JP2015051864A - 基板反転搬送装置 - Google Patents
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また逆に、スクライブ装置のテーブル上に載置してある基板を反転機構の反転板で吸着して反転させた後、上向きになった反転機構の反転板上にある基板を、吸着搬送機構の吸着板で吸着してブレイク装置のテーブルまで搬送する等の手段がとられている。
また、後者の場合も同様であり、吸着搬送機構がブレイク装置のテーブルから反転機構まで戻った後、反転機構から基板を受け取ってブレイク装置のテーブルまで移動する動作に時間がかかる。
このため、待ち時間の少ないスムーズな作業処理ができず、反転して移送する処理全体のタクト時間も長くなって作業効率が悪いといった問題点があった。
また、前記基板を吸着した吸着搬送機構が前記反転機構に向かって移動する動作と、前記反転機構が吸着搬送機構に向かって移動する動作とが、同期して行われるように形成するのが好ましい。
本実施例で示す基板反転搬送装置Aは、図1に示すように、反転すべき基板Wを載置して搬送する搬送体1と、運ばれてきた基板Wを吸着して持ち上げ、後記の反転機構3に受け渡す吸着搬送機構2と、この吸着搬送機構2から受け取った基板Wを反転させて次工程のステージ4に受け渡す反転機構3とからなる。
搬送体1で運ばれてくる基板Wには、例えばスクライブ装置(図示外)により、上面に複数条の分断用のスクライブラインが形成されている。なお、搬送体1は、図1に示すようなコンベア1aに代えて、スクライブ装置の可動テーブルとしてもよい。また、反転機構3により反転された基板Wを受け取る次工程のステージ4は、本実施例では基板Wをスクライブラインに沿って分断するブレイク装置(図示外)に搬送するコンベア4aを用いているが、これについても、コンベア4aに代えてブレイク装置の可動テーブルとしてもよい。
なお、説明の便宜上、図1では、吸着搬送機構2と反転機構3とが相対的に移動する方向をX方向とし、X方向と直交する方向をY方向とする。
吸着板11は、その下面に多数のエア吸引孔が設けられ、図示は省略するが、配管を介してバキュームポンプ等のエア吸引源に接続されている。また、第一走行体7はモータを内蔵する駆動部12によって駆動される。
第二走行体13には、Y方向に延びる回転軸15が設けられており、回転軸15にアーム16、16を介して反転板17が取り付けられている。この回転軸15の回動により、反転板17が吸着搬送機構2側に向いた水平な姿勢(図1並びに図2(a)参照)からステージ4側に反転した姿勢(図2(b)参照)、並びにその逆方向に反転回動できるように形成されている。
反転板17は、吸着搬送機構2側に向いた水平な姿勢においてその上面に多数のエア吸引孔17aが設けられており、図示は省略するが、配管を介してバキュームポンプ等のエア吸引源に接続されている。また、回転軸15はモータを内蔵する駆動部18によって駆動される。
以下、この動作を図2並びに図3に基づいて説明する。
この位置で、図2(b)に示すように、吸着搬送機構2の吸着板11の降下と、反転機構3の反転板17の反転動作とが同期して行われ、吸着板11により基板Wが吸着される。
なお、以下において、吸着搬送機構2が搬送体1上の基板Wを吸着する位置を「基板吸着位置」といい、反転機構3の反転板17が反転する位置を「基板反転位置」といい、「基板吸着位置」と「基板反転位置」の中間地点を「基板受け渡し位置」という。
なお、上記した吸着搬送機構2並びに反転機構3の動作は、それぞれの機構の各駆動部をコンピュータ制御することにより行われる。
W 基板
1 搬送体
2 吸着搬送機構
3 反転機構
4 次工程のステージ
5 機枠
6 レール
11 吸着板
17 反転板
Claims (3)
- 反転すべき基板を吸着して後記の反転機構に受け渡す吸着搬送機構と、当該吸着搬送機構から受け取った基板を反転させて次工程のステージ上に受け渡す反転機構とを備え、
前記吸着搬送機構と前記反転機構とは互いに近接、離反する方向に移動可能に形成され、
前記吸着搬送機構と前記反転機構とが互いに近接した基板受け渡し位置まで移動したときに、前記吸着搬送機構から前記反転機構への基板の受け渡しが行われるように形成され、
前記吸着搬送機構と前記反転機構が互いに遠のいた位置で、前記吸着搬送機構による基板の吸着動作と、前記反転機構から次工程のステージへの基板の受け渡し動作とが行われるように形成したことを特徴とする基板反転搬送装置。 - 前記吸着搬送機構による基板吸着動作と、前記反転機構による基板反転動作とが同期して行われるように形成したことを特徴とする請求項1に記載の基板反転搬送装置。
- 前記基板を吸着した前記吸着搬送機構が前記反転機構に向かって移動する動作と、前記反転機構が前記吸着搬送機構に向かって移動する動作とが、同期して行われるように形成したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板反転搬送装置。
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