KR20190037828A - 스크라이빙 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법은, 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인의 시작점에 스크라이빙 휠을 위치시키는 단계; 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인의 시작점으로부터 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계; 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인의 종료점에서 스크라이빙 휠을 프레임에 대해 Y축 방향으로 이동시켜 스크라이빙 휠을 복수의 X축 라인 중 다른 하나의 X축 라인의 시작점에 위치시키는 단계; 및 복수의 X축 라인 중 다른 하나의 X축 라인의 시작점으로부터 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 복수의 X축 라인 중 다른 하나의 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.

Description

스크라이빙 방법{SCRIBING METHOD}
본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판을 제조하는 데에, 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널을 소정의 크기로 절단하여 형성되는 단위 글라스 패널이 사용된다.
기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 절단 예정선을 따라 다이아몬드와 같은 재질의 스크라이빙 휠을 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하는 것에 의해 기판을 절단하여 단위 기판을 얻는 브레이킹 공정을 포함한다.
스크라이빙 공정에서는, 기판의 이송 방향을 기준으로 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부가 지지된 상태에서, 기판의 전방측 단부 및 후방측 단부 사이의 영역에서 스크라이빙 휠이 이동하면서 기판에 스크라이빙 라인을 형성하게 된다.
스크라이빙 공정을 수행하기 전에 기판은 사전에 정렬된 상태로 스크라이빙 공정으로 투입된다. 그러나, 기판이 적절하게 정렬되지 않은 상태로 스크라이빙 공정으로 투입되는 경우에는, 기판에 스크라이빙 라인을 정확하게 형성하기 어려운 문제가 있다.
또한, 기판을 절단하여 복수의 단위 패널, 특히, 서로 다른 형상을 갖는 복수의 단위 패널을 생성하기 위해서는 하나의 기판에 X축 방향 및 Y축 방향으로 복수의 스크라이빙 라인을 형성할 필요가 있다. 그런데, 기판에 X축 방향의 스크라이빙 라인을 형성하기 위해 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시키고 기판에 Y축 방향의 스크라이빙 라인을 형성하기 위해 기판을 Y축 방향으로 이동시키는 구성의 경우에는, X축 방향 및 Y축 방향으로 복수의 스크라이빙 라인을 형성하기 위해 스크라이빙 휠 및 기판을 여러 번 반복하여 이동시켜야 하므로, 스크라이빙 공정이 복잡하고 스크라이빙 공정을 수행하는 데에 긴 시간이 필요하다는 문제가 있다.
대한민국공개특허 제10-2007-0070824호(2007.07.04)
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 기판에 복수의 스크라이빙 라인을 형성하는 과정을 간단하고 신속하게 수행할 수 있는 스크라이빙 방법을 제공하는 데에 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법은, 기판을 지지하여 Y축 방향으로 이송하는 기판 이송 유닛; 및 X축 방향으로 연장되는 프레임과, 프레임에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 스크라이빙 휠을 구비하는 스크라이빙 헤드를 포함하며, 스크라이빙 휠은 프레임에 대하여 Y축 방향으로 이동 가능한 스크라이빙 유닛을 사용하여, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 X축 라인을 따라 기판에 스크라이빙을 형성하는 스크라이빙 방법에 있어서, 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인의 시작점에 스크라이빙 휠을 위치시키는 단계; 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인의 시작점으로부터 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계; 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인의 종료점에서 스크라이빙 휠을 프레임에 대해 Y축 방향으로 이동시켜 스크라이빙 휠을 복수의 X축 라인 중 다른 하나의 X축 라인의 시작점에 위치시키는 단계; 및 복수의 X축 라인 중 다른 하나의 X축 라인의 시작점으로부터 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 복수의 X축 라인 중 다른 하나의 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법은, 기판을 지지하여 Y축 방향으로 이송하는 기판 이송 유닛; 및 X축 방향으로 연장되는 프레임과, 프레임에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 스크라이빙 휠을 구비하는 제1 및 제2 스크라이빙 헤드를 포함하며, 스크라이빙 휠은 프레임에 대하여 Y축 방향으로 이동 가능한 스크라이빙 유닛을 사용하여, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 제1 및 제2 X축 라인을 따라 기판에 스크라이빙을 형성하는 스크라이빙 방법에 있어서, (a) 복수의 제1 X축 라인 중 하나의 제1 X축 라인의 시작점에 제1 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 위치시키는 단계; (b) 복수의 제1 X축 라인 중 하나의 제1 X축 라인의 시작점으로부터 제1 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 복수의 제1 X축 라인 중 하나의 제1 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계; (c) 복수의 제2 X축 라인 중 하나의 제2 X축 라인의 시작점에 제2 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 위치시키는 단계; (d) 복수의 제2 X축 라인 중 하나의 제2 X축 라인의 시작점으로부터 제2 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 복수의 제2 X축 라인 중 하나의 제2 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계; (e) 복수의 제1 X축 라인 중 하나의 제1 X축 라인의 종료점에서 제1 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 프레임에 대해 Y축 방향으로 이동시켜 제1 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 복수의 제1 X축 라인 중 다른 하나의 제1 X축 라인의 시작점에 위치시키는 단계; (f) 복수의 제1 X축 라인 중 다른 하나의 제1 X축 라인의 시작점으로부터 제1 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 복수의 제1 X축 라인 중 다른 하나의 제1 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계; (g) 복수의 제2 X축 라인 중 하나의 제2 X축 라인의 종료점에서 제2 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 프레임에 대해 Y축 방향으로 이동시켜 제2 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 복수의 제2 X축 라인 중 다른 하나의 제2 X축 라인의 시작점에 위치시키는 단계; 및 (h) 복수의 제2 X축 라인 중 다른 하나의 제2 X축 라인의 시작점으로부터 제2 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 복수의 제2 X축 라인 중 다른 하나의 제2 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
여기에서, (b) 단계 및 (c) 단계는 동시에 이루어지거나, (d) 단계 및 (e) 단계는 동시에 이루어지거나, (f) 단계 및 (g) 단계는 동시에 이루어질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 방법에 따르면, 스크라이빙 휠이 X축 방향으로 이동할 뿐만 아니라 프레임에 대하여 Y축 방향으로 이동하면서 Y축 방향으로 제1 간격을 가지면서 X축 방향으로 연장되는 복수의 제1 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성할 수 있으므로, 기판에 복수의 스크라이빙 라인을 형성하는 과정을 간단하고 신속하게 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 평면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 스크라이빙 헤드가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 4 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 의해 기판에 스크라이빙 라인이 형성되는 일 예가 순차적으로 도시된 도면이다.
도 7 내지 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 의해 기판에 스크라이빙 라인이 형성되는 다른 예가 순차적으로 도시된 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.
여기에서, 스크라이빙 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판이(S) 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 기판(S)을 이송하는 기판 이송 유닛(10)과, 기판 이송 유닛(10)에 의해 이송된 기판(S)에 X축 방향 및 Y축 방향으로 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛(20)을 포함할 수 있다.
기판 이송 유닛(10)은 기판(S)의 후행단을 파지하는 파지 모듈(11)과, Y축 방향으로 연장되어 파지 모듈(11)의 이동을 안내하는 가이드 레일(12)과, 기판(S)을 지지하면서 이송하는 복수의 벨트(13)를 포함할 수 있다.
파지 모듈(11)과 가이드 레일(12) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 모듈(11)이 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서 직선 이동 기구에 의해 파지 모듈(11)이 Y축 방향으로 이동됨에 따라 기판(S)이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 벨트(13)는 파지 모듈(11)의 이동과 동기화되어 회전되면서 기판(S)의 하면을 안정적으로 지지할 수 있다.
파지 모듈(11)은 기판(S)의 후행단을 물리적으로 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 파지 모듈(11)은 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)의 후행단을 흡착하도록 구성될 수 있다.
가이드 레일(12)은 X축 방향으로 복수로 구비될 수 있다. 복수의 가이드 레일(12)은 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 복수의 가이드 레일(12)은 복수의 벨트(13) 사이에 배치될 수 있다. 가이드 레일(12)은 파지 모듈(11)의 Y축 방향으로의 이동을 안내하는 역할을 한다.
복수의 벨트(13)는 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 각 벨트(13)는 복수의 풀리(14)에 의해 지지되며, 복수의 풀리(14) 중 적어도 하나는 벨트(13)를 회전시키는 구동력을 제공하는 구동 롤러일 수 있다.
스크라이빙 유닛(20)은, X축 방향으로 연장되는 프레임(21)과, 프레임(21)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 스크라이빙 헤드(22)와, 프레임(21)과 스크라이빙 헤드(22) 사이에 설치되어 스크라이빙 헤드(22)를 프레임(21)을 따라 X축 방향으로 이동시키는 헤드 이동 모듈(24)을 포함할 수 있다.
프레임(21)은 Z축 방향으로 이격되게 배치되는 한 쌍의 프레임(21)으로서 구성될 수 있다. 이 경우, 복수의 스크라이빙 헤드(22)가 한 쌍의 프레임(21) 각각에 설치될 수 있다. 한 쌍의 프레임(21) 사이에는 기판(S)이 통과하는 공간이 마련된다. 한 쌍의 프레임(21)은 일체로 형성될 수 있다. 스크라이빙 헤드(22)는 프레임(21)을 따라 X축 방향으로 복수로 배치될 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(22)는, 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성하기 위한 스크라이빙 모듈(50)과, 스크라이빙 모듈(50)과 연결되어 스크라이빙 모듈(50)을 Z축 방향으로 이동시키는 수직 이동 모듈(60)과, 스크라이빙 모듈(50)과 연결되어 스크라이빙 모듈(50)을 Y축 방향으로 이동시키는 수평 이동 모듈(70)을 포함할 수 있다.
스크라이빙 모듈(50)은, 스크라이빙 휠(51)을 유지하는 휠 홀더(52)와, 휠 홀더(52)를 지지하는 홀더 지지 부재(53)와, 홀더 지지 부재(53)가 Z축을 중심으로 회전 가능하게 지지되는 하우징(54)을 포함할 수 있다.
휠 홀더(52)는 홀더 지지 부재(53)에 형성된 삽입홈(미도시)에 삽입될 수 있다. 홀더 지지 부재(53)는 하우징(54)에 형성된 수용홈(미도시)에 삽입될 수 있다. 하우징(54) 내에서 홀더 지지 부재(53)가 Z축을 중심으로 용이하게 회전될 수 있도록, 하우징(54) 내에는 베어링(미도시)이 구비될 수 있다.
수직 이동 모듈(60)의 작동에 의해 스크라이빙 모듈(50)이 Z축 방향으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)에 접촉되거나 기판(S)으로부터 이격될 수 있다. 또한, 수직 이동 모듈(60)은 스크라이빙 모듈(50)을 기판(S)을 향하여 이동시켜, 스크라이빙 휠(51)을 기판(S)에 소정의 가압력으로 가압하는 역할을 한다.
스크라이빙 모듈(50)의 Z축 방향으로의 이동을 보다 정밀하게 제어할 수 있도록, 수직 이동 모듈(60)로서는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터가 사용되는 것이 바람직하다.
수평 이동 모듈(70)은, 스크라이빙 모듈(50)이 지지되는 지지 프레임(71)에 설치되며 Y축 방향으로 연장되는 복수의 가이드 부재(72)와, 복수의 가이드 부재(72)에 Y축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 스크라이빙 모듈(50)과 연결되는 연결 부재(73)와, 연결 부재(73)와 연결되어 연결 부재(73)를 Y축 방향으로 이동시키는 구동부(74)를 포함할 수 있다.
일 예로서, 구동부(74)는, 연결 부재(73)와 연결되는 샤프트(741)와, 샤프트(741)와 연결되는 모터(742)로 구성될 수 있다. 모터(742)는 샤프트(741)을 회전시키면서 샤프트(741)를 전진 및/또는 후퇴시킬 수 있다. 이와 같이, 모터(742)의 작동에 의해 샤프트(741)가 회전하면서 Y축 방향으로 전진 및/또는 후퇴할 수 있으며, 이에 따라, 샤프트(741) 및 연결 부재(73)와 연결된 스크라이빙 모듈(50)이 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
다른 예로서, 구동부(74)는, 연결 부재(73)와 연결되는 샤프트(741)와, 샤프트(741)와 연결되어 공압 또는 유압에 의해 작동하면서 샤프트(741)를 Y축 방향으로 전진 및/또는 후퇴시키는 액추에이터(742)를 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 구동부(74)로는 연결 부재(73)와 연결되며, 전자기적 상호 작용을 사용하여 연결 부재(73)를 직선형으로 이동시키는 리니어 모터와 같은 직선 이동 기구가 사용될 수 있다.
이러한 구성에 따르면, 파지 모듈(11)이 기판(S)의 후행단을 파지하고 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)의 표면에 가압된 상태에서, 파지 모듈(11)이 가이드 레일(12)을 따라 Y축 방향으로 이동함에 따라, 기판(S)에는 Y축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.
스크라이빙 휠(51)이 기판(S)의 표면에 가압된 상태에서, 스크라이빙 헤드(22)가 프레임(21)을 따라 X축 방향으로 이동함에 따라, 기판(S)에는 X축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성될 수 있다.
헤드 이동 모듈(24)은 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로서 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠(51)을 구비하는 스크라이빙 모듈(50)이 Y축 방향으로 연장되는 복수의 가이드 부재(72)에 지지되어 이동될 수 있다. 따라서, 복수의 가이드 부재(72)는 스크라이빙 모듈(50)이 Z축 방향 또는 X축 방향으로 이동되는 것을 방지하며, 스크라이빙 모듈(50)이 회전되는 것을 방지한다. 이에 따라, 스크라이빙 모듈(50)이 Y축 방향으로 안정적으로 이동될 수 있다.
또한, 스크라이빙 모듈(50)이 복수의 가이드 부재(72)에 안정적으로 지지된 상태에서 구동부(74)에 의해 직선형으로 이동될 수 있으므로, 스크라이빙 모듈(50)에 외력이 가해지더라도, 스크라이빙 모듈(50)이 안정적이고 정밀하게 이동될 수 있다.
또한, 구동부(74)에 의해 발생되는 직선형의 힘이 다른 방향으로의 힘으로 변환되지 않고 Y축 방향으로의 힘으로서 스크라이빙 모듈(50)로 전달될 수 있으므로, 힘의 방향을 전환하기 위한 별도의 부재를 필요로 하지 않으므로, 이에 따라, 부품의 수를 줄일 수 있다.
이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 의해 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)이 형성되는 과정을 설명한다.
도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 스크라이빙 헤드(22)는, 예를 들어, 제1 스크라이빙 헤드(221) 및 제2 스크라이빙 헤드(222)를 포함할 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 기판(S)이 프레임(21)을 기준으로 X축에 대하여 정렬되지 않고 Z축을 중심으로 약간 회전된 상태로 기판(S)이 스크라이빙 유닛(40)으로 로딩될 수 있다. 이러한 경우에는, 기판(S)에 형성될 스크라이빙 라인(L)의 가상선(VL)이 프레임(41)의 중심축(X축)에 대해 소정의 각도로 기울어질 수 있다. 이러한 경우에는, 복수의 스크라이빙 헤드(22) 중 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 모듈(50)을 Y축 방향으로 이동시켜, 복수의 스크라이빙 헤드(22)의 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)에 형성될 스크라이빙 라인(L) 상의 시작점에 위치되도록 한다.
그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 시작점에서 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)에 가압된 상태에서, 스크라이빙 헤드(22)가 프레임(21)을 따라 X축 방향으로 이동되는 것과 동시에 스크라이빙 휠(51)이 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동된다. 따라서, 스크라이빙 라인(L)이 X축을 기준으로 소정의 각도로 경사지게 형성될 수 있다.
이와 같은 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 과정은 스크라이빙 휠(51)의 프레임(21)에 대한 Y축 방향으로의 이동 가능 거리가 X축을 기준으로 소정의 각도로 경사진 스크라이빙 라인(L)을 형성하기 위해 요구되는 스크라이빙 휠(51)의 Y축 방향으로 이동 가능 거리와 같거나 이에 비해 작을 경우에 수행될 수 있다.
다른 예로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 시작점에서 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)에 가압된 상태에서, 스크라이빙 헤드(22)가 프레임(21)을 따라 X축 방향으로 이동되는 것과 동시에 기판(S)이 스크라이빙 헤드(22)를 향하여 Y축 방향으로 이동된다. 따라서, 스크라이빙 라인(L)이 X축을 기준으로 소정의 각도로 경사지게 형성될 수 있다.
이와 같은 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 과정은 스크라이빙 휠(51)의 프레임(21)에 대한 Y축 방향으로의 이동 가능 거리가 X축을 기준으로 소정의 각도로 경사진 스크라이빙 라인(L)을 형성하기 위해 요구되는 스크라이빙 휠(51)의 Y축 방향으로 이동 가능 거리에 비하여 클 경우에도 수행될 수 있다.
이와 같이, 기판(S)이 X축에 대하여 Z축을 중심으로 회전된 상태로 스크라이빙 유닛(40)으로 로딩되는 경우에도, 기판(S)을 다시 정렬시키는 동작을 수행하지 않고, 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)을 원활하게 형성할 수 있다.
이하, 도 7 내지 도 13를 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 의해 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)이 형성되는 과정을 설명한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 단위 패널로서 비교적 큰 패널(LP)과 비교적 작은 패널(SP)이 하나의 기판(S)을 절단하는 것에 의해 생성될 수 있다. 이러한 비교적 큰 패널(LP)과 비교적 작은 패널(SP)을 하나의 기판(S)으로부터 생성하기 위해, 기판(S)에는 복수의 가상선(VL)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성되어야 한다.
도 8에 도시된 바와 같이, 기판(S)에 X축 방향으로 일직선 형태의 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 과정에서는, 제1 및 제2 스크라이빙 헤드(221, 222)의 스크라이빙 헤드(51)가 일직선으로 X축 방향으로 이동될 수 있다.
한편, 복수의 가상선(VL)은, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)을 포함할 수 있다.
도 7은 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)이 X축 방향으로 연결된 것으로 도시되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)이 X축 방향으로 이격될 수 있다. 즉, 도 7은 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 종료점 및 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점이 Y축 방향으로 일치하는 것으로 도시되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 종료점 및 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점이 X축 방향으로 서로로부터 이격될 수 있다.
복수의 제1 X축 라인(X11, X12)은 Y축 방향으로 제1 간격(G1)을 갖도록 설정될 수 있다.
여기에서, 제1 간격(G1)은 스크라이빙 휠(51)의 프레임(21)에 대한 Y축 방향으로의 이동 가능 거리와 같거나 작을 수 있다. 이에 따라, 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)을 따라 이동하는 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)의 Y축 방향으로의 이동 없이 프레임(21)에 대해 Y축 방향으로 이동된 후 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)을 따라 이동할 수 있다.
이러한 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)을 따라 스크라이빙 라인을 형성하기 위해, 먼저, 도 9에 도시된 바와 같이, 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 시작점에 위치된다. 그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(51)이 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 시작점으로부터 X축 방향으로 이동함에 따라 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성될 수 있다. 그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 종료점에서 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동되어 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점에 위치된다. 그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(51)이 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점으로부터 X축 방향으로 이동함에 따라, 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성될 수 있다.
이와 같이, 하나의 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동할 뿐만 아니라 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동하면서 Y축 방향으로 제1 간격(G1)을 가지면서 X축 방향으로 연장되는 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)을 따라 스크라이빙 라인(L)을 형성할 수 있다. 따라서, 하나의 스크라이빙 휠(51)을 사용하여 Y축 방향으로 이격되고 X축 방향으로 연결되거나 이격되며 X축 방향으로 연장되는 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)을 따라 스크라이빙 라인(L)을 형성하기 위해 기판(S)을 Y축 방향으로 반복적으로 이동시키는 과정을 생략할 수 있다. 따라서, 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 공정을 단순화시킬 수 있다.
또한, 복수의 가상선(VL)은, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)을 포함할 수 있다.
도 7은 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)이 X축 방향으로 연결된 것으로 도시되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)이 X축 방향으로 이격될 수 있다. 즉, 도 7은 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 종료점 및 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점이 Y축 방향으로 일치하는 것으로 도시되지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 종료점 및 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점이 X축 방향으로 서로로부터 이격될 수 있다.
복수의 제2 X축 라인(X21, X22)은 Y축 방향으로 제2 간격(G2)을 갖도록 설정될 수 있다.
여기에서, 제2 간격(G2)은 스크라이빙 휠(51)의 프레임(21)에 대한 Y축 방향으로의 이동 가능 거리와 같거나 작을 수 있다. 이에 따라, 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)을 따라 이동하는 스크라이빙 휠(51)이 기판(S)의 Y축 방향으로의 이동 없이 프레임(21)에 대해 Y축 방향으로 이동된 후 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)을 따라 이동할 수 있다.
이러한 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)을 따라 스크라이빙 라인을 형성하기 위해, 먼저, 도 10에 도시된 바와 같이, 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 시작점에 위치된다. 그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(51)이 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 시작점으로부터 X축 방향으로 이동함에 따라 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성될 수 있다. 그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 종료점에서 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동되어 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점에 위치된다. 그리고, 도 13에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(51)이 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점으로부터 X축 방향으로 이동함에 따라, 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성될 수 있다.
이와 같이, 하나의 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동할 뿐만 아니라 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동하면서 Y축 방향으로 제2 간격(G2)을 가지면서 X축 방향으로 연장되는 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)을 따라 스크라이빙 라인(L)을 형성할 수 있다. 따라서, 하나의 스크라이빙 휠(51)을 사용하여 Y축 방향으로 이격되고 X축 방향으로 연결되거나 이격되며 X축 방향으로 연장되는 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)을 따라 스크라이빙 라인(L)을 형성하기 위해 기판(S)을 Y축 방향으로 반복적으로 이동시키는 과정을 생략할 수 있다. 따라서, 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 공정을 단순화시킬 수 있다.
한편, 복수의 가상선(VL)이, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 제1 X축 라인(X11, X12)과, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 제2 X축 라인(X21, X22)을 포함하는 경우에는, 먼저, 도 9에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 시작점에 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)을 위치된다.
그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 시작점으로부터 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성된다.
이와 동시에 또는 순차적으로, 도 10에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 시작점에 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)을 위치된다.
그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 시작점으로부터 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성된다.
이와 동시에 또는 순차적으로, 도 11에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 하나의 제1 X축 라인(X11)의 종료점에서 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 프레임(21)에 대해 Y축 방향으로 이동되어 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 복수의 제1 X축 라인(X11) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점에 위치된다.
그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)의 시작점으로부터 제1 스크라이빙 헤드(221)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제1 X축 라인(X11, X12) 중 다른 하나의 제1 X축 라인(X12)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성된다.
이와 동시에 또는 순차적으로, 도 12에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 하나의 제2 X축 라인(X21)의 종료점에서 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 프레임(21)에 대해 Y축 방향으로 이동되어 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점에 위치된다.
그리고, 도 13에 도시된 바와 같이, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)의 시작점으로부터 제2 스크라이빙 헤드(222)의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동됨에 따라, 복수의 제2 X축 라인(X21, X22) 중 다른 하나의 제2 X축 라인(X22)을 따라 스크라이빙 라인(L)이 형성된다.
이와 같이, 하나의 기판에 X축 방향으로 연장되며 Y축 방향으로 이격된 복수의 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 과정에서, 복수의 스크라이빙 휠(51)이 X축 방향으로 이동할 뿐만 아니라 프레임(21)에 대하여 Y축 방향으로 이동하면서 복수의 스크라이빙 라인(L)이 형성될 수 있다.
따라서, X축 방향으로 연장되며 Y축 방향으로 이격된 복수의 스크라이빙 라인(L)을 형성하기 위해 기판(S)을 Y축 방향으로 반복적으로 이동시키는 과정을 생략할 수 있으므로, 기판(S)에 스크라이빙 라인(L)을 형성하는 공정을 단순화시킬 수 있다.
한편, 기판(S)에 Y축 방향으로 스크라이빙 라인을 형성하기 위해, 해당 스크라이빙 라인의 시작점에 스크라이빙 휠(51)을 위치시킨 후, 기판(S)을 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.
10: 기판 이송 유닛
20: 스크라이빙 유닛
21: 프레임
22: 스크라이빙 헤드
50: 스크라이빙 모듈
51: 스크라이빙 휠
60: 수직 이동 모듈
70: 수평 이동 모듈

Claims (3)

  1. 기판을 지지하여 Y축 방향으로 이송하는 기판 이송 유닛; 및 X축 방향으로 연장되는 프레임과, 상기 프레임에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 스크라이빙 휠을 구비하는 스크라이빙 헤드를 포함하며, 상기 스크라이빙 휠은 상기 프레임에 대하여 Y축 방향으로 이동 가능한 스크라이빙 유닛을 사용하여, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 X축 라인을 따라 기판에 스크라이빙을 형성하는 스크라이빙 방법에 있어서,
    상기 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인의 시작점에 상기 스크라이빙 휠을 위치시키는 단계;
    상기 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인의 시작점으로부터 상기 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 상기 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계;
    상기 복수의 X축 라인 중 하나의 X축 라인의 종료점에서 상기 스크라이빙 휠을 상기 프레임에 대해 Y축 방향으로 이동시켜 상기 스크라이빙 휠을 상기 복수의 X축 라인 중 다른 하나의 X축 라인의 시작점에 위치시키는 단계; 및
    상기 복수의 X축 라인 중 다른 하나의 X축 라인의 시작점으로부터 상기 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 상기 복수의 X축 라인 중 다른 하나의 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계를 포함하는 스크라이빙 방법.
  2. 기판을 지지하여 Y축 방향으로 이송하는 기판 이송 유닛; 및 X축 방향으로 연장되는 프레임과, 상기 프레임에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되며 스크라이빙 휠을 구비하는 제1 및 제2 스크라이빙 헤드를 포함하며, 상기 스크라이빙 휠은 상기 프레임에 대하여 Y축 방향으로 이동 가능한 스크라이빙 유닛을 사용하여, X축 방향으로 연장되고 Y축 방향으로 이격되며 X축 방향으로 연결되거나 이격된 복수의 제1 및 제2 X축 라인을 따라 기판에 스크라이빙을 형성하는 스크라이빙 방법에 있어서,
    (a) 상기 복수의 제1 X축 라인 중 하나의 제1 X축 라인의 시작점에 상기 제1 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 위치시키는 단계;
    (b) 상기 복수의 제1 X축 라인 중 하나의 제1 X축 라인의 시작점으로부터 상기 제1 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 상기 복수의 제1 X축 라인 중 하나의 제1 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계;
    (c) 상기 복수의 제2 X축 라인 중 하나의 제2 X축 라인의 시작점에 상기 제2 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 위치시키는 단계;
    (d) 상기 복수의 제2 X축 라인 중 하나의 제2 X축 라인의 시작점으로부터 상기 제2 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 상기 복수의 제2 X축 라인 중 하나의 제2 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계;
    (e) 상기 복수의 제1 X축 라인 중 하나의 제1 X축 라인의 종료점에서 상기 제1 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 상기 프레임에 대해 Y축 방향으로 이동시켜 상기 제1 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 상기 복수의 제1 X축 라인 중 다른 하나의 제1 X축 라인의 시작점에 위치시키는 단계;
    (f) 상기 복수의 제1 X축 라인 중 다른 하나의 제1 X축 라인의 시작점으로부터 상기 제1 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 상기 복수의 제1 X축 라인 중 다른 하나의 제1 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계;
    (g) 상기 복수의 제2 X축 라인 중 하나의 제2 X축 라인의 종료점에서 상기 제2 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 상기 프레임에 대해 Y축 방향으로 이동시켜 상기 제2 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 상기 복수의 제2 X축 라인 중 다른 하나의 제2 X축 라인의 시작점에 위치시키는 단계; 및
    (h) 상기 복수의 제2 X축 라인 중 다른 하나의 제2 X축 라인의 시작점으로부터 상기 제2 스크라이빙 헤드의 스크라이빙 휠을 X축 방향으로 이동시켜 상기 복수의 제2 X축 라인 중 다른 하나의 제2 X축 라인을 따라 스크라이빙 라인을 형성하는 단계를 포함하는 스크라이빙 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 (b) 단계 및 상기 (c) 단계는 동시에 이루어지거나, 상기 (d) 단계 및 상기 (e) 단계는 동시에 이루어지거나, 상기 (f) 단계 및 상기 (g) 단계는 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 스크라이빙 방법.
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