TWM595642U - 邊料去除單元及具備邊料去除單元的劃線裝置 - Google Patents

Abstract

本新型的實施例提供一種邊料去除單元及具備邊料去除單元的劃線裝置，邊料去除單元去除通過在基板的端部形成的劃線劃定的邊料，邊料去除單元包括構成為夾持邊料的夾具裝置，夾具裝置包括：第一夾緊部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，並以能夠轉動的方式連接於轉動軸；第二夾緊部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；以及致動器，通過驅動力傳遞部件及驅動力傳遞杆連接於第一夾緊部件，並構成為使第一夾緊部件以轉動軸為中心旋轉。

Description

邊料去除單元及具備邊料去除單元的劃線裝置

本新型涉及一種從基板的端部去除邊料的邊料去除單元及具備邊料去除單元的劃線裝置。

一般而言，在用於平板顯示器的液晶顯示面板、有機電致發光顯示器面板、無機電致發光顯示器面板、透射投影基板、反射投影基板等中使用從玻璃之類脆性母玻璃面板（以下，稱為“基板”）切割成預定尺寸的單位玻璃面板（以下，稱為“單位基板”）。

將基板切割為單位基板的工藝包括沿要切割基板的切割計畫線在使由金剛石之類材質構成的劃線輪加壓於基板的狀態下使劃線輪及/或基板移動而形成劃線的劃線工藝。

在基板的端部存在邊料（虛擬（dummy）或碎茬（cullet）、即不用於產品而去除掉的非有效區域）。為了從基板的端部去除邊料，執行在基板的端部形成劃線的工藝、以及使用邊料去除單元從基板的端部去除通過劃線劃定的邊料的工藝。

邊料去除單元具備夾具裝置，夾具裝置一般而言具備一對夾緊部件。在基板位於一對夾緊部件之間的狀態下，一對夾緊部件以彼此接近的方式移動，從而基板被一對夾緊部件夾持。

邊料去除單元有時需要執行從具有多種厚度的多種基板分離邊料的工藝。但是，在以往的夾具裝置的情況下，存在每當基板的厚度變更時為了穩定地夾持基板而需要進行使夾具裝置整體高度與基板的厚度相對應的變更的追加性作業的缺點。

本新型的目的在於提供一種即使在基板的厚度變更的情況下也無需進行使夾具裝置整體高度與基板的厚度相對應的變更的追加性作業，並能夠穩定地夾持基板的邊料去除單元及具備邊料去除單元的劃線裝置。

用於達到上述目的的本新型的實施例提供一種邊料去除單元，邊料去除單元去除通過在基板的端部形成的劃線劃定的邊料，邊料去除單元包括構成為夾持邊料的夾具裝置，夾具裝置包括：第一夾緊部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，並以能夠轉動的方式連接於轉動軸；第二夾緊部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；以及致動器，通過驅動力傳遞部件及驅動力傳遞杆連接於第一夾緊部件，並構成為使第一夾緊部件以轉動軸為中心旋轉。

可以是，第一夾緊部件的朝向基板的前端為圓弧狀。

夾具裝置可以設置有多個，構成多個夾具裝置的多個致動器內部的壓力可以通過一個調節器來調節。

可以是，在第一夾緊部件的基板支承面或第二夾緊部件的基板支承面附著有支承墊，支承墊由與基板相比具有大彈力的材料形成。

可以是，支承在第一夾緊部件的基板支承面上的基板的第一面的支承面積小於支承在第二夾緊部件的基板支承面上的基板的第二面的支承面積。

本新型的實施例提供一種邊料去除單元，邊料去除單元去除通過在基板的端部形成的劃線劃定的邊料，可以是，邊料去除單元包括構成為夾持邊料的夾具裝置，夾具裝置包括：第一夾緊部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，並以能夠轉動的方式連接於第一轉動軸；第二夾緊部件，具有支承基板的第二面的基板支承面；第一致動器，通過第一驅動力傳遞部件及第一驅動力傳遞杆連接於第一夾緊部件，並構成為使第一夾緊部件以第一轉動軸為中心旋轉；以及姿態保持單元，以使第一夾緊部件的基板支承面與第二夾緊部件的基板支承面平行的方式，保持第一夾緊部件的姿態。

第一驅動力傳遞杆可以通過第二轉動軸連接於第一夾緊部件，姿態保持單元可以包括第二致動器，第二致動器通過第二驅動力傳遞部件及第二驅動力傳遞杆連接於第一夾緊部件，並構成為使第一夾緊部件以與第一轉動軸及第二轉動軸隔開的第三轉動軸為中心旋轉。

可以是，第一致動器內部的壓力及第二致動器內部的壓力通過相同的調節器來調節。

夾具裝置可以設置有多個，構成多個夾具裝置的多個致動器內部的壓力及多個第二致動器內部的壓力可以通過一個調節器來調節。

另外，根據本新型的實施例提供一種劃線裝置可以包括上述的邊料去除單元。

根據本新型的實施例的邊料去除單元，對應於基板的厚度來調節第一致動器內部的壓力，從而能夠調節第一夾緊部件的第一基板支承面與第二夾緊部件的第二基板支承面之間的隔開距離。因此，即使在基板的厚度變更的情況下也無需進行使夾具裝置整體高度與基板的厚度對應的變更的追加性作業，並能夠穩定地夾持基板。因此，能夠減少作業工藝數量，能夠穩定地執行對基板的預定的處理工藝。另外，通過調節第二致動器內部的壓力，能夠保持第一夾緊部件的第一基板支承面的姿態水平。因此，在調節了第一夾緊部件的第一基板支承面與第二夾緊部件的第二基板支承面之間的隔開距離的情況下，也能夠保持第一夾緊部件的第一基板支承面的姿態水平，由此能夠增加支承在第一夾緊部件的第一基板支承面的基板的第一面的支承面積，由此，能夠更穩定地夾持基板。

以下，參照附圖，說明本新型的實施例的邊料去除單元。

參照圖1至圖4，將移送要執行基板切割工藝的基板S的方向定義為Y軸方向，將與移送基板S的方向（Y軸方向）垂直的方向定義為X軸方向。而且，將與放置基板S的X-Y平面垂直的方向定義為Z軸方向。另外，劃線這一用語意指在基板S的表面以沿預定方向延伸的方式形成的槽及/或裂紋。

如圖1及圖2所示，本新型的第一實施例的邊料去除單元40起到從基板S的先行端（基板S的Y軸方向上的前方側端部）的邊緣及/或基板S的後隨端（基板S的Y軸方向上的後方側端部）的邊緣去除通過劃線劃定的邊料（虛擬（dummy）或碎茬（cullet）、即不用於單位基板而切割後扔掉的非有效區域）的作用。

另一方面，如圖3及圖4所示，具備本新型的第一實施例的邊料去除單元40的劃線裝置可以包括：構成為在基板S沿X軸方向及/或Y軸方向形成劃線的劃線單元30；將基板S向劃線單元30移送的第一移送單元10；將基板S從劃線單元30向後續工藝移送的第二移送單元20；以及以與劃線單元30相鄰的方式佈置的邊料去除單元40。

劃線單元30可以包括：沿X軸方向延伸的第一支承架31；在第一支承架31以能夠沿X軸方向移動的方式設置的第一劃線頭32；在第一支承架31的下方與第一支承架31平行地沿X軸方向延伸的第二支承架33；以及在第二支承架33以能夠沿X軸方向移動的方式設置的第二劃線頭34。在第一劃線頭32與第一支承架31之間可以具備與第一劃線頭32連接而使第一劃線頭32沿X軸方向移動的直線移動機構。同樣，在第二劃線頭34與第二支承架33之間可以具備與第二劃線頭34連接而使第二劃線頭34沿X軸方向移動的直線移動機構。例如，直線移動機構可以由在氣壓或液壓下工作的致動器、在電磁相互作用下工作的線性馬達或滾珠螺杆機構構成。

在第一支承架31可以沿X軸方向安裝有多個第一劃線頭32。在第二支承架33可以沿X軸方向安裝有多個第二劃線頭34。多個第一劃線頭32可以同時驅動，或者可以依次驅動。同樣，多個第二劃線頭34可以同時驅動，或者可以依次驅動。

在第一支承架31與第二支承架33之間可以形成供基板S穿過的空間。第一支承架31及第二支承架33可以製造成獨立部件來組裝，或者可以製造成一體。

第一劃線頭32和第二劃線頭34可以在Z軸方向上彼此相對佈置。第一劃線頭32用於在基板S的第一面形成劃線，第二劃線頭34用於在基板S的第二面形成劃線。

在第一劃線頭32及第二劃線頭34可以設置保持劃線輪351的輪架35。安裝於第一劃線頭32的劃線輪351和安裝於第二劃線頭34的劃線輪351可以在Z軸方向上彼此相對佈置。

一對劃線輪351可以分別加壓於基板S的第一面及第二面。在一對劃線輪351分別加壓於基板S的第一面及第二面的狀態下，第一劃線頭32及第二劃線頭34對基板S沿X軸方向相對移動，由此能夠在基板S的第一面及第二面沿X軸方向形成劃線。另外，在一對劃線輪351分別加壓於基板S的第一面及第二面的狀態下，基板S沿Y軸方向移動，由此能夠在基板S的表面沿Y軸方向形成劃線。

另一方面，第一劃線頭32及第二劃線頭34可以構成為分別相對於第一支承架31及第二支承架33能夠沿Z軸方向移動。為此，可以在第一劃線頭32與第一支承架31之間具備與第一劃線頭32連接而使第一劃線頭32沿Z軸方向移動的頭移動組件38，可以在第二劃線頭34與第二支承架33之間具備與第二劃線頭34連接而使第二劃線頭34沿Z軸方向移動的頭移動組件39。例如，頭移動組件38、39可以具備在氣壓或液壓下工作的致動器、在電磁相互作用下工作的線性馬達或滾珠螺杆機構之類直線移動機構。

隨著第一劃線頭32及第二劃線頭34分別相對於第一支承架31及第二支承架33沿Z軸方向移動，一對劃線輪351加壓於基板S或者與基板S隔開。而且，通過調節第一劃線頭32及第二劃線頭34沿Z軸方向的移動的程度，能夠調節一對劃線輪351施加於基板S的加壓力。因此，通過第一劃線頭32及第二劃線頭34沿Z軸方向的移動，能夠調節一對劃線輪351對基板S的切削深度（進入深度）。

第一移送單元10可以包括：支承基板S的多個帶11；夾持支承在多個帶11上的基板S的後隨端的夾持部件12；與夾持部件12連接並沿X軸方向延伸的支承杆13；與支承杆13連接並沿Y軸方向延伸的導軌14；以及以與劃線單元30相鄰的方式佈置並懸浮或吸附來支承基板S的第一支承平板15。

多個帶11可以在X軸方向上彼此隔開。各帶11被多個滑輪111支承。連接於一個帶11的多個滑輪111中至少一個可以是提供使帶11旋轉的驅動力的驅動滑輪。

在支承杆13與導軌14之間可以設置有在氣壓或液壓下工作的致動器、在電磁相互作用下工作的線性馬達或滾珠螺杆機構之類直線移動機構。因此，在夾持部件12夾持基板S的狀態下，支承杆13通過直線移動機構沿Y軸方向移動，由此能夠將基板S向Y軸方向移送。此時，多個帶11能夠在同步於夾持部件12的移動而旋轉的同時穩定地支承基板S。

夾持部件12可以是對基板S的後隨端加壓來保持的夾具。作為其它例，夾持部件12可以具備與真空源連接的真空孔而構成為吸附基板S的後隨端。

第一支承平板15可以構成為能夠將基板S懸浮或吸附。例如，在第一支承平板15的表面可以形成與氣體供給源及真空源連接的多個狹縫。在從氣體供給源向第一支承平板15的多個狹縫供給氣體的情況下，基板S能夠從第一支承平板15懸浮。另外，在通過真空源形成的負壓下經由第一支承平板15的多個狹縫抽吸氣體的情況下，基板S能夠吸附於第一支承平板15。

在基板S從第一支承平板15懸浮的狀態下，基板S能夠相對於第一支承平板15無摩擦地移動。而且，在對基板S的第一面及第二面形成劃線的過程中，基板S能夠吸附並固定於第一支承平板15。

第二移送單元20可以包括：以與劃線單元30相鄰的方式佈置，從而將基板S懸浮或吸附來支承的第二支承平板25；以及以與第二支承平板25相鄰的方式佈置的多個帶21。

在通過劃線單元30在基板S的第一面及第二面分別形成劃線的過程中，基板S能夠支承於第一支承平板15及第二支承平板25。在此情況下，第一劃線頭32及第二劃線頭34能夠位於第一支承平板15與第二支承平板25之間。

多個帶21可以在X軸方向上彼此隔開。各個帶21被多個滑輪211支承。連接於一個帶21的多個滑輪211中至少一個可以是提供使帶21旋轉的驅動力的驅動滑輪。

第二支承平板25可以構成為能夠將基板S懸浮或吸附。例如，在第二支承平板25的表面可以形成與氣體供給源及真空源連接的多個狹縫。在從氣體供給源向第二支承平板25的多個狹縫供給氣體的情況下，基板S能夠從第二支承平板25懸浮。另外，在通過真空源形成的負壓作用下通過第二支承平板25的多個狹縫抽吸氣體的情況下，基板S能夠吸附於第二支承平板25。

在基板S向第二支承平板25移送的過程中，向第二支承平板25的狹縫供給氣體，由此，基板S能夠相對於第二支承平板25無摩擦地移動。而且，在對基板S的第一面及第二面形成劃線的過程中，基板S能夠吸附並固定於第二支承平板25。

另一方面，在基板S通過多個帶21的旋轉而從第二支承平板25向後續工藝移動的過程中，向第二支承平板25的狹縫供給氣體，由此，基板S能夠以從第二支承平板25懸浮的狀態相對於第二支承平板25無摩擦地移動。

邊料去除單元40可以佈置在第一移送單元10與第二移送單元20之間。邊料去除單元40可以佈置在第一支承平板15與第二支承平板25之間。

如圖1及圖2所示，邊料去除單元40可以包括：沿X軸方向延伸的框架41；佈置於框架41的夾具裝置50；使框架41以框架41的中心軸（與X軸方向平行的軸）為中心旋轉的旋轉組件43；使框架41沿Y軸方向移動的水平移動組件44；以及使框架41沿Z軸方向移動的垂直移動組件45。

旋轉組件43可以由與框架41的旋轉中心軸通過旋轉軸連接的旋轉馬達構成。旋轉組件43可以包括在旋轉馬達的旋轉軸與框架41之間設置的鏈、帶等動力傳遞機構。隨著通過旋轉組件43使框架41以X軸為中心旋轉，夾具裝置50能夠佈置成朝向第一移送單元10（第一支承平板15），或者佈置成朝向第二移送單元（第二支承平板25）。因此，在基板S的先行端位於第一支承平板15的狀態下，夾具裝置50佈置成朝向第一支承平板15，從而能夠從基板S的先行端去除邊料。另外，在基板S的後隨端位於第二支承平板25的狀態下，夾具裝置50佈置成朝向第二支承平板25，從而能夠從基板S的後隨端去除邊料。

水平移動組件44可以由在氣壓或液壓下工作的致動器、在電磁相互作用下工作的線性馬達或滾珠螺杆機構之類直線移動機構構成。隨著通過水平移動組件44使框架41水平移動，夾具裝置50能夠水平移動。由此，夾具裝置50能夠通過水平移動組件44水平移動而定位成與基板S的端部相對。另外，夾具裝置50能夠以保持邊料的狀態通過水平移動組件44向遠離基板S的方向移動，由此，能夠將邊料從基板S分離/去除/移送。

垂直移動組件45可以由在氣壓或液壓下工作的致動器、在電磁相互作用下工作的線性馬達或滾珠螺杆機構之類直線移動機構構成。隨著通過垂直移動組件45使框架41垂直移動，夾具裝置50能夠垂直移動。在去除邊料的過程中，夾具裝置50通過垂直移動組件45上升而能夠定位成與基板S的端部相對。在移送基板S的過程中，夾具裝置50通過垂直移動組件45下降而能夠不妨礙基板S的移送。另外，夾具裝置50能夠以保持邊料的狀態通過垂直移動組件45向遠離基板S的方向移動，由此，能夠將邊料從基板S分離/去除/移送。

圖2示出了框架41的兩側設置旋轉組件43、水平移動組件44及垂直移動組件45的結構。但是，本新型不限定於此，可以適用旋轉組件43、水平移動組件44及垂直移動組件45設置於框架41的一側並在框架41的另一側設置用於引導框架41的旋轉、水平移動及垂直移動的引導構件的結構。

例如，夾具裝置50可以設置有多個。在此情況下，多個夾具裝置50可以跟隨框架41沿X軸方向佈置。夾具裝置50可以設置成能夠跟隨沿框架41延伸的導件411沿X軸方向移動。為此，在夾具裝置50與導件411之間可以設置在氣壓或液壓下工作的致動器、在電磁相互作用下工作的線性馬達或滾珠螺杆機構之類直線移動機構。因此，隨著多個夾具裝置50通過直線移動機構沿X軸方向移動，能夠調節多個夾具裝置50之間的間距。因此，多個夾具裝置50恰當地對應於基板S的X軸方向上的寬度佈置而能夠穩定地夾持基板S。

另一方面，本新型不限定於夾具裝置50設置有多個的結構，本新型也可以適用於設置具有與基板S的X軸方向上的寬度對應的長度的一個夾具裝置50的結構。

如圖5至圖7所示，夾具裝置50包括底座51、夾緊單元52及驅動單元53。

底座51在框架41以能夠分離的方式固定，由此，夾具裝置50能夠支承於框架41。在底座51以能夠工作的方式安裝夾緊單元52。驅動單元53構成為使夾緊單元52工作。

夾緊單元52包括第一夾緊部件521、第二夾緊部件522、連接部件523、第一轉動軸524及第二轉動軸525。

第一夾緊部件521與第一轉動軸524以能夠轉動的方式連接。第二夾緊部件522安裝於底座51而其位置被固定。

第一夾緊部件521具備支承基板S的第一面的第一基板支承面5211。第二夾緊部件522具備支承與基板S的第一面相反的基板S的第二面的第二基板支承面5221。

在基板S位於第一夾緊部件521與第二夾緊部件522之間的狀態下，第一夾緊部件521以與第二夾緊部件522接近的方式移動，由此能夠通過第一夾緊部件521的第一基板支承面5211及第二夾緊部件522的第二基板支承面5221支承（夾持）基板S。

在第一基板支承面5211附著有第一支承墊526。在第二基板支承面5221具備第二支承墊527。第一支承墊526及第二支承墊527由聚氨酯等合成樹脂形成。第一支承墊526及第二支承墊527是與基板S接觸的部分，起到吸收當第一支承墊526及第二支承墊527與基板S接觸時產生的衝擊的作用。第一支承墊526及第二支承墊527可以與基板S相比具有大彈力。因此，第一支承墊526及第二支承墊527能夠更穩定地夾持基板S。

尤其，如圖7所示，在第一夾緊部件521及第二夾緊部件522夾持相對厚的基板S的情況下，以第一夾緊部件521的第一基板支承面5211相對於基板S的第一面傾斜預定角度的狀態夾持基板S。在此情況下，由於與第一夾緊部件521接觸的基板S的第一面的面積小，從而可能沒有恰當地支承基板S。根據本新型的實施例，在第一基板支承面5211具備與基板S相比具有大彈力的第一支承墊526，因此，在以第一基板支承面5211相對於基板S的第一面傾斜預定角度的狀態夾持基板S的情況下，第一支承墊526也在以與基板S的形狀符合的方式彈性變形的同時緊貼於基板S。因此，能夠不從第一支承墊526滑移或脫離而無損傷地穩定地保持基板S。

尤其，在基板S為薄膜玻璃板的情況下，通過第一支承墊526及第二支承墊527的緩衝力，能夠防止基板S的損傷。

連接部件523構成為將第一夾緊部件521連接於驅動單元53。連接部件523連接於第一轉動軸524及第二轉動軸525。第一夾緊部件521通過連接部件523連接於第一轉動軸524及第二轉動軸525。連接部件523及第一夾緊部件521可以製造成一體或單獨製造後組裝成一體。連接部件523可以與第一夾緊部件521一起以第一轉動軸524為中心轉動。

第一轉動軸524是固定於底座51的固定軸。第二轉動軸525是跟隨連接部件523的移動而移動的活動軸。

在底座51可以安裝有轉動軸支架513，第一轉動軸524可以在轉動軸支架513以能夠旋轉的方式支承。

驅動單元53包括第一致動器531、第一驅動力傳遞部件532、第一驅動力傳遞杆533、流體供給源534、調節器535、第一線路536、第二線路537、第一閥門538及第二閥門539。

第一致動器531起到向第一夾緊部件521提供驅動力的作用。第一致動器531通過第一致動器轉動軸5313連接於底座51。第一致動器轉動軸5313通過第一致動器轉動軸支架515能夠固定於底座51。第一致動器531可以具備朝向第一致動器轉動軸5313延伸的轉動軸塊5314，轉動軸塊5314可以以能夠轉動的方式連接於第一致動器轉動軸5313。

因此，在第一驅動力傳遞杆533前進或後退的過程中，第一致動器531能夠以第一致動器轉動軸5313為中心轉動。

在第一致動器531的內部以能夠往復移動的方式佈置有第一驅動力傳遞部件532。第一致動器531具備：與第一線路536連接的第一埠5311；以及與第二線路537連接的第二埠5312。

第一閥門538構成為開放或關閉從流體供給源534經由第一線路536向第一埠5311相連的流路。第二閥門539構成為開放或關閉從流體供給源534經由第二線路537向第二埠5312相連的流路。

根據這種結構，隨著流體經由第一線路536及第一埠5311向第一致動器531的內部流入，第一驅動力傳遞部件532能夠向朝向夾緊單元52的方向移動。而且，隨著流體經由第二線路537及第二埠5312向第一致動器531的內部流入，第一驅動力傳遞部件532能夠向遠離夾緊單元52的方向移動。如此，根據第一致動器531內部的壓力，第一驅動力傳遞部件532能夠移動。

第一驅動力傳遞杆533的一端連接於第一驅動力傳遞部件532，第一驅動力傳遞杆533的另一端通過第一連接頭5331及第二轉動軸525連接於連接部件523。第一驅動力傳遞杆533通過第二轉動軸525以能夠轉動的方式連接於第一夾緊部件521。由此，第一驅動力傳遞部件532通過第一驅動力傳遞杆533、第一連接頭5331、第二轉動軸525及連接部件523連接於第一夾緊部件521。由此，第一致動器531的驅動力通過第一驅動力傳遞部件532、第一驅動力傳遞杆533、第一連接頭5331、第二轉動軸525及連接部件523提供至第一夾緊部件521。

基於第一致動器531內部的壓力，第一驅動力傳遞部件532能夠在第一致動器531內移動，通過第一驅動力傳遞部件532的移動，第一驅動力傳遞杆533能夠移動，通過第一驅動力傳遞杆533的移動，連接部件523及第一夾緊部件521能夠以第一轉動軸524為中心轉動。

第一夾緊部件521能夠在以第一轉動軸524為中心轉動的同時，以與第二夾緊部件522接近的方式移動或以遠離第二夾緊部件522的方式移動。

另一方面，第一驅動力傳遞杆533能夠在前進或後退的同時，向相對於底座51遠離或接近的方向移動。可以在底座51具備第一導向組件511，以引導第一驅動力傳遞杆533相對於底座51的移動。例如，第一導向組件511可以由與第一驅動力傳遞杆533連接的導軌構成。

通過流體供給源534供給的流體可以是液體或氣體。驅動單元53可以以液壓式或氣壓式工作。

調節器535構成為調節向第一致動器531的內部供給的流體壓力。通過調節器535，能夠調節第一致動器531內部的壓力。通過調節器535，能夠將第一致動器531的內壓保持一定。另外，通過調節器535，能夠調節第一致動器531的內壓。第一致動器531的內壓可以根據基板S的厚度來決定，根據第一致動器531的內壓，可以決定第一夾緊部件521與第二夾緊部件522之間的角度及第一驅動力傳遞杆533的引出角度。

在基板S位於第一夾緊部件521與第二夾緊部件522之間時，通過調節器535調節第一致動器531內部的壓力，由此基板S的第一面能夠接觸於第一夾緊部件521的第一基板支承面5211而被加壓。

如圖6及圖7所示，隨著通過調節器535調節第一致動器531內部的壓力，能夠調節第一驅動力傳遞部件532在第一致動器531內部的位置。隨著調節第一驅動力傳遞部件532的位置，能夠調節第一夾緊部件521的轉動角度。隨著調節第一夾緊部件521的轉動角度，能夠調節第一夾緊部件521的第一基板支承面5211與第二夾緊部件522的第二基板支承面5221之間的隔開距離。如此，隨著通過調節器535調節第一致動器531內部的壓力，能夠將第一夾緊部件521的第一基板支承面5211與第二夾緊部件522的第二基板支承面5221之間的隔開距離調節成與基板S的厚度對應。

另一方面，如圖7所示，隨著基板S的厚度增加，支承在第一夾緊部件521的第一基板支承面5211上的基板S的第一面的支承面積小於支承在第二夾緊部件522的第二基板支承面5221上的基板S的第二面的支承面積。

另一方面，在邊料去除單元40具備多個夾具裝置50的情況下，構成多個夾具裝置50的多個第一致動器531內部的壓力可以通過一個調節器535調節。因此，由於多個第一致動器531能夠通過一個調節器535同時控制，因此能夠通過多個夾具裝置50均勻地夾持基板S。

根據本新型的第一實施例的邊料去除單元，對應於基板S的厚度來調節第一致動器531內部的壓力，從而能夠調節第一夾緊部件521的第一基板支承面5211與第二夾緊部件522的第二基板支承面5221之間的隔開距離。因此，即使在基板S的厚度變更的情況下也無需進行使夾具裝置50整體高度與基板S的厚度對應的變更的追加性作業，並能夠穩定地夾持基板S。因此，能夠減少作業工藝數量。另外，能夠穩定地執行對基板S的預定的處理工藝，或者能夠將基板S向後續工藝穩定地移送。

以下，參照圖8，說明本新型的第二實施例的邊料去除單元。對與前述的本新型的第一實施例中說明的部分相同的部分，標註相同的附圖標記，省略對其的詳細說明。

如圖8所示，根據本新型的第二實施例的邊料去除單元，第一夾緊部件521的朝向基板S的前端可以為圓弧狀。

第一夾緊部件521的前端可以向基板S進入第一夾緊部件521與第二夾緊部件522之間的方向形成圓弧狀。

根據本新型的第二實施例的邊料去除單元，在基板S進入第一夾緊部件521與第二夾緊部件522之間的過程中，在基板S的端部碰撞於第一夾緊部件521的前端的情況下，基板S的端部被引導於第一夾緊部件521的前端的圓弧部，從而也能夠向第一夾緊部件521與第二夾緊部件522之間穩定地進入。另外，能夠防止基板S的翹曲或破損。

以下，參照圖9及圖10，說明本新型的第三實施例的邊料去除單元。對與前述的本新型的第一及第二實施例中說明的部分相同的部分，標註相同的附圖標記，省略對其的詳細說明。

如圖9所示，第一驅動力傳遞杆533的延伸線EL可以經過第一致動器轉動軸5313的中心C5。作為其它例，第一驅動力傳遞杆533的延伸線EL可以至少位於底座51與第一致動器轉動軸5313的中心C5之間。

另外，如圖10所示，在第一夾緊部件521的第一基板支承面5211與第二夾緊部件522的第二基板支承面5221彼此接觸的狀態下，第二轉動軸525的中心C2與第一轉動軸524的中心C1相比位於更靠近第一夾緊部件521及第二夾緊部件522的位置。

根據本新型的第三實施例的邊料去除單元，能夠防止脆性材料基板S的裂開、刮痕、戳印、破碎、破損、損傷等，第一夾緊部件521及第二夾緊部件522能夠防止基板滑移或脫離而能夠更穩定地夾持基板S。

另外，在第一夾緊部件521及第二夾緊部件522釋放基板S時，能夠防止基板S以附著於第一夾緊部件521的狀態跟隨第一夾緊部件521的移動抬起。

以下，參照圖11至圖13，說明本新型的第四實施例的邊料去除單元。對與前述的本新型的第一至第三實施例中說明的部分相同的部分，標註相同的附圖標記，省略對其的詳細說明。

如圖11至圖13所示，根據本新型的第四實施例的邊料去除單元，夾具裝置50還包括保持第一夾緊部件521以與第二夾緊部件522平行的狀態的姿態保持單元54。

夾緊單元52還包括第三轉動軸528及第四轉動軸529。

第一夾緊部件521通過第三轉動軸528以能夠轉動的方式連接於連接部件523。因此，在連接部件523以第一轉動軸524為中心旋轉的狀態下，第一夾緊部件521能夠通過姿態保持單元54相對於連接部件523以第三轉動軸528為中心旋轉。由此，能夠保持第一夾緊部件521的姿態水平。

第一夾緊部件521通過第四轉動軸529連接於姿態保持單元54。

第三轉動軸528及第四轉動軸529是跟隨第一夾緊部件521的移動而移動的活動軸。

姿態保持單元54包括第二致動器541、第二驅動力傳遞部件542及第二驅動力傳遞杆543。

第二致動器541起到向第一夾緊部件521提供驅動力的作用。第二致動器541通過第二致動器轉動軸5413連接於底座51。第二致動器轉動軸5413通過第二致動器轉動軸支架516可以固定於底座51。第二致動器541可以具備朝向第二致動器轉動軸5413延伸的轉動軸塊5414，轉動軸塊5414可以以能夠轉動的方式連接於第二致動器轉動軸5413。

因此，在第二驅動力傳遞杆543前進或後退的過程中，第二致動器541能夠以第二致動器轉動軸5413為中心轉動。

在第二致動器541的內部以能夠往復移動的方式佈置有第二驅動力傳遞部件542。第二致動器541具備：與第一線路536連接的第一埠5411；以及與第二線路537連接的第二埠5412。

第一閥門538構成為開放或關閉從流體供給源534經由第一線路536向第一埠5411相連的流路。第二閥門539構成為開放或關閉從流體供給源534經由第二線路537向第二埠5412相連的流路。

根據這種結構，隨著流體經由第一線路536及第一埠5411向第二致動器541的內部流入，第二驅動力傳遞部件542能夠向朝向夾緊單元52的方向移動。而且，隨著流體經由第二線路537及第二埠5412向第二致動器541的內部流入，第二驅動力傳遞部件542能夠向遠離夾緊單元52的方向移動。如此，基於第二致動器541內部的壓力，第二驅動力傳遞部件542能夠移動。

第二驅動力傳遞杆543的一端連接於第二驅動力傳遞部件542，第二驅動力傳遞杆543的另一端通過第二連接頭5431及第四轉動軸529連接於第一夾緊部件521。第二驅動力傳遞杆543通過第四轉動軸529以能夠轉動的方式連接於第一夾緊部件521。由此，第二驅動力傳遞部件542通過第二驅動力傳遞杆543、第二連接頭5431及第四轉動軸529連接於第一夾緊部件521。由此，第二致動器541的驅動力通過第二驅動力傳遞部件542、第二驅動力傳遞杆543、第二連接頭5431及第四轉動軸529提供至第一夾緊部件521。

根據第二致動器541內部的壓力，第二驅動力傳遞部件542能夠在第二致動器541內移動。通過第二驅動力傳遞部件542的移動，第二驅動力傳遞杆543能夠移動。通過第二驅動力傳遞杆543的移動，第一夾緊部件521能夠以第四轉動軸529為中心轉動的同時，相對於連接部件523以第三轉動軸528為中心轉動。第一夾緊部件521以第四轉動軸529為中心轉動的同時，相對於連接部件523以第三轉動軸528為中心轉動，由此保持第一夾緊部件521的姿態水平，由此，第一夾緊部件521的第一基板支承面5211與第二夾緊部件522的第二基板支承面5211能夠彼此平行。

另一方面，第二驅動力傳遞杆543能夠在前進或後退的同時，向相對於底座51遠離或接近的方向移動。可以在底座51具備第二導向組件512，以引導第二驅動力傳遞杆543相對於底座51的移動。例如，第二導向組件512可以由與第二驅動力傳遞杆543連接的導軌構成。

流體供給源534及調節器535可以連接於第一致動器531及第二致動器541。在此情況下，第一線路536連接於第一致動器531的第一埠5311及第二致動器541的第一埠5411。而且，第二線路537連接於第一致動器531的第二埠5312及第二致動器541的第二埠5412。

因此，調節器535構成為調節向第一致動器531內部供給的流體的壓力及向第二致動器541內部供給的流體的壓力。通過調節器535，能夠調節第一致動器531內部的壓力及第二致動器541內部的壓力。通過調節器535，能夠將第一致動器531及第二致動器541的內壓保持一定。另外，通過調節器535，能夠調節第一致動器531及第二致動器541的內壓。第一致動器531及第二致動器541的內壓可以根據基板S的厚度來決定。

在基板S位於第一夾緊部件521與第二夾緊部件522之間時，通過調節器535調節第一致動器531內部的壓力及第二致動器541內部的壓力，由此能夠以保持第一夾緊部件521的第一基板支承面5211的姿態水平的狀態，基板S的第一面接觸於第一夾緊部件521的第一基板支承面5211而被加壓。

如圖12及圖13所示，隨著通過調節器535調節第一致動器531內部的壓力，能夠調節第一驅動力傳遞部件532在第一致動器531內部的位置。隨著調節第一驅動力傳遞部件532的位置，能夠調節連接部件523的轉動角度。隨著調節連接部件523的轉動角度，能夠調節第一夾緊部件521的第一基板支承面5211與第二夾緊部件522的第二基板支承面5221之間的隔開距離。如此，隨著通過調節器535調節第一致動器531內部的壓力，能夠將第一夾緊部件521的第一基板支承面5211與第二夾緊部件522的第二基板支承面5221之間的隔開距離調節成與基板S的厚度對應。

另外，隨著通過調節器535調節第二致動器541內部的壓力，能夠調節第二驅動力傳遞部件542在第二致動器541內部的位置。隨著調節第二驅動力傳遞部件542的位置，能夠調節第一夾緊部件521的轉動角度。隨著調節第一夾緊部件521的轉動角度，能夠保持第一夾緊部件521的第一基板支承面5211的姿態水平，由此，能夠保持第一夾緊部件521的第一基板支承面5211與第二夾緊部件522的第二基板支承面5221彼此平行的狀態。如此，隨著通過調節器535調節第二致動器541內部的壓力，成為第一夾緊部件521的第一基板支承面5211與第二夾緊部件522的第二基板支承面5221彼此平行的狀態，能夠成為能夠更穩定地夾持基板S的第一面及第二面的狀態。

在調節第一致動器531內部的壓力時，能夠同時調節第二致動器541內部的壓力。此時，第二致動器541內部的壓力調節聯動於第一致動器531內部的壓力調節來執行。能夠以使得在第一夾緊部件521相對於第二夾緊部件522位移的同時滿足第一夾緊部件521平行於第二夾緊部件522的條件的方式，執行第一致動器531內部的壓力調節及第二致動器541的內部的壓力調節。為了滿足這種條件，可以設計第一致動器531的規格（內徑、長度、第一埠5311的位置、第二埠5312的位置、對第一夾緊部件521的設置角度等）、第一驅動力傳遞部件532的規格（外徑、厚度等）、第一驅動力傳遞杆533的規格（直徑、長度、對第一夾緊部件521的設置角度等）、第二致動器541的規格（內徑、長度、第一埠5411的位置、第二埠5412的位置、對第一夾緊部件521的設置角度等）、第二驅動力傳遞部件542的規格（外徑、厚度等）、第二驅動力傳遞杆543的規格（直徑、長度、對第一夾緊部件521的設置角度等）。

另一方面，如圖13所示，隨著基板S的厚度增加，支承在第一夾緊部件521的第一基板支承面5211上的基板S的第一面的支承面積小於支承在第二夾緊部件522的第二基板支承面5221上的基板S的第二面的支承面積。

另一方面，在邊料去除單元40具備多個夾具裝置50的情況下，構成多個夾具裝置50的多個第一致動器531內部的壓力及多個第二致動器541內部的壓力可以通過一個調節器535調節。因此，由於多個第一致動器531能夠通過一個調節器535同時控制，能夠通過多個夾具裝置50均勻地夾持基板S。

根據本新型的第四實施例的邊料去除單元，對應於基板S的厚度來調節第一致動器531內部的壓力，從而能夠調節第一夾緊部件521的第一基板支承面5211與第二夾緊部件522的第二基板支承面5221之間的隔開距離。因此，即使在基板S的厚度變更的情況下也無需進行使夾具裝置50整體高度與基板S的厚度對應的變更的追加性作業，並能夠穩定地夾持基板S。因此，能夠減少作業工藝數量。另外，通過調節第二致動器541內部的壓力，能夠保持第一夾緊部件521的第一基板支承面5211的姿態水平。因此，在調節了第一夾緊部件521的第一基板支承面5211與第二夾緊部件522的第二基板支承面5221之間的隔開距離的情況下，也能夠保持第一夾緊部件521的第一基板支承面5211的姿態水平，由此能夠增加支承在第一夾緊部件521的第一基板支承面5211上的基板S的第一面的支承面積，由此，能夠更穩定地夾持基板S。

另一方面，從基板S的後隨端分離邊料的過程可以以與從基板S的先行端分離邊料的過程相同的方式執行。

另一方面，如圖3所示，劃線裝置可以還包括用於去除位於基板S的X軸方向的兩端的邊料的邊料去除單元60。邊料去除單元60可以佈置在第二移送單元20的X軸方向上的兩側或兩側中至少任一側。邊料去除單元60構成為去除通過在基板S的X軸方向的端部沿Y軸方向延伸形成的劃線劃定的邊料而形成階梯部。邊料去除單元60可以具有與前述的邊料去除單元40相同的結構。

例示性說明了本新型的優選實施例，在本新型的範圍並不限定於這種特定實施例，可以在申請專利範圍中所記載的範疇內進行適當變更。

10:第一移送單元 11:帶 111:滑輪 12:夾持部件 13:支承杆 14:導軌 15:第一支承平板 20:第二移送單元 21:帶 211:滑輪 25:第二支承平板 30:劃線單元 31:第一支承架 32:第一劃線頭 33:第二支承架 34:第二劃線頭 35:輪架 351:劃線輪 38:頭移動組件 39:頭移動組件 40:邊料去除單元 41:框架 411:導件 43:旋轉組件 44:水平移動組件 45:垂直移動組件 50:夾具裝置 51:底座 511:第一導向組件 512:第二導向組件 513:轉動軸支架 515:第一致動器轉動軸支架 516:第二致動器轉動軸支架 52:夾緊單元 521:第一夾緊部件 5211:第一基板支承面 522:第二夾緊部件 5221:第二基板支承面 523:連接部件 524:第一轉動軸 525:第二轉動軸 526:第一支承墊 527:第二支承墊 528:第三轉動軸 529:第四轉動軸 53:驅動單元 531:第一致動器 5311:第一埠 5312:第二埠 5313:第一致動器轉動軸 5314:轉動軸塊 532:第一驅動力傳遞部件 533:第一驅動力傳遞杆 5331:第一連接頭 534:流體供給源 535:調節器 536:第一線路 537:第二線路 538:第一閥門 539:第二閥門 54:姿態保持單元 541:第二致動器 5411:第一埠 5412:第二埠 5413:第二致動器轉動軸 5414:轉動軸塊 542:第二驅動力傳遞部件 543:第二驅動力傳遞杆 5431:第二連接頭 60:邊料去除單元 C1、C2、C5:中心 EL:延伸線 S:基板

圖1是概略示出本新型的第一實施例的邊料去除單元的側視圖。 圖2是概略示出本新型的第一實施例的邊料去除單元的立體圖。 圖3是概略示出具備本新型的第一實施例的邊料去除單元的劃線裝置的俯視圖。 圖4是概略示出具備本新型的第一實施例的邊料去除單元的劃線裝置的側視圖。 圖5是概略示出本新型的第一實施例的邊料去除單元所具備的夾具裝置的圖。 圖6及圖7是概略示出本新型的第一實施例的邊料去除單元所具備的夾具裝置的工作狀態的圖。 圖8是概略示出本新型的第二實施例的邊料去除單元所具備的夾具裝置的圖。 圖9及圖10是概略示出本新型的第三實施例的邊料去除單元所具備的夾具裝置的圖。 圖11是概略示出本新型的第四實施例的邊料去除單元所具備的夾具裝置的圖。 圖12及圖13是概略示出本新型的第四實施例的邊料去除單元所具備的夾具裝置的工作狀態的圖。

15:第一支承平板

40:邊料去除單元

43:旋轉組件

44:水平移動組件

45:垂直移動組件

50:夾具裝置

S:基板

Claims (10)

1. 一種邊料去除單元，去除通過在基板的端部形成的劃線劃定的邊料，其特徵在於： 所述邊料去除單元包括構成為夾持所述邊料的夾具裝置， 所述夾具裝置包括： 第一夾緊部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，並以能夠轉動的方式連接於轉動軸； 第二夾緊部件，具有支承所述基板的第二面的基板支承面；以及 致動器，通過驅動力傳遞部件及驅動力傳遞杆連接於第一夾緊部件，並構成為使所述第一夾緊部件以所述轉動軸為中心旋轉。
2. 如請求項1所述的邊料去除單元，其中所述第一夾緊部件的朝向所述基板的前端為圓弧狀。
3. 如請求項1所述的邊料去除單元，其中所述夾具裝置設置有多個，構成多個所述夾具裝置的多個所述致動器內部的壓力通過一個調節器來調節。
4. 如請求項1所述的邊料去除單元，其中在所述第一夾緊部件的基板支承面或所述第二夾緊部件的基板支承面附著有支承墊，所述支承墊由與所述基板相比具有大彈力的材料形成。
5. 如請求項1所述的邊料去除單元，其中支承在所述第一夾緊部件的基板支承面上的所述基板的第一面的支承面積小於支承在所述第二夾緊部件的基板支承面上的所述基板的第二面的支承面積。
6. 一種邊料去除單元，去除通過在基板的端部形成的劃線劃定的邊料，其特徵在於： 所述邊料去除單元包括構成為夾持所述邊料的夾具裝置， 所述夾具裝置包括： 第一夾緊部件，具有支承基板的第一面的基板支承面，並以能夠轉動的方式連接於第一轉動軸； 第二夾緊部件，具有支承所述基板的第二面的基板支承面； 第一致動器，通過第一驅動力傳遞部件及第一驅動力傳遞杆連接於第一夾緊部件，並構成為使所述第一夾緊部件以所述第一轉動軸為中心旋轉；以及 姿態保持單元，以使所述第一夾緊部件的基板支承面與所述第二夾緊部件的基板支承面平行的方式，保持所述第一夾緊部件的姿態。
7. 如請求項6所述的邊料去除單元，其中： 所述第一驅動力傳遞杆通過第二轉動軸連接於所述第一夾緊部件， 所述姿態保持單元包括第二致動器，所述第二致動器通過第二驅動力傳遞部件及第二驅動力傳遞杆連接於所述第一夾緊部件，並構成為使所述第一夾緊部件以與所述第一轉動軸及所述第二轉動軸隔開的第三轉動軸為中心旋轉。
8. 如請求項7所述的邊料去除單元，其中所述第一致動器內部的壓力及所述第二致動器內部的壓力通過相同的調節器來調節。
9. 如請求項7所述的邊料去除單元，其中所述夾具裝置設置有多個，構成多個所述夾具裝置的多個所述第一致動器內部的壓力及多個所述第二致動器內部的壓力通過一個調節器來調節。
10. 一種劃線裝置，包括請求項1至9中任一項所述的邊料去除單元。

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