CN111233313B - 基板切割装置 - Google Patents

Abstract

根据本发明实施例的基板切割装置可以包括：划片单元，能够在基板上形成划线；第一装载台，将所述基板传送到所述划片单元；夹具模块，构成为把持所述基板，并沿所述基板的传送方向移动；第二装载台，配置在所述划片单元的下游侧，并包括接收通过所述划片单元形成了划线的所述基板并具有收容所述夹具模块的收容部；收容部位置检测传感器，检测所述收容部的位置；以及控制单元，基于通过所述收容部位置检测传感器检测的所述收容部的位置，控制所述夹具模块和所述第二装载台，使得所述夹具模块收容于所述收容部。

Description

基板切割装置

技术领域

本发明涉及切割基板的基板切割装置。

背景技术

通常，用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示面板、无机电致发光显示面板、透射投影仪基板、反射投影仪基板等使用单位玻璃面板(以下，称为“单位基板”)，所述单元玻璃面板是通过如玻璃等脆性的母玻璃面板(以下，称为“基板”)切割成预定尺寸而获得的。

将基板切割成单元基板的工序包括划片工序，所述划片工序是沿着成为切割基板的基准的切割预定线，用如钻石等材料制成的划片轮来加压基板的状态下移动划片轮来在基板上形成划线。

在这种划片工序中，在通过第一传送带支撑基板的状态下，基板的后行端由夹具把持，被传送到划片单元。即，在夹具把持基板的后行端的状态下，向划片单元移动的同时，驱动第一传送带，由此基板被传送到划片单元。

通过划片单元形成了划片的基板被传送到第二传送带。此时，为了保持多个单元工序的准确性，重要的是基板的底面整体需要稳定地安置在第二传送带的上面。

但是，为了防止第二传送带和夹具之间的干涉，在基板的后行端安置在第二传送带之前，夹具会松开基板的后行端。因此，由于在基板的后行端没有支撑在第二传送带的上面的状态下，夹具松开基板的后行端，导致基板的底面整体不能稳定地安置在第二传送带上，因此存在基板的后行端下垂的问题。

发明内容

本发明为了解决上述问题，其目的在于提供一种在基板从第一传送带传递到第二传送带时，能够防止基板的后行端下垂的基板切割装置。

为了达到上述目的，本发明实施例的基板切割装置可以包括：划片单元，能够在基板上形成划线；第一装载台，将基板传送到划片单元；夹具模块，构成为把持基板的夹具模块，并沿基板的传送方向移动；第二装载台，配置在划片单元的下游侧，并包括接收通过划片单元形成了划线的基板并具有收容夹具模块的收容部；收容部位置检测传感器，检测收容部的位置；以及控制单元，基于通过收容部位置检测传感器检测的收容部的位置，控制夹具模块和第二装载台，使得夹具模块收容于收容部。

可以是，控制单元基于通过收容部位置检测传感器检测的收容部的位置，使第二装载台移动，使得收容部位于待机位置。

可以是，第二装载台由无线轨道方式工作的一个传送带构成。

可以是，本发明的实施例的基板切割装置还包括：夹具模块位置检测传感器，检测夹具模块的位置，控制单元基于通过收容部位置检测传感器检测的收容部的位置和通过夹具模块位置检测传感器检测的夹具模块的位置，控制夹具模块和第二装载台，以使夹具模块收容于第二装载台的收容部。

可以是，夹具模块位置检测传感器包括：第一光学要件，连接于夹具模块；以及第二光学要件，以夹具模块为基准，设置于基板的传送方向上的上游侧，并可以基于第一光学要件对第二光学要件的位置，检测夹具模块的位置。

可以是，本发明实施例的基板切割装置还包括：基板位置检测传感器，检测基板的前端的位置，控制单元可以基于通过基板位置检测传感器检测的基板的前端的位置来检测夹具模块的位置，并基于夹具模块的位置和通过收容部位置检测传感器检测的收容部的位置来控制夹具模块和第二装载台，以使夹具模块收容于第二装载台的收容部。

本发明的实施例的基板切割装置可以包括：划片单元，能够在基板上形成划线；第一装载台，将基板传送至划片单元；夹具模块，构成为把持基板，并能够沿基板的传送方向移动；第二装载台，配置在划片单元的下游侧，包括接收通过划片单元形成了划线的基板并具有收容夹具模块的收容部；夹具模块位置检测传感器，检测夹具模块的位置；以及控制单元，基于通过夹具模块位置检测传感器检测的夹具模块的位置，控制夹具模块和第二装载台，使得夹具模块收容于第二装载台的收容部。

本发明的实施例的基板切割装置可以包括：划片单元，能够在基板上形成划线；第一装载台，将基板传送至划片单元；夹具模块，构成为把持基板，并能够沿基板的传送方向移动；第二装载台，配置在划片单元的下游侧，包括接收通过划片单元形成了划线的基板并具有收容夹具模块的收容部；基板位置检测传感器，检测基板的前端的位置；以及控制单元，基于通过基板位置检测传感器检测的基板的前端的位置来检测夹具模块的位置，并基于夹具模块的位置来控制夹具模块和第二装载台，使得夹具模块收容于第二装载台的收容部。

发明效果

根据本发明的实施例的基板切割装置，基于通过收容部位置检测传感器和夹具模块位置检测传感器检测的收容部的位置和夹具的位置，把持着基板且在第一装载台上的夹具模块能够稳定地移动到第二装载台的第二收容部。因此，能够防止基板的后行端在第二装载台上下垂，基板的底面整体能够稳定地安置在第二装载台上，能够提供单元工序的准确性。

附图说明

图1是概略表示本发明实施例的基板切割装置的平面图。

图2是概略表示本发明实施例的基板切割装置的示意图。

图3和图4是概略表示本发明的实施例的基板切割装置的第一传送单元和夹具单元的操作过程的示意图。

图5和图6是概略表示本发明的实施例的基板切割装置的夹具模块的操作过程的示意图。

图7和图8是概略表示本发明的实施例的基板切割装置的基板传送过程的示意图。

图9是概略表示本发明的实施例的基板切割装置的另一例的图。

图10是概略表示本发明的实施例的基板切割装置的又一例的图。

附图标记说明

10：第一传送单元 11：第一装载台

111：第一收容部 12：第一滑轮

20：第二传送单元 21：第二装载台

211：第二收容部 22：第二滑轮

23：收容部位置检测传感器 25：夹具模块位置检测传感器

30：划片单元 31：第一框架

32：第一划片头 33：第一轮支架

34：第一划片轮 35：第二框架

36：第二划片头 37：第二轮支架

38：第二划片轮 40：夹具单元

41：夹具模块 411：基底部件

412：夹具本体 413：位置调节部

414：夹具部件 415：接触垫

416：驱动部 42：支撑架

43：导向件 44：移动模块

45：导轨 50：控制单元

具体实施方式

以下，参照附图，说明根据本发明实施例的基板切割装置。

由本发明的实施例的基板切割装置切割的对象可以是多个基板粘合的粘合基板。例如，粘合基板是第一基板和第二基板粘合的基板，第一基板可以具有薄膜晶体管，第二基板可以具有滤色器。与此相反，第一基板可以具有滤色器，第二基板可以具有薄膜晶体管。以下，将粘合基板简称为基板，将暴露在外部的第一基板的表面称为第一面，将暴露至外部的第二基板的表面称为第二面。

此外，将传送待执行基板切割工序的基板的方向定义为Y轴方向，将垂直于传送基板的方向(Y轴方向)的方向定义为X轴方向。另外，将垂直于放置基板的X-Y平面的方向定义为Z轴方向。

图1和图2是概略表示本发明的实施例的基板切割装置的示意图。

参照图1和图2，根据本发明实施例的基板切割装置可以包括：划片单元30，用于在基板S上形成划线；第一传送单元10，将基板S传送至划片单元30；第二传送单元20，将基板S从划片单元30传送至后续工序；夹具单元40，传送基板时把持基板的一端；控制单元50(参照图3至图6)，控制基板切割装置的构成要件的操作。

划片单元30构成为能够在基板S的第一面和第二面上沿X轴方向分别形成划线。

划片单元30可以包括：第一框架31，配置在为了执行工序而被传送的基板的上方；第一划片头32，沿X轴方向可移动地设置在第一框架31；第二框架35，与第一框架31平行地配置在基板下方；第二划片头(36)，沿X轴方向可移动地设置在第二框架35。

第一框架31上可以沿X轴方向安装多个第一划片头32，第二框架35上可以沿X轴方向安装多个第二划片头36。第一框架31和第二框架35之间可以形成基板S通过的空间。第一框架31和第二框架35可以制造成单独的部件并进行组装，也可以制造成一体。

第一划片头32和第二划片头36可以沿Z轴方向彼此对向配置。第一划片头32和第二划片头36上可以分别设置第一划片轮34和第二划片轮38。第一划片轮34和第二划片轮38可以分别通过第一轮支架33和第二轮支架37安装在第一划片头32和第二划片头36上。安装在第一划片头32上的第一划片轮34和安装在第二划片头36上第二划片轮38可以沿Z轴方向彼此相对地配置。

第一划片轮34和第二划片轮38可以分别加压基板S的第一面和第二面。在第一划片轮34和第二划片轮38分别加压基板S的第一面和第二面的状态下，通过第一划片头32和第二划片头36相比于基板S沿X轴方向相对移动，在基板S的第一面和第二面上可以沿X轴方向形成划线。

另一方面，第一划片头32和第二划片头36分别构成为相对第一框架31和第二框架35沿Z轴方向可移动。为此，第一框架31和第二框架35上可以设置有如使用气压或油压运行的致动器，在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆装置等直线移动机构。直线移动机构可以提供使第一划片头32和第二划片头36沿Z轴方向移动的驱动力。

随着第一划片头32和第二划片头36分别相对于第一框架31和第二框架35沿Z轴方向移动，第一划片轮34和第二划片轮38可加压基板S或从基板S离开。另外，通过调节第一划片头32和第二划片头36沿Z轴方向移动的程度，可调节第一划片轮34和第二划片轮38施加在基板S上压力。此外，通过第一划片头32和第二划片头36沿Z轴方向移动，可以调节第一划片轮34和第二划片轮38在基板S上的切割深度。

第一传送单元10可以包括支撑基板S的第一装载台11。第一装载台11可以沿Y轴方向往复移动。随着第一装载台11沿Y轴方向移动，支撑在第一装载台11上的基板S可以沿Y轴方向移动。第一装载台11可以由真空台、传送带等能够支撑基板S并沿水平移动基板S的多种结构构成。

第一装载台11可以由具有基板S的整体面积以上的面积的一个传送带构成。由于第一装载台11由一个传送带构成，可以防止因多个传送带沿X轴方向间隔配置可能会发生的问题。当第一装载台11由传送带构成时，第一装载台11由多个滑轮12支撑。多个滑轮12中的至少一个可以是用于提供使第一装载台11旋转的驱动力的驱动滑轮。

第一装载台11具有支撑基板S的支撑面。在第一装载台11的支撑面上可以形成有第一收容部111，夹具单元40的夹具模块41插入收容在第一收容部111中。第一收容部111可设置有多个，多个第一收容部111可以沿X轴方向配置成对应于多个夹具模块41。第一收容部111的个数可以与夹具模块41的个数相同。第一收容部111可以形成为将第一装载台11沿Z轴方向贯通的贯通孔的形式。此外，当第一装载台11具有充分的厚度时，第一收容部111可以不贯通第一装载台11，而可以形成为在第一装载台11上凹陷而形成的槽的形式。

作为一个例子，夹具模块41可以选择性地收容在第一收容部111中。即，夹具模块41可以沿Z轴方向移动并收容在第一收容部111中或从第一收容部111隔开。作为另一个例子，可以一直保持夹具模块41收容在第一收容部111中的状态。

如此，夹具模块41可以收容在形成于第一装载台11上的第一收容部111中，因此无需为了收容夹具模块41而将第一装载台11分割成多个部分。因此，可以防止因多个第一装载台11沿X轴方向间隔配置的结构导致可能会发生的基板下垂等问题。

夹具单元40可以包括：夹具模块41，把持支撑在第一装载台11上的基板S的后行端；支撑架42，与夹具模块41连接并沿X轴方向延长；导轨43，与支架42连接并沿Y轴方向延长。

支架42和导轨43之间可以设置有如使用气压或油压运行的致动器，在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆装置等直线移动机构。因此，在夹具模块41把持基板S的后行端的状态下，支架42通过直线移动机构沿Y轴方向移动，由此基板S可以沿Y轴方向传送。此时，第一装载台11与夹具模块41同步移动，而能够稳定支撑基板S。

夹具模块41可以加压基板S的后行端并保持。作为另一个例子，夹具模块41可以构成为具有与真空源连接的真空孔来吸附基板S的构成。多个夹具模块41可以沿着支架42沿X轴方向配置。

如图3和图4所示，夹具模块41可以设置成沿着随着支架42延伸的导向件45在X轴方向上能够进行移动。为此，夹具模块41和导向件45之间可以设置有如使用气压或油压运行的致动器，在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆装置等直线移动机构。因此，随着多个夹具模块41通过直线移动机构沿X轴方向移动，可以调节多个夹具模块41之间的间隔。因此，多个夹具模块41可以对应于基板S的宽度适宜地配置，从而能够稳定地把持基板S。随着多个夹具模块41通过直线移动机构沿X轴方向移动，多个夹具模块41可以位于分别对应于第一装载台11的多个第一收容部111的位置上。

夹具模块41和支架42之间可以设置有将夹具模块41沿Z轴方向移动的移动模块44。移动模块44可以使用如使用气压或油压运行的致动器，在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆装置等直线移动机构。当基板S搬入第一装载台11或从第一装载台11搬出时，夹具模块41通过移动模块44从第一装载台11隔开移动，由此，能够防止夹具模块41和基板S之间的干涉。

夹具模块41通过移动模块44沿Z轴方向移动，从而可以收容在第一装载台11的第一收容部111中或从第一收容部111脱离。

第二传送单元20可以包括与划片单元30相邻地配置并支撑基板S的第二装载台21。第二装载台21可以构成为能够在与基板S的传送方向平行的方向(Y轴方向)上进行移动。

第二装载台21可以由具有基板S的整体面积以上的面积的一个传送带构成。由于第二装载台21由一个传送带构成，可以防止因多个传送带沿X轴方向间隔配置的结构引起的基板下垂等问题。当第二装载台21由传送带构成时，第二装载台21由多个滑轮22支撑。多个滑轮22中的至少一个可以是用于提供使第二装载台21旋转的驱动力的驱动滑轮。

第二装载台21可以具有支撑基板S的支撑面。在第二装载台21的支撑面上形成有夹具模块41插入而被收容的第二收容部211。第二收容部211可设置有多个，多个第二收容部211可以沿X轴方向配置成对应于多个夹具模块41。第二收容部211的个数可以与夹具模块41的个数相同。第二收容部211可以形成为贯通第二装载台21的贯通孔的形式。

第二传送单元20可以包括用于检测第二收容部211的位置的收容部位置检测传感器23。当第二传送单元20的第二装载台21由无线轨道形式的传送带构成时，收容部位置检测传感器23可以安装在配置于第二装载台21内部的第一传感器支架24上。但是，收容部位置检测传感器23的设置位置不限定于上述位置，收容部位置检测传感器23可以设置在第二装载台21的外部。

作为一个例子，收容部位置检测传感器23可以适用光传感器。在此情况下，收容部位置检测传感器23包括向第二装载台21发射光的发光部和接收由第二装载台21反射的光的收光部。根据这种结构，当从发光部发出的光发射到第二收容部211时，由于光贯通第二收容部211，因此收光部无法接收反射光。此外，当从发光部发出的光发射到除了第二收容部211之外的第二装载台21的部分时，通过收光部能够接收由第二装载台21反射的光。因此，根据收光部是否接收反射光，能够检测第二收容部211的当前位置。

在第二装载台21受控制单元50的控制而旋转的过程中，通过收容部位置检测传感器23可以检测到第二收容部211的当前位置。

控制单元50可以基于通过收容部位置检测传感器23检测的第二收容部211的位置使第二装载台21移动，从而使第二收容部211位于待机位置。即，当通过收容部位置检测传感器23检测到第二装载台21的第二收容部211的位置时，通过控制单元50的控制，第二装载台21旋转，由此，第二装载台21的第二收容部211能够移动到待机位置。其中，待机位置是后述的夹具模块位置检测传感器25通过第二收容部211能够检测夹具模块41的位置的位置。

第二传送单元20还可以包括用于检测夹具模块41的位置的夹具模块位置检测传感器25。当第二传送单元20的第二装载台21由无线轨道形式的传送带构成时，夹具模块位置检测传感器25可以安装在配置于第二装载台21内部的第二传感器支架26上。但是，夹具模块位置检测传感器25的设置位置不限于上述位置，夹具模块位置检测传感器25可以设置在第二装载台21的外部。

夹具模块位置检测传感器25可以配置在与划片单元30临近的位置上。

如图7所示，当夹具模块位置检测传感器25设置于第二装载台21的内部时，第二装载台21的第二收容部211位于待机位置时，夹具模块位置检测传感器25通过第二收容部211能够检测夹具模块41的位置。作为一个例子，夹具模块位置检测传感器25可以适用光传感器。在此情况下，夹具模块位置检测传感器25包括向夹具模块41发射光的发光部和接收由夹具模块41反射的光的收光部。因此，基于收光部是否接收由夹具模块41反射的光，并且基于从发光部发射光之后到收光部接收反射光的时间，能够检测夹具模块41的当前位置。

控制单元50可以基于通过收容部位置检测传感器23检测的第二收容部211的位置和通过夹具模块位置检测传感器25检测的夹具模块41的位置来控制夹具模块41和第二传送单元20。在第二装载台21的第二收容部211位于待机位置的状态下，夹具模块位置检测传感器25通过第二装载台21的第二收容部211检测到夹具模块41的位置，则把持基板S的夹具模块41可以移动到第二装载台21的第二收容部211。

因此，把持着基板S的夹具模块41能够通过收容部位置检测传感器23、夹具模块位置检测传感器25以及控制单元50稳定地收容在第二装载台21的第二收容部211中。因此，基板S的底面整体稳定地安置在第二装载台21上，由此能够防止基板S的后行端下垂。

图3和图4是概略表示本发明的实施例的基板切割装置的夹具模块的操作过程的示意图。

参照图3，在夹具模块41从第一装载台11隔开移动了的状态下，夹具模块41可以从第一装载台11的第一收容部111隔开。因此，在基板S搬入第一装载台11的过程中，能够防止基板S和夹具模块41之间的干涉。

参照图4，夹具模块41可以通过移动模块44沿Z轴方向移动，从而收容在第一装载台11的第一收容部111内。因此，基板S可以在与第一装载台11的支撑面相同的高度上被夹具模块41把持。

图5和图6是概略表示本发明的实施例的基板切割装置的夹具模块的示意图。

参照图5和图6，夹具模块41包括：基底部件411，连接在支撑架42上；夹具本体412，可移动地设置在基底部件411上；一对夹具部件414，安装在夹具本体412上并彼此相邻地移动或彼此隔开地移动；驱动部416，驱动一对夹具部件414。

基底部件411可分离地固定在支架42上，由此夹具模块41能够支撑在支架42上。

通过一对夹具部件414将基板S置于中间彼此相邻地移动，基板S的后行端可以被一对夹具部件414把持。被一对夹具部件414把持的基板S的一部分可以是实际上不用做产品的功能的部分。例如，被一对夹具部件414把持的基板S的一部分可以是切割基板S之后被丢弃的虚设部分。一对夹具部件414通过以各自的中心轴为基准旋转，可以彼此相邻或隔开地移动。为此，可以具备将驱动部416的驱动力转变成旋转一对夹具部件414的旋转力的机构。在一对夹具部件414旋转成彼此隔开的状态下，基板S能够在一对夹具部件414的上侧沿Z轴方向被传送，对此，基板S的后行端可以位于一对夹具部件414之间。

但是，本发明不限于这种结构，一对夹具部件414可以构成为沿Z轴方向直线形移动。为此，可以具有用于将来自驱动部416的驱动力转变为使一对夹具部件414进行直线形移动的驱动力的机构。

一对夹具部件414的彼此面对的面，即面对基板S的第一面和第二面的一对夹具部件414的表面上可以具备接触垫415。接触垫415可以由聚氨酯那样的软质材料构成。接触垫415吸收一对夹具部件414把持基板S的后行端时产生的冲击，从而防止一对夹具部件414或基板S受损。而且，接触垫415能够使一对夹具部件414以均匀的加压力把持基板S的后行端。

夹具本体412可以构成为能够相对基底部件411进行移动。因此，可以调节相对基底部件411的夹具本体412的位置。通过调节相对基底部件411的夹具本体412的位置，能够精密调节一对夹具部件414的位置。例如，夹具本体412可以构成为相对基底部件411沿X轴方向、Y轴方向和/或Z轴方向进行移动。因此，可以调节相对基底部件411的夹具本体412在X轴方向、Y轴方向和/或Z轴方向上的位置，由此，能够调节一对夹具部件414在X轴方向、Y轴方向和/或Z轴方向上的位置。

为了调节相对基底部件411的夹具本体412的位置，在基底部件411和夹具本体412之间可以设置有位置调节部413。例如，位置调节部413可以包括螺丝和使螺丝旋转的旋转机构。因此，随着螺丝通过旋转机构旋转，夹具本体412可以相对基底部件411进行移动，由此能够调节一对夹具部件414的位置。位置调节部413的螺丝可以配置成由操作人员手动操作。

特别是，当支架42上设置有多个夹具模块41时，通过多个夹具模块41的位置调节部413，能够调节多个夹具模块41各自的一对夹具部件414的位置，由此使多个夹具模块41能够均匀地把持基板S的后行端。由于多个夹具模块41均匀地把持基板S的后行端，因此能够在把持基板S的后行端而传送基板S的过程中防止基板S弯曲等变形。

驱动部416可以由电机构成，特别是可以由伺服电机构成。作为其他例子，驱动部416可以由如使用气压或油压运行的致动器，在电磁相互作用下运行的直线电机或者滚珠螺杆装置等构成。驱动部416利用由驱动部416供应的电力，起到驱动一对夹具部件414的作用。驱动部416与控制单元50连接，而被控制单元50控制。

图7和图8是示出根据本发明实施例的基板切割装置的基板传送过程的示意图。

在基板S搬入第一装载台11之前，夹具模块41可以是从第一装载台11隔开的状态。在这种状态下，基板S搬入到第一装载台11。当基板S搬入到第一装载台11时，基板S的后行端可以位于对应夹具模块41的位置上。作为另一个例子，支架42沿Y轴方向移动时，夹具模块41可以移动到适宜把持基板S的后行端的位置。

如图7所示，夹具模块41通过移动模块44移动并收容在第一装载台11的第一收容部111内。另外，由夹具模块41的一对夹具部件414把持基板S的后行端。由于夹具模块41在收容于第一装载台11的第一收容部111中的状态下把持基板S的后行端，因此基板S可以在与第一装载台11的支撑面相同的高度上支撑在夹具模块41上。

基板S支撑在第一装载台11的支撑面上，在基板S的后行端被夹具模块41把持的状态下，第一装载台11和夹具模块41向划片单元30沿Y轴方向移动。

在基板S通过第一传送单元10被传送至划片单元30的过程中，基板S位于第一装载台11和第二装载台21上时，第一划片头32的第一划片轮34和第二划片头36的第二划片轮38分别接触基板S之后沿X轴方向移动。通过第一划片轮34和第二划片轮38的移动，基板S上形成X轴划线。

在基板S上形成X轴划线之后，第一划片头32的第一划片轮34和第二划片头36的第二划片轮38与基板S隔开地移动。

在此过程中，通过夹具模块位置检测传感器25检测夹具模块41的当前位置。当夹具模块41位于预设位置时，夹具模块41根据控制单元50的控制被传送至第二装载台21。此时，夹具模块41在把持基板S的后行端的状态下收容于第二装载台21的第二收容部211中，因此基板S可以在与第二装载台21的支撑面相同的高度上支撑在夹具模块41上，基板S的底面整体能够稳定地安置在第二装载台21上。

之后，基板S通过第二装载台21被传递至后续工序中。在此过程中，如图8所示，收容部位置检测传感器23检测第二收容部211的位置。当通过收容部位置检测传感器23检测到第二收容部211的位置时，收容部位置检测传感器23向控制单元50传送信号。为了使把持另一基板的夹具模块41能够收容于第二收容部211中，控制单元50基于来自收容部位置检测传感器23的信号，使第二装载台21旋转，使得第二收容部211位于待机位置。

作为一个例子，收容部位置检测传感器23可以在第二收容部211的起点向控制单元50传送信号。作为另一例子，收容部位置检测传感器23可以在第二收容部211的终点向控制单元50传送信号。控制单元50中预先存储与第二收容部211的起点或终点以及待机位置之间的距离相关的数据。因此，控制单元50可以基于存储的数据，使第二装载台21旋转，使得第二收容部211位于待机位置。

图9是概略表示本发明的实施例的基板切割装置的另一例的图。图9中示出的基板切割装置包括用于检测夹具模块41的位置的结构。

基板切割装置包括夹具模块位置检测传感器60。夹具模块位置检测传感器60可以包括：第一光学要件61，连接于夹具模块41；以及第二光学要件62，以夹具模块41为基准，设置于基板S的传送方向上的上游侧，并且可以基于第一光学要件61对第二光学要件62的位置，检测夹具模块41的位置。

作为一例，第一光学要件61可以安装于夹具模块41。作为另一例，第一光学要件61可以安装于支撑架42。第一光学要件61能够与夹具模块41一起沿Y轴方向移动。

第二光学要件62可以保持静止状态。因此，第一光学要件61能够相对于第二光学要件62移动。因此，通过测定第一光学要件61和第二光学要件62之间的距离(距离变化)，能够检测夹具模块41的位置(位置变化)。

作为一例，第一光学要件61和第二光学要件62中的一个可以构成为发射光的发光部，第一光学要件61和第二光学要件62中的另一个可以构成为接收光的收光部。因此，通过测量从发光部发射光之后直至收光部接收光的时间，能够测定第一光学要件61和第二光学要件62之间的距离(距离变化)。作为另一例，第一光学要件61和第二光学要件62中的一个可以构成为发光部和收光部一体构成的光学模块，第一光学要件61和第二光学要件62中的另一个可以构成为反射光的反射部。因此，通过测量从发光部发射光并在反射部反射光之后直至收光部接收光的时间，能够测定第一光学要件61和第二光学要件62之间的距离(距离变化)。

另一方面，控制单元50可以基于通过夹具模块位置检测传感器60检测的夹具模块41的位置，控制夹具模块41和第二装载台21，使得夹具模块41收容于第二装载台21的第二收容部211。

图10是概略表示本发明的实施例的基板切割装置的又一例的图。图10中示出的基板切割装置包括用于检测基板S的前端的位置的结构。

基板切割装置可以包括检测基板S的前端的位置的基板位置检测传感器70。

例如，基板位置检测传感器70可以安装于第一框架31。基板位置检测传感器70可以构成为包括发光部和收光部的光学传感器。作为另一例，基板位置检测传感器70可以构成为拍摄基板S的前端的相机。

控制单元50基于通过基板位置检测传感器70检测的基板S的前端的位置，能够检测夹具模块41的位置。控制单元50基于通过基板位置检测传感器70检测的基板S的前端的位置和由夹具模块41把持的基板S的Y轴方向上的长度，能够测量基板位置检测传感器70和夹具模块41之间的距离，并基于基板位置检测传感器70和夹具模块41之间的距离，能够检测夹具模块41的位置。

此外，控制单元50基于夹具模块41的位置和通过收容部位置检测传感器23检测的第二收容部211的位置，能够控制夹具模块41和第二装载台21，使得夹具模块41收容于第二装载台21的第二收容部211。

本发明的优选实施例被示例性地说明，但是本发明的范围不限定于这种特定实施例，可以在权利要求记载的范围内进行适宜地变更。

Claims (8)

1.一种基板切割装置，其中，包括：

划片单元，能够在基板上形成划线；

第一装载台，将所述基板传送至所述划片单元；

夹具模块，构成为把持所述基板，并能够沿所述基板的传送方向移动；

第二装载台，配置在所述划片单元的下游侧，包括接收通过所述划片单元形成了划线的所述基板并具有收容所述夹具模块的收容部；

收容部位置检测传感器，检测所述收容部的位置；以及

控制单元，基于通过所述收容部位置检测传感器检测的所述收容部的位置，控制所述夹具模块和所述第二装载台，使得所述夹具模块收容于所述收容部。

2.根据权利要求1所述的基板切割装置，其特征在于，

所述控制单元基于通过所述收容部位置检测传感器检测的所述收容部的位置，使所述第二装载台移动，使得所述收容部位于待机位置。

3.根据权利要求2所述的基板切割装置，其特征在于，

所述第二装载台由以无线轨道方式工作的一个传送带构成。

4.根据权利要求1所述的基板切割装置，其特征在于，还包括：

夹具模块位置检测传感器，检测所述夹具模块的位置，

所述控制单元基于通过所述收容部位置检测传感器检测的所述收容部的位置和通过所述夹具模块位置检测传感器检测的所述夹具模块的位置，控制所述夹具模块和所述第二装载台，以使所述夹具模块收容于所述第二装载台的收容部。

5.根据权利要求4所述的基板切割装置，其特征在于，

所述夹具模块位置检测传感器包括：

第一光学要件，连接于所述夹具模块；以及

第二光学要件，以所述夹具模块为基准，设置于所述基板的传送方向上的上游侧，

基于所述第一光学要件对所述第二光学要件的位置，检测所述夹具模块的位置。

6.根据权利要求1所述的基板切割装置，其特征在于，还包括：

基板位置检测传感器，检测所述基板的前端的位置，

所述控制单元基于通过所述基板位置检测传感器检测的所述基板的前端的位置来检测所述夹具模块的位置，并基于所述夹具模块的位置和通过所述收容部位置检测传感器检测的所述收容部的位置来控制所述夹具模块和所述第二装载台，使得所述夹具模块收容于所述第二装载台的收容部。

7.一种基板切割装置，包括：

划片单元，能够在基板上形成划线；

第一装载台，将所述基板传送至所述划片单元；

夹具模块，构成为把持所述基板，并能够沿所述基板的传送方向移动；

第二装载台，配置在所述划片单元的下游侧，包括接收通过所述划片单元形成了划线的所述基板并具有收容所述夹具模块的收容部；

夹具模块位置检测传感器，检测所述夹具模块的位置；以及

控制单元，基于通过所述夹具模块位置检测传感器检测的所述夹具模块的位置，控制所述夹具模块和所述第二装载台，使得所述夹具模块收容于所述第二装载台的收容部。

8.一种基板切割装置，包括：

划片单元，能够在基板上形成划线；

第一装载台，将所述基板传送至所述划片单元；

夹具模块，构成为把持所述基板，并能够沿所述基板的传送方向移动；

第二装载台，配置在所述划片单元的下游侧，包括接收通过所述划片单元形成了划线的所述基板并具有收容所述夹具模块的收容部；

基板位置检测传感器，检测所述基板的前端的位置；以及

控制单元，基于通过所述基板位置检测传感器检测的所述基板的前端的位置来检测所述夹具模块的位置，并基于所述夹具模块的位置来控制所述夹具模块和所述第二装载台，使得所述夹具模块收容于所述第二装载台的收容部。

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