CN108314304B - 划片设备 - Google Patents

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Abstract

本发明实施例的划片设备是能够自动替换划片轮,并且能够减少划线工序所需的时间且能够提高操作者的便利性的装置,具有划线单元以及划片轮支持部替换装置,划线单元包括:划片轮支持部,用以维持划片轮,划片轮支持部支撑件,用以插入划片轮支持部,以及划线头,连接有划片轮支持部支撑件;所述划片轮支持部替换装置,包括划片轮支持部容纳单元,其沿圆周方向具有多个划片轮支持部容纳槽,多个划片轮支持部容纳槽中的一个与划片轮支持部支撑件相对应地旋转。

Description

划片设备
技术领域
本发明涉及一种划片设备,用于在基板上形成划线。
背景技术
通常,用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等使用单元玻璃面板(以下称为“单元基板”),所述单元玻璃面板是通过将如玻璃等脆性母体玻璃面板(以下称为“基板”)切割成预定尺寸而获得。
切割基板的工序包括:划片工序和裂片工序,所述划片工序是沿着欲切割基板的预定线按压并移动由如钻石等材料制成的划片轮来形成划线,而所述裂片工序是通过沿着划线按压基板来切割基板以获得单元基板。
在划片工序中,以基板的移送方向为基准,在支撑基板的前方侧端部及后方侧端部的状态下,在基板的前方侧端部及后方侧端部之间的区域,划片轮一边移动,一边在基板上形成划线。
另一方面,在多个基板上形成多个划线的过程中,由于划片轮产生磨损,因此为了能够顺利地执行划线形成工序,有必要用新的划片轮来替换被磨损的划片轮。
然而,存在如下问题:以往操作者是手动替换划片轮的,因此替换划片轮需要花很长时间,而且替换划片轮之后,还需要用以调节划片轮的位置的其他过程。
【现有技术文献】
【专利文献】
韩国公开专利第10-2007-0070824号(2007.07.04)
发明内容
本发明是为了解决上述现有技术问题而提出的,本发明的目的在于提供一种划片设备,其能够自动替换划片轮,由此能够减少划片工序所需的时间且能够提高操作者的便利性。
为达到所述目的的本发明实施例的划片设备具有:划线单元以及划片轮支持部替换装置,
划线单元包括:
划片轮支持部,用以维持划片轮,
划片轮支持部支撑件,用以插入划片轮支持部,以及
划线头,连接有划片轮支持部支撑件;
划片轮支持部替换装置,包括划片轮支持部容纳单元,沿圆周方向具有多个划片轮支持部容纳槽,多个划片轮支持部容纳槽中的一个与划片轮支持部支撑件相对应地旋转。
划片轮支持部容纳单元包括:第一划片轮支持部容纳构件,与相互相向配置的一对划线头中的一个划线头相对应且具有划片轮支持部容纳槽;第二划片轮支持部容纳构件,与另一个划线头相对应且具有划片轮支持部容纳槽。
还包括旋转单元,旋转单元设置在第一划片轮支持部容纳构件及第二划片轮支持部容纳构件之间且使第一划片轮支持部容纳构件及第二划片轮支持部容纳构件进行相对旋转。
旋转单元使第一划片轮支持部容纳构件及第二划片轮支持部容纳构件向不同方向旋转。
旋转单元使第一划片轮支持部容纳构件及第二划片轮支持部容纳构件以不同角度旋转。
还包括闭锁单元,闭锁单元设置在划片轮支持部容纳槽,用以固定插入在划片轮支持部容纳槽的划片轮支持部。
闭锁单元包括:施压构件,对插入在划片轮支持部容纳槽内的划片轮支持部的一面进行施压;以及驱动装置,使施压构件移动。
本发明实施例的划片设备由于具有能够自动替换划片轮支持部的划片轮支持部替换装置,因此能够迅速地替换划片轮,减少划线工序所需时间,并提高操作者的便利性。
附图说明
图1是概略表示本发明实施例的划片设备的俯视图。
图2是概略表示本发明实施例的划片设备的侧视图。
图3是本发明实施例的划片设备的划线单元的一部分的概略放大图。
图4是本发明实施例的划片设备的划片轮支持部替换装置的一部分的放大图。
图5至图11是概略表示本发明实施例的划片设备的动作的图。
其中,附图标记说明如下:
10:装载台 20:划线单元
30:基板移送装置 40:划片轮支持部替换装置
44:划片轮支持部容纳单元 45:旋转单元
46:闭锁单元 47:升降单元
48:支撑台 49:导轨
具体实施方式
参照附图对本发明实施例的划片设备进行说明。
以下,定义移送将被执行划线工序的基板S的方向为Y轴方向,定义与移送基板S的方向(Y轴方向)交叉(例如,垂直)的方向为X轴方向。并且,定义与放置基板S的X-Y平面垂直的方向为Z轴方向。
如图1及图2所示,本发明实施例的划片设备可包括:装载台10;划线单元20,具有用以维持划片轮21的划片轮支持部22及用以支撑划片轮支持部22的划线头23;基板移送装置30,把持基板S,并将基板S向划线单元20移送;划片轮支持部替换装置40,用于替换划片轮支持部22。
装载台包括沿Y轴方向以规定间隔隔开配置的加载台11及卸载台12。加载台11提供将基板S加载至划片设备的区域,卸载台12提供从划片设备中卸载已通过划线工序形成了划线的基板S的区域。
加载台11及卸载台12分别可包括多个传送带13。多个传送带13可在X轴方向上相互隔开间隔。各传送带13被多个辊子14支撑,多个辊子14中的至少一个可以是提供使传送带13旋转的驱动力的驱动辊子。
如图2至图3所示,划线单元20包括:头支撑台24,用于安装划线头23;以及框架25,被设置为能够使头支撑台24向X轴方向移动。
多个划线头23在Z轴方向上相互隔开间隔且相互相向地设置。例如,一对划线头23在Z轴方向上相互隔开间隔且相互相向地配置,从而,一对划片轮21可被配置为相互相向于基板S的一面(上表面)及另一面(下表面)。从而,在一对划片轮21对基板S的一面及另一面进行施压的状态下,通过基板S相对一对划线头23的相对移动及/或一对划线头23相对基板S的相对移动,可在基板S的一面及另一面分别形成划线。
划线头23被设置为可相对头支撑台24向Z轴方向移动。划线头23及头支撑台24之间可具有:致动器,利用气压或油压来工作;或者如利用电磁相互作用而工作的直线电机;或者如滚珠丝杆机构那样的直线移动机构。由此,划线头23可通过直线移动机构而相对头支撑台24向Z轴方向移动,从而被划线头23支撑的划片轮支持部22也可向Z轴方向移动。
头支撑台24和框架25之间可具有:致动器,利用气压或油压来工作;或者如利用电磁相互作用而工作的直线电机;或者如滚珠丝杆机构那样的直线移动机构。从而,头支撑台24可通过直线移动机构沿框架25向X轴方向移动,由此,划线头23可向X轴方向移动。
例如,在框架25上可具有在X轴方向上以规定间隔隔开的多个划线头23。
在划线头23上可安装有用以支撑划片轮支持部22的划片轮支持部支撑件26。划片轮支持部支撑件26可插入于划线头23。划片轮支持部支撑件26以能够与Z轴方向平行的轴为中心进行旋转地安装在划线头23。为此,在划片轮支持部支撑件26连接在划线头23的部分上可安装有轴承(未图示)。
这样,由于划片轮支持部支撑件26能够旋转地安装在划线头23,因此,当划片轮21被施压在基板S的状态下,如果划线头23及/或基板S进行移动,则以使划片轮21的刃的方向与划片轮21移动的方向相一致地使划片轮支持部支撑件26旋转。通过这样的划片轮支持部支撑件26的旋转,能够决定划片轮21及划片轮支持部22的方向。
在划片轮支持部支撑件26上可形成有用以使划片轮支持部22插入的插入槽261。在插入槽261内可设有磁石262,插入于插入槽261的划片轮支持部22的部分可由附着于磁石262的材料形成。由此,当划片轮支持部22插入于插入槽261时,划片轮支持部22被附着在磁石262的同时被固定。另外,通过将划片轮支持部22从磁石262拉拽,能够使划片轮支持部22容易从插入槽261分离。
基板移送装置30可包括:用以把持基板S的把持单元31,用以支撑把持单元31的支撑杆32,连接在支撑杆32的两端且沿Y轴方向延伸的导轨33。在支撑杆32的两端和导轨33之间可具有:致动器,利用气压或油压来工作;或者如利用电磁相互作用而工作的直线电机;或者如滚珠丝杆机构那样的直线移动机构。从而,基板S可在被把持单元31把持的状态下被直线移动机构沿Y轴方向移送。
支撑杆32可具有多个把持单元31。此时,多个把持单元31可一同把持基板S。把持单元31以能够在X轴方向上移动的方式设置在支撑杆32。例如,在把持单元31和支撑杆32之间可具有:致动器,利用气压或油压来工作;或者如利用电磁相互作用而工作的直线电机;或者如滚珠丝杆机构那样的直线移动机构。从而,把持单元31可通过直线移动机构沿支撑杆32向X轴方向移动。
如图2所示,把持单元31可包括用以把持基板S的一对把持构件311。例如,与一般的夹具一样,一对把持构件311可利用油压或气压以相互隔开或邻接地移动。一对把持构件311相互邻接地移动而物理性地对基板S施压并维持,并且也可相互隔开地移动而解除基板S。
如图4及图5所示,划片轮支持部替换装置40可包括:划片轮支持部容纳单元44,用以容纳将被替换或已被替换的划片轮支持部22;旋转单元45,使划片轮支持部容纳单元44以与Z轴方向平行的轴为中心旋转;闭锁单元46,设置在划片轮支持部容纳单元44且对容纳在划片轮支持部容纳单元44的划片轮支持部22选择性地闭锁或解除闭锁;升降单元47,使划片轮支持部容纳单元44向Z轴方向移动;支撑台48,以使划片轮支持部容纳单元44能够向X轴方向移动地支撑;以及导轨49,连接在支撑台48的两端并向Y轴方向延伸。
划片轮支持部容纳单元44能够以靠近划线单元20的划线头23的划片轮支持部支撑件26的方式构成。划片轮支持部容纳单元44可沿着在装载台10上部向X轴方向延伸的支撑台48向X轴方向移动。为此,在划片轮支持部容纳单元44和支撑台48之间可设有致动器,利用气压或油压来工作;或者如利用电磁相互作用而工作的直线电机;或者如滚珠丝杆机构那样的直线移动机构481。
划片轮支持部容纳单元44通过直线移动机构481向X轴方向移动,从而能够靠近划线头23。另外,划片轮支持部容纳单元44通过直线移动机构481沿支撑台48向X轴方向移动,从而能够从基板移送装置30的把持单元31的移动路径及经由基板移送装置30移送的基板S的移送路径脱离。从而,能够防止划片轮支持部容纳单元44与基板移送装置30或基板S产生干涉。
虽然图示为在支撑台48设有一个划片轮支持部容纳单元44,但是多个划片轮支持部容纳单元44也可在支撑台48上相互隔开间隔设置。支撑台48可沿着导轨49向Y轴方向移动。例如,在支撑台48和导轨49之间可设有:致动器,利用气压或油压来工作;或者如利用电磁相互作用而工作的直线电机;或者如滚珠丝杆机构那样的直线移动机构。从而,支撑台48可通过直线移动机构向Y轴方向移动,由此划片轮支持部容纳单元44可向Y轴方向移动。
升降单元47可具有:致动器,利用气压或油压来工作;或者如利用电磁相互作用而工作的直线电机;或者如滚珠丝杆机构那样的直线移动机构。
划片轮支持部容纳单元44可通过升降单元47向Z轴方向一边移动,一边使划片轮支持部22从划片轮支持部支撑件26分离,也能够使容纳在划片轮支持部容纳单元44的划片轮支持部22安装在划片轮支持部支撑件26。另外,划片轮支持部容纳单元44可通过升降单元47向Z轴方向移动,从而可从基板移送装置30的把持单元31的移动路径及基板S的移送路径脱离。进而,能够防止划片轮支持部容纳单元44与基板移送装置30或基板S产生干涉。
另一方面,当划线头23包括在Z轴方向上相互隔开间隔且相互相向配置的位于上部的第一划线头23和位于下部的第二划线头23时,划片轮支持部容纳单元44以能够替换所有安装在第一划线头及第二划线头23的划片轮支持部支撑件26的划片轮支持部22的方式构成。
为此,划片轮支持部容纳单元44可包括:第一划片轮支持部容纳构件41,与第一划线头23相对应地配置;第二划片轮支持部容纳构件42,与第二划线头23相对应地配置。第一划片轮支持部容纳构件41及第二划片轮支持部容纳构件42可形成为圆形的板状。这样,由于划片轮支持部容纳单元44具有第一划片轮支持部容纳构件41及第二划片轮支持部容纳构件42,因此,能够依次或同时迅速地执行第一划线头及第二划线头23的划片轮支持部22的替换动作。
而且,旋转单元45可设置在第一划片轮支持部容纳构件41及第二划片轮支持部容纳构件42之间。旋转单元45可通过连接杆451与升降单元47连接。旋转单元45可以由能够正向及反向旋转的一般的旋转马达构成。旋转单元45可具有与旋转马达连接的多个齿轮及/或环,由此,能够以多种方式使第一划片轮支持部容纳构件41及第二划片轮支持部容纳构件42进行相对旋转。
例如,旋转单元45能够使第一划片轮支持部容纳构件41及第二划片轮支持部容纳构件42以相互相同的方向及/或不同的方向旋转。另外,旋转单元45能够使第一划片轮支持部容纳构件41及第二划片轮支持部容纳构件42以不同的角度旋转。例如,在一边使第一划片轮支持部容纳构件41旋转,一边在第一划线头23安装划片轮支持部22或从第一划线头23分离划片轮支持部22的过程中,第二划片轮支持部容纳构件42可以向与第一划片轮支持部容纳构件41的旋转方向相反的方向旋转或者向与第一划片轮支持部容纳构件41的旋转角度不同的角度旋转。从而,在第一划线头23安装划片轮支持部22或者从第一划线头23分离划片轮支持部22的过程中,能够使第二划片轮支持部容纳构件42(特别是,容纳在第二划片轮支持部容纳构件42的划片轮支持部22)不与其他部件发生干涉地旋转。
另外,第一划片轮支持部容纳构件41及第二划片轮支持部容纳构件42能够一边以不同的方向或不同的角度旋转,一边从第一划线头及第二划线头23同时分离划片轮支持部22或者在第一划线头及第二划线头23同时安装划片轮支持部22。
另外,旋转单元45能够仅使第一划片轮支持部容纳构件41及第二划片轮支持部容纳构件42中的一个旋转。例如,在第一划线头23上安装划片轮支持部22或者从第一划线头23分离划片轮支持部22的过程中,在第二划片轮支持部容纳构件42静止的状态下仅使第一划片轮支持部容纳构件41旋转。从而,在第一划线头23上安装划片轮支持部22或者从第一划线头23分离划片轮支持部22的过程中,第二划片轮支持部容纳构件42可能处于静止状态,因此能够防止容纳在第二划片轮支持部容纳构件42的划片轮支持部22与周围的构成部件产生干涉。
第一划片轮支持部容纳构件41及第二划片轮支持部容纳构件42还可包括在各旋转单元45的旋转中心周围沿圆周方向配置的多个划片轮支持部容纳槽441。在多个划片轮支持部容纳槽441可插入有划片轮支持部22。划片轮支持部容纳槽441可具有与安装在划片轮21的划片轮支持部22的形状相对应的形状。
闭锁单元46设置在划片轮支持部容纳槽441内且对插入在划片轮支持部容纳槽441的划片轮支持部22选择性地闭锁或解除闭锁。例如,闭锁单元46可包括:施压构件461,对插入在划片轮支持部容纳槽441内的划片轮支持部22的一面进行施压;驱动装置462,使施压构件461移动。多个闭锁单元46可设置在一个划片轮支持部容纳槽441内。多个施压构件461可一边对划片轮支持部22的侧面施加均匀的压力,一边使划片轮支持部22固定。
作为其他例,闭锁单元46可设置在划片轮支持部容纳槽441内,用以吸附插入在划片轮支持部容纳槽441的划片轮支持部22。如此地,只要能够对插入在划片轮支持部容纳槽441的划片轮支持部22进行固定,则不限定闭锁单元46的结构。
以下,参照图5至图11,对划片设备的动作进行说明。
首先,如图2所示,在基板移送装置30的把持单元31把持了基板S后行端的状态下,如果支撑杆32沿导轨33向Y轴方向移动,则可将基板S向划线单元20移送。基板S一边被基板移送装置30断断续续地移动,一边被划线单元20在基板S上形成划线。
在多个基板S上形成多个划线的过程中,划片轮21被磨损。从而,为顺利执行形成划线的工序,有必要用新的划片轮21来替换已被磨损的划片轮21。可在预设个数的基板S上形成划线之后或以规定时间间隔来执行这样的划片轮21的替换。划片轮21的替换可通过划片轮支持部22的替换来执行。
如图5至图11所示,划片轮支持部22的替换可利用本发明实施例的划片轮支持部替换装置40来执行。以下,替换划片轮支持部22的过程与图中配置在上侧的第一划线头23相关联而说明,但类似过程也可针对图中配置在下侧的划线头23执行。
首先,如图5所示,划片轮支持部容纳单元44可从基板移送装置30的把持单元31的移动路径及基板S的移送路径脱离(偏离)的位置向邻接于划线单元20的位置移动。在这样的过程中,划片轮支持部容纳单元44可通过直线移动机构481沿支撑台48向X轴方向移动,随着支撑台48沿导轨49向Y轴方向移动,划片轮支持部容纳单元44可向Y轴方向移动,并且划片轮支持部容纳单元44可通过升降单元47向Z轴方向移动。
而且,如图6所示,随着支撑台48沿导轨49向Y轴方向移动,划片轮支持部容纳单元44向Y轴方向朝向划线单元20移动。此时,划线头23可上升规定高度,以使划片轮支持部容纳单元44能够容易地靠近插在划片轮支持部支撑件26的划片轮支持部22。
而且,如图7所示,如果第一划片轮支持部容纳构件41的划片轮支持部容纳槽441位于插在划片轮支持部支撑件26的划片轮支持部22的下方位置,则通过升降单元47,第一划片轮支持部容纳构件41可朝向划片轮支持部22上升,由此,划片轮支持部22插进划片轮支持部容纳槽441内。
此时,闭锁单元46固定插入在划片轮支持部容纳槽441内的划片轮支持部22。
而且,如图8所示,随着第一划片轮支持部容纳构件41下降,由此,被闭锁单元46固定的划片轮支持部22从划片轮支持部支撑件26分离。
而且,如图9所示,第一划片轮支持部容纳构件41通过旋转单元45旋转,由此,事先容纳在第一划片轮支持部容纳构件41的新的划片轮支持部22位于划片轮支持部支撑件26的下方。
而且,如图10所示,第一划片轮支持部容纳构件41再次上升,由此,容纳在第一划片轮支持部容纳构件41的划片轮支持部22插入在划片轮支持部支撑件26的插入槽261。
此时,当闭锁单元46解除对划片轮支持部22的闭锁时,划片轮支持部22通过设置在插入槽261内的磁石262的磁力被维持在插入槽261内。
而且,如图11所示,第一划片轮支持部容纳构件41下降之后,恢复至原来的位置或者执行将安装在其他划线头23的划片轮支持部22进行替换的动作。
另一方面,当支撑台48设有多个划片轮支持部容纳单元44时,多个划片轮支持部容纳单元44中的一部分可执行用于替换第一划线头23的划片轮支持部22的动作,另一部分可执行用于替换第二划线头23的划片轮支持部22的动作。
由于本发明实施例的划片设备具有自动替换划片轮支持部22的划片轮支持部替换装置40,因此能够迅速地替换划片轮21,从而减少划线工序所需时间,并能够提高操作者的便利性。
虽然示例说明了本发明的优选实施例,然而本发明的范围并不限于这样的特定实施例,可在权利要求书所记载的范围内进行适当变更。

Claims (7)

1.一种划片设备,其中,具有:
划线单元以及划片轮支持部替换装置;
所述划线单元包括:
划片轮支持部,用以维持划片轮,
划片轮支持部支撑件,用以插入所述划片轮支持部,以及
划线头,连接有所述划片轮支持部支撑件;
所述划片轮支持部替换装置包括划片轮支持部容纳单元,其沿圆周方向具有多个划片轮支持部容纳槽,并且所述划片轮支持部容纳单元能旋转以使得所述多个划片轮支持部容纳槽中的一个与所述划片轮支持部支撑件相对应。
2.根据权利要求1所述的划片设备,其中,
所述划片轮支持部容纳单元包括:
第一划片轮支持部容纳构件,与相互相向配置的一对划线头中的一个划线头相对应且具有多个划片轮支持部容纳槽,以及
第二划片轮支持部容纳构件,与该对划线头中的另一个划线头相对应且具有多个划片轮支持部容纳槽。
3.根据权利要求2所述的划片设备,其中,
所述划片轮支持部替换装置还包括旋转单元,所述旋转单元设置在所述第一划片轮支持部容纳构件及第二划片轮支持部容纳构件之间,使所述第一划片轮支持部容纳构件及第二划片轮支持部容纳构件进行相对旋转。
4.根据权利要求3所述的划片设备,其中,
所述旋转单元使所述第一划片轮支持部容纳构件及第二划片轮支持部容纳构件向相同的或不同的方向旋转。
5.根据权利要求3所述的划片设备,其中,
所述旋转单元使所述第一划片轮支持部容纳构件及第二划片轮支持部容纳构件以相同的或不同的角度旋转。
6.根据权利要求1所述的划片设备,其中,
所述划片轮支持部替换装置还包括闭锁单元,所述闭锁单元设置在所述划片轮支持部容纳槽,用以固定插入在所述划片轮支持部容纳槽的所述划片轮支持部。
7.根据权利要求6所述的划片设备,其中,
所述闭锁单元包括:
施压构件,对插入在所述划片轮支持部容纳槽内的所述划片轮支持部的一面进行施压;以及
驱动装置,使所述施压构件移动。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1958492A (zh) * 2005-12-29 2007-05-09 塔工程有限公司 划线器的轮保持器组件
CN101613178A (zh) * 2008-06-23 2009-12-30 三星钻石工业股份有限公司 刀轮保持具、保持具单元、划线头及划线装置
KR20100059204A (ko) * 2008-11-26 2010-06-04 주식회사 탑 엔지니어링 글래스 패널의 스크라이빙 장치
CN103111761A (zh) * 2012-12-05 2013-05-22 深圳市大族激光科技股份有限公司 划片方法及装置
CN103223698A (zh) * 2012-01-31 2013-07-31 三星钻石工业股份有限公司 保持具单元及划线装置
CN103507170A (zh) * 2012-06-29 2014-01-15 三星钻石工业股份有限公司 刀片保持具收纳体

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100753162B1 (ko) 2005-12-29 2007-08-30 주식회사 탑 엔지니어링 모터의 포지션 에러를 이용한 기판 위치 검출 방법 및 이를이용한 스크라이버

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1958492A (zh) * 2005-12-29 2007-05-09 塔工程有限公司 划线器的轮保持器组件
CN101613178A (zh) * 2008-06-23 2009-12-30 三星钻石工业股份有限公司 刀轮保持具、保持具单元、划线头及划线装置
KR20100059204A (ko) * 2008-11-26 2010-06-04 주식회사 탑 엔지니어링 글래스 패널의 스크라이빙 장치
CN103223698A (zh) * 2012-01-31 2013-07-31 三星钻石工业股份有限公司 保持具单元及划线装置
CN103507170A (zh) * 2012-06-29 2014-01-15 三星钻石工业股份有限公司 刀片保持具收纳体
CN103111761A (zh) * 2012-12-05 2013-05-22 深圳市大族激光科技股份有限公司 划片方法及装置

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