在基板形成劃片線；劃片輪旋轉部件，其構成為配置於劃片輪能夠接近的位置且與劃片輪接觸而使劃片輪旋轉；以及抽吸口，其構成為配置成鄰近劃片輪旋轉部件且抽吸劃片輪旋轉部件周圍的空氣。

另外，根據本新型的實施例的劃片裝置進一步包括：氣體供給器，其構成為供給氣體；氣動馬達，其與劃片輪旋轉部件連接，且通過從氣體供給器供給的氣體的壓力而產生使劃片輪旋轉部件旋轉的旋轉力；以及負壓發生器，其與抽吸口連接，且通過從氣體供給器供給的氣體的壓力而在抽吸口產生負壓。

抽吸口的內徑可以大於劃片輪旋轉部件的外徑。

抽吸口的內徑可以大於劃片輪的外徑與劃片輪旋轉部件的外徑之和。

劃片輪旋轉部件的旋轉中心軸與劃片輪的旋轉中心軸可以彼此隔開。

劃片輪旋轉部件的旋轉所引起的劃片輪的旋轉速度可以大於在基板形成劃片線時的劃片輪的旋轉速度。

劃片輪的一部分可以從劃片輪保持器突出，且在劃片輪旋轉部件的外周可以形成供劃片輪突出的一部分插入的插入槽。

（新型效果）

利用根據本新型的實施例的劃片裝置，在劃片工序之前使劃片輪預先旋轉，從而能夠使劃片輪在劃片工序中更可靠地旋轉。因此，能夠在基板更準確地形成劃片線。因此，能夠提高沿著劃片線分割的基板的切割面的質量。

以下，參照附圖對根據本新型的實施例的劃片裝置進行說明。

以下，將要形成劃片線的基板的傳送方向定義為Y軸方向。將與基板的傳送方向（Y軸方向）垂直的方向定義為X軸方向。而且，將與置放基板的X-Y平面垂直的方向定義為Z軸方向。另外，所謂劃片線的用語是指在基板S的表面沿著規定方向延伸地形成的槽和/或裂紋（crack）。

如圖1至圖3中所圖示，根據本新型的第一實施例的劃片裝置可包括劃片單元30、第一傳送單元20、第二傳送單元40以及劃片輪旋轉單元70。

第一傳送單元20構成為向劃片單元30傳送基板。第一傳送單元20能夠包括第一載物台21、夾持部件22、支撐桿23以及導軌24。

第一載物台21發揮支撐基板的作用。作為一個例子，第一載物台21能夠由在X軸方向上彼此隔開的多個帶（belt）構成。作為另一個例子，雖然未圖示，但第一載物台21具備與氣體供給源連接而噴射氣體的多個氣體噴射孔，且能夠由朝向基板的下表面噴射氣體而使基板漂浮的漂浮工作台（table）構成。作為又一個例子，雖然未圖示，但第一載物台21能夠由一個帶構成。

夾持部件22構成為夾持支撐於第一載物台21上的基板的尾端。

支撐桿23與夾持部件22連接且沿X軸方向延伸。

導軌24與支撐桿23連接且沿Y軸方向延伸。

在支撐桿23與導軌24之間能夠具備通過氣壓或液壓而工作的執行器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或諸如滾珠螺桿（ball screw）單元之類的直線移動單元。因此，支撐桿23在夾持部件22夾持了基板的狀態下通過直線移動單元來沿Y軸方向移動，由此，能夠沿Y軸方向傳送基板。此時，第一載物台21（例如，帶）能夠隨著夾持部件22的移動而旋轉並穩定地支撐基板。

夾持部件22可以是將基板加壓而保持的夾具。作為另一個例子，夾持部件22能夠構成為具備與真空源連接的真空孔而吸附基板。

另一方面，在本新型的第一實施例中對於如下構成進行了說明：在基板裝載於第一載物台21的狀態下，夾持部件22夾持基板的尾端而沿Y軸方向移動，由此基板沿Y軸方向移動。

但是，本新型並不限定於這種構成。例如，劃片裝置可包括X軸驅動單元、Y軸驅動單元以及旋轉單元。X軸驅動單元能夠構成為使第一載物台21沿X軸方向移動。Y軸驅動單元能夠構成為使第一載物台21沿Y軸方向移動。旋轉單元能夠構成為使第一載物台21以Z軸為中心旋轉。

根據這種構成，X軸驅動單元使第一載物台21沿X軸方向移動，由此，裝載於第一載物台21的基板能夠沿X軸方向移動。另外，Y軸驅動單元使第一載物台21沿Y軸方向移動，由此，裝載於第一載物台21的基板能夠沿Y軸方向移動。另外，旋轉單元使第一載物台21以Z軸為中心旋轉，由此，裝載於第一載物台21的基板能夠以Z軸為中心旋轉。因此，基板沿X軸方向移動，由此，能夠調節基板的相對於劃片輪33的位置。另外，基板沿Y軸方向移動，由此，能夠調節基板相對於劃片輪33的位置。另外，基板以Z軸為中心旋轉，由此，能夠調節基板相對於劃片輪33的位置。由此，通過劃片輪33來能夠在基板上的適當的位置形成劃片線。

第二傳送單元40構成為將基板從劃片單元30向後續工序傳送。第二傳送單元40能夠包括支撐並傳送基板的第二載物台41。

作為一個例子，第二載物台41能夠由在X軸方向上彼此隔開的多個帶構成。作為另一個例子，雖然未圖示，但第二載物台41能夠由一個帶構成。

劃片單元30構成為在基板上形成劃片線。劃片單元30能夠包括框架31、劃片頭32。框架31沿X軸方向延伸。劃片頭32以能夠沿X軸方向移動的方式設置於框架31。

在框架31與劃片頭32之間具備通過氣壓或液壓而工作的執行器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或諸如滾珠螺桿單元之類的直線移動單元。劃片頭32通過這種直線移動單元來能夠沿著框架31在X軸方向上移動。

劃片頭32可包括劃片輪模組321和劃片輪移動模組322。劃片輪模組321具備保持劃片輪33的劃片輪保持器34。劃片輪移動模組322構成為使劃片輪模組321沿Z軸方向移動。

劃片輪模組321通過劃片輪移動模組322來朝向基板移動，由此，劃片輪33能夠對裝載於第一載物台21的基板進行加壓。根據劃片輪33對基板進行加壓的程度而能夠調節劃片輪33對於基板的切削深度。這裡，切削深度是指劃片輪33插入基板的表面的深度即沿著劃片線形成的槽的深度。

劃片輪移動模組322能夠由通過氣壓或液壓而工作的執行器、通過電磁相互作用而工作的線性馬達、或諸如滾珠螺桿單元之類的直線移動單元構成。

劃片輪保持器34能夠以能夠拆裝的方式安裝於劃片輪模組321。

劃片輪33能夠以能夠自如地滾動的方式設置於劃片輪保持器34。因此，若劃片頭32在劃片輪33與基板的表面接觸的狀態下沿水平方向移動或者基板沿水平方向移動，則劃片輪33能夠以與劃片頭32的移動方向垂直的軸為中心旋轉。即，在劃片頭32沿X軸方向移動的情況下，劃片輪33能夠以Y軸為中心旋轉。而且，在劃片頭32沿Y軸方向移動的情況下，劃片輪33能夠以X軸為中心旋轉。

劃片輪旋轉單元70構成為使劃片輪33旋轉。如圖2至圖5中所圖示，劃片輪旋轉單元70能夠包括劃片輪旋轉部件71和抽吸口72。

劃片輪旋轉部件71配置於劃片輪33能夠接近的位置。例如，劃片輪旋轉部件71構成為以與Y軸平行的軸為中心旋轉。劃片輪旋轉部件71與劃片輪33接觸而旋轉，從而使劃片輪33旋轉。

劃片輪旋轉部件71能夠沿正向或反向旋轉。另外，劃片輪旋轉部件71能夠沿正向和反向重複地旋轉。劃片輪33通過劃片輪旋轉部件71的正向和/或反向旋轉而能夠沿正向和/或反向旋轉。

在基板上形成劃片線的過程之前或之後執行使用劃片輪旋轉部件71而使劃片輪33旋轉的過程。由此，能夠在形成劃片線的過程之前或之後確認劃片輪33是否正常旋轉、或劃片輪33是否在規定的時間內以規定的轉數旋轉。

因此，能夠防止劃片輪33在劃片工序中不正常旋轉的問題。另外，能夠防止在劃片工序中劃片輪33在規定的時間內不以規定的轉數旋轉的問題。

劃片輪旋轉部件71和抽吸口72能夠一體地安裝於一個支撐板77。支撐板77能夠配置於框架31的X軸方向一側。

劃片輪旋轉部件71能夠由刷子、海綿、輥子等具有比劃片輪33的剛度低的剛度的材料形成。因此，劃片輪旋轉部件71能夠包圍劃片輪33的整個外周。因此，增加劃片輪旋轉部件71與劃片輪33之間的接觸面積，從而能夠使劃片輪33更順利地旋轉。

抽吸口72配置成鄰近劃片輪旋轉部件71。抽吸口72構成為抽吸劃片輪旋轉部件71周圍的空氣。可以在劃片輪旋轉部件71的兩側配置一對抽吸口72。但是，本新型並不限定於抽吸口72的數量。例如，可以在劃片輪旋轉部件71的周圍配置三個以上的抽吸口72。

如圖5中所圖示，與劃片輪旋轉部件71相鄰的抽吸口72的一部分形成為向遠離劃片輪旋轉部件71的方向凹陷。因此，形成容納劃片輪旋轉部件71的容納部721。因此，容納部721具有規定的容納劃片輪旋轉部件71的容納空間。而且，劃片輪旋轉部件71的至少一部分容納於抽吸口72內。由於形成有容納部721，因而劃片輪旋轉部件71能夠最大程度地鄰近抽吸口72。

因此，在劃片輪33通過劃片輪旋轉部件71來旋轉的過程中產生的熱通過抽吸口72來能夠順利地排放到外部。因此，能夠防止劃片輪33由於熱而變形。

另外，如圖5中所圖示，抽吸口72的內徑Ds優選大於劃片輪旋轉部件71的外徑Dc。因此，劃片輪旋轉部件71可包括在由抽吸口72的內徑Ds所定義的區域內。因此，在劃片輪33通過劃片輪旋轉部件71來旋轉的過程中產生的熱通過抽吸口72而能夠順利地排放到外部。

另外，抽吸口72的內徑Ds優選大於劃片輪33的外徑Dw與劃片輪旋轉部件71的外徑Dc之和。因此，在劃片輪33與劃片輪旋轉部件71接觸的狀態下，劃片輪33和劃片輪旋轉部件71能夠包括在由抽吸口72的內徑Ds所定義的區域內。因此，在劃片輪33通過劃片輪旋轉部件71來旋轉的過程中產生的熱通過抽吸口72而能夠順利地排放到外部。

另一方面，劃片輪旋轉部件71的旋轉所引起的劃片輪33的旋轉速度有可能大於在基板上形成劃片線時的劃片輪33的旋轉速度。在使劃片輪33在基板上形成劃片線之前預先旋轉的過程中，劃片輪33以更大的速度旋轉，因此，能夠更可靠地保障劃片輪33在劃片工序中的旋轉。

劃片輪旋轉單元70能夠包括氣體供給器73、氣動馬達74以及負壓發生器75。

例如，氣體供給器73、氣動馬達74以及負壓發生器75能夠一體地安裝於支撐板77。

氣體供給器73構成為供給氣體。例如，氣體供給器73能夠由氣動泵或壓縮單元構成。從氣體供給器73供給的氣體可以是空氣或惰性氣體。

在氣體供給器73上可以連接調節器76。調節器76發揮調節從氣體供給器73供給至氣動馬達74和負壓發生器75的氣體的壓力的作用。

氣動馬達74構成為通過從氣體供給器73供給的氣體的壓力來產生旋轉力。氣動馬達74通過壓力管線P1來與氣體供給器73連接。氣動馬達74通過旋轉軸741來與劃片輪旋轉部件71連接。氣動馬達74構成為使用從氣體供給器73供給的氣體的壓力而產生使劃片輪旋轉部件71旋轉的旋轉力。

負壓發生器75構成為通過從氣體供給器73供給的氣體的壓力來產生負壓。負壓發生器75通過壓力管線P2來與抽吸口72連接。負壓發生器75構成為使用從氣體供給器73供給的氣體的壓力而在抽吸口72產生負壓。例如，負壓發生器75能夠由具有與大氣連通的出口751的文氏管構成。因此，從氣體供給器73供給的氣體通過負壓發生器75的出口751排放到大氣中，由此能夠在壓力管線P2形成負壓。而且，能夠在與壓力管線P2連接的抽吸口72形成負壓。

因此，能夠通過從一個氣體供給器73供給的氣體的壓力使劃片輪旋轉部件71旋轉且在抽吸口72形成負壓。因此，與另行具備用於使劃片輪旋轉部件71旋轉的構成和用於在抽吸口72形成負壓的構成的情況相比，能夠簡化劃片裝置的構成和控制方法。

如圖2中所圖示，劃片頭32沿著框架31在X軸方向上移動，由此，劃片輪33能夠位於鄰近劃片輪旋轉部件71的位置。而且，如圖3中所圖示，劃片輪模組321通過劃片輪移動模組322來沿Z軸方向移動，由此，劃片輪33與劃片輪旋轉部件71接觸。

在這樣的狀態下，從氣體供給器73供給氣體，由此，氣動馬達74進行工作而使劃片輪旋轉部件71旋轉，與此同時，通過負壓發生器75來在抽吸口72產生負壓。因此，劃片輪33能夠通過劃片輪旋轉部件71來旋轉。而且，在劃片輪33旋轉的過程中產生的熱能夠通過抽吸口72而順利地排放到外部。

使這樣的劃片輪33旋轉的過程可以在最初在一個基板上形成劃片線之前執行，或者以預先設定的週期執行，或者在形成規定長度的劃片線之後執行。

以下，參照圖6對根據本新型的第二實施例的劃片裝置進行說明。對於與在本新型的第一實施例中所說明的部分相同的部分附註相同的附圖標記，並省略對其的詳細說明。

如圖6中所圖示，利用根據本新型的第二實施例的劃片裝置，則可以在與劃片輪旋轉部件71相鄰的抽吸口72的端部具備緩衝部722。

緩衝部722可以由具有彈性的撓性材料製成。例如，緩衝部722可以由諸如矽膠之類的合成樹脂形成。

在劃片輪33接近劃片輪旋轉部件71的過程中劃片輪33與抽吸口72的端部接觸（碰撞）的情況下，緩衝部722吸收劃片輪33的衝擊。因此，即使劃片輪33與抽吸口72的端部接觸（碰撞）也能夠防止劃片輪33損壞。

這樣，在抽吸口72的端部具備緩衝部722，由此，防止劃片輪33由於與抽吸口72碰撞而損壞。另外，在抽吸口72的端部具備緩衝部722，由此，劃片輪33可以接近劃片輪旋轉部件71而不必擔心碰撞。因此，可以不必精密地設計劃片輪旋轉部件71的設置位置和/或劃片輪33向劃片輪旋轉部件71的接近方向。

另外，在抽吸口72的端部具備緩衝部722，由此，能夠最大限度地減小多個抽吸口72之間的間隔，由此，在劃片輪33旋轉的過程中產生的熱能夠更順利地排放到外部。

以下，參照圖7對根據本新型的第三實施例的劃片裝置進行說明。對於與在本新型的第一實施例和第二實施例中所說明的部分相同的部分附註相同的附圖標記，並省略對其的詳細說明。

如圖7中所圖示，利用根據本新型的第三實施例的劃片裝置，則劃片輪旋轉部件71的旋轉中心軸Cc與劃片輪33的旋轉中心軸Cw能夠以豎直軸（Z軸）為基準彼此隔開。

在劃片輪33的旋轉方向被定在一個方向上的情況下（例如，在劃片輪33以圖為基準只能沿逆時針方向旋轉的情況下），劃片輪旋轉部件71的旋轉中心軸Cc與劃片輪33的旋轉中心軸Cw配置成以Z軸為基準彼此隔開。因此，能夠增大劃片輪旋轉部件71的旋轉力中在劃片輪33的旋轉方向上作用的分力的大小。因此，使得劃片輪旋轉部件71的旋轉力更有效地傳遞至劃片輪33，從而使劃片輪33能夠更順利地旋轉。

以下，參照圖8和圖9對根據本新型的第四實施例的劃片裝置進行說明。對於與在本新型的第一至第三實施例中所說明的部分相同的部分附註相同的附圖標記，並省略對其的詳細說明。

如圖8和圖9中所圖示，利用根據本新型的第四實施例的劃片裝置，則劃片輪33的一部分可以從劃片輪保持器34突出。另外，在劃片輪旋轉部件71的外周可以形成供劃片輪33的突出的一部分插入的插入槽711。

如圖9中所圖示，若劃片輪33插入到劃片輪旋轉部件71的插入槽711中，則劃片輪旋轉部件71的一部分會插入到劃片輪33的側表面與劃片輪保持器34的內表面之間。在劃片輪旋轉部件71為刷子的情況下，刷子毛會插入到劃片輪33的側表面與劃片輪保持器34的內表面之間。

因此，會增加劃片輪33的側表面與劃片輪旋轉部件71之間的接觸面積。由此，能夠增加劃片輪33的側表面與劃片輪旋轉部件71之間的摩擦。因此，劃片輪旋轉部件71的旋轉力能夠更有效地傳遞至劃片輪33。因此，劃片輪33能夠更順利地旋轉，且能夠更可靠地保障劃片輪33在劃片工序中旋轉。

雖然例示性地說明了本新型的優選實施例，但本新型的範圍並不限定於這樣的特定實施例，可以在申請專利範圍中所記載的範疇內適當地進行變更。

20:第一傳送單元 21:第一載物台 22:夾持部件 23:支撐桿 24:導軌 30:劃片單元 31:框架 32:劃片頭 321:劃片輪模組 322:劃片輪移動模組 33:劃片輪 34:劃片輪保持器 40:第二傳送單元 41:第二載物台 70:劃片輪旋轉單元 71:劃片輪旋轉部件 711:插入槽 72:抽吸口 721:容納部 722:緩衝部 73:氣體供給器 74:氣動馬達 741:旋轉軸 75:負壓發生器 751:出口 76:調節器 77:支撐板 Cc:旋轉中心軸 Cw:旋轉中心軸 Dc:外徑 Ds:內徑 Dw:外徑 P1:壓力管線 P2:壓力管線

圖1是示意性地圖示了根據本新型第一實施例的劃片裝置的俯視圖。 圖2和圖3是示意性地圖示了根據本新型第一實施例的劃片裝置的一部分的側視圖。 圖4是根據本新型第一實施例的具備於劃片裝置的劃片輪旋轉單元的氣動回路圖。 圖5是示意性地圖示了根據本新型第一實施例的劃片裝置的劃片輪和劃片輪旋轉單元的圖。 圖6是示意性地圖示了根據本新型第二實施例的劃片裝置的劃片輪和劃片輪旋轉單元的圖。 圖7是示意性地圖示了根據本新型第三實施例的劃片裝置的劃片輪和劃片輪旋轉部件的圖。 圖8和圖9是示意性地圖示了根據本新型第四實施例的劃片裝置的劃片輪和劃片輪旋轉部件的圖。

31:框架

32:劃片頭

321:劃片輪模組

322:劃片輪移動模組

33:劃片輪

34:劃片輪保持器

70:劃片輪旋轉單元

71:劃片輪旋轉部件

72:抽吸口

77:支撐板

Claims (7)

1. 一種劃片裝置，包括： 劃片輪，其構成為以能夠旋轉的方式安裝於劃片輪保持器且將劃片線形成於基板； 劃片輪旋轉部件，其構成為配置於該劃片輪能夠接近的位置且與該劃片輪接觸而使該劃片輪旋轉；以及 抽吸口，其構成為配置成鄰近該劃片輪旋轉部件且抽吸該劃片輪旋轉部件周圍的空氣。
2. 根據請求項1所述的劃片裝置，進一步包括： 氣體供給器，其構成為供給氣體； 氣動馬達，其與該劃片輪旋轉部件連接，且通過從該氣體供給器供給的氣體的壓力來產生使該劃片輪旋轉部件旋轉的旋轉力；以及 負壓發生器，其與該抽吸口連接，且通過從該氣體供給器供給的氣體的壓力來在該抽吸口產生負壓。
3. 根據請求項1所述的劃片裝置，其中該抽吸口的內徑大於該劃片輪旋轉部件的外徑。
4. 根據請求項1所述的劃片裝置，其中該抽吸口的內徑大於該劃片輪的外徑與該劃片輪旋轉部件的外徑之和。
5. 根據請求項1所述的劃片裝置，其中該劃片輪旋轉部件的旋轉中心軸與該劃片輪的旋轉中心軸彼此隔開。
6. 根據請求項1所述的劃片裝置，其中該劃片輪旋轉部件的旋轉所引起的該劃片輪的旋轉速度大於將該劃片線形成於該基板時的該劃片輪的旋轉速度。
7. 根據請求項1所述的劃片裝置，其中該劃片輪的一部分從該劃片輪保持器突出，且在該劃片輪旋轉部件的外周形成有供該劃片輪的突出的一部分插入的插入槽。

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