KR20090015547A - 스크라이빙 방법 및 스크라이빙 시스템 - Google Patents

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Abstract

평판 디스플레이 패널의 표시장치에 적용되는 기판에 헤드에 장착된 휠을 사용하여 스크라이브 라인을 연속적으로 형성하는 스크라이브 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 기판의 제1의 방향으로 스크라이브 라인을 형성하는 제1의 공정, 상기 제1의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제1의 방향과 다른 제2의 방향으로 전환하고 소정의 간격만큼 이동시키는 제2의 공정, 상기 제2의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제1의 방향과 역방향인 제3의 방향으로 전환시켜 스크라이브 라인을 형성하는 제3의 공정과 상기 제3의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제2의 방향으로 전환하고 소정의 간격만큼 이동시키는 제4의 공정을 포함하고, 상기 제1의 공정 내지 제4의 공정이 연속적으로 실행되는 구성을 마련한다.
상기와 같은 스크라이브 방법을 이용하는 것에 의해, 스크라이브 라인을 형성하기 위한 작업 시간을 단축할 수 있다.
스크라이브, 휠, 헤드, 더미

Description

스크라이브 시스템 및 그 방법{Scribe system and method thereof}
본 발명은 스크라이브(scribe) 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 특히 헤드에 장착된 휠을 사용하여 평판 디스플레이 패널의 표시장치에 적용되는 기판에 스크라이브 라인을 연속적으로 형성하는 스크라이브 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정 디스플레이 패널(display pannel), 플라즈마(plasma) 디스플레이 패널, 유기EL 디스플레이 패널 등의 평판 디스플레이 패널의 표시장치에서는 2장의 취성재료인 글라스를 접합시켜서 패널을 구성하고 있다. 이러한 패널 을 제조할 때에는 머더 글라스(mother glass) 기판(이하, '기판'이라 한다)을 소정의 크기형태로 절단한다. 이러한 절단공정은 기판의 스크라이브 예정 라인을 따라 스크라이브 라인을 형성하고, 계속하여 형성된 스크라이브 라인을 중심으로 하여 소정의 휨 응력을 인가하여 기판을 스크라이브 라인을 따라 절단한다.
즉, 표시장치인 평판 패널 디스플레이에 사용되는 패널은 큰 면적의 기판을 복수 매의 소정의 크기로 절단한 것이 사용된다.
최근 평판 패널 디스플레이의 대형화에 따라 패널용 글라스도 대면적화되고, 그 두께는 점점 얇아지는 경향이어서 0.5㎜의 두께의 글라스가 사용되고 있다. 또한 1500㎜×1800㎜의 대면적으로서 두께가 0.7㎜인 글라스도 사용되고 있다.
이와 같은 스크라이브 라인의 형성방법으로서는 기판을 지지 테이블 상에 고정하고, 휠(wheel)을 이용하여 기판상에서 스크라이브 라인을 형성하거나, 또는 기판에 미리 크랙(crack)을 만들고 그 크랙의 선단에 레이저빔(laser beam)을 조사하여 기판에 열에 의한 비틀림을 발생시킴과 동시에 레이저빔의 조사위치를 이동시킴으로써 균열을 성장시킨다. 이에 따라 기판의 두께방향을 따르는 수직 크랙으로 이루어지는 스크라이브 라인이 생성된다.
이와 같이 기판의 절단 방법의 일례가 하기 문헌 1에 개시되어 있다.
하기 문헌 1에 있어서는 도 1의 도 1a 및 도 1b에 도시된 바와 같이, 기판(13)을 절단하는 레이저 절단장치가 레이저 시스템(10), 제1 스크라이버(11), 제1 냉각제(111), 제2 스크라이버(12) 및 제2 냉각제(122)로 이루어진 구성에 대해 개시되어 있다.
이러한 레이저 절단장치의 제1 스크라이버(11) 또는 제2 스크라이버(12)는 레이저나 침 형상의 봉 또는 절단 휠 등으로 이루어지고, 제1 냉각제(111) 또는 제2 냉각제(122)는 물, 액체 질소, 액체 헬륨 등과 같은 액체나 가스, 액체와 가스의 혼합체 등이 사용된다.
또한 도 1a와 도 1b를 참조하면, 기판(13)을 절단할 때, 스크라이버는 기판(13)을 스크라이브하여 기판(13)에 소정의 미세한 균열을 형성하고, 레이저 시스 템(10)은 CO2 레이저와 같은 레이저를 생성하여 상기 미세한 균열을 따라 기판(13)에 작용시켜 기판을 가열시킨다. 이 상황에서 기판(13)은 이 기판(13)의 가열된 온도가 기판(13)의 녹는점보다 낮은 조건하에서 확장하고 압력 응력이 생기게 하는 레이저의 에너지에 의해 가열된다. 그 후 냉각제가 레이저 시스템(13) 뒤에서 기판(13)을 냉각시켜 기판(13)이 인장 응력을 갖게 하여 절단한다.
즉, 하기 문헌 1에 개시된 레이저 절단장치는 제1 절단방향(B)과 이 제1절단방향(B)과는 반대인 제2 절단방향(C)에 따라 기판을 절단한다. 따라서, 제1 스크라이버(11), 제2 냉각제(122), 레이저 시스템(10), 제1 냉각제(111) 및 제2 스크라이버(12)는 제2 절단방향(C)을 따라 차례로 배열되어 있다. 제1 절단방향(B)을 따라 기판(13)을 자를 때, 제1 스크라이버(11)는 처음에 기판(13)에 예정된 미세한 균열을 생성하고, 레이저 시스템(10)은 이 예정된 미세한 균열을 따라 기판(13)을 가열하는 레이저를 발생시키며, 제1 냉각제(111)가 레이저 시스템(10) 뒤에서 기판(13)의 가열된 부분을 냉각시킨다. 따라서, 제1 절단선을 생성하게 된다. 이러한 과정에서, 제2 스크라이버(12)와 제2 냉각제(122)는 정지상태에 있으며, 제1 절단방향(B)을 따라 기판(13)을 한번 자르고 난 후, 레이저 절단장치는 제2 절단선을 위해 기판의 외부에 형성된 이동선을 따라 이동준비한다. 그 후, 제2 스크라이버(12)와 레이저 시스템(10) 및 제2 냉각제(122)는 제1 절단방향(B)과 반대방향인 제2 절단방향(C)을 따라 기판(13)을 절단한다. 제1 스크라이버(11)와 제1 냉각제(111)는 정지상태이다.
또한 하기 문헌 2에는 도 2에 도시된 바와 같이, 태양전지 모듈을 구성하는 기판에 형성된 박막을 레이저광에 의해 소정의 폭 치수의 띠 모양으로 스크라이브하는 박막의 스크라이브 방법에 대해 개시되어 있다.
즉 도 2에 도시된 기판(1)에 형성된 투명 도전막(3)은 내부에 전자회로가 형성된 유효 영역(3a)과 이 유효 영역(3a)의 주변부의 마진 영역(3b)으로 분할되고, 기판(1)을 조사하는 레이저 광은 렌즈에 의해 초첨 맞춤된다.
이러한 장치는 마진 영역(3b)의 A점의 위치에서 X 테이블을 구동하고, 기판(1)의 긴 방향, 즉 X 방향을 향해 제1 스크라이브 라인(31)을 따라 이동하는 기판(1)에 대해 레이저 광이 조사되고, 마진 영역(3b)의 B점에서 도달하면 레이저광의 조사가 정지되지 않고 제2 스크라이브 라인(32)를 따라 Y 테이블이 이동한다. Y 테이블이 이동하여 마진 영역(3b)의 C에 도달하면, X 테이블은 역방향으로 제3 스크라이브 라인(33)을 따라 이동한다. 이와 같은 방법에 따라 투명 도전막(3)의 유효 영역(3a)과 유효 영역(3a)의 주변부의 마진 영역(3b)에 연속적으로 스크라이브 작업이 실행된다.
[문헌 1] 대만 특허 출원번호 제094131244호 (2005.09.12 출원)
[문헌 2] 일본 공개특허번호 2001-135836호 (2001.05.18 공개)
그러나 상기 문헌 1 및 2에 개시된 기술에 있어서는 2개의 스크라이버를 사용하던가, 또는 레이저 광에 의해 스크라이브 라인을 형성하므로, 스크라이버의 장치를 설치하는 비용이 증가된다는 문제가 있었다.
또, 상기 문헌 2와 같이 XY 테이블(또는 스테이지)을 이용하여 기판을 XY방향으로 이동시키는 경우, 상기 문헌 2와 같이 소형의 기판 또는 반도체 칩 제조용 웨이퍼에서는 가능하지만, 상술한 바와 같이 평판 패널 디스플레이용 기판의 절단 방법에서는 XY 방향의 이동에 따른 공간이 필요하므로, 기판의 대형화에 따라 작업 공간을 확장시켜야 한다는 문제도 발생한다.
본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 설치 비용의 증가나 작업공간의 확장 없이, 편심 구조를 갖는 헤드에 장착된 휠을 이용하여 연속적으로 스크라이브 공정을 실행할 수 있는 스크라이브 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 휠이 장착된 헤드를 이용하며, 작업공간의 확장 없이 기판의 대형화에 용이하게 대응할 수 있는 스크라이브 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 스크라이브 방법은 헤드에 장착된 휠을 사용하여 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법으로서, 상기 기판의 제1의 방향으로 스크라이브 라인을 형성하는 제1의 공정, 상기 제1의 공 정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제1의 방향과 다른 제2의 방향으로 전환하고 소정의 간격만큼 이동시키는 제2의 공정, 상기 제2의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제1의 방향과 역방향인 제3의 방향으로 전환시켜 스크라이브 라인을 형성하는 제3의 공정과 상기 제3의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제2의 방향으로 전환하고 소정의 간격만큼 이동시키는 제4의 공정을 포함하고, 상기 제1의 공정 내지 제4의 공정이 연속적으로 실행되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 스크라이브 방법에 있어서, 상기 제1의 공정 내지 제4의 공정은 각각 반복적으로 실행되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 스크라이브 방법에 있어서, 상기 휠을 상기 기판의 더미 영역에서 제2의 방향으로 전환하고 이동한 후, 제1의 방향으로 전환하고 소정의 간격만큼 이동시키는 제5의 공정, 상기 제5의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제1의 방향과 수직인 제4의 방향으로 전환시켜 스크라이브 라인을 형성하는 제6의 공정, 상기 제6의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제1의 방향으로 전환하고 소정의 간격만큼 이동시키는 제7의 공정, 상기 제7의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제4의 방향과 역방향인 제5의 방향으로 전환시켜 스크라이브 라인을 형성하는 제8의 공정을 더 포함하고, 상기 제5의 공정 내지 제8의 공정이 연속적으로 실행되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 스크라이브 방법에 있어서, 상기 제5의 공정 내지 제8의 공정은 각각 반복적으로 실행되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 스크라이브 방법에 있어서, 상기 제1 및 3의 공정은 Y축 방향에서 실행되고, 상기 제6 및 제8의 공정은 X축 방향에서 실행되는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 스크라이브 방법에 있어서, 상기 휠은 상기 더미 영역에서만 전환되는 것을 특징으로 한다.
또 상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 스크라이브 시스템은 헤드 유닛, 상기 헤드 유닛에 장착되어 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 휠, 상기 헤드 유닛을 가압하는 가압수단, 상기 헤드 유닛을 이동시키는 이동수단, 상기 가압수단의 가압력과 상기 이동수단의 이동거리를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는 상기 휠이 상기 이동수단에 의해 기판의 더미 영역에 도달하면, 상기 휠의 방향을 전환시키는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 스크라이브 시스템에 있어서, 상기 헤드 유닛의 중심과 상기 휠의 중심은 서로 일치하지 않는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 스크라이브 시스템에 있어서, 상기 휠의 방향 전환은 더미 영역에서만 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또 본 발명에 따른 스크라이브 시스템에 있어서, 상기 가압수단은 상기 더미 영역에서 상기 헤드 유닛을 가압하지 않는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 스크라이브 시스템 및 그 방법에 의하면, 평판 디스플레이 패널의 표시장치의 제조 과정에서 스크라이브 라인을 형성하기 위한 작업 시간을 단축할 수 있다는 효과가 얻어진다.
또, 본 발명에 따른 스크라이브 시스템 및 그 방법에 의하면, 상기와 같이 작업 시간의 단축에 의해 표시장치의 제조비용을 저감할 수 있다는 효과도 얻어진다.
본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.
먼저 본 발명의 개념에 대해 설명한다.
본 발명에 따른 스크라이브 시스템 및 그 방법에서는 휠을 들어 올리지 않으면서 반대 방향으로 스크라이브 공정을 실행할 수 있는 기술을 제시하는 것이다.
즉, 도 3에 도시된 스크라이브 형성 방법에 있어서는 기판상에 미리 설정된 Y 스크라이브 라인인 점선(201)을 따라 헤드에 장착된 휠이 실선(211)으로 표시한 Y 방향으로 위치a에서 위치b까지 제1 스크라이브 작업을 실행한다. 다음에 점선(202)을 따라 제2 스크라이브 작업을 실행하기 위해 일점쇄선(221)으로 표시한 방향을 따라 휠을 들어올려 위치b에서 위치c까지 헤드를 이동시킨 후, 실선(212)으로 표시한 Y 방향으로 위치c에서 위치d까지 제2 스크라이브 작업을 실행한다.
이러한 작업의 반복 후, 휠이 위치h에 도달하면, X방향으로의 스크라이브를 위해 휠이 장착된 헤드가 들어올려져 일점쇄선(222)으로 표시한 방향을 따라 위치i의 위치로 이동한다.
다음에 기판상에 미리 설정된 X 스크라이브 라인인 점선(203)을 따라 헤드에 장착된 휠이 실선(213)으로 표시한 X 방향으로 위치i에서 위치j까지 제3 스크라이브 작업을 실행한다. 다음에 점선(204)을 따라 제4 스크라이브 작업을 실행하기 위해 일점쇄선(223)으로 표시한 방향을 따라 휠을 들어올려 위치j에서 위치k까지 헤드를 이동시킨 후, 실선(214)으로 표시한 X 방향으로 위치k에서 위치l까지 제4 스크라이브 작업을 실행한다.
그러나, 도 3에 도시된 스크라이브 라인은 불연속 직선으로 구성된 하나의 라인이므로, 각각의 라인에 따라 스크라이브하기 위해서는 스크라이브 끝점에서 휠을 들어서 스크라이브 시작점으로 이동하여야 하기 때문에 기판의 대형화에 따라 휠의 이동량이 더욱 증가하게 되며, 휠의 상하 움직임으로 인해 작업 시간(택타임: Tack time)이 길어진다는 문제가 있었다.
이하, 본 발명의 구성을 도 4에 따라서 설명한다.
도 4는 본 발명에 사용되는 편심 구조를 갖는 스크라이버 장치이다.
즉, 본 발명에 사용되는 스크라이버는 도 4에 도시된 바와 같이, 스크라이브 라인을 형성하는 휠(62)이 장착된 휠 홀더(60)와 휠 홀더(60)가 장착되는 헤드(50)로 구성된다.
헤드(50)는 휠 홀더(60)의 홀더 축(64)이 베어링(55)을 통하여 회전운동 가 능하게 장착된 헤드 유닛(54), 헤드 유닛(54)의 상단에 설치되어 헤드 유닛(54)을 가압시켜 주는 가압수단으로서의 모터(52)로 구성된다.
도 4에 점선으로 표시된 바와 같이, 헤드 유닛(54)의 중심과 휠(62)의 중심은 서로 일치하지 않는 편심 구조로 이루어진다. 따라서, 휠(62)을 180도 전환시키는 경우 헤드 유닛(54)의 진행 방향을 추적하는 편심 구조의 특성상 이전 헤드의 동작 방향으로 움직이기는 어렵다. 따라서, 180도로 전환시키는 경우, 각각의 구간의 길이가 변화될 뿐만 아니라, 전환을 위한 넓은 공간을 필요로 한다.
그러므로, 본 발명에서는 이와 같은 이유로 인해 휠(62)을 약 90도로 전환시키는 것이다.
또 모터(52)로는 예를 들어, 보이스 코일 모터(VCM; Voice Coil Motor)로 구성되며, 모터(52)는 고정자(52a) 부분과 고정자(52a)에 대하여 상하 이동하는 가동자(52b) 부분으로 구성된다. 상술한 헤드 유닛(54)을 가압시켜 주는 부분은 가동자(52b)이다.
이와 같은 헤드(50)와 휠 홀더(60)는 홀더축(64)에 의해 서로 연결되며, 도시하지 않은 별도의 이동수단에 의해 도 3에 도시된 바와 같은 X축 또는 Y축으로 이동한다.
즉 제어부(75)는 휠(62)이 이동수단에 의해 기판의 더미 영역에 도달하면, 휠(62)의 방향이 약 90도로 전환되도록 제어한다. 즉 제어부(75)에는 기판에 대해 스크라이브 라인을 형성하기 위한 스크라이브 라인의 길이, 방향 및 간격, 더미 영역의 위치 정보 등이 미리 설정된 값으로서 저장되어 있으며, 제어부(75)는 이 설 정 값에 따라 휠(62)가 더미 영역에 있는 것으로 판단되면, 휠의 방향을 전환하도록 제어한다. 이와 같은 휠(62)의 방향 전환은 스크라이버의 기능에 따라 헤드(50) 자체의 방향을 전환하던가 또는 헤드 유닛(54)의 방향만을 전환시키는 구조로 할 수 있다.
본 발명의 주요 특징은 스크라이버의 가동 중, 즉 정지상태가 아닌 상태에서 휠(62)의 방향을 약 90도로 전환하는 것이며, 이러한 방향의 전환은 기판의 더미 영역에서 실행되는 것이다.
다음에 본 발명에 따른 스크라이브 시스템의 동작에 대해 도 5 및 도 6에 따라 설명한다.
도 5는 본 발명에 따른 스크라이브 방법을 설명하기 위한 스크라이버의 이동 궤적을 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명에 따른 스크라이브 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 스크라이브 방법은 도 4에 도시된 스크라이버 장치로서, 헤드에 장착된 휠(62)을 사용하여 기판(300)상에 스크라이브 라인을 형성하는 것이다.
먼저 헤드(50)가 가공할 기판(300)의 상부에 위치결정된 후, 기판 내에 전자회로가 형성된 유효 영역(310)의 소정의 부분을 스크라이브 하기 위해 디스플레이 기능을 갖지 않는 더미 영역(320)에서 제1의 방향(위치 a에서 위치 b)을 향해 미리 설정된 스크라이브 라인(301)을 따라 스크라이브 공정을 실행한다. 즉, 도 5에 도시된 Y축의 제1의 방향에서 점선으로 표시된 스크라이브 라인(301)을 따라 실선으 로 표시된 스크라이브 라인(311)을 형성한다(S10). 또한 도 5에 도시된 점선으로 표시된 스크라이브 라인(301)은 설명의 편의상 표시한 것이며, 실제 기판상에 표시되는 것은 아니다. 스크라이브 라인(311)이 형성되면, 제어부(75)는 휠(62)이 더미 영역(320)에 도달하였는가 판단한다(S20).
상기 S20 공정에서 휠(62)이 더미 영역(320)에 위치하면, 제어부(75)는 기판(300)의 더미 영역(320)에서 휠(62)을 제1의 방향과 다른 제2의 방향(위치 b에서 위치 c)으로 전환(S30)하고 소정의 간격, 예를 들어 각각의 패널의 폭에 대응하는 간격 거리 만큼 이동하여 라인(321)을 형성한다(S40). 따라서, 라인(321)은 직선, 또는 곡선 등의 형태로 이루어져도 좋다. 그러나, 휠(62)의 방향전환시 교정 값을 정확하게 획득하기 위해서는 도 5에 도시된 바와 같이 직선을 적용하는 것이 바람직하다. 본 발명의 주요특징은 방향전환시 휠(62)을 들어올리지 않으며, 더미 영역(320)에서 휠(62)의 방향을 약 90도 정도 전환하고, 연속하여 이동시키는 것이다. 이와 같은 더미 영역(320)에서의 이동시 가압수단의 가압력을 해제하여도 좋다. 즉, 휠의 방향만 전환하여 이동시키고, 라인(321)은 형성하지 않아도 좋다.
다음에 제어부(75)는 휠(62)이 각각의 패널로 분리될 거리 만큼 이동하였는가 판단하고(S50), 휠(62)이 위치c에 도달하면, 기판(300)의 더미 영역(320)에서 휠(62)을 제1의 방향과 역방향인 제3의 방향으로 전환시키고(S60), 미리 설정된 스크라이브 라인을 따라 스크라이브 공정을 실행한다. 즉, 도 5에 도시된 Y축의 제3의 방향에서 점선으로 표시된 스크라이브 라인을 따라 실선으로 표시된 스크라이브 라인(312)을 형성한다(S70).
상기 S70 공정에서 휠(62)가 더미영역(320)에 위치하면(S80), 제어부(75)는 기판(300)의 더미 영역(320)에서 휠(62)을 제3의 방향과 다른 제2의 방향(위치 d에서 위치 e)으로 전환(S90)시켜 소정의 간격, 예를 들어 각각의 패널로 분리될 거리 만큼 이동하여 라인(322)을 형성한다(S100). 이러한 공정S90 및 S100의 실행은 상기한 공정S30 및 S40의 공정과 동일한 과정으로 실현된다.
다음에 제어부(75)는 휠(62)이 각각의 패널로 분리될 거리 만큼 이동하였는가 판단하고(S110), 휠(62)이 위치e에 도달하면, 기판(300)의 더미 영역(320)에서 휠(62)을 제1의 방향과 동일한 방향(위치 e에서 위치 f)을 향해 전환시키고(S120), 미리 설정된 스크라이브 라인을 따라 스크라이브 공정을 실행한다. 즉, 도 5에 도시된 Y축의 제1의 방향을 따라 실선으로 표시된 스크라이브 라인을 형성한다. 이와 같은 각각의 공정은 연속적으로 실행되는 것이다.
도 5에 도시된 구조에서는 글리스 기판(300)이 4 X 4 개의 패널로 스크라이브 라인을 형성하는 구조로 설명하였지만, 이는 설명의 편의상 일 예를 나타내는 것이며, 이에 한정되는 것은 아니다.
따라서 m X n개의 스크라이브 라인을 형성하는 경우 상술한 공정을 반복하여 실행된다. 즉, 공정S130에서 제어부(75)는 상술한 바와 같이 실행되어 Y축에 대한 스크라이브 라인이 완료되었는가 판단한다. Y축에 대한 스크라이브 라인이 완료되지 않은 경우, 공정 S10으로 되돌아가서 상기와 같은 공정을 반복하게된다.
Y축에 대한 스크라이브 라인이 완료되면, X축에 대한 스크라이브 라인을 형성하기 위한 공정으로 진행한다.
즉 휠(62)이 도 5에 도시된 위치h에 도달하면, 제어부(75)는 기판(300)의 더미 영역(320)에서 휠(62)을 제3의 방향과 다른 제2의 방향으로 전환(S140)시키고, 소정의 간격, 예를 들어 더미 영역(320)의 범위를 벗어나지 않는 범위에서 내에서 이동한 후, 이어서 휠(62)을 더미 영역(320)에서 제1의 방향으로 전환하고 위치i 까지 이동시킨다.
제어부(75)는 휠(62)이 위치i에 도달한 것으로 판단하면, 기판(300)의 더미 영역(320)에서 휠(62)을 제1의 방향과 수직인 제4의 방향(위치i에서 위치j)으로 전환시켜 스크라이브 라인(313)을 형성하는 공정을 실행하게 한다.
위치i에서 위치j까지의 스크라이브 공정이 완료되면, 제어부(75)는 휠(62)이 위치j에서 위치k로 이동하도록, 더미 영역(320)에서 휠(62)을 제1의 방향으로 전환하여 소정의 간격만큼 이동시킨다.
그 후, 휠(62)가 위치k에 도달하면, 제어부(75)는 더미 영역(320)에서 휠(62)이 제4의 방향과 역방향인 제5의 방향(위치 k에서 위치 l)을 향하도록 전환시켜 스크라이브 라인을 형성하는 공정을 실행하게 한다.
이와 같이 X축의 스크라이브 라인을 형성하는 공정을 연속적이며, 반복적으로 실행하여 X축에 대한 스크라이브 라인 형성 공정이 완료된다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
본 발명에 따른 스크라이브 시스템 및 그 방법은 평판 디스플레이 패널의 표시장치에 적용하여 제조시간을 단축할 수 있다.
도 1은 종래의 레이저 절단장치를 나타내는 도면,
도 2는 태양전지 모듈을 구성하는 기판을 스크라이브하는 방법을 설명하는 도면,
도 3은 종래의 스크라이브 방법을 설명하기 위한 도면,
도 4는 본 발명에 사용되는 편심 구조를 갖는 스크라이버 장치를 나타내는 도면,
도 5는 본 발명에 따른 스크라이브 방법을 설명하기 위한 스크라이버의 이동 궤적을 나타내는 도면,
도 6은 본 발명에 따른 스크라이브 방법을 설명하는 흐름도.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
50 : 헤드 52 : 모터
54 : 헤드 유닛 60 : 휠 홀더
62 : 휠 75 : 제어부

Claims (10)

  1. 헤드에 장착된 휠을 사용하여 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 스크라이브 방법으로서,
    상기 기판의 제1의 방향으로 스크라이브 라인을 형성하는 제1의 공정,
    상기 제1의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제1의 방향과 다른 제2의 방향으로 전환하고 소정의 간격만큼 이동시키는 제2의 공정,
    상기 제2의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제1의 방향과 역방향인 제3의 방향으로 전환시켜 스크라이브 라인을 형성하는 제3의 공정과
    상기 제3의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제2의 방향으로 전환하고 소정의 간격만큼 이동시키는 제4의 공정을 포함하고,
    상기 제1의 공정 내지 제4의 공정이 연속적으로 실행되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1의 공정 내지 제4의 공정은 각각 반복적으로 실행되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 휠을 상기 기판의 더미 영역에서 제2의 방향으로 전환시키고 이동한 후, 제1의 방향으로 전환하고 소정의 간격만큼 이동시키는 제5의 공정,
    상기 제5의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제1의 방향과 수직인 제4의 방향으로 전환시켜 스크라이브 라인을 형성하는 제6의 공정,
    상기 제6의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제1의 방향으로 전환하고 소정의 간격만큼 이동시키는 제7의 공정,
    상기 제7의 공정의 완료 후, 상기 기판의 더미 영역에서 상기 휠을 상기 제4의 방향과 역방향인 제5의 방향으로 전환시켜 스크라이브 라인을 형성하는 제8의 공정을 더 포함하고,
    상기 제5의 공정 내지 제8의 공정이 연속적으로 실행되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제5의 공정 내지 제8의 공정은 각각 반복적으로 실행되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 및 3의 공정은 Y축 방향에서 실행되고, 상기 제6 및 제8의 공정은 X축 방향에서 실행되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 휠은 상기 더미 영역에서만 휠의 방향이 전환되는 것을 특징으로 하는 스크라이브 방법.
  7. 헤드 유닛,
    상기 헤드 유닛에 장착되어 기판에 스크라이브 라인을 형성하는 휠,
    상기 헤드 유닛을 가압하는 가압수단,
    상기 헤드 유닛을 이동시키는 이동수단,
    상기 가압수단의 가압력과 상기 이동수단의 이동거리를 제어하는 제어부를 포함하고,
    상기 제어부는 상기 휠이 상기 이동수단에 의해 기판의 더미 영역에 도달하면, 상기 휠의 방향을 전환시키는 것을 특징으로 하는 스크라이브 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 헤드 유닛의 중심과 상기 휠의 중심은 서로 일치하지 않는 것을 특징으로 하는 스크라이브 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 휠의 방향 전환은 더미 영역에서만 이루어지는 것을 특징으로 하는 스 크라이브 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 가압수단은 상기 더미 영역에서 상기 헤드 유닛을 가압하지 않는 것을 특징으로 하는 스크라이브 시스템.
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