CN112094048A - 边料去除装置 - Google Patents

Abstract

本发明的实施例的边料去除装置，用于去除通过划线划定的边料，划线形成于粘连第一面板和第二面板而构成的基板的第一面板的端部，可以是，边料去除装置包括：第一吸附部，构成为吸附边料；第二吸附部，构成为吸附第二面板的端部；以及旋转机构，使第一吸附部及第二吸附部旋转，以使基板的端部折弯而使边料沿划线断裂，边料吸附于第一吸附部，第二面板的端部吸附于第二吸附部，在以使基板的端部折弯的方式第一吸附部及第二吸附部旋转的状态下，通过第一吸附部从第二吸附部隔开，边料从基板分离。

Description

边料去除装置

技术领域

本发明涉及一种边料去除装置，该边料去除装置设置于切割基板的基板切割装置，并为了在基板的端部形成阶梯部，从基板的端部去除边料。

背景技术

一般而言，在用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等中使用从玻璃之类脆性母玻璃面板(以下，称为“基板”)切割成预定尺寸的单位玻璃面板(以下，称为“单位基板”)。

将基板切割为单位基板的工艺包括沿要切割基板的切割计划线在使由金刚石之类材质构成的划线轮加压于基板的状态下使划线轮及/或基板移动而形成划线的划线工艺。

基板通过粘连第一面板和第二面板而形成，根据基板的设计条件，可能需要进行在基板的端部形成阶梯部的工艺。

根据现有技术，为了在基板的端部形成阶梯部，执行在基板的端部的第一面板和第二面板中的任一个上形成划线的工艺和从基板的端部去除通过划线划定的边料(碎茬(cullet)，即不用于产品而去除掉的非有效区域)的工艺。

为了从基板的端部去除边料，执行以下工艺：用夹具将包括边料的基板的端部一起(即，将第一面板的端部和第二面板的端部一起)夹持之后，使夹具向边料从基板的端部分离的方向旋转之后重新回到初始状态。由此，通过基板的边料折弯，裂纹沿着划线扩展，由此，边料从基板的端部断裂。但是，根据这种工艺，存在以下问题：在为了使端部折弯而夹具旋转之后回到初始状态的过程中，在边料与基板的端部之间产生干涉，这种干涉下的摩擦、滑动等引起基板的端部损伤。

发明内容

本发明是用于解决现有技术的问题，本发明的目的在于提供一种在为了在基板的端部形成阶梯部而从基板的端部去除边料的过程中能够防止基板的端部损伤的边料去除装置。

用于达到上述目的的本发明的实施例的边料去除装置，用于去除通过划线划定的边料，划线形成于粘连第一面板和第二面板而构成的基板的第一面板的端部，可以是，边料去除装置包括：第一吸附部，构成为吸附边料；第二吸附部，构成为吸附第二面板的端部；以及旋转机构，使第一吸附部及第二吸附部旋转，以使基板的端部折弯而使边料沿划线断裂，边料吸附于第一吸附部，第二面板的端部吸附于第二吸附部，在以使基板的端部折弯的方式第一吸附部及第二吸附部旋转的状态下，通过第一吸附部从第二吸附部隔开，边料从基板分离。

本发明的实施例的边料去除装置可以是，边料去除装置还包括：按压部件，对第一面板的一面加压来支承第一面板。

本发明的实施例的边料去除装置可以是，边料去除装置还包括切断部件，切断部件构成为对与划线对应的第二面板的对应面加压。

根据本发明的实施例的边料去除装置可以是，边料去除装置还包括切断部件驱动机构，切断部件驱动机构使切断部件朝向第二面板的对应面移动。

第一吸附部及第二吸附部可以构成为与负压源连接而在通过负压源作用的负压下分别吸附边料及第二面板的端部，第一吸附部及第二吸附部可以构成为与气体供给器连接而喷出从气体供给器供给的气体来分别释放边料及第二面板的端部。

本发明的实施例的边料去除装置可以是，边料去除装置还包括一个以上的移动机构，移动机构构成为使第一吸附部相对于第二吸附部以隔开的方式移动并使第一吸附部相对于基板的端部以隔开的方式移动。

根据本发明的实施例的边料去除装置，夹具组件包括：具备构成为吸附通过在第一面板形成的划线划定的边料的第一吸附部的第一加压部件；具备构成为吸附第二面板的端部的第二吸附部的第二加压部件；以及在第一加压部件及第二加压部件分别加压第一面板的端部及第二面板的端部的状态下使第一加压部件及第二加压部件旋转从而使基板的端部折弯来使边料从基板断裂的旋转机构。而且，在基板的端部折弯的状态通过第二吸附部保持的状态下，通过第一加压部件相对于第二加压部件移动，由此边料能够从第一面板分离。即，在仍保持基板的端部向下折弯的状态的状态下，边料能够从基板的端部沿对角方向分离。因此，在为了在基板的端部形成阶梯部而从基板的端部去除边料的过程中，能够防止边料与基板的端部之间的干涉，由此，能够防止可能因边料与基板的端部之间的摩擦产生的基板的划痕等损伤。

附图说明

图1是简要示出适用本发明的第一实施例的边料去除装置的基板切割装置的俯视图。

图2是简要示出适用本发明的第一实施例的边料去除装置的基板切割装置的侧视图。

图3是简要示出本发明的第一实施例的边料去除装置的立体图。

图4是简要示出本发明的第一实施例的边料去除装置的侧视图。

图5至图7是用于说明本发明的第一实施例的边料去除装置的工作过程的简要图。

图8是简要示出本发明的第二实施例的边料去除装置的侧视图。

图9至图11是用于说明本发明的第二实施例的边料去除装置的工作过程的简要图。

图12是简要示出本发明的第三实施例的边料去除装置的侧视图。

图13是用于说明本发明的第三实施例的边料去除装置的工作过程的简要图。

附图标记说明

10：第一移送单元；20：第二移送单元；30：划线单元；40：边料去除装置；50：夹具组件；60：边料去除装置。

具体实施方式

以下，参照附图，说明本发明的实施例的边料去除装置。

首先，说明设置有本发明的实施例的边料去除装置的基板切割装置。通过基板切割装置切割的对象可以是粘连第一面板和第二面板而构成的粘连基板。例如，第一面板可以具备薄膜晶体管，第二面板可以具备滤色器。与此相反，第一面板可以具备滤色器，第二面板可以具备薄膜晶体管。在图中，第一面板位于上方且第二面板位于下方，但是本发明不限定于第一面板及第二面板的方向。

以下，将粘连基板简称为基板。而且，将第一面板的向外部暴露的表面称为第一面，将第二面板的向外部暴露的表面称为第二面。

参照图1至图2，将移送要执行基板切割工艺的基板S的方向定义为Y轴方向，将与移送基板S的方向(Y轴方向)垂直的方向定义为X轴方向。而且，将与放置基板S的X-Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。另外，划线这一用语意指在基板S的表面以沿预定方向延伸的方式形成的槽及/或裂纹。

如图1及图2所示，基板切割装置可以包括：构成为在基板S沿X轴方向及/或Y轴方向形成划线的划线单元30；将基板S向划线单元30移送的第一移送单元10；将基板S从划线单元30向后续工艺移送的第二移送单元20；以及以与划线单元30相邻的方式布置的边料去除装置40。

划线单元30可以包括：沿X轴方向延伸的第一框架31；在第一框架31以能够沿X轴方向移动的方式设置的第一划线头32；在第一框架31的下方与第一框架31平行地沿X轴方向延伸的第二框架33；以及在第二框架33以能够沿X轴方向移动的方式设置的第二划线头34。在第一划线头32与第一框架31之间可以具备与第一划线头32连接而使第一划线头32沿X轴方向移动的直线移动机构。同样，在第二划线头34与第二框架33之间可以具备与第二划线头34连接而使第二划线头34沿X轴方向移动的直线移动机构。例如，直线移动机构可以由使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构构成。

在第一框架31可以沿X轴方向安装有多个第一划线头32。在第二框架33可以沿X轴方向安装有多个第二划线头34。多个第一划线头32可以同时驱动，或者可以依次驱动。同样，多个第二划线头34可以同时驱动，或者可以依次驱动。

在第一框架31与第二框架33之间可以形成供基板S穿过的空间。第一框架31及第二框架33可以制造成独立部件来组装，或者可以制造成一体。

第一划线头32和第二划线头34可以在Z轴方向上彼此相对布置。第一划线头32用于在基板S的第一面形成划线，第二划线头34用于在基板S的第二面形成划线。

在第一划线头32及第二划线头34可以设置保持划线轮351的轮架35。安装于第一划线头32的划线轮351和安装于第二划线头34的划线轮351可以在Z轴方向上彼此相对布置。

一对划线轮351可以分别加压于基板S的第一面及第二面。在一对划线轮351分别加压于基板S的第一面及第二面的状态下，第一划线头32及第二划线头34对基板S沿X轴方向相对移动，由此能够在基板S的第一面及第二面沿X轴方向形成划线。另外，在一对划线轮351分别加压于基板S的第一面及第二面的状态下，基板S沿Y轴方向移动，由此能够在基板S的表面沿Y轴方向形成划线。

另一方面，第一划线头32及第二划线头34可以构成为分别相对于第一框架31及第二框架33能够沿Z轴方向移动。为此，可以在第一划线头32与第一框架31之间具备与第一划线头32连接而使第一划线头32沿Z轴方向移动的头移动组件38，可以在第二划线头34与第二框架33之间具备与第二划线头34连接而使第二划线头34沿Z轴方向移动的头移动组件39。例如，头移动组件38、39可以具备使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构。

随着第一划线头32及第二划线头34分别相对于第一框架31及第二框架33沿Z轴方向移动，一对划线轮351加压于基板S或者与基板S隔开。而且，通过调节第一划线头32及第二划线头34沿Z轴方向的移动的程度，能够调节一对划线轮351施加于基板S的加压力。因此，通过第一划线头32及第二划线头34沿Z轴方向的移动，能够调节一对划线轮351对基板S的切削深度(进入深度)。

第一移送单元10可以包括：支承基板S的多个带11；夹持支承在多个带11上的基板S的后随端的夹持部件12；与夹持部件12连接并沿X轴方向延伸的支承杆13；与支承杆13连接并沿Y轴方向延伸的导轨14；以及以与划线单元30相邻的方式布置并悬浮或吸附来支承基板S的第一支承平板15。

多个带11可以在X轴方向上彼此隔开。各带11被多个滑轮111支承。连接于一个带11的多个滑轮111中至少一个可以是提供使带11旋转的驱动力的驱动滑轮。

在支承杆13与导轨14之间可以设置有使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构。因此，在夹持部件12夹持基板S的状态下，支承杆13通过直线移动机构沿Y轴方向移动，由此能够将基板S向Y轴方向移送。此时，多个带11能够在同步于夹持部件12的移动而旋转的同时稳定地支承基板S。

夹持部件12可以是对基板S的后随端加压来保持的夹具。作为其它例，夹持部件12可以具备与真空源连接的真空孔而构成为吸附基板S的后随端。

第一支承平板15可以构成为能够将基板S悬浮或吸附。例如，在第一支承平板15的表面可以形成与气体供给源及真空源连接的多个狭缝。在从气体供给源向第一支承平板15的多个狭缝供给气体的情况下，基板S能够从第一支承平板15悬浮。另外，在通过真空源形成的负压下经由第一支承平板15的多个狭缝抽吸气体的情况下，基板S能够吸附于第一支承平板15。

在基板S从第一支承平板15悬浮的状态下，基板S能够相对于第一支承平板15无摩擦地移动。而且，在对基板S的第一面及第二面形成划线的过程中，基板S能够吸附并固定于第一支承平板15。

第二移送单元20可以包括：以与划线单元30相邻的方式布置而将基板S悬浮或吸附来支承的第二支承平板25；以及以与第二支承平板25相邻的方式布置的多个带21。

在通过划线单元30在基板S的第一面及第二面分别形成划线的过程中，基板S能够支承于第一支承平板15及第二支承平板25。在此情况下，第一划线头32及第二划线头34能够位于第一支承平板15与第二支承平板25之间。

多个带21可以在X轴方向上彼此隔开。各个带21被多个滑轮211支承。连接于一个带21的多个滑轮211中至少一个可以是提供使带21旋转的驱动力的驱动滑轮。

第二支承平板25可以构成为能够将基板S悬浮或吸附。例如，在第二支承平板25的表面可以形成与气体供给源及真空源连接的多个狭缝。在从气体供给源向第二支承平板25的多个狭缝供给气体的情况下，基板S能够从第二支承平板25悬浮。另外，在通过真空源形成的负压作用下通过第二支承平板25的多个狭缝抽吸气体的情况下，基板S能够吸附于第二支承平板25。

在基板S向第二支承平板25移送的过程中，向第二支承平板25的狭缝供给气体，由此，基板S能够相对于第二支承平板25无摩擦地移动。而且，在对基板S的第一面及第二面形成划线的过程中，基板S能够吸附并固定于第二支承平板25。

另一方面，在基板S通过多个带21的旋转而从第二支承平板25向后续工艺移动的过程中，向第二支承平板25的狭缝供给气体，由此，基板S能够以从第二支承平板25悬浮的状态相对于第二支承平板25无摩擦地移动。

如图3及图4所示，本发明的第一实施例的边料去除装置40起到从基板S的先行端(基板S的Y轴方向上的前方侧端部)的边缘及/或基板S的后随端(基板S的Y轴方向上的后方侧端部)的边缘去除通过划线L划定的边料D(碎茬(cullet)，即不用作单位基板而切割后废弃的非有效区域)的作用。

边料去除装置40可以布置在第一移送单元10与第二移送单元20之间。边料去除装置40可以布置在第一支承平板15与第二支承平板25之间。

边料去除装置40可以包括：沿X轴方向延伸的支承架41；布置于支承架41的夹具组件50；使支承架41以支承架41的中心轴(与X轴方向平行的轴)为中心旋转的旋转组件43；使支承架41沿Y轴方向移动的水平移动组件44；以及使支承架41沿Z轴方向移动的垂直移动组件45。

旋转组件43可以由与支承架41的旋转中心轴通过旋转轴连接的旋转马达构成。旋转组件43可以包括在旋转马达的旋转轴与支承架41之间设置的链、带等动力传递机构。随着通过旋转组件43使支承架41以X轴为中心旋转，夹具组件50能够布置成朝向第一移送单元10(第一支承平板15)，或者布置成朝向第二移送单元(第二支承平板25)。因此，在基板S的先行端位于第一支承平板15的状态下，夹具组件50布置成朝向第一支承平板15，从而能够从基板S的先行端去除边料D。另外，在基板S的后随端位于第二支承平板25的状态下，夹具组件50布置成朝向第二支承平板25，从而能够从基板S的后随端去除边料D。

水平移动组件44可以由使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构构成。随着通过水平移动组件44使支承架41水平移动，夹具组件50能够水平移动。由此，夹具组件50能够通过水平移动组件44水平移动而占位成与基板S的端部相对。另外，夹具组件50能够以保持边料D的状态通过水平移动组件44向远离基板S的方向移动，由此，能够使边料D从基板S分离/去除/移送。

垂直移动组件45可以由使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构构成。随着通过垂直移动组件45使支承架41垂直移动，夹具组件50能够垂直移动。在去除边料D的过程中，夹具组件50通过垂直移动组件45上升而能够占位成与基板S的端部相对。在移送基板S的过程中，夹具组件50通过垂直移动组件45下降而能够不妨碍基板S的移送。另外，夹具组件50能够以保持边料D的状态通过垂直移动组件45向远离基板S的方向移动，由此，能够使边料D从基板S分离/去除/移送。

图3示出了旋转组件43、水平移动组件44及垂直移动组件45分别设置于支承架41的两侧的结构。但是，本发明不限定于此，可以适用旋转组件43、水平移动组件44及垂直移动组件45设置于支承架41的一侧并在支承架41的另一侧设置用于引导支承架41的旋转、水平移动及垂直移动的引导构件的结构。

例如，夹具组件50可以设置有多个。在此情况下，多个夹具组件50可以沿着支承架41沿X轴方向布置。夹具组件50可以沿着沿支承架41延伸的导件411沿X轴方向以能够移动的方式设置。为此，在夹具组件50与导件411之间可以设置有使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下运转的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构。因此，随着多个夹具组件50通过直线移动机构沿X轴方向移动，能够调节多个夹具组件50之间的间隔。因此，多个夹具组件50与基板S的X轴方向上的宽度适当对应地布置，能够稳定地夹持基板S。

另一方面，本发明不限定于夹具组件50设置有多个的结构，本发明也可以适用于设置有具有与基板S的X轴方向上的宽度对应的长度的一个夹具组件50的结构。

如图4所示，夹具组件50构成为去除通过形成于第一面板P1(第一面)的划线L划定并成为第一面板P1的一部分的边料D。

例如，在构成基板S的第一面板P1及第二面板P2中，第一面板P1位于上方，第二面板P2位于下方。

夹具组件50可以包括：底座部件51；以能够移动的方式设置于底座部件51并构成为对第一面板P1的端部加压且具备吸附通过在第一面板P1形成的划线L划定的边料D的第一吸附部521的第一加压部件52；以能够移动的方式设置于底座部件51并构成为对第二面板P2的端部加压且具备吸附第二面板P2的端部的第二吸附部531的第二加压部件53；设置于底座部件51并与第一加压部件52及第二加压部件53连接而使第一加压部件52与第二加压部件53以彼此相邻或隔开的方式移动的驱动机构54；以及设置于底座部件51并使第一加压部件52及第二加压部件53以与X轴平行的中心轴为中心旋转的旋转机构57。

底座部件51可以以能够分离的方式固定于支承架41。根据底座部件51固定于支承架41，夹具组件50能够支承于支承架41。

如图5所示，第一加压部件52和第二加压部件53将基板S的端部置于之间并通过驱动机构54以彼此相邻的方式移动，由此基板S的端部能够被第一加压部件52和第二加压部件53加压。第一加压部件52起到与第一面板P1的端部接触而支承第一面板P1的端部的作用。同样，第二加压部件53起到与第二面板P2的端部接触而支承第二面板P2的端部的作用。

第一加压部件52的第一吸附部521起到吸附第一面板P1的端部的边料D的作用。第一吸附部521可以具有与边料D的尺寸(面积)对应的尺寸(面积)。第一吸附部521可以构成为第一加压部件52的一部分。第一吸附部521可以构成为加压边料D。作为一例，第一吸附部521可以由具有与负压源58连接的至少一个以上的孔的吸附垫构成。作为其它例，第一吸附部521可以由以与负压源58连接的多孔性材料形成的吸附垫构成。

第二加压部件53的第二吸附部531起到吸附第二面板P2的端部的第二面的作用。第二吸附部531可以构成为第二加压部件53的一部分。第二吸附部531可以构成为加压第二面板P2的端部。作为一例，第二吸附部531可以由具有与负压源58连接的至少一个以上的孔的吸附垫构成。作为其它例，第二吸附部531可以由以与负压源58连接的多孔性材料形成的吸附垫构成。

根据这种结构，当第一加压部件52及第二加压部件53对基板S的端部加压之后(参照图5)旋转并使基板S的端部折弯时(参照图6)，第一吸附部521能够吸附边料D，第二吸附部531能够吸附第二面板P2的端部。

另一方面，第一吸附部521及第二吸附部531可以与供给气体的气体供给器59连接。第一吸附部521可以构成为喷出从气体供给器59供给的气体来释放吸附在第一吸附部521的边料D。通过从第一吸附部521喷出的气体，能够使吸附在第一吸附部521的边料D从第一吸附部521容易地脱离。

同样，第二吸附部531可以构成为喷出从气体供给器59供给的气体来释放吸附在第二吸附部531上的第二面板P2的端部。通过从第二吸附部531喷出的气体，能够使吸附在第二吸附部531上的第二面板P2的端部从第二吸附部531容易地脱离。

另一方面，本发明并不限定于第一吸附部521及第二吸附部531分别使用负压而分别吸附边料D及第二面板P2的端部的结构。作为其它例，第一吸附部521及第二吸附部531可以构成为分别由具有粘性的材料形成的部件构成而分别吸附边料D及第二面板P2的端部。

驱动机构54可以由使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下运转的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构构成。驱动机构54与第一加压部件52及第二加压部件53连接而能够使第一加压部件52与第二加压部件53以彼此相邻或隔开的方式移动。另外，驱动机构54可以以使第二加压部件53停止的状态仅使第一加压部件52以与第二加压部件53相邻或隔开的方式移动。

旋转机构57起到使第一加压部件52及第二加压部件53以与X轴平行的中心轴为中心旋转的作用。旋转机构57可以由设置于底座部件51的旋转马达构成。如图6所示，在第一加压部件52和第二加压部件53夹持基板S的端部的状态下，第一加压部件52及第二加压部件53通过旋转机构57旋转，由此基板S的端部能够折弯。在此，旋转机构57可以以使基板S的端部向下折弯的方式使第一加压部件52及第二加压部件53旋转。由此，裂纹在边料D与第一面板P1的端部之间的划线L中扩展而边料D能够从第一面板P1的端部断裂。

另一方面，边料去除装置40可以还包括对支承于第一支承平板15的基板S的第一面加压的按压部件19。按压部件19起到对支承在第一支承平板15上的基板S的第一面加压来支承基板S的作用。在基板S的端部折弯的过程中，按压部件19加压基板S的第一面来支承基板S，因此防止基板S的端部在第一支承平板15活动(浮动)。按压部件19可以与按压部件升降机构(未图示)连接而沿Z轴方向(朝向第一面板P1的方向或从第一面板P1隔开的方向)移动。按压部件升降机构可以由使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下运转的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构构成。另一方面，若通过第一支承平板15对基板S的第二面吸附而能够充分支承基板S，则可以省略按压部件19。

以下，参照图4至图7，说明使用本发明的实施例的边料去除装置40从基板S去除边料D的过程。

首先，在基板S支承于多个带11的状态下，夹持部件12夹持基板S的后随端之后，支承杆13跟随导轨14沿Y轴方向移动，与此同时，多个带11旋转，由此能够向划线单元30移送基板S。

此时，基板S以基板S的先行端的边料D未被去除的状态通过第一移送单元10向划线单元30移送。此时，基板S可以通过从第一支承平板15喷射的气体从第一支承平板15悬浮。

而且，若基板S位于第一支承平板15上，则基板S吸附于第一支承平板15。此时，随着第一划线头32的划线轮351与第一面板P1的第一面接触之后沿X轴方向移动，在第一面板P1上形成划定边料D的划线L。

而且，如图4所示，边料去除装置40的夹具组件50向通过划线L划定的边料D移动。

此时，如图5所示，第一加压部件52和第二加压部件53以彼此相邻的方式移动，由此，基板S的端部被第一加压部件52及第二加压部件53加压。与此同时或依次地，在通过负压源58作用的负压下，基板S的端部吸附于第一吸附部521及第二吸附部531。

在这种状态下，如图6所示，以使基板S的端部向下折弯的方式，第一加压部件52及第二加压部件53通过旋转机构57旋转。由此，裂纹能够从划线L向第一面板P1的内部行进。而且，随着裂纹在第一面板P1的内部扩展，通过划线L划定的边料D能够从基板S的端部断裂。由此，成为边料D能够从基板S的端部立即分离的状态。

另一方面，在以使基板S的端部向下折弯的方式第一加压部件52及第二加压部件53旋转的过程中，夹具组件50能够通过垂直移动组件45略微下降，由此，基板S的端部能够顺畅地向下折弯。

在这种状态下，如图7所示，第一加压部件52和第二加压部件53以彼此隔开的方式移动。此时，第一加压部件52能够相对于第二加压部件53向上方相对移动。即，能够在第二加压部件53停止的状态(吸附第二面板P2的端部的状态)下，仅第一加压部件52向上方移动。此时，由于是第二面板P2的端部吸附于第二吸附部531的状态，因此仍保持基板S的端部向下折弯的状态。而且，由于是边料D吸附于第一吸附部521的状态，通过第一加压部件52对第二加压部件53向上方的移动，边料D能够以大致对角方向从第一面板P1的端部分离。

如此，在仍保持基板S的端部向下折弯的状态的状态下，通过裂纹成长而处于断裂状态的边料D向远离基板S的端部的方向沿大致对角方向移动。因此，防止第一面板P1的端部的切断面与边料D的切断面之间的干涉(摩擦)。因此，能够防止基板S的端部(即，第一面板P1的端部)的划痕等损伤。

另外，由于边料D能够以吸附于第一吸附部521的状态从基板S的端部分离，因此边料D能够更加可靠地从基板S的端部分离。另外，在边料D从基板S的端部分离之后也保持边料D吸附于第一吸附部521的状态，因此防止从基板S的端部分离的边料D掉落在不期望的场所。

另一方面，在边料D从基板S的端部分离后，随着释放对第二吸附部531施加的负压(而且，根据情况，随着从气体供给器59供给的气体通过第二吸附部531向外部喷出)，第二面板P2的端部从第二吸附部531脱离，基板S的端部能够回到水平状态。

而且，在边料D从基板S的端部分离后，夹具组件50能够通过水平移动组件44及/或垂直移动组件45向预定的边料收集场所(例如，边料收纳桶)移动，随着在边料收集场所释放对第一吸附部521施加的负压(而且，根据情况，随着从气体供给器59供给的气体通过第一吸附部521向外部喷出)，边料D能够从夹具组件50脱离而被扔到收集场所。

此时，可以通过旋转组件43使夹具组件50倾斜预定的角度，以使边料D从第一吸附部521向收集场所容易地脱离。

另一方面，从基板S的后随端分离边料D的过程可以通过与从基板S的先行端分离边料D的过程相同的方式执行。

根据本发明的第一实施例的边料去除装置40，夹具组件50包括：具备构成为吸附第一面板P1的一部分即边料D的第一吸附部521的第一加压部件52；具备构成为吸附第二面板P2的端部的第二吸附部531的第二加压部件53；以及在第一加压部件52及第二加压部件53分别加压第一面板P1的端部及第二面板P2的端部的状态下使第一加压部件52及第二加压部件53旋转从而使基板S的端部折弯来使边料D从基板S断裂的旋转机构57。而且，在基板S的端部折弯的状态通过第二吸附部531保持的状态下，使第一加压部件52相对于第二加压部件53移动，由此边料D能够从第一面板P1分离。即，在仍保持基板S的端部向下折弯的状态的状态下，边料D能够从基板S的端部沿大致对角方向分离。因此，在为了在基板S的端部形成阶梯部而从基板S的端部去除边料D的过程中，最小化边料D与基板S的端部之间的干涉，从而能够防止边料D与基板S的端部之间的摩擦，因此能够防止基板S的划痕等损伤。

以下，参照图8至图11，说明本发明的第二实施例的边料去除装置40。对与前述的第一实施例中说明的构成要件相同的构成要件，标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。

如图8所示，本发明的第二实施例的边料去除装置40的夹具组件50可以还包括构成为对与在第一面板P1形成的划线L对应的第二面板P2的对应面加压的切断部件55。

切断部件55可以与第二加压部件53连接成一体而与第二加压部件53一起移动。例如，切断部件55可以设置在第二加压部件53。

例如，切断部件55可以设置成能够相对于第二加压部件53沿Z轴方向移动。因此，能够调节切断部件55的Z轴方向上的位置，由此，切断部件55能够对与划线L对应的第二面板P2的对应面以恰当的加压力加压。另一方面，可以自动调节切断部件55在Z轴方向上的位置。为此，在第二加压部件53可以设置构成为使切断部件55朝向第二面板P2的对应面沿Z轴方向移动的切断部件驱动机构56。例如，切断部件驱动机构56可以由使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下运转的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构构成。

切断部件55可以通过驱动机构54与第二加压部件53一起朝向基板S移动。如图9所示，切断部件55和第一加压部件52将基板S置于之间并通过驱动机构54以彼此相邻的方式移动，由此能够加压用于划定边料D的划线L。

切断部件55可以形成为跟随划线L沿X轴方向延伸的杆形状。切断部件55起到对与形成有划线L的第一面板P1的第一面对应的第二面板P2的第二面(对应面)加压而使通过划线L形成的裂纹扩展的作用。优选的是，切断部件55构成为朝向对应面而宽度减少的楔形状，以便最小化切断部件55与对应面接触的面积而能够最大化施加于对应面的切断部件55的加压力。接触于第二面板P2的第二面的切断部件55的前端可以由聚氨酯树脂等弹性树脂构成，由此，即使切断部件55的前端接触于第二面板P2，也能够防止第二面板P2损伤。

在切断部件55加压对应面时，第一加压部件52起到与第一面板P1接触而支承形成有划线L的部分及通过划线L划定的边料D的作用。

如图9所示，若第一加压部件52和第二加压部件53通过驱动机构54以彼此相邻的方式移动，则基板S的端部被第一加压部件52及第二加压部件53加压并被第一吸附部521及第二吸附部531吸附，与此同时，切断部件55对与划线L对应的第二面板P2的对应面加压。因此，在第一面板P1的内部，裂纹能够从划线L向与第一面板P1的第一面垂直的方向行进。如此，裂纹向与第一面板P1的第一面垂直的方向行进，因此基板S的切断面能够沿垂直方向均匀。

以下，参照图9至图11，说明使用本发明的第二实施例的边料去除装置40从基板S去除边料D的过程。省略与前述的第一实施例中说明的内容相同的内容。

如图9所示，若边料去除装置40的夹具组件50向通过划线L划定的边料D移动，则第一加压部件52和第二加压部件53以彼此相邻的方式移动。由此，基板S的端部被第一加压部件52及第二加压部件53加压。与此同时或依次地，在通过负压源58作用的负压下，基板S的端部吸附于第一吸附部521及第二吸附部531。而且，与在第一面板P1形成的划线L对应的第二面板P2的对应面被切断部件55加压。

随着切断部件55对对应面加压，在第一面板P1的内部，裂纹从划线L向与第一面板P1的第一面垂直的方向行进。如此，裂纹通过切断部件55向与第一面板P1的第一面垂直的方向行进，因此第一面板P1的端部的切断面能够沿垂直方向均匀。而且，随着裂纹在第一面板P1的内部扩展，通过划线L划定的边料D能够从基板S的端部断裂。由此，能够形成边料D从基板S的端部能够立即分离的状态。

在这种状态下，如图10所示，第一加压部件52及第二加压部件53通过旋转机构57旋转，以使基板S的端部向下折弯。

之后，如图11所示，第一加压部件52和第二加压部件53以彼此隔开的方式移动。此时，第一加压部件52能够相对于第二加压部件53向上方相对移动。即，在第二加压部件53停止的状态下，第一加压部件52能够向上方移动。此时，由于是第二面板P2的端部吸附于第二吸附部531的状态，因此仍保持基板S的端部向下折弯的状态。而且，由于是边料D吸附于第一吸附部521的状态，因此边料D能够通过第一加压部件52对第二加压部件53向上方的移动而沿大致对角方向从第一面板P1的端部分离。

根据本发明的第二实施例的边料去除装置40，夹具组件50构成为还包括构成为对与在第一面板P1形成的划线L对应的第二面板P2的对应面加压的切断部件55。而且，切断部件55向与对应面垂直的方向对对应面加压，使裂纹在第一面板P1的内部向与对应面垂直的方向扩展，从而能够使边料D从基板S的端部断裂。如此，由于裂纹向与第一面板P1的第一面垂直的方向行进，基板S的切断面能够沿垂直方向均匀。

以下，参照图12及图13，说明本发明的第三实施例的边料去除装置40。对与前述的第一及第二实施例中说明的构成要件相同的构成要件，标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。

如图12及图13所示，本发明的第三实施例的边料去除装置40的夹具组件50可以还包括构成为使第一加压部件52沿Y轴方向移动的加压部件驱动机构523。例如，加压部件驱动机构523可以由使用气压或液压的致动器、在电磁相互作用下运转的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构构成。

随着第一加压部件52通过加压部件驱动机构523沿Y轴方向移动，第一吸附部521能够沿Y轴方向移动。

因此，如图13所示，在从基板S的端部分离边料D的过程中，第一加压部件52能够通过驱动机构54沿相对于Z轴倾斜的轴移动，同时通过加压部件驱动机构523沿相对于Y轴倾斜的轴移动。结果，第一加压部件52的第一吸附部521能够沿大致Y轴方向(水平方向)移动，由此，边料D能够在沿大致水平方向移动的同时从基板S的端部分离。因此，在从基板S的端部去除边料D的过程中，最小化边料D与基板S的端部之间的干涉，从而能够防止边料D与基板S的端部之间的摩擦，因此能够防止基板S的划痕等损伤。

另一方面，如图1所示，基板切割装置可以还包括用于去除位于X轴方向的两端的边料的边料去除装置60。边料去除装置60可以布置于第二移送单元20的X轴方向上的两侧或两侧中至少任一侧。边料去除装置60构成为去除通过划线划定的边料而形成阶梯部，该划线在基板S的X轴方向的端部沿Y轴方向延伸形成。边料去除装置60可以具有与前述的边料去除装置40相同的结构。

例示性说明了本发明的优选实施例，在本发明的范围并不限定于这种特定实施例，可以在权利要求书中所记载的范畴内进行适当变更。

Claims (6)

1.一种边料去除装置，去除通过划线划定的边料，所述划线形成于粘连第一面板和第二面板而构成的基板的所述第一面板的端部，其中，

所述边料去除装置包括：

第一吸附部，构成为吸附所述边料；

第二吸附部，构成为吸附所述第二面板的端部；以及

旋转机构，使所述第一吸附部及所述第二吸附部旋转，以使所述基板的端部折弯而使所述边料沿所述划线断裂，

所述边料吸附于所述第一吸附部，所述第二面板的端部吸附于所述第二吸附部，在以使所述基板的端部折弯的方式所述第一吸附部及所述第二吸附部旋转的状态下，通过所述第一吸附部从所述第二吸附部隔开，所述边料从所述基板分离。

2.根据权利要求1所述的边料去除装置，其中，

所述边料去除装置还包括按压部件，所述按压部件对所述第一面板的一面加压来支承所述第一面板。

3.根据权利要求1所述的边料去除装置，其中，

所述边料去除装置还包括切断部件，所述切断部件构成为对与所述划线对应的所述第二面板的对应面加压。

4.根据权利要求3所述的边料去除装置，其中，

所述边料去除装置还包括切断部件驱动机构，所述切断部件驱动机构使所述切断部件朝向所述第二面板的对应面移动。

5.根据权利要求1所述的边料去除装置，其中，

所述第一吸附部及所述第二吸附部构成为与负压源连接而在通过所述负压源作用的负压下分别吸附所述边料及所述第二面板的端部，

所述第一吸附部及所述第二吸附部构成为与气体供给器连接而喷出从所述气体供给器供给的气体来分别释放所述边料及所述第二面板的端部。

6.根据权利要求1所述的边料去除装置，其中，

所述边料去除装置还包括一个或多个移动机构，所述移动机构构成为使所述第一吸附部相对于所述第二吸附部以隔开的方式移动并使所述第一吸附部相对于所述基板的端部以隔开的方式移动。

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