KR20210079904A - 스크라이빙 장치 - Google Patents

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KR20210079904A
KR20210079904A KR1020190172141A KR20190172141A KR20210079904A KR 20210079904 A KR20210079904 A KR 20210079904A KR 1020190172141 A KR1020190172141 A KR 1020190172141A KR 20190172141 A KR20190172141 A KR 20190172141A KR 20210079904 A KR20210079904 A KR 20210079904A
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠 홀더에 회전 가능하게 장착되며 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 휠; 스크라이빙 휠이 접근 가능한 위치에 배치되며 스크라이빙 휠과 접촉하여 스크라이빙 휠을 회전시키도록 구성되는 스크라이빙 휠 회전 부재; 및 스크라이빙 휠 회전 부재에 인접하게 배치되며 스크라이빙 휠 회전 부재의 주위의 공기를 흡인하도록 구성되는 흡인 포트를 포함할 수 있다.

Description

스크라이빙 장치{SCRIBING APPARATUS}
본 발명은 기판을 절단하기 위해 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판이 사용된다. 평판 디스플레이는 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(기판)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(단위 기판)을 사용한다.
기판을 절단하는 공정은 스크라이빙 공정을 포함한다. 스크라이빙 공정은 기판 상에 가상의 예정선을 따라 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성한다.
기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 공정에서, 스크라이빙 휠이 기판의 표면에 접촉된 상태에서 스크라이빙 휠 또는 기판이 이동하게 된다. 이때, 스크라이빙 휠은 회전(구름 운동)하면서 기판에 스크라이빙 라인을 형성한다.
그러나, 다양한 원인으로 인해, 특히, 스크라이빙 라인의 시작점에서, 스크라이빙 휠이 적절하게 회전하지 않는 경우, 기판 상에 정확한 스크라이빙 라인을 형성할 수 없는 문제가 있다.
본 발명의 목적은 스크라이빙 공정 전에 스크라이빙 휠을 미리 회전시킴으로써, 스크라이빙 공정 중 스크라이빙 휠이 보다 확실하게 회전되도록 할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠 홀더에 회전 가능하게 장착되며 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 휠; 스크라이빙 휠이 접근 가능한 위치에 배치되며 스크라이빙 휠과 접촉하여 스크라이빙 휠을 회전시키도록 구성되는 스크라이빙 휠 회전 부재; 및 스크라이빙 휠 회전 부재에 인접하게 배치되며 스크라이빙 휠 회전 부재의 주위의 공기를 흡인하도록 구성되는 흡인 포트를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 가스를 공급하도록 구성되는 가스 공급기; 스크라이빙 휠 회전 부재와 연결되며 가스 공급기로부터 공급되는 가스의 압력에 의해 스크라이빙 휠 회전 부재를 회전시키는 회전력을 발생시키는 공압 모터; 및 흡인 포트와 연결되며 가스 공급기에서 공급되는 가스의 압력에 의해 흡인 포트에 부압을 발생시키는 부압 발생기를 더 포함할 수 있다.
흡인 포트의 내경은 스크라이빙 휠 회전 부재의 외경보다 클 수 있다.
흡인 포트의 내경은 스크라이빙 휠의 외경 및 스크라이빙 휠 회전 부재의 외경의 합보다 클 수 있다.
스크라이빙 휠 회전 부재의 회전 중심축 및 스크라이빙 휠의 회전 중심축은 서로 이격될 수 있다.
스크라이빙 휠 회전 부재의 회전에 의한 스크라이빙 휠의 회전 속도는 기판에 스크라이빙 라인을 형성할 때의 스크라이빙 휠의 회전 속도보다 높을 수 있다.
스크라이빙 휠의 일부는 스크라이빙 휠 홀더로부터 돌출될 수 있고, 스크라이빙 휠 회전 부재의 외주에는 스크라이빙 휠의 돌출된 일부가 삽입되는 삽입홈이 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 공정 전에 스크라이빙 휠을 미리 회전시켜 스크라이빙 공정 중 스크라이빙 휠이 보다 확실하게 회전되도록 할 수 있다. 따라서, 기판에 스크라이빙 라인을 보다 정확하게 형성할 수 있다. 따라서, 스크라이빙 라인을 따라 분단된 기판의 절단면의 품질을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 일부가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠 회전 유닛의 공압 회로도이다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠 및 스크라이빙 휠 회전 유닛이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠 및 스크라이빙 휠 회전 유닛이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠 및 스크라이빙 휠 회전 부재가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 제4 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 휠 및 스크라이빙 휠 회전 부재가 개략적으로 도시된 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.
이하, 스크라이빙 라인이 형성될 기판이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의한다. 기판이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다. 또한, 스크라이빙 라인이라는 용어는 기판(S)의 표면에서 소정 방향으로 연장되게 형성되는 홈 및/또는 크랙을 의미한다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 유닛(30), 제1 이송 유닛(20), 제2 이송 유닛(40), 스크라이빙 휠 회전 유닛(70)을 포함할 수 있다.
제1 이송 유닛(20)은 스크라이빙 유닛(30)으로 기판을 이송하도록 구성된다. 제1 이송 유닛(20)은 제1 스테이지(21), 파지 부재(22), 지지바(23), 가이드 레일(24)을 포함할 수 있다.
제1 스테이지(21)는 기판을 지지하는 역할을 한다. 일 예로서, 제1 스테이지(21)는 X축 방향으로 서로 이격된 복수의 벨트로서 구성될 수 있다. 다른 예로서, 도시되지 않았지만, 제1 스테이지(21)는 가스 공급원과 연결되어 가스를 분사하는 복수의 가스 분사홀을 구비하며, 기판의 하면을 향하여 가스를 분사하여 기판을 부양시키는 부양 테이블로서 구성될 수 있다. 또 다른 예로서, 도시되지 않았지만, 제1 스테이지(21)는 하나의 벨트로서 구성될 수 있다.
파지 부재(22)는 제1 스테이지(21) 상에 지지된 기판의 후행단을 파지하도록 구성된다.
지지바(23)는 파지 부재(22)와 연결되며 X축 방향으로 연장된다.
가이드 레일(24)은 지지바(23)와 연결되며 Y축 방향으로 연장된다.
지지바(23)와 가이드 레일(24) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 부재(22)가 기판을 파지한 상태에서 지지바(23)가 직선 이동 기구에 의해 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 제1 스테이지(21)(예를 들면, 벨트)는 파지 부재(22)의 이동과 함께 회전하면서 기판을 안정적으로 지지할 수 있다.
파지 부재(22)는 기판을 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다른 예로서, 파지 부재(22)는 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판을 흡착하도록 구성될 수 있다.
한편, 본 발명의 제1 실시예에서는 기판이 제1 스테이지(21)에 탑재된 상태에서 파지 부재(22)가 기판의 후행단을 파지하여 Y축 방향으로 이동함에 따라 기판이 이동하는 Y축 방향으로 이동하는 구성에 대하여 설명하였다.
그러나, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 스크라이빙 장치는, X축 구동 기구, Y축 구동 기구, 회전 기구를 포함할 수 있다. X축 구동 기구는 제1 스테이지(21)를 X축 방향으로 이동시키도록 구성될 수 있다. Y축 구동 기구는 제1 스테이지(21)를 Y축 방향으로 이동시키도록 구성될 수 있다. 회전 기구는 제1 스테이지(21)를 Z축을 중심으로 회전시키도록 구성될 수 있다.
이러한 구성에 따르면, X축 구동 기구가 제1 스테이지(21)를 X축 방향으로 이동시킴에 따라, 제1 스테이지(21)에 탑재된 기판이 X축 방향으로 이동될 수 있다. 또한, Y축 구동 기구가 제1 스테이지(21)를 Y축 방향으로 이동시킴에 따라, 제1 스테이지(21)에 탑재된 기판이 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 또한, 회전 기구가 제1 스테이지(21)를 Z축을 중심으로 회전시킴에 따라, 제1 스테이지(21)에 탑재된 기판이 Z축을 중심으로 회전될 수 있다. 따라서, 기판이 X축 방향으로 이동됨에 따라, 스크라이빙 휠(33)에 대한 기판의 위치가 조절될 수 있다. 또한, 기판이 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 스크라이빙 휠(33)에 대한 기판의 위치가 조절될 수 있다. 또한, 기판이 Z축을 중심으로 회전됨에 따라, 스크라이빙 휠(33)에 대한 기판의 위치가 조절될 수 있다. 이에 따라, 기판 상의 적절한 위치에서 스크라이빙 휠(33)에 의해 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.
제2 이송 유닛(40)은 기판을 스크라이빙 유닛(30)으로부터 후속 공정으로 이송하도록 구성된다. 제2 이송 유닛(40)은 기판을 지지하여 이송하는 제2 스테이지(41)를 포함할 수 있다.
일 예로서, 제2 스테이지(41)는 X축 방향으로 서로 이격된 복수의 벨트로서 구성될 수 있다. 다른 예로서, 도시되지 않았지만, 제2 스테이지(41)는 하나의 벨트로서 구성될 수 있다.
스크라이빙 유닛(30)은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성된다. 스크라이빙 유닛(30)은, 프레임(31), 스크라이빙 헤드(32)를 포함할 수 있다. 프레임(31)은 X축 방향으로 연장된다. 스크라이빙 헤드(32)는 프레임(31)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된다.
프레임(31) 및 스크라이빙 헤드(32) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비된다. 이러한 직선 이동 기구에 의해 스크라이빙 헤드(32)가 프레임(31)을 따라 X축 방향으로 이동될 수 있다.
스크라이빙 헤드(32)는, 스크라이빙 휠 모듈(321), 스크라이빙 휠 이동 모듈(322)을 포함할 수 있다. 스크라이빙 휠 모듈(321)은 스크라이빙 휠(33)을 유지하는 스크라이빙 휠 홀더(34)를 구비한다. 스크라이빙 휠 이동 모듈(322)은 스크라이빙 휠 모듈(321)을 Z축 방향으로 이동시키도록 구성된다.
스크라이빙 휠 이동 모듈(322)에 의해 스크라이빙 휠 모듈(321)이 기판을 향하여 이동됨에 따라, 제1 스테이지(21)에 탑재된 기판에 스크라이빙 휠(33)이 기판에 가압될 수 있다. 스크라이빙 휠(33)이 기판을 가압하는 정도에 따라 기판에 대한 스크라이빙 휠(33)의 절삭 깊이가 조절될 수 있다. 여기에서, 절삭 깊이는 스크라이빙 휠(33)이 기판의 표면에 삽입되는 깊이, 즉, 스크라이빙 라인을 따라 형성되는 홈의 깊이를 의미한다.
스크라이빙 휠 이동 모듈(322)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.
스크라이빙 휠 홀더(34)는 스크라이빙 휠 모듈(321)에 탈착 가능하게 장착될 수 있다.
스크라이빙 휠 홀더(34)에는 스크라이빙 휠(33)이 자유롭게 구름 운동 가능하게 설치될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)이 기판의 표면에 접촉된 상태에서 스크라이빙 헤드(32)가 수평으로 이동하거나 기판이 수평으로 이동하면 스크라이빙 휠(33)은 스크라이빙 헤드(32)의 이동 방향에 수직인 축을 중심으로 회전될 수 있다. 즉, 스크라이빙 헤드(32)가 X축 방향으로 이동하는 경우, 스크라이빙 휠(33)은 Y축을 중심으로 회전될 수 있다. 그리고, 스크라이빙 헤드(32)가 Y축 방향으로 이동하는 경우, 스크라이빙 휠(33)은 X축 중심으로 회전될 수 있다.
스크라이빙 휠 회전 유닛(70)은 스크라이빙 휠(33)을 회전시키도록 구성된다. 도 2 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠 회전 유닛(70)은, 스크라이빙 휠 회전 부재(71), 흡인 포트(72)를 포함할 수 있다.
스크라이빙 휠 회전 부재(71)는 스크라이빙 휠(33)이 접근 가능한 위치에 배치된다. 스크라이빙 휠 회전 부재(71)는, 예를 들면, Y축과 평행한 축을 중심으로 회전되도록 구성된다. 스크라이빙 휠 회전 부재(71)는 스크라이빙 휠(33)과 접촉하여 회전함으로써, 스크라이빙 휠(33)을 회전시킨다.
스크라이빙 휠 회전 부재(71)는 정방향 또는 역방향으로 회전될 수 있다. 또한, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)는 정방향 및 역방향으로 반복적으로 회전될 수 있다. 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 정방향 및/또는 역방향의 회전에 의해 스크라이빙 휠(33)이 정방향 및/또는 역방향으로 회전될 수 있다.
스크라이빙 휠 회전 부재(71)를 사용하여 스크라이빙 휠(33)을 회전시키는 과정은, 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정 이전 또는 이후에 수행된다. 이를 통해, 스크라이빙 라인을 형성하는 과정 이전 또는 이후에 스크라이빙 휠(33)이 정상적으로 회전하는지, 또는 스크라이빙 휠(33)이 정해진 시간에 소정의 회전수만큼 회전하는지를 확인할 수 있다.
따라서, 스크라이빙 공정 중에 스크라이빙 휠(33)이 정상적으로 회전되지 않는 문제를 방지할 수 있다. 또한 스크라이빙 공정 중에 스크라이빙 휠(33)이 정해진 시간에 소정의 회전수만큼 회전하지 않는 문제를 방지할 수 있다.
스크라이빙 휠 회전 부재(71) 및 흡인 포트(72)는 하나의 지지 플레이트(77)에 일체로 장착될 수 있다. 지지 플레이트(77)는 프레임(31)의 X축 방향 일측에 배치될 수 있다.
스크라이빙 휠 회전 부재(71)는 브러시, 스폰지, 롤러 등 스크라이빙 휠(33)의 강성에 비하여 낮은 강성을 갖는 재료로 형성될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)는 스크라이빙 휠(33)의 외주 전체를 감쌀 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71) 및 스크라이빙 휠(33) 사이의 접촉 면적을 증가시켜, 스크라이빙 휠(33)이 보다 원활하게 회전되도록 할 수 있다.
흡인 포트(72)는 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 인접하게 배치된다. 흡인 포트(72)는 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 주위의 공기를 흡인하도록 구성된다. 한 쌍의 흡인 포트(72)가 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 양측에 배치될 수 있다. 다만, 본 발명은 흡인 포트(72)의 개수에 한정되지 않는다. 예를 들면, 셋 이상의 흡인 포트(72)가 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 둘레에 배치될 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 인접하는 흡인 포트(72)의 일부분은 스크라이빙 휠 회전 부재(71)로부터 멀어지는 방향으로 오목하게 형성된다. 따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)가 수용되는 수용부(721)가 형성된다. 따라서, 수용부(721)는 소정의 스크라이빙 휠 회전 부재(71)가 수용되는 수용 공간을 갖는다. 그리고, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 적어도 일부는 흡인 포트(72) 내에 수용된다. 수용부(721)가 형성됨에 따라 스크라이빙 휠 회전 부재(71)가 흡인 포트(72)에 최대로 인접할 수 있다.
따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 의해 스크라이빙 휠(33)이 회전되는 과정에서 발생되는 열이 흡인 포트(72)를 통하여 외부로 원활하게 방출될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)이 열에 의해 변형되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 흡인 포트(72)의 내경(Ds)은 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 외경(Dc)보다 큰 것이 바람직하다. 따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)가 흡인 포트(72)의 내경(Ds)에 의해 정의되는 영역 내에 포함될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 의해 스크라이빙 휠(33)이 회전되는 과정에서 발생되는 열이 흡인 포트(72)를 통하여 외부로 원활하게 방출될 수 있다.
또한, 흡인 포트(72)의 내경(Ds)은 스크라이빙 휠(33)의 외경(Dw) 및 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 외경(Dc)의 합보다 큰 것이 바람직하다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 접촉된 상태에서 스크라이빙 휠(33) 및 스크라이빙 휠 회전 부재(71)가 흡인 포트(72)의 내경(Ds)에 의해 정의되는 영역 내에 포함될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 의해 스크라이빙 휠(33)이 회전되는 과정에서 발생되는 열이 흡인 포트(72)를 통하여 외부로 원활하게 방출될 수 있다.
한편, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 회전에 의한 스크라이빙 휠(33)의 회전 속도는 기판에 스크라이빙 라인을 형성할 때의 스크라이빙 휠(33)의 회전 속도보다 높을 수 있다. 기판에 스크라이빙 라인을 형성하기 전에 스크라이빙 휠(33)을 미리 회전시키는 과정에서, 스크라이빙 휠(33)이 보다 높은 속도로 회전되므로, 스크라이빙 공정에서 스크라이빙 휠(33)이 회전하는 것을 보다 확실하게 보장할 수 있다.
스크라이빙 휠 회전 유닛(70)은, 가스 공급기(73), 공압 모터(74), 부압 발생기(75)를 포함할 수 있다.
예를 들면, 가스 공급기(73), 공압 모터(74), 부압 발생기(75)는 지지 플레이트(77)에 일체로 장착될 수 있다.
가스 공급기(73)는 가스를 공급하도록 구성된다. 예를 들면, 가스 공급기(73)는 공압 펌프 또는 압축기로 구성될 수 있다. 가스 공급기(73)로부터 공급되는 가스는 공기 또는 비활성 기체일 수 있다.
가스 공급기(73)에는 레귤레이터(76)가 연결될 수 있다. 레귤레이터(76)는 가스 공급기(73)로부터 공압 모터(74) 및 부압 발생기(75)로 공급되는 가스의 압력을 조절하는 역할을 한다.
공압 모터(74)는 가스 공급기(73)로부터 공급되는 가스의 압력에 의해 회전력을 발생시키도록 구성된다. 공압 모터(74)는 압력 라인(P1)을 통하여 가스 공급기(73)에 연결된다. 공압 모터(74)는 회전축(741)을 통하여 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 연결된다. 공압 모터(74)는 가스 공급기(73)로부터 공급되는 가스의 압력을 사용하여 스크라이빙 휠 회전 부재(71)를 회전시키는 회전력을 발생시키도록 구성된다.
부압 발생기(75)는 가스 공급기(73)에서 공급되는 가스의 압력에 의해 부압을 발생시키도록 구성된다. 부압 발생기(75)는 압력 라인(P2)을 통하여 흡인 포트(72)에 연결된다. 부압 발생기(75)는 가스 공급기(73)로부터 공급되는 가스의 압력을 사용하여 흡인 포트(72)에 부압을 발생시키도록 구성된다. 예를 들면, 부압 발생기(75)는 대기와 연통되는 출구(751)를 갖는 벤투리관으로서 구성될 수 있다. 따라서, 가스 공급기(73)로부터 공급되는 가스가 부압 발생기(75)의 출구(751)를 통하여 대기중으로 방출됨에 따라, 압력 라인(P2)에는 부압이 형성될 수 있다. 그리고, 압력 라인(P2)과 연결된 흡인 포트(72)에 부압이 형성될 수 있다.
따라서, 하나의 가스 공급기(73)에서 공급되는 가스의 압력에 의해 스크라이빙 휠 회전 부재(71)가 회전될 수 있고 흡인 포트(72)에 부압이 형성될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)를 회전시키 위한 구성 및 흡인 포트(72)에 부압을 형성하기 위한 구성을 별도로 구비하는 경우에 비하여 스크라이빙 장치의 구성 및 제어 방법을 단순화할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(32)가 프레임(31)을 따라 X축 방향으로 이동함에 따라, 스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 인접하게 위치될 수 있다. 그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠 이동 모듈(322)에 의해 스크라이빙 휠 모듈(321)이 Z축 방향으로 이동하며, 이에 따라, 스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 접촉한다.
이러한 상태에서, 가스 공급기(73)로부터 가스가 공급되며, 이에 따라, 공압 모터(74)가 작동하여 스크라이빙 휠 회전 부재(71)가 회전되는 것과 동시에 부압 발생기(75)에 의해 흡인 포트(72)에 부압이 발생한다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 의해 회전될 수 있다. 그리고, 스크라이빙 휠(33)이 회전되는 과정에서 발생되는 열이 흡인 포트(72)를 통하여 외부로 원활하게 방출될 수 있다.
이와 같은 스크라이빙 휠(33)을 회전시키는 과정은, 하나의 기판에 스크라이빙 라인을 최초로 형성하기 이전에 수행되거나, 미리 설정된 주기로 수행되거나, 소정 길이의 스크라이빙 라인을 형성한 이후에 수행될 수 있다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다. 본 발명의 제1 실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 인접한 흡인 포트(72)의 단부에는 완충부(722)가 구비될 수 있다.
완충부(722)는 탄성을 갖는 가요성 소재로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 완충부(722)는 실리콘과 같은 합성 수지로 형성될 수 있다.
스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 회전 부재(71)로 접근하는 과정에서 스크라이빙 휠(33)이 흡인 포트(72)의 단부에 접촉(충돌)하는 경우, 완충부(722)가 스크라이빙 휠(33)의 충격을 흡수한다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)이 흡인 포트(72)의 단부에 접촉(충돌)하더라도 스크라이빙 휠(33)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
이와 같이, 흡인 포트(72)의 단부에 완충부(722)가 구비됨에 따라, 흡인 포트(72)와의 충돌에 의한 스크라이빙 휠(33)의 손상이 방지된다. 또한, 흡인 포트(72)의 단부에 완충부(722)가 구비됨에 따라, 충돌의 우려 없이 스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 회전 부재(71)에 접근할 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 설치 위치 및/또는 스크라이빙 휠(33)의 스크라이빙 휠 회전 부재(71)로의 접근 방향을 정밀하게 설계하지 않을 수 있다.
또한, 흡인 포트(72)의 단부에 완충부(722)가 구비됨에 따라, 복수의 흡인 포트(72) 사이의 간격을 최대로 줄일 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 휠(33)이 회전되는 과정에서 발생되는 열이 더욱 원활하게 외부로 방출될 수 있다.
이하, 도 7을 참조하여 본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다. 본 발명의 제1 및 제2 실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 회전 중심축(Cc) 및 스크라이빙 휠(33)의 회전 중심축(Cw)은 수직축(Z축)을 기준으로 서로 이격될 수 있다.
스크라이빙 휠(33)의 회전 방향이 일방향으로 정해져 있는 경우(예를 들면, 도면을 기준으로 스크라이빙 휠(33)이 반시계 방향으로만 회전되어야 하는 경우), 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 회전 중심축(Cc) 및 스크라이빙 휠(33)의 회전 중심축(Cw)이 (Z축)을 기준으로 서로 이격되도록 배치된다. 따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 회전력 중 스크라이빙 휠(33)의 회전 방향으로 작용하는 힘의 성분의 크기를 증가시킬 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 회전력이 보다 효과적으로 스크라이빙 휠(33)로 전달되도록 하여, 스크라이빙 휠(33)이 보다 원활하게 회전되도록 할 수 있다.
이하, 도 8 및 도 9를 참조하여 본 발명의 제4 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다. 본 발명의 제1 내지 제3 실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제4 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠(33)의 일부는 스크라이빙 휠 홀더(34)로부터 돌출될 수 있다. 또한, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 외주에는 스크라이빙 휠(33)의 돌출된 일부가 삽입되는 삽입홈(711)이 형성될 수 있다.
도 9에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(33)이 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 삽입홈(711)에 삽입되면, 스크라이빙 휠(33)의 측면 및 스크라이빙 휠 홀더(34)의 내면과 사이에 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 일부가 삽입될 수 있다. 스크라이빙 휠 회전 부재(71)가 브러시인 경우, 브러시 모가 스크라이빙 휠(33)의 측면 및 스크라이빙 휠 홀더(34)의 내면과 사이에 삽입될 수 있다.
따라서, 스크라이빙 휠(33)의 측면 및 스크라이빙 휠 회전 부재(71) 사이의 접촉 면적이 증가될 수 있다. 이에 따라, 스크라이빙 휠(33)의 측면 및 스크라이빙 휠 회전 부재(71) 사이의 마찰이 증가될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠 회전 부재(71)의 회전력이 스크라이빙 휠(33)에 보다 효과적으로 전달될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(33)이 보다 원활하게 회전될 수 있으며, 스크라이빙 공정 중 스크라이빙 휠(33)이 회전되는 것을 보다 확실하게 보장할 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
32: 스크라이빙 헤드
33: 스크라이빙 휠
34: 스크라이빙 휠 홀더
70: 스크라이빙 휠 회전 유닛
71: 스크라이빙 휠 회전 부재
72: 흡인 포트
73: 가스 공급기
74: 공압 모터
75: 부압 발생기
76: 레귤레이터

Claims (7)

  1. 스크라이빙 휠 홀더에 회전 가능하게 장착되며 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 휠;
    상기 스크라이빙 휠이 접근 가능한 위치에 배치되며 상기 스크라이빙 휠과 접촉하여 상기 스크라이빙 휠을 회전시키도록 구성되는 스크라이빙 휠 회전 부재; 및
    상기 스크라이빙 휠 회전 부재에 인접하게 배치되며 상기 스크라이빙 휠 회전 부재의 주위의 공기를 흡인하도록 구성되는 흡인 포트를 포함하는 스크라이빙 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    가스를 공급하도록 구성되는 가스 공급기;
    상기 스크라이빙 휠 회전 부재와 연결되며 상기 가스 공급기로부터 공급되는 가스의 압력에 의해 상기 스크라이빙 휠 회전 부재를 회전시키는 회전력을 발생시키는 공압 모터; 및
    상기 흡인 포트와 연결되며 상기 가스 공급기에서 공급되는 가스의 압력에 의해 상기 흡인 포트에 부압을 발생시키는 부압 발생기를 더 포함하는 스크라이빙 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 흡인 포트의 내경은 상기 스크라이빙 휠 회전 부재의 외경보다 큰 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 흡인 포트의 내경은 상기 스크라이빙 휠의 외경 및 상기 스크라이빙 휠 회전 부재의 외경의 합보다 큰 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 스크라이빙 휠 회전 부재의 회전 중심축 및 상기 스크라이빙 휠의 회전 중심축은 서로 이격되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 스크라이빙 휠 회전 부재의 회전에 의한 상기 스크라이빙 휠의 회전 속도는 상기 기판에 상기 스크라이빙 라인을 형성할 때의 상기 스크라이빙 휠의 회전 속도보다 높은 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 스크라이빙 휠의 일부는 상기 스크라이빙 휠 홀더로부터 돌출되고, 상기 스크라이빙 휠 회전 부재의 외주에는 상기 스크라이빙 휠의 돌출된 일부가 삽입되는 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 장치.
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008094635A (ja) * 2006-10-06 2008-04-24 Citizen Seimitsu Co Ltd カッターホルダーユニット、およびそのカッターホルダーユニットを備えたスクライブ装置。
KR20120119460A (ko) * 2011-04-21 2012-10-31 하이디스 테크놀로지 주식회사 스크라이빙 장치
JP2015010034A (ja) * 2013-06-26 2015-01-19 上海和輝光電有限公司Ｅｖｅｒｄｉｓｐｌａｙ Ｏｐｔｒｏｎｉｃｓ （Ｓｈａｎｇｈａｉ） Ｌｉｍｉｔｅｄ カッティングホイールの自動クリーニング機構およびその方法
JP2016020021A (ja) * 2014-07-15 2016-02-04 曙機械工業株式会社 切断装置
KR20170089156A (ko) * 2016-01-26 2017-08-03 한화테크윈 주식회사 유체 조절 장치
KR20190059570A (ko) * 2017-11-23 2019-05-31 주식회사 탑 엔지니어링 기판 절단 장치

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008094635A (ja) * 2006-10-06 2008-04-24 Citizen Seimitsu Co Ltd カッターホルダーユニット、およびそのカッターホルダーユニットを備えたスクライブ装置。
KR20120119460A (ko) * 2011-04-21 2012-10-31 하이디스 테크놀로지 주식회사 스크라이빙 장치
JP2015010034A (ja) * 2013-06-26 2015-01-19 上海和輝光電有限公司Ｅｖｅｒｄｉｓｐｌａｙ Ｏｐｔｒｏｎｉｃｓ （Ｓｈａｎｇｈａｉ） Ｌｉｍｉｔｅｄ カッティングホイールの自動クリーニング機構およびその方法
JP2016020021A (ja) * 2014-07-15 2016-02-04 曙機械工業株式会社 切断装置
KR20170089156A (ko) * 2016-01-26 2017-08-03 한화테크윈 주식회사 유체 조절 장치
KR20190059570A (ko) * 2017-11-23 2019-05-31 주식회사 탑 엔지니어링 기판 절단 장치

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