CN213532604U - 边料去除单元及具备边料去除单元的划线装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型的实施例提供一种边料去除单元及具备边料去除单元的划线装置，边料去除单元去除通过在基板的端部形成的划线划定的边料，可以是，边料去除单元包括构成为夹持边料的夹具装置，夹具装置包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；以及致动器，通过驱动力传递部件及驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以转动轴为中心旋转。

Description

边料去除单元及具备边料去除单元的划线装置

技术领域

本实用新型涉及一种从基板的端部去除边料的边料去除单元及具备边料去除单元的划线装置。

背景技术

一般而言，在用于平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板等中使用从玻璃之类脆性母玻璃面板(以下，称为“基板”)切割成预定尺寸的单位玻璃面板(以下，称为“单位基板”)。

将基板切割为单位基板的工艺包括沿要切割基板的切割计划线在使由金刚石之类材质构成的划线轮加压于基板的状态下使划线轮及/或基板移动而形成划线的划线工艺。

在基板的端部存在边料(虚设部(dummy)或碎茬(cullet)、即不用于产品而去除掉的非有效区域)。为了从基板的端部去除边料，执行在基板的端部形成划线的工艺、以及使用边料去除单元从基板的端部去除通过划线划定的边料的工艺。

边料去除单元具备夹具装置，夹具装置一般而言具备一对夹紧部件。在基板位于一对夹紧部件之间的状态下，一对夹紧部件以彼此相邻的方式移动，从而基板被一对夹紧部件夹持。

边料去除单元有时需要执行从具有多种厚度的多种基板分离边料的工艺。但是，在以往的夹具装置的情况下，存在每当基板的厚度变更时为了稳定地夹持基板而需要进行使夹具装置整体高度与基板的厚度相对应的变更的追加性作业的缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种即使在基板的厚度变更的情况下也无需进行使夹具装置整体高度与基板的厚度相对应的变更的追加性作业，并能够稳定地夹持基板的边料去除单元及具备边料去除单元的划线装置。

用于达到上述目的的本实用新型的实施例提供一种边料去除单元，边料去除单元去除通过在基板的端部形成的划线划定的边料，可以是，边料去除单元包括构成为夹持边料的夹具装置，夹具装置包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；以及致动器，通过驱动力传递部件及驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以转动轴为中心旋转。

可以是，第一夹紧部件的朝向基板的前端弯曲。

夹具装置可以设置有多个，构成多个夹具装置的多个致动器内部的压力可以通过一个调节器来调节。

可以是，在第一夹紧部件的基板支承面或第二夹紧部件的基板支承面附着有支承垫，支承垫由与基板相比具有大弹力的材料形成。

可以是，支承在第一夹紧部件的基板支承面上的基板的第一面的支承面积与支承在第二夹紧部件的基板支承面上的基板的第二面的支承面积相比小。

本实用新型的实施例提供一种边料去除单元，边料去除单元去除通过在基板的端部形成的划线划定的边料，可以是，边料去除单元包括构成为夹持边料的夹具装置，夹具装置包括：第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于第一转动轴；第二夹紧部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；第一致动器，通过第一驱动力传递部件及第一驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以第一转动轴为中心旋转；以及姿态保持单元，以使第一夹紧部件的基板支承面与第二夹紧部件的基板支承面平行的方式，保持第一夹紧部件的姿态。

第一驱动力传递杆可以通过第二转动轴连接于第一夹紧部件，姿态保持单元可以包括第二致动器，第二致动器通过第二驱动力传递部件及第二驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使第一夹紧部件以与第一转动轴及第二转动轴隔开的第三转动轴为中心旋转。

可以是，第一致动器内部的压力及第二致动器内部的压力通过相同的调节器来调节。

夹具装置可以设置有多个，构成多个夹具装置的多个致动器内部的压力及多个第二致动器内部的压力可以通过一个调节器来调节。

另外，根据本实用新型的实施例提供一种划线装置可以包括上述的边料去除单元。

根据本实用新型的实施例的边料去除单元，对应于基板的厚度来调节第一致动器内部的压力，从而能够调节第一夹紧部件的第一基板支承面与第二夹紧部件的第二基板支承面之间的隔开距离。因此，即使在基板的厚度变更的情况下也无需进行使夹具装置整体高度与基板的厚度对应的变更的追加性作业，并能够稳定地夹持基板。因此，能够减少作业工艺数量，能够稳定地执行对基板的预定的处理工艺。另外，通过调节第二致动器内部的压力，能够将第一夹紧部件的第一基板支承面的姿态水平保持。因此，在调节了第一夹紧部件的第一基板支承面与第二夹紧部件的第二基板支承面之间的隔开距离的情况下，也能够将第一夹紧部件的第一基板支承面的姿态水平保持，由此能够增加支承在第一夹紧部件的第一基板支承面的基板的第一面的支承面积，由此，能够更稳定地夹持基板。

附图说明

图1是概略示出本实用新型的第一实施例的边料去除单元的侧视图。

图2是概略示出本实用新型的第一实施例的边料去除单元的立体图。

图3是概略示出具备本实用新型的第一实施例的边料去除单元的划线装置的俯视图。

图4是概略示出具备本实用新型的第一实施例的边料去除单元的划线装置的侧视图。

图5是概略示出本实用新型的第一实施例的边料去除单元所具备的夹具装置的图。

图6及图7是概略示出本实用新型的第一实施例的边料去除单元所具备的夹具装置的工作状态的图。

图8是概略示出本实用新型的第二实施例的边料去除单元所具备的夹具装置的图。

图9及图10是概略示出本实用新型的第三实施例的边料去除单元所具备的夹具装置的图。

图11是概略示出本实用新型的第四实施例的边料去除单元所具备的夹具装置的图。

图12及图13是概略示出本实用新型的第四实施例的边料去除单元所具备的夹具装置的工作状态的图。

附图标记说明

10：第一移送单元；20：第二移送单元；30：划线单元；40：边料去除单元；50：夹具装置；51：底座；52：夹紧单元；53：驱动单元；54：姿态保持单元。

具体实施方式

以下，参照附图，说明本实用新型的实施例的边料去除单元。

参照图1至图4，将移送要执行基板切割工艺的基板S的方向定义为Y轴方向，将与移送基板S的方向(Y轴方向)垂直的方向定义为X轴方向。而且，将与放置基板S的X-Y平面垂直的方向定义为Z轴方向。另外，划线这一用语意指在基板S的表面以沿预定方向延伸的方式形成的槽及/或裂纹。

如图1及图2所示，本实用新型的第一实施例的边料去除单元40起到从基板S的先行端(基板S的Y轴方向上的前方侧端部)的边缘及/或基板S的后随端(基板S的Y轴方向上的后方侧端部)的边缘去除通过划线划定的边料(虚设部(dummy)或碎茬(cullet)、即不用于单位基板而切割后扔掉的非有效区域)的作用。

另一方面，如图3及图4所示，具备本实用新型的第一实施例的边料去除单元40的划线装置可以包括：构成为在基板S沿X轴方向及/或Y轴方向形成划线的划线单元30；将基板S向划线单元30移送的第一移送单元10；将基板S从划线单元30向后续工艺移送的第二移送单元20；以及以与划线单元30相邻的方式布置的边料去除单元40。

划线单元30可以包括：沿X轴方向延伸的第一支承架31；在第一支承架31以能够沿X轴方向移动的方式设置的第一划线头32；在第一支承架31的下方与第一支承架31平行地沿X轴方向延伸的第二支承架33；以及在第二支承架33以能够沿X轴方向移动的方式设置的第二划线头34。在第一划线头32与第一支承架31之间可以具备与第一划线头32连接而使第一划线头32沿X轴方向移动的直线移动机构。同样，在第二划线头34与第二支承架33之间可以具备与第二划线头34连接而使第二划线头34沿X轴方向移动的直线移动机构。例如，直线移动机构可以由在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构构成。

在第一支承架31可以沿X轴方向安装有多个第一划线头32。在第二支承架33可以沿X轴方向安装有多个第二划线头34。多个第一划线头32可以同时驱动，或者可以依次驱动。同样，多个第二划线头34可以同时驱动，或者可以依次驱动。

在第一支承架31与第二支承架33之间可以形成供基板S穿过的空间。第一支承架31及第二支承架33可以制造成独立部件来组装，或者可以制造成一体。

第一划线头32和第二划线头34可以在Z轴方向上彼此相对布置。第一划线头32用于在基板S的第一面形成划线，第二划线头34用于在基板S的第二面形成划线。

在第一划线头32及第二划线头34可以设置保持划线轮351的轮架35。安装于第一划线头32的划线轮351和安装于第二划线头34的划线轮351可以在Z轴方向上彼此相对布置。

一对划线轮351可以分别加压于基板S的第一面及第二面。在一对划线轮351分别加压于基板S的第一面及第二面的状态下，第一划线头32及第二划线头34对基板S沿X轴方向相对移动，由此能够在基板S的第一面及第二面沿X轴方向形成划线。另外，在一对划线轮351分别加压于基板S的第一面及第二面的状态下，基板S沿Y轴方向移动，由此能够在基板S的表面沿Y轴方向形成划线。

另一方面，第一划线头32及第二划线头34可以构成为分别相对于第一支承架31及第二支承架33能够沿Z轴方向移动。为此，可以在第一划线头32与第一支承架31之间具备与第一划线头32连接而使第一划线头32沿Z轴方向移动的头移动组件38，可以在第二划线头34与第二支承架33之间具备与第二划线头34连接而使第二划线头34沿Z轴方向移动的头移动组件39。例如，头移动组件38、39可以具备在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构。

随着第一划线头32及第二划线头34分别相对于第一支承架31及第二支承架33沿Z轴方向移动，一对划线轮351加压于基板S或者与基板S隔开。而且，通过调节第一划线头32及第二划线头34沿Z轴方向的移动的程度，能够调节一对划线轮351施加于基板S的加压力。因此，通过第一划线头32及第二划线头34沿Z轴方向的移动，能够调节一对划线轮351对基板S的切削深度(进入深度)。

第一移送单元10可以包括：支承基板S的多个带11；夹持支承在多个带11上的基板S的后随端的夹持部件12；与夹持部件12连接并沿X轴方向延伸的支承杆13；与支承杆13连接并沿Y轴方向延伸的导轨14；以及以与划线单元30相邻的方式布置并悬浮或吸附来支承基板S的第一支承平板15。

多个带11可以在X轴方向上彼此隔开。各带11被多个滑轮111支承。连接于一个带11的多个滑轮111中至少一个可以是提供使带11旋转的驱动力的驱动滑轮。

在支承杆13与导轨14之间可以设置有在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构。因此，在夹持部件12夹持基板S的状态下，支承杆13通过直线移动机构沿Y轴方向移动，由此能够将基板S向Y轴方向移送。此时，多个带11能够在同步于夹持部件12的移动而旋转的同时稳定地支承基板S。

夹持部件12可以是对基板S的后随端加压来保持的夹具。作为其它例，夹持部件12可以具备与真空源连接的真空孔而构成为吸附基板S的后随端。

第一支承平板15可以构成为能够将基板S悬浮或吸附。例如，在第一支承平板15的表面可以形成与气体供给源及真空源连接的多个狭缝。在从气体供给源向第一支承平板15的多个狭缝供给气体的情况下，基板S能够从第一支承平板15悬浮。另外，在通过真空源形成的负压下经由第一支承平板15的多个狭缝抽吸气体的情况下，基板S能够吸附于第一支承平板15。

在基板S从第一支承平板15悬浮的状态下，基板S能够相对于第一支承平板15无摩擦地移动。而且，在对基板S的第一面及第二面形成划线的过程中，基板S能够吸附并固定于第一支承平板15。

第二移送单元20可以包括：以与划线单元30相邻的方式布置，从而将基板S悬浮或吸附来支承的第二支承平板25；以及以与第二支承平板25相邻的方式布置的多个带21。

在通过划线单元30在基板S的第一面及第二面分别形成划线的过程中，基板S能够支承于第一支承平板15及第二支承平板25。在此情况下，第一划线头32及第二划线头34能够位于第一支承平板15与第二支承平板25之间。

多个带21可以在X轴方向上彼此隔开。各个带21被多个滑轮211支承。连接于一个带21的多个滑轮211中至少一个可以是提供使带21旋转的驱动力的驱动滑轮。

第二支承平板25可以构成为能够将基板S悬浮或吸附。例如，在第二支承平板25的表面可以形成与气体供给源及真空源连接的多个狭缝。在从气体供给源向第二支承平板25的多个狭缝供给气体的情况下，基板S能够从第二支承平板25悬浮。另外，在通过真空源形成的负压作用下通过第二支承平板25的多个狭缝抽吸气体的情况下，基板S能够吸附于第二支承平板25。

在基板S向第二支承平板25移送的过程中，向第二支承平板25的狭缝供给气体，由此，基板S能够相对于第二支承平板25无摩擦地移动。而且，在对基板S的第一面及第二面形成划线的过程中，基板S能够吸附并固定于第二支承平板25。

另一方面，在基板S通过多个带21的旋转而从第二支承平板25向后续工艺移动的过程中，向第二支承平板25的狭缝供给气体，由此，基板S能够以从第二支承平板25悬浮的状态相对于第二支承平板25无摩擦地移动。

边料去除单元40可以布置在第一移送单元10与第二移送单元20之间。边料去除单元40可以布置在第一支承平板15与第二支承平板25之间。

如图1及图2所示，边料去除单元40可以包括：沿X轴方向延伸的框架41；布置于框架41的夹具装置50；使框架41以框架41的中心轴(与X轴方向平行的轴)为中心旋转的旋转组件43；使框架41沿Y轴方向移动的水平移动组件44；以及使框架41沿Z轴方向移动的垂直移动组件45。

旋转组件43可以由与框架41的旋转中心轴通过旋转轴连接的旋转马达构成。旋转组件43可以包括在旋转马达的旋转轴与框架41之间设置的链、带等动力传递机构。随着通过旋转组件43使框架41以X轴为中心旋转，夹具装置50能够布置成朝向第一移送单元10(第一支承平板15)，或者布置成朝向第二移送单元(第二支承平板25)。因此，在基板S的先行端位于第一支承平板15的状态下，夹具装置50布置成朝向第一支承平板15，从而能够从基板S的先行端去除边料。另外，在基板S的后随端位于第二支承平板25的状态下，夹具装置50布置成朝向第二支承平板25，从而能够从基板S的后随端去除边料。

水平移动组件44可以由在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构构成。随着通过水平移动组件44使框架41水平移动，夹具装置50能够水平移动。由此，夹具装置50能够通过水平移动组件44水平移动而占位成与基板S的端部相对。另外，夹具装置50能够以保持边料的状态通过水平移动组件44向远离基板S的方向移动，由此，能够将边料从基板S分离/去除/移送。

垂直移动组件45可以由在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构构成。随着通过垂直移动组件45使框架41垂直移动，夹具装置50能够垂直移动。在去除边料的过程中，夹具装置50通过垂直移动组件45上升而能够占位成与基板S的端部相对。在移送基板S的过程中，夹具装置50通过垂直移动组件45下降而能够不妨碍基板S的移送。另外，夹具装置50能够以保持边料的状态通过垂直移动组件45向远离基板S的方向移动，由此，能够将边料从基板S分离/去除/移送。

图2示出了旋转组件43、水平移动组件44及垂直移动组件45分别设置于框架41的两侧的结构。但是，本实用新型不限定于此，可以适用旋转组件43、水平移动组件44及垂直移动组件45设置于框架41的一侧并在框架41的另一侧设置用于引导框架41的旋转、水平移动及垂直移动的引导构件的结构。

例如，夹具装置50可以设置有多个。在此情况下，多个夹具装置50可以跟随框架41沿X轴方向布置。夹具装置50可以设置成能够跟随沿框架41延伸的引导件411沿X轴方向移动。为此，在夹具装置50与引导件411之间可以设置在气压或液压下工作的致动器、在电磁相互作用下工作的线性马达或滚珠螺杆机构之类直线移动机构。因此，随着多个夹具装置50通过直线移动机构沿X轴方向移动，能够调节多个夹具装置50之间的间距。因此，多个夹具装置50恰当地对应于基板S的X轴方向上的宽度布置而能够稳定地夹持基板S。

另一方面，本实用新型不限定于夹具装置50设置有多个的结构，本实用新型也可以适用于设置具有与基板S的X轴方向上的宽度对应的长度的一个夹具装置50的结构。

如图5至图7所示，夹具装置50包括底座51、夹紧单元52及驱动单元53。

底座51在框架41以能够分离的方式固定，由此，夹具装置50能够支承于框架41。在底座51以能够工作的方式安装夹紧单元52。驱动单元53构成为使夹紧单元52工作。

夹紧单元52包括第一夹紧部件521、第二夹紧部件522、连接部件523、第一转动轴524及第二转动轴525。

第一夹紧部件521与第一转动轴524以能够转动的方式连接。第二夹紧部件522安装于底座51而其位置被固定。

第一夹紧部件521具备支承基板S的第一面的第一基板支承面5211。第二夹紧部件522具备支承与基板S的第一面相反的基板S的第二面的第二基板支承面5221。

在基板S位于第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间的状态下，第一夹紧部件521以靠近第二夹紧部件522的方式移动，由此能够通过第一夹紧部件521的第一基板支承面5211及第二夹紧部件522的第二基板支承面5221支承(夹持)基板S。

在第一基板支承面5211附着有第一支承垫526。在第二基板支承面5221具备第二支承垫527。第一支承垫526及第二支承垫527由聚氨酯等合成树脂形成。第一支承垫526及第二支承垫527是与基板S接触的部分，起到吸收当第一支承垫526及第二支承垫527与基板S接触时产生的冲击的作用。第一支承垫526及第二支承垫527可以与基板S相比具有更大的弹力。因此，第一支承垫526及第二支承垫527能够更稳定地夹持基板S。

尤其，如图7所示，在第一夹紧部件521及第二夹紧部件522夹持相对厚的基板S的情况下，以第一夹紧部件521的第一基板支承面5211相对于基板S的第一面倾斜预定角度的状态夹持基板S。在此情况下，由于与第一夹紧部件521接触的基板S的第一面的面积小，从而可能没有恰当地支承基板S。根据本实用新型的实施例，在第一基板支承面5211具备与基板S相比具有更大弹力的第一支承垫526，因此，在以第一基板支承面5211相对于基板S的第一面倾斜预定角度的状态夹持基板S的情况下，第一支承垫526也在以与基板S的形状符合的方式弹性变形的同时紧贴于基板S。因此，能够不从第一支承垫526滑移或脱离而无损伤地稳定地保持基板S。

尤其，在基板S为薄膜玻璃板的情况下，通过第一支承垫526及第二支承垫527的缓冲力，能够防止基板S的损伤。

连接部件523构成为将第一夹紧部件521连接于驱动单元53。连接部件523连接于第一转动轴524及第二转动轴525。第一夹紧部件521通过连接部件523连接于第一转动轴524及第二转动轴525。连接部件523及第一夹紧部件521可以制造成一体或单独制造后组装成一体。连接部件523可以与第一夹紧部件521一起以第一转动轴524为中心转动。

第一转动轴524是固定于底座51的固定轴。第二转动轴525是跟随连接部件523的移动而移动的活动轴。

在底座51可以安装有转动轴支架513，第一转动轴524可以在转动轴支架513以能够旋转的方式支承。

驱动单元53包括第一致动器531、第一驱动力传递部件532、第一驱动力传递杆533、流体供给源534、调节器535、第一线路536、第二线路537、第一阀门538及第二阀门539。

第一致动器531起到向第一夹紧部件521提供驱动力的作用。第一致动器531通过第一致动器转动轴5313连接于底座51。第一致动器转动轴5313通过第一致动器转动轴支架515能够固定于底座51。第一致动器531可以具备朝向第一致动器转动轴5313延伸的转动轴块5314，转动轴块5314可以以能够转动的方式连接于第一致动器转动轴5313。

因此，在第一驱动力传递杆533前进或后退的过程中，第一致动器531能够以第一致动器转动轴5313为中心转动。

在第一致动器531的内部以能够往复移动的方式布置有第一驱动力传递部件532。第一致动器531具备：与第一线路536连接的第一端口5311；以及与第二线路537连接的第二端口5312。

第一阀门538构成为开放或关闭从流体供给源534经由第一线路536向第一端口5311相连的流路。第二阀门539构成为开放或关闭从流体供给源534经由第二线路537向第二端口5312相连的流路。

根据这种结构，随着流体经由第一线路536及第一端口5311向第一致动器531的内部流入，第一驱动力传递部件532能够向朝向夹紧单元52的方向移动。而且，随着流体经由第二线路537及第二端口5312向第一致动器531的内部流入，第一驱动力传递部件532能够向远离夹紧单元52的方向移动。如此，根据第一致动器531内部的压力，第一驱动力传递部件532能够移动。

第一驱动力传递杆533的一端连接于第一驱动力传递部件532，第一驱动力传递杆533的另一端通过第一连接头5331及第二转动轴525连接于连接部件523。第一驱动力传递杆533通过第二转动轴525以能够转动的方式连接于第一夹紧部件521。由此，第一驱动力传递部件532通过第一驱动力传递杆533、第一连接头5331、第二转动轴525及连接部件523连接于第一夹紧部件521。由此，第一致动器531的驱动力通过第一驱动力传递部件532、第一驱动力传递杆533、第一连接头5331、第二转动轴525及连接部件523提供至第一夹紧部件521。

基于第一致动器531内部的压力，第一驱动力传递部件532能够在第一致动器531内移动，通过第一驱动力传递部件532的移动，第一驱动力传递杆533能够移动，通过第一驱动力传递杆533的移动，连接部件523及第一夹紧部件521能够以第一转动轴524为中心转动。

第一夹紧部件521能够在以第一转动轴524为中心转动的同时，以靠近第二夹紧部件522的方式移动或以远离第二夹紧部件522的方式移动。

另一方面，第一驱动力传递杆533能够在前进或后退的同时，向相对于底座51远离或靠近的方向移动。可以在底座51具备第一导向组件511，以引导第一驱动力传递杆533相对于底座51的移动。例如，第一导向组件511可以由与第一驱动力传递杆533连接的导轨构成。

通过流体供给源534供给的流体可以是液体或气体。驱动单元53可以以液压式或气压式工作。

调节器535构成为调节向第一致动器531的内部供给的流体压力。通过调节器535，能够调节第一致动器531内部的压力。通过调节器535，能够将第一致动器531的内压保持一定。另外，通过调节器535，能够调节第一致动器531的内压。第一致动器531的内压可以根据基板S的厚度来决定，根据第一致动器531的内压，可以决定第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间的角度及第一驱动力传递杆533的引出角度。

在基板S位于第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间时，通过调节器535调节第一致动器531内部的压力，由此基板S的第一面能够接触于第一夹紧部件521的第一基板支承面5211而被加压。

如图6及图7所示，随着通过调节器535调节第一致动器531内部的压力，能够调节第一驱动力传递部件532在第一致动器531内部的位置。随着调节第一驱动力传递部件532的位置，能够调节第一夹紧部件521的转动角度。随着调节第一夹紧部件521的转动角度，能够调节第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离。如此，随着通过调节器535调节第一致动器531内部的压力，能够将第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离调节成与基板S的厚度对应。

另一方面，如图7所示，随着基板S的厚度增加，支承在第一夹紧部件521的第一基板支承面5211上的基板S的第一面的支承面积与支承在第二夹紧部件522的第二基板支承面5221上的基板S的第二面的支承面积相比小。

另一方面，在边料去除单元40具备多个夹具装置50的情况下，构成多个夹具装置50的多个第一致动器531内部的压力可以通过一个调节器535调节。因此，由于多个第一致动器531能够通过一个调节器535同时控制，因此能够通过多个夹具装置50均匀地夹持基板S。

根据本实用新型的第一实施例的边料去除单元，对应于基板S的厚度来调节第一致动器531内部的压力，从而能够调节第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离。因此，即使在基板S的厚度变更的情况下也无需进行使夹具装置50整体高度与基板S的厚度对应的变更的追加性作业，并能够稳定地夹持基板S。因此，能够减少作业工艺数量。另外，能够稳定地执行对基板S的预定的处理工艺，或者能够将基板S向后续工艺稳定地移送。

以下，参照图8，说明本实用新型的第二实施例的边料去除单元。对与前述的本实用新型的第一实施例中说明的部分相同的部分，标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。

如图8所示，根据本实用新型的第二实施例的边料去除单元，第一夹紧部件521的朝向基板S的前端可以弯曲。

第一夹紧部件521的前端可以向基板S进入第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间的方向弯曲。

根据本实用新型的第二实施例的边料去除单元，在基板S进入第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间的过程中，在基板S的端部碰撞于第一夹紧部件521的前端的情况下，基板S的端部被引导于第一夹紧部件521的前端的弯曲部，从而也能够向第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间稳定地进入。另外，能够防止基板S的翘曲或破损。

以下，参照图9及图10，说明本实用新型的第三实施例的边料去除单元。对与前述的本实用新型的第一及第二实施例中说明的部分相同的部分，标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。

如图9所示，第一驱动力传递杆533的延伸线EL可以经过第一致动器转动轴5313的中心C5。作为其它例，第一驱动力传递杆533的延伸线EL可以至少位于底座51与第一致动器转动轴5313的中心C5之间。

另外，如图10所示，在第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221彼此接触的状态下，第二转动轴525的中心C2与第一转动轴524的中心C1相比位于更靠近第一夹紧部件521及第二夹紧部件522的位置。

根据本实用新型的第三实施例的边料去除单元，能够防止脆性材料基板S的裂开、刮痕、戳印、破碎、破损、损伤等，第一夹紧部件521及第二夹紧部件522能够防止基板滑移或脱离而能够更稳定地夹持基板S。

另外，在第一夹紧部件521及第二夹紧部件522释放基板S时，能够防止基板S以附着于第一夹紧部件521的状态跟随第一夹紧部件521的移动抬起。

以下，参照图11至图13，说明本实用新型的第四实施例的边料去除单元。对与前述的本实用新型的第一至第三实施例中说明的部分相同的部分，标注相同的附图标记，省略对其的详细说明。

如图11至图13所示，根据本实用新型的第四实施例的边料去除单元，夹具装置50还包括将第一夹紧部件521以与第二夹紧部件522平行的状态保持的姿态保持单元54。

夹紧单元52还包括第三转动轴528及第四转动轴529。

第一夹紧部件521通过第三转动轴528以能够转动的方式连接于连接部件523。因此，在连接部件523以第一转动轴524为中心旋转的状态下，第一夹紧部件521能够通过姿态保持单元54相对于连接部件523以第三转动轴528为中心旋转。由此，能够将第一夹紧部件521的姿态水平保持。

第一夹紧部件521通过第四转动轴529连接于姿态保持单元54。

第三转动轴528及第四转动轴529是跟随第一夹紧部件521的移动而移动的活动轴。

姿态保持单元54包括第二致动器541、第二驱动力传递部件542及第二驱动力传递杆543。

第二致动器541起到向第一夹紧部件521提供驱动力的作用。第二致动器541通过第二致动器转动轴5413连接于底座51。第二致动器转动轴5413通过第二致动器转动轴支架516可以固定于底座51。第二致动器541可以具备朝向第二致动器转动轴5413延伸的转动轴块5414，转动轴块5414可以以能够转动的方式连接于第二致动器转动轴5413。

因此，在第二驱动力传递杆543前进或后退的过程中，第二致动器541能够以第二致动器转动轴5413为中心转动。

在第二致动器541的内部以能够往复移动的方式布置有第二驱动力传递部件542。第二致动器541具备：与第一线路536连接的第一端口5411；以及与第二线路537连接的第二端口5412。

第一阀门538构成为开放或关闭从流体供给源534经由第一线路536向第一端口5411相连的流路。第二阀门539构成为开放或关闭从流体供给源534经由第二线路537向第二端口5412相连的流路。

根据这种结构，随着流体经由第一线路536及第一端口5411向第二致动器541的内部流入，第二驱动力传递部件542能够向朝向夹紧单元52的方向移动。而且，随着流体经由第二线路537及第二端口5412向第二致动器541的内部流入，第二驱动力传递部件542能够向远离夹紧单元52的方向移动。如此，基于第二致动器541内部的压力，第二驱动力传递部件542能够移动。

第二驱动力传递杆543的一端连接于第二驱动力传递部件542，第二驱动力传递杆543的另一端通过第二连接头5431及第四转动轴529连接于第一夹紧部件521。第二驱动力传递杆543通过第四转动轴529以能够转动的方式连接于第一夹紧部件521。由此，第二驱动力传递部件542通过第二驱动力传递杆543、第二连接头5431及第四转动轴529连接于第一夹紧部件521。由此，第二致动器541的驱动力通过第二驱动力传递部件542、第二驱动力传递杆543、第二连接头5431及第四转动轴529提供至第一夹紧部件521。

根据第二致动器541内部的压力，第二驱动力传递部件542能够在第二致动器541内移动。通过第二驱动力传递部件542的移动，第二驱动力传递杆543能够移动。通过第二驱动力传递杆543的移动，第一夹紧部件521能够以第四转动轴529为中心转动的同时，相对于连接部件523以第三转动轴528为中心转动。第一夹紧部件521以第四转动轴529为中心转动的同时，相对于连接部件523以第三转动轴528为中心转动，由此第一夹紧部件521的姿态水平保持，由此，第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221能够彼此平行。

另一方面，第二驱动力传递杆543能够在前进或后退的同时，向相对于底座51远离或靠近的方向移动。可以在底座51具备第二导向组件512，以引导第二驱动力传递杆543相对于底座51的移动。例如，第二导向组件512可以由与第二驱动力传递杆543连接的导轨构成。

流体供给源534及调节器535可以连接于第一致动器531及第二致动器541。在此情况下，第一线路536连接于第一致动器531的第一端口5311及第二致动器541的第一端口5411。而且，第二线路537连接于第一致动器531的第二端口5312及第二致动器541的第二端口5412。

因此，调节器535构成为调节向第一致动器531内部供给的流体的压力及向第二致动器541内部供给的流体的压力。通过调节器535，能够调节第一致动器531内部的压力及第二致动器541内部的压力。通过调节器535，能够将第一致动器531及第二致动器541的内压保持一定。另外，通过调节器535，能够调节第一致动器531及第二致动器541的内压。第一致动器531及第二致动器541的内压可以根据基板S的厚度来决定。

在基板S位于第一夹紧部件521与第二夹紧部件522之间时，通过调节器535调节第一致动器531内部的压力及第二致动器541内部的压力，由此能够以第一夹紧部件521的第一基板支承面5211的姿态水平保持的状态，基板S的第一面接触于第一夹紧部件521的第一基板支承面5211而被加压。

如图12及图13所示，随着通过调节器535调节第一致动器531内部的压力，能够调节第一驱动力传递部件532在第一致动器531内部的位置。随着调节第一驱动力传递部件532的位置，能够调节连接部件523的转动角度。随着调节连接部件523的转动角度，能够调节第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离。如此，随着通过调节器535调节第一致动器531内部的压力，能够将第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离调节成与基板S的厚度对应。

另外，随着通过调节器535调节第二致动器541内部的压力，能够调节第二驱动力传递部件542在第二致动器541内部的位置。随着调节第二驱动力传递部件542的位置，能够调节第一夹紧部件521的转动角度。随着调节第一夹紧部件521的转动角度，能够将第一夹紧部件521的第一基板支承面5211的姿态水平保持，由此，能够保持第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221彼此平行的状态。如此，随着通过调节器535调节第二致动器541内部的压力，形成第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221彼此平行的状态，能够形成能够更稳定地夹持基板S的第一面及第二面的状态。

在调节第一致动器531内部的压力时，能够同时调节第二致动器541内部的压力。此时，第二致动器541内部的压力调节联动于第一致动器531内部的压力调节来执行。能够以使得在第一夹紧部件521相对于第二夹紧部件522位移的同时满足第一夹紧部件521平行于第二夹紧部件522的条件的方式，执行第一致动器531内部的压力调节及第二致动器541的内部的压力调节。为了满足这种条件，可以设计第一致动器531的规格(内径、长度、第一端口5311的位置、第二端口5312的位置、对第一夹紧部件521的设置角度等)、第一驱动力传递部件532的规格(外径、厚度等)、第一驱动力传递杆533的规格(直径、长度、对第一夹紧部件521的设置角度等)、第二致动器541的规格(内径、长度、第一端口5411的位置、第二端口5412的位置、对第一夹紧部件521的设置角度等)、第二驱动力传递部件542的规格(外径、厚度等)、第二驱动力传递杆543的规格(直径、长度、对第一夹紧部件521的设置角度等)。

另一方面，如图13所示，随着基板S的厚度增加，支承在第一夹紧部件521的第一基板支承面5211上的基板S的第一面的支承面积与支承在第二夹紧部件522的第二基板支承面5221上的基板S的第二面的支承面积相比小。

另一方面，在边料去除单元40具备多个夹具装置50的情况下，构成多个夹具装置50的多个第一致动器531内部的压力及多个第二致动器541内部的压力可以通过一个调节器535调节。因此，由于多个第一致动器531能够通过一个调节器535同时控制，能够通过多个夹具装置50均匀地夹持基板S。

根据本实用新型的第四实施例的边料去除单元，对应于基板S的厚度来调节第一致动器531内部的压力，从而能够调节第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离。因此，即使在基板S的厚度变更的情况下也无需进行使夹具装置50整体高度与基板S的厚度对应的变更的追加性作业，并能够稳定地夹持基板S。因此，能够减少作业工艺数量。另外，通过调节第二致动器541内部的压力，能够将第一夹紧部件521的第一基板支承面5211的姿态水平保持。因此，在调节了第一夹紧部件521的第一基板支承面5211与第二夹紧部件522的第二基板支承面5221之间的隔开距离的情况下，也能够将第一夹紧部件521的第一基板支承面5211的姿态水平保持，由此能够增加支承在第一夹紧部件521的第一基板支承面5211上的基板S的第一面的支承面积，由此，能够更稳定地夹持基板S。

另一方面，从基板S的后随端分离边料的过程可以以与从基板S的先行端分离边料的过程相同的方式执行。

另一方面，如图1所示，划线装置可以还包括用于去除位于基板S的X轴方向的两端的边料的边料去除单元60。边料去除单元60可以布置在第二移送单元20的X轴方向上的两侧或两侧中至少任一侧。边料去除单元60构成为去除通过在基板S的X轴方向的端部沿Y轴方向延伸形成的划线划定的边料而形成阶梯部。边料去除单元60可以具有与前述的边料去除单元40相同的结构。

例示性说明了本实用新型的优选实施例，在本实用新型的范围并不限定于这种特定实施例，可以在权利要求书中所记载的范畴内进行适当变更。

Claims (10)

1.一种边料去除单元，去除通过在基板的端部形成的划线所划定的边料，其特征在于，

所述边料去除单元包括构成为夹持所述边料的夹具装置，

所述夹具装置包括：

第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于转动轴；

第二夹紧部件，具有支承所述基板的第二面的基板支承面；以及

致动器，通过驱动力传递部件及驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使所述第一夹紧部件以所述转动轴为中心旋转。

2.根据权利要求1所述的边料去除单元，其特征在于，

所述第一夹紧部件的朝向所述基板的前端弯曲。

3.根据权利要求1所述的边料去除单元，其特征在于，

所述夹具装置设置有多个，构成多个所述夹具装置的多个所述致动器内部的压力通过一个调节器来调节。

4.根据权利要求1所述的边料去除单元，其特征在于，

在所述第一夹紧部件的基板支承面或所述第二夹紧部件的基板支承面附着有支承垫，所述支承垫由与所述基板相比具有更大弹力的材料形成。

5.根据权利要求1所述的边料去除单元，其特征在于，

支承在所述第一夹紧部件的基板支承面上的所述基板的第一面的支承面积与支承在所述第二夹紧部件的基板支承面上的所述基板的第二面的支承面积相比更小。

6.一种边料去除单元，去除通过在基板的端部形成的划线所划定的边料，其特征在于，

所述边料去除单元包括构成为夹持所述边料的夹具装置，

所述夹具装置包括：

第一夹紧部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，并以能够转动的方式连接于第一转动轴；

第二夹紧部件，具有支承所述基板的第二面的基板支承面；

第一致动器，通过第一驱动力传递部件及第一驱动力传递杆连接于第一夹紧部件，并构成为使所述第一夹紧部件以所述第一转动轴为中心旋转；以及

姿态保持单元，以使所述第一夹紧部件的基板支承面与所述第二夹紧部件的基板支承面平行的方式，保持所述第一夹紧部件的姿态。

7.根据权利要求6所述的边料去除单元，其特征在于，

所述第一驱动力传递杆通过第二转动轴连接于所述第一夹紧部件，

所述姿态保持单元包括第二致动器，所述第二致动器通过第二驱动力传递部件及第二驱动力传递杆连接于所述第一夹紧部件，并构成为使所述第一夹紧部件以与所述第一转动轴及所述第二转动轴隔开的第三转动轴为中心旋转。

8.根据权利要求7所述的边料去除单元，其特征在于，

所述第一致动器内部的压力及所述第二致动器内部的压力通过相同的调节器来调节。

9.根据权利要求7所述的边料去除单元，其特征在于，

所述夹具装置设置有多个，构成多个所述夹具装置的多个所述第一致动器内部的压力及构成多个所述夹具装置的多个所述第二致动器内部的压力通过一个调节器来调节。

10.一种划线装置，包括权利要求1至9中任一项所述的边料去除单元。

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